【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は窒化アルミニウム焼
結体およびその製造方法に関し、更に詳しくは、高密度
で、熱伝導性が良好な窒化アルミニウム焼結体と、それ
を低温で製造することができる方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】窒化アルミニウム（ＡｌＮ）は常温から
高温までの強度が高く、化学的耐性にも優れているた
め、耐熱材料として用いられる一方、その高熱伝導性、
高電気絶縁性を利用して半導体装置の放熱板材料として
も有望視されている。こうしたＡｌＮは、通常、融点を
持たず、２２００℃以上の高温で分解するため、薄膜な
どの用途を除いては焼結体として用いられる。
【０００３】かかるＡｌＮ焼結体は、通常、ＡｌＮ粉末
を成形、焼結して得られる。しかし、ＡｌＮ粉末を単独
で用いた場合には焼結性が良好でないために、ホットプ
レス法による以外には緻密、すなわち、高密度の焼結体
を得ることが困難である。そこで、常圧で焼結する場合
には、通常焼結体の高密度化を目的として、ＡｌＮ粉末
に、焼結助剤として、希土類酸化物或いはアルカリ土類
金属酸化物を添加することが一般に行なわれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように焼結助剤を
添加することにより、確かに焼結体の密度はかなり高め
られたが、しかし地方で、かかるＡｌＮ焼結体の熱伝導
率は酸素その他の不純物および粒界の存在などにより予
想されるよりも低いというのが現状であった。すなわ
ち、ＡｌＮの理論熱伝導率が３２０Ｗ／ｍ・ｋであるの
に対し、ＡｌＮ焼結体のそれは高々４０Ｗ／ｍ・ｋであ
る。
【０００５】更に、通常のＡｌＮ粉末を焼結する際の温
度は通常１８００℃以上と非常に高く、そのためにＡｌ
Ｎ焼結体の製造コストの低減が阻まれていた。
【０００６】本発明は上述した従来の問題を解消し、高
密度で、しかも、高熱伝導率を有し、且つ強度の高いＡ
ｌＮ焼結体を得ることを目的とする。
【０００７】本発明者らは、ＡｌＮ粉末に添加される焼
結助剤と、得られた焼結体の密度並びに熱伝導率との関
係を種々検討した結果、以下に述べる知見を得た。すな
わち、従来は焼結助剤として、希土類元素の酸化物又は
アルカリ土類金属酸化物の何れか一方を単独で用いてい
たが、これらを同時に使用すると、単独で用いた場合に
比べて低い１７００℃以下の焼結温度で高密度および高
熱伝導率（７９Ｗ／ｍ・ｋ以上）のＡｌＮ焼結体が得ら
れるという事実である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の窒化
アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウムと、希土類ア
ルミニウム酸化物およびアルカリ土類アルミニウム酸化
物よりなり、実質的にケイ素又はケイ素化合物を含まな
いことを特徴とする。この窒化アルミニウム焼結体を得
るためには、例えば窒化アルミニウム粉末に、（ａ）希
土類酸化物および焼成によってこれらの酸化物となる化
合物よりなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物の
粉末、並びに、（ｂ）アルカリ土類酸化物および焼成に
よってこれらの酸化物となる化合物よりなる群から選ば
れた少なくとも１種の化合物の粉末を、酸化物の重量に
換算して合計で０．０１〜２０重量％添加したのち、成
形、焼結する。
【０００９】本発明のＡｌＮ焼結体は、その構成相を微
視的に監察すると、ＡｌＮ結晶粒の粒界に希土類アルミ
ニウム酸化物およびアルカリ土類アルミニウム酸化物が
析出し、該ＡｌＮ結晶粒表面で固溶体を形成している。
希土類元素が例えばイットリウム（Ｙ）である場合、上
記アルミニウムとの酸化物は３Ｙ2 Ｏ3 ・５Ａｌ
2 Ｏ3 ，Ｙ2 Ｏ3 ・Ａｌ2 Ｏ3 などの化合物である。一
方、アルカリ土類元素が、例えばカルシウム（Ｃａ）で
ある場合のアルミニウム酸化物はＣａＯ・６Ａｌ2 Ｏ3
ＣａＯ・２Ａｌ2 Ｏ3 ，ＣａＯ・Ａｌ2 Ｏ3 などの化合
物である。かかるＡｌＮ焼結体においてＡｌＮ結晶粒の
構成比は全体の８０〜９９．９９重量％であることが好
ましい。
【００１０】本発明のＡｌＮ焼結体を得る場合は、酸素
の含有量が０．００１〜７重量％であるようなＡｌＮ粉
末に適用して特に有用である。また焼結助剤として添加
する希土類元素としては、Ｙ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｓｍ，Ｄ
