JP2971779B2 - 水素・酸素発生装置のための純水供給装置 - Google Patents
水素・酸素発生装置のための純水供給装置Info
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- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/36—Hydrogen production from non-carbon containing sources, e.g. by water electrolysis
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- Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造工程の際
の酸化被膜生成処理及び各種熱処理工程、ならびに、原
子力発電装置の冷却水配管の腐食防止用など各種工業分
野において必要とされる高純度の酸素ガス及び水素ガス
を製造するための水素・酸素発生装置に関する。
の酸化被膜生成処理及び各種熱処理工程、ならびに、原
子力発電装置の冷却水配管の腐食防止用など各種工業分
野において必要とされる高純度の酸素ガス及び水素ガス
を製造するための水素・酸素発生装置に関する。
【０００２】より詳細には、前述した水素・酸素発生装
置の水電解セルの陽極室に全有機炭素含有量（ＴＯＣ）
の極めて低い純水を供給するための純水供給装置に関す
る。
置の水電解セルの陽極室に全有機炭素含有量（ＴＯＣ）
の極めて低い純水を供給するための純水供給装置に関す
る。
【０００３】
【従来の技術】従来より、前述した各種工業分野に使用
する酸素ガス及び水素ガスは、水素ガスについては、食
塩電解や石油精製の際に発生する副成ガスを、触媒燃焼
精製法などを用いてある程度の純度の水素ガスに精製し
た後、ガスボンベに高圧にして充填して、使用者に供給
され使用されている。
する酸素ガス及び水素ガスは、水素ガスについては、食
塩電解や石油精製の際に発生する副成ガスを、触媒燃焼
精製法などを用いてある程度の純度の水素ガスに精製し
た後、ガスボンベに高圧にして充填して、使用者に供給
され使用されている。
【０００４】一方、酸素ガスについては、空気をジュー
ルトムソン法により液化し、深冷分離法により沸点差を
利用して分離し、ある程度の高純度の酸素ガスが作ら
れ、これを液体酸素の状態で工場のコールドエバポレー
タ（酸素ガス発生装置）に供給し、 これを気化してガス
に使用したり、ガスボンベに高圧にして充填して、使用
者に供給され使用されている。
ルトムソン法により液化し、深冷分離法により沸点差を
利用して分離し、ある程度の高純度の酸素ガスが作ら
れ、これを液体酸素の状態で工場のコールドエバポレー
タ（酸素ガス発生装置）に供給し、 これを気化してガス
に使用したり、ガスボンベに高圧にして充填して、使用
者に供給され使用されている。
【０００５】しかしながら、このように供給される酸素
及び水素等のガスには、窒素、炭酸ガス、一酸化炭素、
炭化水素、アルゴン等の不純物も含まれており、これら
は完全には除去されず、そのためにさらに不純物を除去
・精製するため、吸着材による吸着処理やパラジューム
膜透過法等のような高度の純化処理法により、個別に純
化処理して精製して使用しているのが実状である。とこ
ろが、このような純化処理法によっても除去が困難な窒
素等の不純物があり、例えば、半導体分野などにおいて
は、昨今の素子の高純度化においては、このような残存
不純物が問題となっていた。
及び水素等のガスには、窒素、炭酸ガス、一酸化炭素、
炭化水素、アルゴン等の不純物も含まれており、これら
は完全には除去されず、そのためにさらに不純物を除去
・精製するため、吸着材による吸着処理やパラジューム
膜透過法等のような高度の純化処理法により、個別に純
化処理して精製して使用しているのが実状である。とこ
ろが、このような純化処理法によっても除去が困難な窒
素等の不純物があり、例えば、半導体分野などにおいて
は、昨今の素子の高純度化においては、このような残存
