JP2960191B2 - データ検査装置 - Google Patents
データ検査装置Info
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- JP2960191B2 JP2960191B2 JP3076947A JP7694791A JP2960191B2 JP 2960191 B2 JP2960191 B2 JP 2960191B2 JP 3076947 A JP3076947 A JP 3076947A JP 7694791 A JP7694791 A JP 7694791A JP 2960191 B2 JP2960191 B2 JP 2960191B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はデータ照合用検査データ
について短時間に効果的に検査するデータ検査装置に関
する。デバイスの状態を検査するとき、高精度と高速化
は当然要求される。通常は両者を同時に満足することが
困難であるが、デバイスの全体を同一精度では検査しな
くて良いときに、両者を同時に満足したい要望が起こ
る。そのような場合に対処できる技術を開発することが
要望された。
について短時間に効果的に検査するデータ検査装置に関
する。デバイスの状態を検査するとき、高精度と高速化
は当然要求される。通常は両者を同時に満足することが
困難であるが、デバイスの全体を同一精度では検査しな
くて良いときに、両者を同時に満足したい要望が起こ
る。そのような場合に対処できる技術を開発することが
要望された。
【０００２】
【従来の技術】或るデバイスの状態を検査するとき、一
つのデータ形式で得るときはそのデータ形式による単一
の精度が設定されるのみであった。例えば図４に示すよ
うに半導体集積回路を製造する工程において使用するレ
チクルについて説明する。図４において、１はデータ照
合用検査データ格納部、２はレチクル、３は発光部、４
は受光部、５は照合回路、６は検査結果データ格納部を
示す。半導体集積回路をＣＡＤシステムを活用すること
などにより設計するとき、基本設計データに基づいてレ
チクルについての検査データと、露光データとを取り出
すことができる。データ照合用検査データ格納部１には
前記レチクルについての検査データを格納しておく。一
方、レチクルについて前記レクチルについての露光デー
タにより製作したものを、図４に示すようにその一方端
から他方端にわたって光による検査を行う。そして受光
部４から得られた逐次データについて、前記データ照合
用検査データ１とを照合回路５において照合する。レチ
クル２が正常に製作されているとき、照合回路５の照合
結果は総て正常であるという結果データも格納部６に格
納される。
つのデータ形式で得るときはそのデータ形式による単一
の精度が設定されるのみであった。例えば図４に示すよ
うに半導体集積回路を製造する工程において使用するレ
チクルについて説明する。図４において、１はデータ照
合用検査データ格納部、２はレチクル、３は発光部、４
は受光部、５は照合回路、６は検査結果データ格納部を
示す。半導体集積回路をＣＡＤシステムを活用すること
などにより設計するとき、基本設計データに基づいてレ
チクルについての検査データと、露光データとを取り出
すことができる。データ照合用検査データ格納部１には
前記レチクルについての検査データを格納しておく。一
方、レチクルについて前記レクチルについての露光デー
タにより製作したものを、図４に示すようにその一方端
から他方端にわたって光による検査を行う。そして受光
部４から得られた逐次データについて、前記データ照合
用検査データ１とを照合回路５において照合する。レチ
クル２が正常に製作されているとき、照合回路５の照合
結果は総て正常であるという結果データも格納部６に格
納される。
【０００３】一般にレチクルの周辺部は全体的に無地の
板状部となっていて、中央部分の開孔部と比べて大きさ
の精度は必要としない。しかし従来の場合は図４に示す
ようにレチクル２の中央部分も周辺部も全く同じやり方
で検査をしていた。
板状部となっていて、中央部分の開孔部と比べて大きさ