ｙ，Ｎｄ，Ｇｄ，Ｐｒ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｙｂなどがあげら
れ、とくに、Ｙ，Ｌａ，Ｃｅは好ましいものである。こ
れらの希土類元素は、１種又は２種以上がそれぞれ酸化
物、或いは焼成により酸化物となるような化合物の粉末
として、上記ＡｌＮ粉末に添加される。焼成により酸化
物となる化合物としては、これら元素の炭酸塩、硝酸
塩、シュウ酸塩などがあげられる。
【００１１】さらに、アルカリ土類金属としては、Ｍ
ｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａなどがあげられ、とくにＣａ，Ｓ
ｒ，Ｂａは好ましい。これらのアルカリ土類金属も上記
と同様、そのうちの１種又は２種以上が、それぞれ酸化
物、或いは、焼成により酸化物となる化合物の粉末とし
てＡｌＮ粉末に添加される。焼成により酸化物となる化
合物としては、これら金属の炭酸塩、硝酸塩、シュウ酸
塩、水酸化物或いはこれらの水和物などがあげられる。
【００１２】上記した希土類元素化合物粉末およびアル
カリ土類金属化合物粉末はそれぞれ酸化物の状態に換算
して合計で０．０１〜２０重量％添加される。合計の添
加量が０．０１重量％未満の場合は目的とする効果が得
られず、一方、２０重量％を超えると耐熱性および機械
的強度が損なわれるばかりか、熱伝導性も低下してしま
う。合計の添加量は、好ましくは、０．０１〜１７重量
％である。
【００１３】焼結助剤を添加することにより、焼結体の
熱伝導率が上昇する原因は、現在のところ不明な点が多
いが、次のように推定することができる。すなわちこれ
らの焼結助剤は、焼結時に酸化物となり、且つ、ＡｌＮ
粉末中に不可避的に混入している不純物酸素と複合酸化
物を形成してＡｌＮ結晶粒界中に析出する。これによ
り、ＡｌＮと不純物酸素の反応により生ずるスピネル型
化合物、すなわち、（ＡｌＮ）x （Ａｌ2 Ｏ3 ）
y （ｘ，ｙはそれぞれ自然数を表わす）およびＡｌＮの
多形例えばＡｌ9 Ｏ3 Ｎ7 などの発生が抑制され、熱伝
導率が良好に保たれるものと考えられる。
【００１４】さらに焼結体の構成相をＸ線回折法で調査
したところＣａＣＯ3 を単独に含む助剤を用いると、Ｃ
ａＣＯ3 添加量によってＡｌＮ相以外にアルミニウムの
酸化物（ＡＬＯＮ），ＡｌＮの多形，ＣａＯ・６Ａｌ2
Ｏ3 ，ＣａＯ・２Ａｌ2 Ｏ3，ＣａＯ・Ａｌ2 Ｏ3 など
の化合物が生成し、Ｙ2 Ｏ3 を助剤とした時は同じく添
加量によってＡＬＯＮ，ＡｌＮの多形，３Ｙ2 Ｏ3 ・５
Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｙ2 Ｏ3・Ａｌ2 Ｏ3 などの化合物が生成
される。しかるに、ＣａＣＯ3 から成る助剤の場合にお
いても焼結体の構成相は上述のＣａＯとＡｌ2 Ｏ3 の化
合物と、Ｙ2 Ｏ3 とＡｌ2 Ｏ3 の化合物が生成されるの
みでＣａＯとＹ2 Ｏ3 の化合物は生成していない。しか
し、焼結温度が各々、ＣａＣＯ3 ，Ｙ2 Ｏ3 単独の場合
よりも低温化することから考えて、ＣａＯとＹ2 Ｏ3 と
の間に何らかの相互作用が生じていると予測される。
【００１５】又、使用するＡｌＮ粉末および焼結助財粉
末の粒径は、平均粒径でともに５μｍ以下であり、好ま
しくは４μｍ以下である。
【００１６】
【発明の実施の形態】次いで、本発明のＡｌＮ焼結体の
一例を製造プロセスをもとにして説明する。
【００１７】先ず、ＡｌＮ粉末に、焼結助剤として上記
した希土類元素化合物およびアルカリ土類金属化合物よ
りなる粉末を所定量添加したのちボールミル等を用いて
混合する。焼結には常圧焼結法、ホットプレス焼結法な
どを使用することができる。常圧焼結法による場合は、
混合粉末にバインダーを加え、混練、造粒、整粒を行っ
たのち成形する。成形法としては、金型プレス、静水圧
プレス或いはシート成形などが適用できる。続いて、成
形体を例えばＮ2 ガス気流中で加熱してバインダーを除
去したのち、常圧焼結する。
【００１８】一方、ホットプレス焼結法による場合は、
前記ボールミル等で混合した原料を直接ホットプレスす
ればよい。
【００１９】かかる工程において、常圧焼結法による場
合も、ホットプレス焼結法による場合も、焼結温度は１
７００℃以下でよく、実用上は、１６００〜１７００℃
である。
【００２０】このように、従来に比べて低い温度で焼結
が進行する理由は末だつまびらかではないが、焼結工程
において、希土類元素酸化物とアルカリ土類金属酸化物
とが何らかの相互作用をもつことによるものと推考され
る。そしてこのようにして得られたＡｌＮ焼結体中には
ケイ素又はケイ素化合物などが実質的に含まれていな
い。
【００２１】
【実施例】