不純物が問題となっていた。
【０００６】このような、従来における問題を解決する
ために、本発明者等は、特開平5-287570号において、図
３に示したように、ポーラスな固体電解質120 、例え
ば、カチオン交換膜（フッ素樹脂系スルフォン酸カチオ
ン交換膜、例えば、デュポン社製「ナフィオン117 」）
の両面に白金族金属等からなる多孔質の陽極122 及び陰
極124 を接合した構造の固体高分子電解質膜121 を隔膜
として用い、陽極室112と陰極室114 とに分離した構造
の水電解セルを用いて、陽極室に純水を供給しながら電
気分解して、陽極室から酸素ガスを、陰極室から水素ガ
スをそれぞれ発生するように構成した水電解セルを用い
た水素・酸素発生装置を提案した。
ために、本発明者等は、特開平5-287570号において、図
３に示したように、ポーラスな固体電解質120 、例え
ば、カチオン交換膜（フッ素樹脂系スルフォン酸カチオ
ン交換膜、例えば、デュポン社製「ナフィオン117 」）
の両面に白金族金属等からなる多孔質の陽極122 及び陰
極124 を接合した構造の固体高分子電解質膜121 を隔膜
として用い、陽極室112と陰極室114 とに分離した構造
の水電解セルを用いて、陽極室に純水を供給しながら電
気分解して、陽極室から酸素ガスを、陰極室から水素ガ
スをそれぞれ発生するように構成した水電解セルを用い
た水素・酸素発生装置を提案した。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
水素・酸素発生装置における純水供給装置としては、図
４に示したように、先ず原水を逆浸透膜装置などからな
る一次純水装置202 によって純水Ｃを製造する。ところ
が、この一次純水装置202 のみでは、純水中に全有機炭
素含有量（ＴＯＣ）が高く、このＴＯＣの高い純水を電
気分解セルに供給すると、電解電圧が上昇し、固体電解
質膜の寿命が短くなるという問題があった。
水素・酸素発生装置における純水供給装置としては、図
４に示したように、先ず原水を逆浸透膜装置などからな
る一次純水装置202 によって純水Ｃを製造する。ところ
が、この一次純水装置202 のみでは、純水中に全有機炭
素含有量（ＴＯＣ）が高く、このＴＯＣの高い純水を電
気分解セルに供給すると、電解電圧が上昇し、固体電解
質膜の寿命が短くなるという問題があった。
【０００８】このため、従来では、図４に示したよう
に、全有機炭素含有量（ＴＯＣ）を低減するための紫外
線酸化装置206 、純水中の白金などの金属イオンを除去
するためのイオン交換樹脂装置208 、ファイナルフィル
ター209 からなる二次純水装置が必要となり、このた
め、装置が複雑化し、コストも高くなるという問題があ
った。
に、全有機炭素含有量（ＴＯＣ）を低減するための紫外
線酸化装置206 、純水中の白金などの金属イオンを除去
するためのイオン交換樹脂装置208 、ファイナルフィル
ター209 からなる二次純水装置が必要となり、このた
め、装置が複雑化し、コストも高くなるという問題があ
った。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような現
状に鑑みて、水素・酸素発生装置の水電解セルの陽極室
に、全有機炭素含有量（ＴＯＣ）の極めて低い純水を供
給するための純水供給装置を提供することを目的とす
る。
状に鑑みて、水素・酸素発生装置の水電解セルの陽極室
に、全有機炭素含有量（ＴＯＣ）の極めて低い純水を供
給するための純水供給装置を提供することを目的とす
る。
【００１０】ところで、水電解セルにおいては、水を陽
極側に供給しながら電気分解することにより、図３に示
したように、陽極側では、2H2 O →O 2 ＋4H+ ＋4e- の
ような反応が起こり酸素ガスが発生し、陰極側では、4H
+ ＋4e- →2H2 の反応が起こり水素ガスが発生するもの
である。この陽極側の出口水では、陽極室内でのどのよ
うな作用によってかは現在のところ不明ではあるが、後
述した表１に示したように、供給した純水中に含まれる
全有機炭素含有量（ＴＯＣ）の約10％程度が低減される