の精度は必要としない。しかし従来の場合は図４に示す
ようにレチクル２の中央部分も周辺部も全く同じやり方
で検査をしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】デバイスのうち充分に
検査をすべき場所は検査精度を向上するため、検査装置
をハードウェアとして高精度のものを使用する必要があ
る。しかし同一デバイスであれば、充分に検査すること
を要しない場所に対しても、同一の高精度で検査を行っ
た。そのため検査は高い精度で得られたが、長時間を要
した。なおデバイスに塵埃が付着した場合はそこが高精
度に検査することを要する場所であれば、欠陥ありと判
断しなければならないが、周辺部においては同一の塵埃
を擬似欠陥と判断することで良い。周辺部のみに欠陥が
存在する場合は不良品と判断すべき欠陥ではないもの
を、中央部と同様に判断すると欠陥ありと判断すること
が生じた。
検査をすべき場所は検査精度を向上するため、検査装置
をハードウェアとして高精度のものを使用する必要があ
る。しかし同一デバイスであれば、充分に検査すること
を要しない場所に対しても、同一の高精度で検査を行っ
た。そのため検査は高い精度で得られたが、長時間を要
した。なおデバイスに塵埃が付着した場合はそこが高精
度に検査することを要する場所であれば、欠陥ありと判
断しなければならないが、周辺部においては同一の塵埃
を擬似欠陥と判断することで良い。周辺部のみに欠陥が
存在する場合は不良品と判断すべき欠陥ではないもの
を、中央部と同様に判断すると欠陥ありと判断すること
が生じた。
【０００５】本発明の目的は前述の欠点を改善し、高精
度な検査を必要とする場所はそのように検査を行い、必
ずしも高精度を要しない所は低い精度で検査を行うよう
にした検査装置を提供することにある。
度な検査を必要とする場所はそのように検査を行い、必
ずしも高精度を要しない所は低い精度で検査を行うよう
にした検査装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理構成
を示す図である。図１において、１はデータ照合用検査
データ、５は第１照合回路、７は製品検査部、８はデー
タ変換回路、９は照合結果データ格納部、１０はデータ
抽出回路、１１は第２検査部、１２は第２照合回路を示
す。データ照合用検査データ１を、製品を検査したデー
タと照合する照合回路５により検査するデータ検査装置
において、本発明は下記の構成とする。即ち、前記デー
タ照合用検査データ１を精度のより低いデータに変換し
て第１照合回路５に印加するデータ変換回路８と、第１
照合回路５により取り出して新たなデータ照合用検査デ
ータを求めるデータ抽出回路１０と、データ９に対応す
る箇所について製品を検査する第２検査部１１と、デー
タ照合用検査データ１と第２検査部１１の検査データと
を照合する第２照合回路とで構成する。
を示す図である。図１において、１はデータ照合用検査
データ、５は第１照合回路、７は製品検査部、８はデー
タ変換回路、９は照合結果データ格納部、１０はデータ
抽出回路、１１は第２検査部、１２は第２照合回路を示
す。データ照合用検査データ１を、製品を検査したデー
タと照合する照合回路５により検査するデータ検査装置
において、本発明は下記の構成とする。即ち、前記デー
タ照合用検査データ１を精度のより低いデータに変換し
て第１照合回路５に印加するデータ変換回路８と、第１
照合回路５により取り出して新たなデータ照合用検査デ
ータを求めるデータ抽出回路１０と、データ９に対応す
る箇所について製品を検査する第２検査部１１と、デー
タ照合用検査データ１と第２検査部１１の検査データと
を照合する第２照合回路とで構成する。
【０００７】
【作用】図１において１点鎖線より上方は従来の検査装
置の構成と同様であり、したがってその基本的動作は同
様である。データ照合用検査データ格納部１のデータに
ついてデータ変換回路８において精度のより低いデータ
に変換する。データ変換回路８の出力データを第１照合
回路５に印加する。一方、製品検査部７において、検査
データを求め第１照合回路５に印加する。このときは製
品検査部７において精度の低い検査を行う。第１照合回