（実施例１）不純物としての酸素を３．６重量％含有
し、平均粒径が２．２μｍのＡｌＮ粉末に、平均粒径
２．５μｍのＣａＣＯ3 およびＹ2 Ｏ3 の混合粉末（重
量比３：２）を３重量％添加し、ボールミルを用いて粉
砕、混合を行ない原料を調製した。次いで、この原料に
パラフィンを７重量％添加して造粒したのち、３００ｋ
ｇ／ｃｍ2 の圧力でプレス成形して３０×３０×８ｍｍ
の圧粉体とした。この圧粉体を窒素ガス雰囲気中で７０
０℃まで加熱してパラフィンを除去した。更に、カーボ
ン型中に収容し、窒素ガス雰囲気中、１７００℃におい
て２時間常圧焼結した。得られたＡｌＮ焼結体の密度を
測定した。又、焼結体から直径１０ｍｍ、厚さ３．５ｍ
ｍの円板を研削し、これを試験片としてレーザフラッシ
ュ法により熱伝導率を測定した。結果を表１に示した。
（実施例２〜１０）ＡｌＮ粉末の種類並びに焼結助剤粉
末の種類を種々に変えて、上記実施例１と同様にしてＡ
ｌＮ焼結体を製造し、それぞれについて、同じく密度お
よび熱伝導率を測定した。結果を各ＡｌＮ粉末の粒径、
酸素含有量、焼結助剤の種類、混合比、粒径、添加量と
ともに表１に示した。
（比較例１）実施例１で用いたＡｌＮ粉末のみから実施
例１と同様にしてＡｌＮ焼結体を製造した。
（比較例２）実施例１で用いたＡｌＮ粉末に、平均粒径
２．４μｍのＣａＣＯ3 粉末をＣａＯに換算して３重量
％添加し、実施例１と同様にＡｌＮ焼結体を製造した。
（比較例３）実施例１で用いたＡｌＮ粉末に、平均粒径
２．５μｍのＹ2 Ｏ3 粉末を３重量％を添加し、実施例
１と同様にＡｌＮ焼結体を製造した。
【００２２】これら比較例１〜３で得られたＡｌＮ焼結
体それぞれについても、実施例１と同様に密度および熱
伝導率を測定した。結果を表１に併記した。
【００２３】
【表１】【００２４】
【表２】
次に不純物としての酸素を１．４重量％含有し、平均粒
径が１．２μｍのＡｌＮ粉末に、平均粒径２．５μｍの
ＣａＣＯ3 および平均粒径０．８μｍのＹ2 Ｏ3 の混合
粉末（重量比１：１）を２．８重量％添加し、上記実施
例１と同様の方法により、１６００℃、１６５０℃、１
７００℃、１７５０℃および１８００℃の各温度で２時
間焼結し、それぞれ得られたＡｌＮ焼結体について実施
例１と同様に密度および熱伝導率を測定し、結果を図１
および図２において○印により示した。
【００２５】比較のために、上記と同様のＡｌＮ粉末に
平均粒径２．５μｍのＣａＣＯ3 ５種類％を添加した原
料粉および平均粒径０．８μｍのＹ2 Ｏ3 ２．８重量％
を添加した原料粉を使用して、上記と同様各温度で焼結
を行い、得られた焼結体の密度および熱伝導率を測定し
結果を図１、図２に△印および□印により示した。
【００２６】図１および図２からも明らかなように、本
発明のＡｌＮ焼結体は、焼結温度が１６５０℃付近とな
った時点で、高密度且つ高伝導率となるため、従来のＡ
ｌＮ焼結体に比べ製造コストを低く抑えることが可能で
ある。
【００２７】尚、本発明においては、焼結助剤として上
記したものの他に炭素或いはＮｉＯなどを添加してもよ
い。
【００２８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のＡｌＮ焼結体は高密度であり、且つ高熱伝導率を有
し、また本発明のＡｌＮ焼結体を得る方法にあっては、
焼結温度が１７００℃以下と従来に比べて低い温度であ
るため、ＡｌＮ焼結体の強度が強くなり、その工業的価
値は極めて大であり、とくに、半導体装置などの放熱板
材料として有用である。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aluminum nitride sintered body and a method for producing the same, and more particularly, to a high-density aluminum nitride sintered body having good thermal conductivity. And methods by which it can be produced at low temperatures. 2. Description of the Related Art Aluminum nitride (AlN) has high strength from room temperature to high temperature and excellent chemical resistance. Therefore, aluminum nitride (AlN) is used as a heat-resistant material.