ことが判明している。
極側に供給しながら電気分解することにより、図３に示
したように、陽極側では、2H2 O →O 2 ＋4H+ ＋4e- の
ような反応が起こり酸素ガスが発生し、陰極側では、4H
+ ＋4e- →2H2 の反応が起こり水素ガスが発生するもの
である。この陽極側の出口水では、陽極室内でのどのよ
うな作用によってかは現在のところ不明ではあるが、後
述した表１に示したように、供給した純水中に含まれる
全有機炭素含有量（ＴＯＣ）の約10％程度が低減される
ことが判明している。
【００１１】従って、本発明者等は、このように全有機
炭素含有量（ＴＯＣ）が低下した出口水を、水電解セル
の陽極室に循環、供給することによって、より全有機炭
素含有量（ＴＯＣ）の低下した純水を、水素・酸素発生
装置の水電解セルの陽極室に供給することができ、前述
した紫外線酸化装置206 が不要になることを知見して本
発明を完成したものである。
炭素含有量（ＴＯＣ）が低下した出口水を、水電解セル
の陽極室に循環、供給することによって、より全有機炭
素含有量（ＴＯＣ）の低下した純水を、水素・酸素発生
装置の水電解セルの陽極室に供給することができ、前述
した紫外線酸化装置206 が不要になることを知見して本
発明を完成したものである。
【００１２】すなわち、本発明は、前述したような従来
技術における課題及び目的を達成するために発明なされ
たものであって、その構成要旨とするところは、下記の
（１）〜（２）である。
技術における課題及び目的を達成するために発明なされ
たものであって、その構成要旨とするところは、下記の
（１）〜（２）である。
【００１３】（１）固体電解質膜を隔膜として用いて、
陽極側と陰極側とに分離して、陽極側に純水を供給しな
がら純水を電気分解して、陽極側から酸素ガスを、陰極
側から水素ガスをそれぞれ発生するように構成した水電
解セルからなる水素・酸素発生装置に純水を供給するた
めの純水供給装置であって、水電解セルの陽極室で生じ
た全有機炭素含有量（ＴＯＣ）の極めて低い出口水を、
水電解セルの陽極室に循環する循環経路を設け、逆浸透
膜装置を含む一次純水装置で製造した純水を補充水とし
て、前記水電解セルの陽極室に、前記陽極室側出口水と
ともに水電解セルの陽極室に供給するように構成したこ
とを特徴とする純水供給装置。
陽極側と陰極側とに分離して、陽極側に純水を供給しな
がら純水を電気分解して、陽極側から酸素ガスを、陰極
側から水素ガスをそれぞれ発生するように構成した水電
解セルからなる水素・酸素発生装置に純水を供給するた
めの純水供給装置であって、水電解セルの陽極室で生じ
た全有機炭素含有量（ＴＯＣ）の極めて低い出口水を、
水電解セルの陽極室に循環する循環経路を設け、逆浸透
膜装置を含む一次純水装置で製造した純水を補充水とし
て、前記水電解セルの陽極室に、前記陽極室側出口水と
ともに水電解セルの陽極室に供給するように構成したこ
とを特徴とする純水供給装置。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいてより
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１５】図１は、本発明の純水供給装置の一実施例
の全体構成を示す図であり、１は全体で、本発明の純水
供給装置を示している。図２は、その水電解セルの部分
を拡大した状態を示す概略図である。
の全体構成を示す図であり、１は全体で、本発明の純水
供給装置を示している。図２は、その水電解セルの部分
を拡大した状態を示す概略図である。
【００１６】本純水供給装置１では、原水をプレフィル
ター、逆浸透膜装置、イオン交換樹脂装置などからなる
一次純水装置２において純水化した純水は、装置始動時
の供給純水として、及び補充水として、貯留タンク４か
ら、純水中の接液部材から溶出してくるごく微量の金属
イオンを除去するためのイオン交換樹脂装置８、イオン
交換樹脂装置８から発生する微粒子を捕捉するために、
精密ろ過膜又は限外ろ過膜からなるファイナルフィルタ
ー９を介して、水電解セル10の陽極室12に供給されるよ