路５により両データを照合して、製品について欠陥があ
るときは欠陥データを格納部９に格納する。次に格納部
９のデータに基づきデータ抽出部１０において、データ
照合用検査データ格納部１から対応する原データを抽出
する。そして第２検査部１１においては、格納部９のデ
ータに対応する箇所についてのみ検査を行い、言わば欠
陥箇所について通常の精度のデータを得る。次に第２照
合回路においてデータ照合用検査データ格納部１の原デ
ータと、第２検査部１１の検査データとを照合する。そ
の結果擬似欠陥であれば照合が取れ、正式欠陥であれば
照合が取れず検査結果のデータが効果的に得られる。
置の構成と同様であり、したがってその基本的動作は同
様である。データ照合用検査データ格納部１のデータに
ついてデータ変換回路８において精度のより低いデータ
に変換する。データ変換回路８の出力データを第１照合
回路５に印加する。一方、製品検査部７において、検査
データを求め第１照合回路５に印加する。このときは製
品検査部７において精度の低い検査を行う。第１照合回
路５により両データを照合して、製品について欠陥があ
るときは欠陥データを格納部９に格納する。次に格納部
９のデータに基づきデータ抽出部１０において、データ
照合用検査データ格納部１から対応する原データを抽出
する。そして第２検査部１１においては、格納部９のデ
ータに対応する箇所についてのみ検査を行い、言わば欠
陥箇所について通常の精度のデータを得る。次に第２照
合回路においてデータ照合用検査データ格納部１の原デ
ータと、第２検査部１１の検査データとを照合する。そ
の結果擬似欠陥であれば照合が取れ、正式欠陥であれば
照合が取れず検査結果のデータが効果的に得られる。
【０００８】
【実施例】図２は本発明の実施例として、データ変換回
路８に１ビットシフト回路を、製品検査部７に従来と同
様なレチクルデータの検査装置を使用する場合を説明す
る図である。図２において、１はデータ照合用検査デー
タ格納部、２はレチクル、３は発光部、５は第１照合回
路、７は製品検査部を全体的に示すもの、９は照合結果
データの格納部、１３はデータ変換回路としての１ビッ
トシフト回路、１４は精度の低いデータを得る受光部、
１５は通常精度のデータを得る受光部で、図２において
は使用しないものを示す。
路８に１ビットシフト回路を、製品検査部７に従来と同
様なレチクルデータの検査装置を使用する場合を説明す
る図である。図２において、１はデータ照合用検査デー
タ格納部、２はレチクル、３は発光部、５は第１照合回
路、７は製品検査部を全体的に示すもの、９は照合結果
データの格納部、１３はデータ変換回路としての１ビッ
トシフト回路、１４は精度の低いデータを得る受光部、
１５は通常精度のデータを得る受光部で、図２において
は使用しないものを示す。
【０００９】図２において、データ照合用検査データの
格納部１には表１に示すデータ例が格納されているとす
る。アドレスのように示すＸ，Ｙ，Ｈ，Ｗはそれぞれレ
クチルの或る範囲データのデータのＸ座標、Ｙ座標、高
さデータ、幅データを示す。またＬＳＢから数えて３桁
と４桁との間に小数点を考える。検査データ格納部１に
おけるデータ例について、１ビットシフト回路３により
ＬＳＢの１ビットを削り、表２に示すデータ例に変換す
る。その結果、当初の検査データは精度が１／８となっ
て第１照合回路５に印加される。製品検査部７における
受光部１４から、精度の低いデータが第１照合回路５に
印加され、前記印加データと照合される。照合の結果、
一致・不一致が判明するため不一致のデータに対し、そ
のデータがデータ照合用検査データ１において、当初か
ら何番目のデータであったかを示す位置データと欠陥デ
ータとを照合結果データ格納部９に格納する。
格納部１には表１に示すデータ例が格納されているとす
る。アドレスのように示すＸ，Ｙ，Ｈ，Ｗはそれぞれレ
クチルの或る範囲データのデータのＸ座標、Ｙ座標、高
さデータ、幅データを示す。またＬＳＢから数えて３桁
と４桁との間に小数点を考える。検査データ格納部１に
おけるデータ例について、１ビットシフト回路３により
ＬＳＢの１ビットを削り、表２に示すデータ例に変換す
る。その結果、当初の検査データは精度が１／８となっ