Promising as a heat sink material for semiconductor devices utilizing high electrical insulation. Such AlN does not usually have a melting point and decomposes at a high temperature of 2200 ° C. or higher, so that it is used as a sintered body except for applications such as thin films. [0003] Such an AlN sintered body is usually obtained by molding and sintering an AlN powder. However, when AlN powder is used alone, sinterability is not good, and it is difficult to obtain a dense, that is, high-density sintered body except by the hot press method. Therefore, when sintering at normal pressure, it is generally common to add a rare earth oxide or an alkaline earth metal oxide as a sintering aid to AlN powder for the purpose of increasing the density of the sintered body. Is being done. [0004] Although the density of the sintered body has been considerably increased by the addition of the sintering aid as described above, the heat of the AlN sintered body is locally increased. At present, the conductivity is lower than expected due to the presence of oxygen and other impurities and the presence of grain boundaries. That is, while the theoretical thermal conductivity of AlN is 320 W / mk, that of the AlN sintered body is at most 40 W / mk. [0005] Furthermore, the temperature for sintering ordinary AlN powder is usually as high as 1800 ° C. or higher, and
Reduction of the manufacturing cost of the N sintered body has been hindered. The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and has a high density, high thermal conductivity and high strength.
The purpose is to obtain an 1N sintered body. The present inventors have conducted various studies on the relationship between the sintering aid added to AlN powder and the density and thermal conductivity of the obtained sintered body, and have obtained the following findings. That is, conventionally, either one of a rare earth element oxide or an alkaline earth metal oxide was used alone as a sintering aid, but when these are used simultaneously, 1700 lower than that when used alone. This is a fact that an AlN sintered body having a high density and a high thermal conductivity (79 W / m · k or more) can be obtained at a sintering temperature of not more than ℃. That is, the aluminum nitride sintered body of the present invention comprises aluminum nitride, a rare earth aluminum oxide and an alkaline earth aluminum oxide, and substantially comprises silicon or a silicon compound. It is not included. In order to obtain this aluminum nitride sintered body, for example, powder of at least one compound selected from the group consisting of (a) a rare earth oxide and a compound that becomes these oxides by firing is added to aluminum nitride powder, and , (B) a powder of at least one compound selected from the group consisting of alkaline earth oxides and compounds that become these oxides by firing; After the addition by weight%, it is molded and sintered. When the constituent phases of the AlN sintered body of the present invention are inspected microscopically, rare earth aluminum oxide and alkaline earth aluminum oxide are precipitated at the grain boundaries of the AlN crystal grains, and the surface of the AlN crystal grains is precipitated. To form a solid solution.
