JP2976571B2 - マルチヘッド型化学センサ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は実時間で複数の化学物
質、例えばにおい物質を識別するマルチヘッド型化学セ
ンサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のガスセンサとしては、接触燃焼式
ガスセンサ，気体電動式ガスセンサ，固体電解質式ガス
センサ，電気化学式ガスセンサ，半導体式ガスセンサ，
熱戦型半導体式ガスセンサ（以上、例えば大森豊明編、
フジテクノシステム、センサー実用事典（１９８６）２
３３ページ）、電解効果トランジスタ（ＦＥＴ）式ガス
センサ（例えばアイ、ルンドストローム（Ｉ．Ｌｕｎｄ
ｓｔｒｏｍ）、アプライド、フィジックス、レター、
（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．）２６巻２号（１９
７５）５５ページ）、吸着効果トランジスタ（ＡＥＴ）
式ガスセンサ（例えば高田義ら、センサ技術４巻１３号
（１９８４）３９ページ）、ショットキー接合式ガスセ
ンサ（例えば外村昭一郎ら、日本化学会誌１０号（１９
８０）１５８５ページ）、オルガスタ式ガスセンサ（例
えば、新コスモス電気株式会社、工業用定置式ガス検知
警報装置総合カタログ）、表面弾性波素子（ＳＡＷ）式
ガスセンサ（例えばジェイ、ダブリュウ、グレイト
（Ｊ．Ｗ．Ｇｒａｔｅ）ら、米国海軍研究所報告 ＮＲ
Ｌ−ＭＲ−６０２４、Ａｂｓ．Ｎｏ．７５３５２８、１
９８７）、光ファイバー式ガスセンサ（例えば、イコ
コウジ（ＩｋｏＫｏｊｉ）ら特開昭６３−第１５８４４
０号公報）、蛍光測定式ガスセンサ（例えば、ビー、エ
ル、ハウエンシュテイン（Ｂ．Ｌ．Ｈａｕｅｎｓｔｅｉ
ｎ）ら、欧州特許ＥＰ２５９９５１号）、光導波路式ガ
スセンサ（例えば、アール、アール、スマーデズスキイ
（Ｒ．Ｒ．Ｓｍａｒｄｚｅｗａｋｉ）ら、タランタ（Ｔ
ａｌａｎｔａ）３５巻２号（１９８８）９５ページ）、
表面プラズモン式ガスセンサ（例えばカワタ サトシ
（Ｋａｗａｔａ Ｓａｔｏｓｈｉ）ら、光学、１６巻１
０号（１９８７）４３８ページ）などがある。

【０００３】しかし、これらガスセンサはいずれも一般
的に活性な低分子のみを検出するもので、匂い物質に代
表されるような不活性高分子量分子を選択的に検出する
ことはできない。

【０００４】そこで最近になって、匂い物質のような分
子を検出する必要性に応えるために種々の方法が検討さ
れている。例えば、脳波を利用したセンサ（呼吸同期刺
激法）（外池光男、電子技術総合研究所研究報告、８６
３号（１９８６））、植物組織を利用したセンサ（松岡
英明、フレグランスジャーナル、８６巻（１９８７）３
７ページ）、金属酸化物半導体を利用したセンサ（フク
イ キヨシ（Ｆｕｋｕｉ Ｋｉｙｏｓｈｉ）、特開平２
−第１３４５５２号公報）、生体膜モデルであるリポゾ
ームを利用したセンサ（ノムラ（Ｔ．Ｎｏｍｕｒａ）
ら、バイオケミストリー（Ｂｉｏｃｈｅｍｉｓｔｒ
ｙ）、２６巻（１９８７）６１４１ページ）、有機半導
体ダイオードセンサ（マインハード（Ｊ．Ｅ．Ｍｅｉｎ
ｈａｒｄ）、米国特許第３４２８８９２号（１９６
９））、導電性高分子を利用したセンサ（フィリップ
（Ｎ．Ｐｈｉｌｉｐ）ら、センサ アンド アクチュエ
ーター（Ｓｅｎｓｏｒ ａｎｄ Ａａｃｔｕａｔｏｒ
ｓ）、２０巻（１９８９）２８７ページ）、有機物（合
成二分子膜）、有機顔料など）への分子吸着を利用した
センサ（吸着量を水晶振動子やＳＡＷデバイスによって
検出するセンサ）（オカハタ ヨシオ（Ｏｋａｈａｔａ
Ｙｏｓｈｉｏ）ら、ラングミュア（Ｌａｍｇｍｕｉ
ｒ）、３巻（１９８７）１１７１ページ、クロサワシゲ
ル（Ｋｕｒｏｓａｗａ Ｓｈｉｇｅｒｕ）ら、アナリテ
ィカル ケミストリ−（Ａｎａｌｙｔｉｃａｌ Ｃｈｅ
ｍｉｓｔｒｙ）、６２巻（１９９０）３５３ページ）な
どの研究がある。