うに構成されている。
ター、逆浸透膜装置、イオン交換樹脂装置などからなる
一次純水装置２において純水化した純水は、装置始動時
の供給純水として、及び補充水として、貯留タンク４か
ら、純水中の接液部材から溶出してくるごく微量の金属
イオンを除去するためのイオン交換樹脂装置８、イオン
交換樹脂装置８から発生する微粒子を捕捉するために、
精密ろ過膜又は限外ろ過膜からなるファイナルフィルタ
ー９を介して、水電解セル10の陽極室12に供給されるよ
うに構成されている。
【００１７】そして、この水電解セル10では、その陽極
側に供給された純水Ａを電気分解して、陽極室12から酸
素ガスを、陰極室14から水素ガスをそれぞれ発生するよ
うに、例えば、図２に示したような構造を有するもので
ある。具体的には、ポーラスな固体電解質20、例えば、
カチオン交換膜（フッ素樹脂系スルフォン酸カチオン交
換膜、例えば、デュポン社製「ナフィオン117 」）の両
面に白金族金属等からなる多孔質の陽極22及び陰極24を
化学的に無電解メッキで接合した構造の固体高分子電解
質膜21を隔膜として用いた陽極室12と陰極室14とに分離
した構造の水電解セル10によって、陽極室12に純水を供
給しながら電気分解して、陽極室12から酸素ガスを、陰
極室14から水素ガスをそれぞれ発生するように構成した
ものである。
側に供給された純水Ａを電気分解して、陽極室12から酸
素ガスを、陰極室14から水素ガスをそれぞれ発生するよ
うに、例えば、図２に示したような構造を有するもので
ある。具体的には、ポーラスな固体電解質20、例えば、
カチオン交換膜（フッ素樹脂系スルフォン酸カチオン交
換膜、例えば、デュポン社製「ナフィオン117 」）の両
面に白金族金属等からなる多孔質の陽極22及び陰極24を
化学的に無電解メッキで接合した構造の固体高分子電解
質膜21を隔膜として用いた陽極室12と陰極室14とに分離
した構造の水電解セル10によって、陽極室12に純水を供
給しながら電気分解して、陽極室12から酸素ガスを、陰
極室14から水素ガスをそれぞれ発生するように構成した
ものである。
【００１８】さらに、この水電解セル10の陽極室12で生
じた出口水Ｂは、出口水循環経路５を介して、貯留タン
ク４に導入されて、イオン交換樹脂装置８、ファイナル
フィルター９から水電解セル10の陽極室12側に循環、供
給されるようになっている。
じた出口水Ｂは、出口水循環経路５を介して、貯留タン
ク４に導入されて、イオン交換樹脂装置８、ファイナル
フィルター９から水電解セル10の陽極室12側に循環、供
給されるようになっている。
【００１９】この場合、本装置の始動時には、貯留タン
ク４と一次純水装置２との間に設けられたバルブ６を開
けて、貯留タンク４へ導入された純水が、イオン交換樹
脂装置８、ファイナルフィルター９から、水電解セル10
の陽極室12に供給され、電気分解が行われる。また、電
解操作時には、バルブ６を閉じて、水電解セル10の陽極
室12で生じた出口水Ｂが、出口水循環経路５を介して、
貯留タンク４に導入されて、イオン交換樹脂装置８、フ
ァイナルフィルター９を介して、水電解セル10の陽極室
12側に循環、供給され、電気分解が継続される。
ク４と一次純水装置２との間に設けられたバルブ６を開
けて、貯留タンク４へ導入された純水が、イオン交換樹
脂装置８、ファイナルフィルター９から、水電解セル10
の陽極室12に供給され、電気分解が行われる。また、電
解操作時には、バルブ６を閉じて、水電解セル10の陽極
室12で生じた出口水Ｂが、出口水循環経路５を介して、
貯留タンク４に導入されて、イオン交換樹脂装置８、フ
ァイナルフィルター９を介して、水電解セル10の陽極室
12側に循環、供給され、電気分解が継続される。
【００２０】ところで、水電解セルの陽極に最初に供給
した純水の約３％程度が水電解に消費されるために、電
解に際しては、これを補充するために補充水が必要であ
るが、この補充水は、出口水循環経路５に設けられた水
量センサー７の検知結果に基づいて、予め定められた一
定値より低下した場合に、バルブ６を開けるように構成