When the rare earth element is, for example, yttrium (Y), the oxide with aluminum is 3Y 2 O 3 .5Al
Compounds such as 2 O 3 and Y 2 O 3 .Al 2 O 3 . On the other hand, the alkaline earth elements, aluminum oxide when it is for instance calcium (Ca) is CaO · 6Al 2 O 3
CaO · 2Al 2 O 3, is a compound such as CaO · Al 2 O 3. In such an AlN sintered body, the composition ratio of AlN crystal grains is preferably 80 to 99.99% by weight of the whole. When the AlN sintered body of the present invention is obtained, it is particularly useful when applied to an AlN powder having an oxygen content of 0.001 to 7% by weight. The rare earth elements added as sintering aids include Y, La, Ce, Sm, D
Examples include y, Nd, Gd, Pr, Ho, Er, and Yb, and Y, La, and Ce are particularly preferable. One or more of these rare earth elements are added to the AlN powder as a powder of an oxide or a compound that becomes an oxide when fired. Compounds that become oxides upon firing include carbonates, nitrates, and oxalates of these elements. Further, examples of the alkaline earth metal include M
g, Ca, Sr, Ba and the like.
r and Ba are preferred. Similarly to the above, one or more of these alkaline earth metals are each added to the AlN powder as a powder of an oxide or a compound that becomes an oxide upon firing. Examples of the compound which becomes an oxide upon firing include carbonates, nitrates, oxalates, hydroxides and hydrates of these metals. The above rare earth element compound powder and alkaline earth metal compound powder are each added in a total amount of 0.01 to 20% by weight in terms of oxide state. If the total amount is less than 0.01% by weight, the desired effect cannot be obtained. On the other hand, if it exceeds 20% by weight, not only the heat resistance and mechanical strength are impaired, but also the thermal conductivity is reduced. I will. The total amount added is preferably 0.01 to 17% by weight. The cause of the increase in the thermal conductivity of the sintered body due to the addition of the sintering aid is currently unknown in many ways, but can be estimated as follows. That is, these sintering aids become oxides during sintering,
A complex oxide is formed with impurity oxygen unavoidably mixed in the powder and precipitates in the AlN crystal grain boundaries. Thereby, a spinel-type compound generated by the reaction between AlN and impurity oxygen, that is, (AlN) x (Al 2 O 3 )
It is considered that the generation of y (x and y each represent a natural number) and the polymorphism of AlN such as Al 9 O 3 N 7 are suppressed, and the thermal conductivity is kept good. Further examination of the constituent phases of the sintered body by X-ray diffraction revealed that when an auxiliary containing CaCO 3 alone was used, C
Depending on the amount of aCO 3 added, other than the AlN phase, aluminum oxide (ALON), polymorph of AlN, CaO · 6Al 2
O 3, compounds such as CaO · 2Al 2 O 3, CaO · Al 2 O 3 is generated, ALON by same amount added when the Y 2 O 3 and auxiliaries, polymorph AlN, 3Y 2 O 3 · 5
Compounds such as Al 2 O 3 and Y 2 O 3 .Al 2 O 3 are produced. However, even in the case of the auxiliary agent consisting of CaCO 3 , the constituent phases of the sintered body are only the compounds of CaO and Al 2 O 3 and the compound of Y 2 O 3 and Al 2 O 3 described above, and CaO and No Y 2 O 3 compound was formed. However, considering that the sintering temperatures are lower than those of CaCO 3 and Y 2 O 3 alone, it is predicted that some interaction occurs between CaO and Y 2 O 3 . The average particle diameter of the AlN powder and the sintering aid powder used is 5 μm or less, preferably 4 μm or less. Next, an example of the AlN sintered body of the present invention will be described based on a manufacturing process. First, a predetermined amount of the above-mentioned powder of the rare earth element compound and the alkaline earth metal compound as a sintering aid is added to the AlN powder, and then mixed using a ball mill or the like. For sintering, a normal pressure sintering method, a hot press sintering method, or the like can be used. In the case of normal pressure sintering,
A binder is added to the mixed powder, kneaded, granulated, and sized, and then molded. As a molding method, a die press, an isostatic press, a sheet molding or the like can be applied. Subsequently, the molded body is heated, for example, in a stream of N 2 gas to remove the binder, and then sintered under normal pressure. On the other hand, in the case of the hot press sintering method,
The raw materials mixed by the ball mill or the like may be directly hot pressed. In this step, the sintering temperature is 1 regardless of whether the sintering method is the normal pressure sintering method or the hot press sintering method.