【０００５】しかし、これらセンサにおいては各ガス状
物質に対する選択性がなく、各物質の種類を認識できな
いという問題点を有している。

【０００６】そこで、センサの検出部を多数個設け、そ
の応答のパターン化によりガス状物質の種類を認識しよ
うとする方法が注目を集めている。この方法は人間の匂
い認識機構（嗅覚）、すなわちアクロス・ファイバーパ
ターン説を模倣したものであり、各センサの応答をパタ
ーン化し、ニューラルネットなどのデータ処理により化
学物質の認識能を向上しようとしている。センサヘッド
部での化学物質検出法の種類により、例えば１）化学物
質吸着による半導体の伝導度変化（例として、カネヤス
マサヨシ（Ｋａｎｅｙａｓｕ ｍａｓａｙｏｓｈ
ｉ），ＩＥＥＥ トランザクション コンポーネント
ハイブリッド マニファクチャーテクノロジー（ＩＥＥ
Ｅ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ
ｓ，Ｈｙｂｒｉｄｓ ａｎｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉ
ｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）、ＣＨＭＴ−１０巻（１
９８７）２６７ページ）、２）薄膜被覆を有する水晶振
動子への化学物質吸着（例として、ナカモト タカミチ
（ＮａｋａｍｏｔｏＴａｋａｍｉｃｈｉ）、センサ
アンド アクチュエータ（Ｓｅｎｓｏｒ ａｎｄ Ａｃ
ｔｕａｔｏｒｓ）、Ｂ１巻（１９９０）４７３ペー
ジ）、および３）薄膜被覆を有する表面弾性波素子（Ｓ
ＡＷ）への化学物質吸着（例えば、スーザン、エル、ロ
ーズペルソン（Ｓｕｓａｎ Ｌ．Ｒｏｓｅ−Ｐｅｈｒｓ
ｓｏｎ）ら、アナリティカルケミストリー（Ａｎａｌｔ
ｉｃａｌ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｕ）６０巻（１９８８）２
８０１ページ）の３方法が報告されている。

【０００７】しかし、上記のいずれのセンサにおいても
センサ検出部の選択性が乏しく、パターン化を行っても
その認識能はあまり高くない。特に混合物を用いた場合
は十分な認識能が得られないのが現状である。

【０００８】また、従来の水晶振動子やＳＡＷデバイス
のマルチヘッドを検出部とした化学物質センサではジエ
チレングリコール，フタル酸ジオクチルのような有機膜
を認識膜として用いていた。しかし、これらの膜は互い
に化学物質の吸着量の差をもつが、特異的に吸着させる
能力が低く、膜に吸着された化学物質の認識率が７０〜
９５％と低いのが現状である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、水晶
振動子またはＳＡＷデバイスを用いたマルチセンサヘッ
ドの検出部に検体物質をその化学構造に依存して選択的
に吸着されることのできる機能を有する有機高分子薄膜
を装備したマルチヘッド型化学センサを提供することに
ある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明のマルチヘッド型
化学センサはそのセンサ検出部にガス状物質を特異的に
吸着する特定の有機薄膜を装備したことを特徴とする。
すなわち、有機薄膜としては、ポリイオン系高分子化合
物，アクリル系高分子化合物，メタクリル系高分子化合
物，アロマティックビニル系高分子化合物，アリファテ
ィックビニルまたはビニリデン系高分子化合物，ヘテロ
サイクリックビニル系高分子化合物，ビニルアセタール
系高分子化合物，ポリエーテル系高分子化合物，ポリア
ミド系高分子化合物，ポリエステル系高分子化合物，ハ
ロゲン系高分子化合物，シリコン系高分子化合物からな
る群より選択される少なくとも１つが用いられる。これ
らの薄膜はその膜表面近傍にエステル基、エーテル基、
ケトン基、イオン帯電基あるいは長鎖アルキル基を有し
ており、これらは各種の化学物質との特異的な相互作用
により、化学物質を選択的に吸着させることができる。
これにより化学物質認識のパターン化が容易となり、パ
ターン認識能が９９％まで向上できる。