して、一次純水装置２において純水化された純水が、補
充水として再び純水供給経路４を介して水電解セル10の
陽極室12に供給されるようになっている。
した純水の約３％程度が水電解に消費されるために、電
解に際しては、これを補充するために補充水が必要であ
るが、この補充水は、出口水循環経路５に設けられた水
量センサー７の検知結果に基づいて、予め定められた一
定値より低下した場合に、バルブ６を開けるように構成
して、一次純水装置２において純水化された純水が、補
充水として再び純水供給経路４を介して水電解セル10の
陽極室12に供給されるようになっている。
【００２１】なお、この水電解セル10の陽極側には、水
電解セル10の陽極室で発生した酸素を気液分離するため
の酸素ガス用気液分離装置（図示せず）が接続される一
方、水電解セル10の陰極側には、水電解セル10の陰極室
で発生した水素を気液分離するための水素ガス用気液分
離装置（図示せず）が接続されている。
電解セル10の陽極室で発生した酸素を気液分離するため
の酸素ガス用気液分離装置（図示せず）が接続される一
方、水電解セル10の陰極側には、水電解セル10の陰極室
で発生した水素を気液分離するための水素ガス用気液分
離装置（図示せず）が接続されている。
【００２２】そして、この両気液分離装置において気液
分離された酸素ガス及び水素ガスはそれぞれ、例えば、
モレキュラーシーブなどから構成される除湿装置（図示
せず）に導入され、ガスに含まれる水分がそれぞれ除去
された後、酸素ガス及び水素ガス利用施設（図示せず）
に適宜供給されるようになっている。
分離された酸素ガス及び水素ガスはそれぞれ、例えば、
モレキュラーシーブなどから構成される除湿装置（図示
せず）に導入され、ガスに含まれる水分がそれぞれ除去
された後、酸素ガス及び水素ガス利用施設（図示せず）
に適宜供給されるようになっている。
【００２３】なお、後述した表１に示すように、陽極側
の出口水中のＴＯＣは、供給した純水の約10％程度低減
されるため、この出口水を、水電解セルの陽極室に循
環、供給することによって、出口水循環経路５内を流れ
る純水、及び水電解セルの陽極室に供給される純水中の
ＴＯＣがさらに低減されることとなる。従って、従来の
ように二次純水装置に紫外線酸化装置206 などのＴＯＣ
除去装置を設ける必要がなく、二次純水装置の構成が簡
素化できる。
の出口水中のＴＯＣは、供給した純水の約10％程度低減
されるため、この出口水を、水電解セルの陽極室に循
環、供給することによって、出口水循環経路５内を流れ
る純水、及び水電解セルの陽極室に供給される純水中の
ＴＯＣがさらに低減されることとなる。従って、従来の
ように二次純水装置に紫外線酸化装置206 などのＴＯＣ
除去装置を設ける必要がなく、二次純水装置の構成が簡
素化できる。
【００２４】（実施例1 ）フッ素樹脂系スルフォン酸カ
チオン交換膜（デュポン社製「ナフィオン117 」）厚さ
180 μm の両面に、白金からなる多孔質の陽極及び陰極
を化学的に無電解メッキで接合（厚さ数μm ）した構造
の固体高分子電解質膜を２枚組み込んだ水電解セルを具
備した本発明の装置を用いて、純水（比抵抗17.3 MΩ・
cm、水温35.6℃）を1.0 l/min の流量で、陽極側に供給
した後、供給を停止して、5V、150Aまたは300Aで数時間
通電した。その際、水電解セルの陽極側出口水を水電解
セルの陽極側に循環して供給した。なお、この場合、補
充水として、水量センサーなどにより上記純水を適宜供
給した。その結果、水電解セルの陽極側に供給した純水
及び陽極側出口水のＴＯＣを分析した。その結果を下記
の表１に示した。
チオン交換膜（デュポン社製「ナフィオン117 」）厚さ
180 μm の両面に、白金からなる多孔質の陽極及び陰極
を化学的に無電解メッキで接合（厚さ数μm ）した構造
の固体高分子電解質膜を２枚組み込んだ水電解セルを具
備した本発明の装置を用いて、純水（比抵抗17.3 MΩ・
cm、水温35.6℃）を1.0 l/min の流量で、陽極側に供給
した後、供給を停止して、5V、150Aまたは300Aで数時間