The temperature may be 700 ° C or less, and practically, 1600 to 1700 ° C
It is. As described above, the reason why sintering proceeds at a lower temperature than in the past is not unclear, but in the sintering step, the rare earth element oxide and the alkaline earth metal oxide form some interaction. It is presumed to be due to having. The AlN sintered body thus obtained contains substantially no silicon or silicon compound. (Example 1) An AlN powder containing 3.6% by weight of oxygen as an impurity and having an average particle size of 2.2 μm was added to CaCO 3 and Y 2 O having an average particle size of 2.5 μm. 3 % by weight of the mixed powder (3: 2 by weight) of No. 3 was added, and the mixture was pulverized and mixed using a ball mill to prepare a raw material. Next, after adding 7% by weight of paraffin to the raw material and granulating,
Press molding with a pressure of g / cm 2 30 × 30 × 8mm
Of a green compact. This green compact is placed in a nitrogen gas atmosphere at 70
Heat to 0 ° C. to remove paraffin. Furthermore, it was accommodated in a carbon mold and sintered under normal pressure at 1700 ° C. for 2 hours in a nitrogen gas atmosphere. The density of the obtained AlN sintered body was measured. In addition, diameter 10mm, thickness 3.5m from the sintered body
m was ground, and this was used as a test piece to measure the thermal conductivity by a laser flash method. The results are shown in Table 1. (Examples 2 to 10) A type was changed in the same manner as in Example 1 except that the type of AlN powder and the type of sintering aid powder were variously changed.
1N sintered bodies were manufactured, and the density and thermal conductivity were measured for each of them. The result is the particle size of each AlN powder,
Table 1 shows the oxygen content, the type of sintering aid, the mixing ratio, the particle size, and the amount added. Comparative Example 1 An AlN sintered body was manufactured in the same manner as in Example 1 from only the AlN powder used in Example 1. (Comparative Example 2) To the AlN powder used in Example 1 was added 3% by weight of CaCO 3 powder having an average particle size of 2.4 µm in terms of CaO, and an AlN sintered body was manufactured in the same manner as in Example 1. . Comparative Example 3 To the AlN powder used in Example 1 was added 3% by weight of Y 2 O 3 powder having an average particle size of 2.5 μm, and an AlN sintered body was manufactured in the same manner as in Example 1. The density and thermal conductivity of each of the AlN sintered bodies obtained in Comparative Examples 1 to 3 were measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. [Table 1] [Table 2] Then containing oxygen 1.4 wt% as an impurity, to an average particle size of 1.2 [mu] m AlN powder, mixed powder of an average particle diameter of 2.5 [mu] m CaCO3 and the average particle diameter 0.8μm of Y 2 O 3 2.8% by weight (1: 1 by weight) was added, and 1600 ° C., 1650 ° C., 1
Sintering was performed at 700 ° C., 1750 ° C., and 1800 ° C. for 2 hours. The density and thermal conductivity of the obtained AlN sintered bodies were measured in the same manner as in Example 1, and the results were shown in FIG.
2 and FIG. For comparison, a raw material powder obtained by adding 5% by weight of CaCO 3 having an average particle size of 2.5 μm to the same AlN powder as described above and 2.8% by weight of Y 2 O 3 having an average particle size of 0.8 μm
Sintering was performed at each temperature in the same manner as described above using the raw material powder to which was added, and the density and thermal conductivity of the obtained sintered body were measured. The results are shown in FIG. 1 and FIG. Indicated. As is clear from FIGS. 1 and 2, the AlN sintered body of the present invention has a high density and a high conductivity at a sintering temperature of about 1650.degree.
The production cost can be reduced as compared with the 1N sintered body. In the present invention, carbon or NiO may be added as a sintering aid in addition to those described above. As is apparent from the above description, the AlN sintered body of the present invention has a high density and a high thermal conductivity. If so,
Since the sintering temperature is 1700 ° C. or lower, which is lower than before, the strength of the AlN sintered body is increased, and its industrial value is extremely large. is there.
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例を示すもので、焼結温度と得
られたＡｌＮ焼結体の密度との関係を示す図。
【図２】 本技術の実施例を示すもので、焼結温度と得
られたＡｌＮ焼結体の熱伝導率との関係を示す図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1, showing an embodiment of the present invention, is a diagram showing a relationship between a sintering temperature and a density of an obtained AlN sintered body. FIG. 2, showing an example of the present technology, is a diagram illustrating a relationship between a sintering temperature and a thermal conductivity of an obtained AlN sintered body.
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(72)発明者 安斎 和雄
神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地
株式会社 東芝 総合研究所内
(72)発明者 柘植 章彦
神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地
株式会社 東芝 総合研究所内
(56)参考文献 特開 昭59−194183（ＪＰ，Ａ)
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Continuation of front page
(72) Inventor Kazuo Ansai
1 Komukai Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa
Toshiba Research Institute, Inc.
(72) Inventor Akihiko Tsuge
1 Komukai Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa
Toshiba Research Institute, Inc.
(56) References JP-A-59-194183 (JP, A)