【００１１】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００１２】［実施例１］図１は本発明のマルチヘッド
型化学センサの要部の構成を示す概略斜視図であり、図
２は、図１に示したセンサのヘッド部の構成を示す概略
断面図である。図１において、符合１はマルチヘッド
部、２は発振回路である。この例のマルチヘッド部１は
４つのヘッド３から構成されている。このマルチヘッド
型化学センサは、同時に多数の化学物質を定量的に検出
・測定するためのものであるので、このためマルチヘッ
ド部１のヘッド３にはそれぞれ専用の発振回路２が接続
されている。

【００１３】なお、同時検出を目的とすることなく、多
数の化学物質を１種類ずつ順次検出するためのマルチヘ
ッド型化学センサの場合には、必要な多数のヘッド３を
１つの発振回路２に切替スイッチを介して接続し、スイ
ッチの切替により特定のヘッド３のみを発振回路２に接
続できるように構成することができる。

【００１４】この例のヘッド３は、図２に示すようにそ
れぞれ水晶振動子４と、この水晶振動子４の両面の特定
領域に真空蒸着法などの通常の薄膜堆積法により形成さ
れた下地電極５と、この下地電極５を覆うように水晶振
動子４の両面にディッピング法により有機高分子薄膜６
とから構成されている。例えば、下地電極５の面積を
０．２Ｃｍ² とし、薄膜６の膜厚を０．３９〜０．６５
μｍの範囲とすることがきる。この高分子膜厚において
は下地電極の種類による影響は観測されなかった。水晶
振動子４はＡＴカット１０ＭＨ_Z 基本波振動のものであ
る。例えば、１ｎｇの化学物質が有機高分子薄膜６に吸
着した場合、水晶振動子４により発振する発振回路２の
振動数が１Ｈ_Z ／ｃｍ² だけ減少する。この周波数変化
から化学物質の吸着量を評価できる。

【００１５】下記の高分子材料（化１：ポリスチレン，
化２：ポリ塩化ビニル，化３：ポリ酢酸ビニル，化４：
ポリメチルメタクリレート，化５：ポリビニルブチラー
ル，化６：ポリジオクタデシルジメチルアンモニウムス
チレンスルホネート，化７：ポリビニルピロリドン，化
８：ポリアクリリック酸，化９：ポリアクリルアミド，
化１０：ポリビニルアルコール，化１１：フェノキシレ
ジン，化１２：ポリカーボネート，化１３：ポリスルホ
ン，化１４：ポリエチレンオキシド，化１５：ポリカプ
ロラクトン，化１６：ポリ−２，６−ジメチル−Ｐ−フ
ェニレンオキシドを１種類ずつ専用の水晶振動子上に塗
布し、乾燥後１５種類の匂い物質（化１９：水，化２
０：エチルアルコール，化２１：ｎ−アミルアルコー
ル，化２２：酢酸，化２３：イソアミルアルコール，化
２４：ヘキサン，化２５：ゲラニオール，化２６：シト
ラール，化２７：±カンファ，化２８： Ｌ−メントー
ル，化２９：２−ヒドロキシ−３−メチル−２−シクロ
ペンテノン，化３０：ベンズアルデヒド，化３１：ｍ−
アニスアルデヒド，化３２：ペンチルアルコール，化３
３：オイゲノール）にさらし、匂い物質の吸着に伴う周
波数変化を観察した。