通電した。その際、水電解セルの陽極側出口水を水電解
セルの陽極側に循環して供給した。なお、この場合、補
充水として、水量センサーなどにより上記純水を適宜供
給した。その結果、水電解セルの陽極側に供給した純水
及び陽極側出口水のＴＯＣを分析した。その結果を下記
の表１に示した。
【００２５】表１から明らかなように、水電解セルの陽
極側の出口水中のＴＯＣは、供給した純水中に含まれる
ＴＯＣよりも約10％低減されていることがわかる。従っ
て、本発明のように、水電解セルの陽極側の出口水を循
環した方法では、徐々にＴＯＣの低減された出口水を供
給水として用いることができる。すなわち、何回か循環
させることによって、ＴＯＣの少ない供給水を水電解セ
ルに供給することができるので、従来のように、紫外線
酸化装置が不要となり、装置のコンパクト化、コストの
低減が図れる。
極側の出口水中のＴＯＣは、供給した純水中に含まれる
ＴＯＣよりも約10％低減されていることがわかる。従っ
て、本発明のように、水電解セルの陽極側の出口水を循
環した方法では、徐々にＴＯＣの低減された出口水を供
給水として用いることができる。すなわち、何回か循環
させることによって、ＴＯＣの少ない供給水を水電解セ
ルに供給することができるので、従来のように、紫外線
酸化装置が不要となり、装置のコンパクト化、コストの
低減が図れる。
【００２６】
【表１】
【００２７】
【発明の作用効果】本発明の水素・酸素発生装置のため
の純水供給装置によれば、水電解セルの陽極室で生じた
溶存不純物ガス濃度の極めて低い出口水を、水電解セル
の陽極室に循環して供給することによって、不純物濃度
の極めて低い高純度の酸素を得るようにし、さらに、純
水を予め脱気装置によって脱気した溶存不純物ガス濃度
の極めて低い純水を補充水として、前記水電解セルの陽
極室に、前記陽極室側出口水とともに水電解セルの陽極
室に供給するようにしたので、下記に示したような顕著
で特有な作用効果を奏する極めて優れた発明である。
の純水供給装置によれば、水電解セルの陽極室で生じた
溶存不純物ガス濃度の極めて低い出口水を、水電解セル
の陽極室に循環して供給することによって、不純物濃度
の極めて低い高純度の酸素を得るようにし、さらに、純
水を予め脱気装置によって脱気した溶存不純物ガス濃度
の極めて低い純水を補充水として、前記水電解セルの陽
極室に、前記陽極室側出口水とともに水電解セルの陽極
室に供給するようにしたので、下記に示したような顕著
で特有な作用効果を奏する極めて優れた発明である。
【００２８】（１）全有機炭素含有量（ＴＯＣ）が低下
した出口水を、水電解セルの陽極室に循環、供給するこ
とによって、より全有機炭素含有量（ＴＯＣ）の低下し
た純水を、水素・酸素発生装置の水電解セルの陽極室に
供給することができ、従来のように紫外線酸化装置が不
要となり、装置のコンパクト化、コストの低減が図れ
る。
した出口水を、水電解セルの陽極室に循環、供給するこ
とによって、より全有機炭素含有量（ＴＯＣ）の低下し
た純水を、水素・酸素発生装置の水電解セルの陽極室に
供給することができ、従来のように紫外線酸化装置が不
要となり、装置のコンパクト化、コストの低減が図れ
る。
【００２９】（２）従って、素子の高純度化が要求され
ている半導体製造におけるウェハの酸化、CVD 、エッチ
ングなどにおいても、製品性能に及ぼす影響が少なく、
また、その他の高純度の酸素が要求されている様々な産
業分野に使用することができ、その産業に貢献するとこ
ろが非常に大きい極めて優れた発明である。
ている半導体製造におけるウェハの酸化、CVD 、エッチ
ングなどにおいても、製品性能に及ぼす影響が少なく、
また、その他の高純度の酸素が要求されている様々な産
業分野に使用することができ、その産業に貢献するとこ
ろが非常に大きい極めて優れた発明である。
【図１】 図１は、本発明の純水供給装置の一実施例の
全体構成を示す概略図である。
全体構成を示す概略図である。
【図２】 図３は、図１の水電解セルの部分を拡大した
状態を示す概略図である。
状態を示す概略図である。
【図３】 図３は、従来の水電解セルの概略図である。