【００１６】

【化１】

【００１７】

【化２】

【００１８】

【化３】

【００１９】

【化４】

【００２０】

【化５】

【００２１】

【化６】

【００２２】

【化７】

【００２３】

【化８】

【００２４】

【化９】

【００２５】

【化１０】

【００２６】

【化１１】

【００２７】

【化１２】

【００２８】

【化１３】

【００２９】

【化１４】

【００３０】

【化１５】

【００３１】

【化１６】

【００３２】

【００３３】

【００３４】

【化１９】

【００３５】

【化２０】

【００３６】

【化２１】

【００３７】

【化２２】

【００３８】

【化２３】

【００３９】

【化２４】

【００４０】

【化２５】

【００４１】

【化２６】

【００４２】

【化２７】

【００４３】

【化２８】

【００４４】

【化２９】

【００４５】

【化３０】

【００４６】

【化３１】

【００４７】

【化３２】

【００４８】

【化３３】

【００４９】測定は上記匂い物質を１５０ｍｌの容器中
で飽和させて行った。匂い物質としてイソアミルアセテ
ートを用いた場合の典型的な周波数の経時変化の例を図
３に示す。応答速度は数秒程度で、飽和状態に達する時
間は１０秒程度のものと数分以上要するものの２種類存
在する。この遅い飽和速度の存在は匂い物質の吸着に拡
散過程が存在することを示しており、吸着量評価のため
には吸着量の時間依存性を考慮する必要がある。したが
って、パターン認識には比較的飽和状態に近い３分後の
周波数変化量（ΔＦ）を観測値として用いることにし
た。

【００５０】図４には高分子膜厚を変化させた場合のΔ
Ｆ値を示す。すなわち、縦軸にイソアミルアセテート飽
和３分後の周波数変化ΔＦ値を示し、横軸に高分子薄膜
を示した。匂い物質としてイソアミルアセテート、被覆
高分子化合物としてポリ（ジオクタデシルジメチルアン
モニウムスチレンスルホネート）を用いた場合である。
膜厚の増加と共に振動数変化量の増加がみられ、吸着量
は高分子膜厚に比例したかたちとなる。このことから、
センサの高感度化には膜厚を増加させる必要があるが、
応答速度とのバランスから０．６μｍ前後の膜厚の有機
高分子薄膜を用いて本実施例のセンサヘッドを構成する
ことにした。

【００５１】図５には、匂い物質としてイソアミルアセ
テート、被覆高分子化合物ポリ（カプロラクトン）を用
いた場合の匂い物質に対するセンサ応答の感度特性を示
す。縦軸は周波数変化量（ΔＦ）、横軸はイソアミルア
セテートの濃度（ｐｐｍｖ）である。図５から明らかよ
うに、少なくとも匂い物質の濃度５００ｐｐｍｖから２
００００ｐｐｍｖの範囲に対して周波数変化量（ΔＦ）
は直線関係にあり、比較的広いダイナミックレンジと高
感度が実現されている。また、いずれの濃度においても
５００回以上の連続繰り返し測定が可能であり、感度の
低下は認められなかった。

【００５２】特異的吸着を利用してマルチヘッド型セン
サを構築し、パターン化による物質認識を行った。特異
性および感度の点からパターン化には次の８つの高分子
化合物を１８種類の高分子化合物から選んで用いたが、
匂い物質によっては他の種類の高分子化合物でマルチヘ
ッドを構成することも可能である。さらに、ヘッドの数
も８ヘッドに限定されるものではなく、匂い物質によっ
て自由な構成が可能である。

【００５３】ａ）芳香族アルデヒドに特異的に応答する
高分子；ポリ（ビニルアセテート）（高分子試料番号：
化３）。

【００５４】ｂ）エステルに特異的に応答する高分子；
ポリ（ビニルブチラール）（高分子試料番号：化５）。

【００５５】ｃ）疎水性バルク構造を有する化合物に特
異的に応答する高分子；ポリ（ジオクタデシルジメチル
アンモニウムスチレンスルホネート）（高分子試料番
号：化６）。

【００５６】ｄ）水，直鎖アルコールに特異的に応答す
る高分子；ポリ（ビニルピロリドン）（高分子試料番
号：化７）。

【００５７】ｅ）水および不飽和結合を有するアルコー
ル，アルデヒドに特異的に応答する高分子：ポリエチレ
ンオキシド（高分子試料番号：化１４）。

【００５８】ｆ）ポリエチレンオキシドと同様な応答を
するが、より疎水性が高い化合物に応答しやすい高分
子；ポリカプロラクトン（高分子試料番号：化１５）。

【００５９】ｇ）ヘキサンなどの疎水性化合物に特異的
に応答する高分子；ポリ（２，６−ジメチル−ｐ−フェ
ニレンオキシド）（高分子試料番号：化１６）。

【００６０】ｈ）エステル，ヘキサンのような疎水性化
合物以外のすべてのアルコール，アルデヒドに特異的に
応答する高分子；ヒドロキシプロピルセルロース（高分
子試料番号：化１８）。

【００６１】図６にこれら高分子化合物に対するイソア
ミルアセテート飽和濃度ΔＦの値をもとにレーダーチャ
ートとしてパターン化した図を示す。図６からエステル
の疎水性を反映して化５および化１６の高分子化合物が
よく応答しているのがわかる。また、低濃度でもこのパ
ターン図は相似形を示し、広いダイナミックレンジでも
分子認識があることが確認できた。

【００６２】［実施例２〜１５］他の匂い物質につい
て、実施例１と同じ実験を行った。その結果を表１に示
した。

【００６３】

【表１】

【００６４】匂い物質の化学構造の違いによって、異な
るパターンが得られ、高い分子認識能が８ヘッドマルチ
ヘッド型化学センサで得られることを確かめた。

【００６５】すなわち、選出した高分子化合物を用いて
各匂い物質応答のパターン化を行った結果、水は化７，
化１４および化１８、ヘキサンは化５，化６及び化１６
の高分子化合物に特異的に吸着した。アルコール類と酢
酸は同様なパターンを有し、その親水性を繁栄して化７
および化１８の高分子化合物に特異的で、エステルは水
酸基やアルデヒド基と比較してその疎水性の大きさから
化５および化１６の高分子化合物によく吸着した。これ
に対して、他の匂い物質は様々な吸着性を示し、同様な
構造をもつシトラールとゲラニオールでは官能基（アル
デヒド基と水酸基）の違いによって異なるパターンを示
した。また、構造は異なるがベンゼン環と水酸基を有す
るフェネチルアルコールとオイゲノールでは類似したパ
ターンを示した。このことは官能基の効果が吸着に繁栄
することを示している。一方、同じアルコール類でも不
飽和結合（ゲラニオール）やフェニル基（フェネチルア
ルコール）の存在により異なるパターンを示した。ま
た、バルク構造をもつカンファー，メントールおよび２
−ヒドロキシ−３−メチル−２−シクロペンテノンでは
官能基が異なるにも拘らず、類似したパターンを示し、
その立体構造に起因した吸着が優先している。よって、
匂い物質の高分子材料への吸着には官能基と立体構造が
反映していると測定できる。

【００６６】［実施例１６］上記の選択性高分子化合物
をヘッド部にもつマルチヘッド型化学センサを用いて各
種コーヒー（モカ，サントス）、各種茶（紅茶，ウーロ
ン茶，麦茶，玄米茶）の匂い認識を実施例１と同様に行
った。この結果を図２１〜図２６に示す。図２１はコー
ヒ（モカ）、図２２はコーヒー（サントス）、図２３は
紅茶、図２４はウーロン茶、図２５は麦茶、図２６は玄
米茶（抹茶入り）の場合のパターン図である。高分子化
合物による特異吸着性の効果があらわれて、極めて実用
的な複合臭にもかかわらず、１００回の繰り返し匂い識
別試験において認識率はいずれの匂いも９９％以上と高
い値を示した。以上のことにより、上記作製のセンサは
各種匂い物質に対して高認識性を有し、十分実用化でき
るものである。

【００６７】上記各実施例では、水晶振動子４に下地電
極５を介して有機高分子薄膜６を設けた構成のヘッド３
を用いたマルチヘッド型化学センサの例を示したが、水
晶振動子に代えて表面弾性波素子（図示略）を用いても
よい。この場合もセンサ感度等の特性上の差異はあるも
のの、類似した匂い物質識別能を示すものとなる。

【００６８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のマルチヘ
ッド型化学センサによれば、実際的な複合臭に対しても
認識率９９％以上という高い識別能を示し、この高い選
択的匂い物質吸着能により高感度の匂い物質センサとな
る。

【００６９】これら機能性有機薄膜を有するセンサは、
これまでの無機半導体センサーのような化学反応を必要
とせず吸着性のみを用いて高認識率、高感度が達成でき
るために種々の化学物質の識別検出に応用できる。した
がって、コーヒーなどの倉庫管理における品質管理、香
料を使用した製品の最終検査、または環境汚染物質の監
視などへの広範な利用が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のマルチヘッド型化学センサのマルチヘ
ッド部の構成を示す概略斜視図である。