【図４】 図４は、従来の純水供給装置の概略図であ
る。
る。
１…純水供給装置 ２…一次純水装置 ４…貯留タンク ５…出口水循環経路 ６…バルブ ７…水量センサー ８…イオン交換樹脂装置 ９…ファイナルフィルター 10…水電解セル 12…陽極室 14…陰極室 20…固体電解質 21…固体高分子電解質膜 22…陽極 24…陰極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安井 信一 兵庫県加古郡播磨町野添４丁目108 タ ウニーＳ Ａ−202号 (72)発明者 小林 宏子 兵庫県神戸市長田区名倉町５丁目８番11 号 (72)発明者 原田 宙幸 東京都練馬区西大泉２−25−43 (56)参考文献 特開 平６−206701（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−126883（ＪＰ，Ａ) 実開 昭64−7267（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−37471（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−64569（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C25B 1/00 - 15/08
Claims (1)
- 【請求項１】 固体電解質膜を隔膜として用いて、陽極
側と陰極側とに分離して、陽極側に純水を供給しながら
純水を電気分解して、陽極側から酸素ガスを、陰極側か
ら水素ガスをそれぞれ発生するように構成した水電解セ
ルからなる水素・酸素発生装置に純水を供給するための
純水供給装置であって、 水電解セルの陽極室で生じた全有機炭素含有量（ＴＯ
Ｃ）の極めて低い出口水を、水電解セルの陽極室に循環
する循環経路を設け、 逆浸透膜装置を含む一次純水装置で製造した純水を補充
水として、前記水電解セルの陽極室に、前記陽極室側出
口水とともに水電解セルの陽極室に供給するように構成
したことを特徴とする純水供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7123340A JP2971779B2 (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 水素・酸素発生装置のための純水供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7123340A JP2971779B2 (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 水素・酸素発生装置のための純水供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08319593A JPH08319593A (ja) | 1996-12-03 |
| JP2971779B2 true JP2971779B2 (ja) | 1999-11-08 |
Family
ID=14858149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7123340A Expired - Fee Related JP2971779B2 (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 水素・酸素発生装置のための純水供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2971779B2 (ja) |
-
1995
- 1995-05-23 JP JP7123340A patent/JP2971779B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08319593A (ja) | 1996-12-03 |
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