【図２】図１に示したマルチヘッド型化学センサのヘッ
ドの構成を示す概略断面である。

【図３】実施例１において得られた匂い物質としてのイ
ソアミルアセテートの周波数応答特性を示すグラフであ
る。

【図４】実施例１において得られた匂い物質としてのイ
ソアミルアセテートの選択性を有する高分子ポリ（ジオ
クタデシルジメチルアンモニウムスチレンスルホネー
ト）（高分子試料番号：化６）の膜厚と相対感度の関係
を示すグラフである。

【図５】匂い物質としてイソアミルアセテート、被覆高
分子ポリ（カプロラクトン）（高分子試料番号：化５）
を用いた場合の匂い物質のセンサー感度特性を示すグラ
フである。

【図６】実施例１で得られたイソアミルアセテートに対
するレーダーチャート型匂いパターン図である。

【図７】実施例２で得られた水に対するレーダーチャー
ト型匂いパターン図である。

【図８】実施例３で得られたエチルアルコールに対する
レーダーチャート型匂いパターン図である。

【図９】実施例４で得られたｎ−アミルアルコールに対
するレーダーチャート型匂いパターン図である。

【図１０】実施例５で得られた酢酸に対するレーダーチ
ャート型匂いパターン図である。

【図１１】実施例６で得られたヘキサンに対するレーダ
ーチャートー型匂いパターン図である。

【図１２】実施例７で得られたゲラニオールに対するレ
ーダーチャート型匂いパターン図である。

【図１３】実施例８で得られたシトラールに対するレー
ダーチャート型匂いパターン図である。

【図１４】実施例９で得られた（±）−カンファーに対
するレーダーチャート型匂いパターン図である。

【図１５】実施例１０で得られたＬ−（−）−メントー
ルに対するレーダーチャート型匂いパターン図である。

【図１６】実施例１１で得られた２−ヒドロキシ−３−
メチル−２−シクロペンテノンに対するレーダーチャー
ト型匂いパターン図である。

【図１７】実施例１２で得られたベンズアルデヒドに対
するレーダーチャート型匂いパターン図である。

【図１８】実施例１３で得られたｍ−アニスアルデヒド
に対するレーダーチャート型匂いパターン図である。

【図１９】実施例１４で得られたフェネチルアルコール
に対するレーダーチャート型匂いパターン図である。

【図２０】実施例１５で得られたオイゲノールに対する
レーダーチャート型匂いパターン図である。

【図２１】実施例１６で行ったコーヒー（モカ）の匂い
識別パターン図である。

【図２２】コーヒー（サントス）の匂い識別パターン図
である。

【図２３】紅茶の匂い識別パターン図である。

【図２４】ウーロン茶の匂い識別パターン図である。

【図２５】麦茶の匂い識別パターン図である。

【図２６】玄米茶（抹茶入り）の匂い識別パターン図で
ある。

【符号の説明】

１ マルチヘッド部 ２ 発振回路 ３ ヘッド ４ 水晶振動子 ５ 下地電極 ６ 有機高分子薄膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01N 29/18 G01N 5/02

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水晶振動子および表面弾性波素子のうち
   少なくとも一方の表面に電極を介して、におい物質を選
   択的に吸着する有機薄膜を設けてなるヘッドを複数個含
   み、個々のヘッドの固有振動数の変化からにおい物質を
   判定するマルチヘッド型化学センサにおいて、 前記有機薄膜が、ポリイオン系高分子化合物、アクリル
   系高分子化合物、メタクリル系高分子化合物、アロマテ
   ィックビニル系高分子化合物、アリファティックビニル
   またはビニリデン系高分子化合物、ヘテロサイクリック
   ビニル系高分子化合物、ビニルアセタール系高分子化合
   物、ポリエーテル系高分子化合物、ポリアミド系高分子
   化合物、ポリエステル系高分子化合物、ハロゲン系高分
   子化合物、およびシリコン系高分子化合物からなる群よ
   り選択される少なくとも１つの高分子化合物からなるこ
   とを特徴とするマルチヘッド型化学センサ。