て第１照合回路５に印加される。製品検査部７における
受光部１４から、精度の低いデータが第１照合回路５に
印加され、前記印加データと照合される。照合の結果、
一致・不一致が判明するため不一致のデータに対し、そ
のデータがデータ照合用検査データ１において、当初か
ら何番目のデータであったかを示す位置データと欠陥デ
ータとを照合結果データ格納部９に格納する。
【００１０】
【表１】
【００１１】
【表２】
【００１２】次に図３は第２検査部とその近辺について
の具体例を示す図であって、図２と結合してデータ検査
装置を形成する。図３において、２，３，１４，１５は
図２と同一のものを示す。１１は第２検査部を全体的に
示し、図３の場合は通常の精度の受光部１５からの出力
データのみを得ている。１２は第２照合回路、１６はレ
チクルを保持するステージの制御部、１７は検査するこ
とを要するデータの格納部、１８は最終結果のデータ格
納部を示す。
の具体例を示す図であって、図２と結合してデータ検査
装置を形成する。図３において、２，３，１４，１５は
図２と同一のものを示す。１１は第２検査部を全体的に
示し、図３の場合は通常の精度の受光部１５からの出力
データのみを得ている。１２は第２照合回路、１６はレ
チクルを保持するステージの制御部、１７は検査するこ
とを要するデータの格納部、１８は最終結果のデータ格
納部を示す。
【００１３】図３において、ステージ制御部１６は照合
結果データ格納部９に格納されたデータにより、欠陥デ
ータの位置を知って、レチクル２を検査するようにステ
ージの位置を制御する。図３においては受光部１５が通
常の精度のものであるが、受光すべきレチクルの対象位
置が図２と比べて少量であるから、第２照合回路１２に
印加されるデータの総量も図２の場合より少ない。デー
タ抽出回路１０において、照合結果データ格納部９のデ
ータに基づき欠陥データに対応するデータ照合用の原検
査データをデータ格納部１から抽出する。そのデータを
必要に応じ、データ格納部１７に格納してから第２照合
回路１２へ印加する。第２照合回路１２の照合は図２の
場合の不一致データについての照合であるから、通常の
精度で少量のデータを照合するのみで良い。したがって
照合結果は、通常の精度で速やかに得られる。
結果データ格納部９に格納されたデータにより、欠陥デ
ータの位置を知って、レチクル２を検査するようにステ
ージの位置を制御する。図３においては受光部１５が通
常の精度のものであるが、受光すべきレチクルの対象位
置が図２と比べて少量であるから、第２照合回路１２に
印加されるデータの総量も図２の場合より少ない。デー
タ抽出回路１０において、照合結果データ格納部９のデ
ータに基づき欠陥データに対応するデータ照合用の原検
査データをデータ格納部１から抽出する。そのデータを
必要に応じ、データ格納部１７に格納してから第２照合
回路１２へ印加する。第２照合回路１２の照合は図２の
場合の不一致データについての照合であるから、通常の
精度で少量のデータを照合するのみで良い。したがって
照合結果は、通常の精度で速やかに得られる。
【００１４】以上は検査データとしてレチクルの場合に
ついて説明したが、本発明はレチクルの検査データに限
らず一般のデータに対しても適用することが出来る。
ついて説明したが、本発明はレチクルの検査データに限
らず一般のデータに対しても適用することが出来る。
【００１５】
【発明の効果】このようにして本発明によると、全デー
タを精度高く検査するのでは無く、一旦精度の低い検査
を行い、欠陥と判断したデータについてのみ、改めて通
常の検査を行う。そのため確実な検査データが短時間に
得られる。検査モードとして精度を高くすれば、それだ
け高精度なデータが得られ、しかも高精度な検査を行う
箇所が少なくて済む。また不必要に高精度な検査を行う
ことがなく、精度を変えて検査するため擬似欠陥を拾う
ことが少ない。
タを精度高く検査するのでは無く、一旦精度の低い検査
を行い、欠陥と判断したデータについてのみ、改めて通
常の検査を行う。そのため確実な検査データが短時間に
得られる。検査モードとして精度を高くすれば、それだ
け高精度なデータが得られ、しかも高精度な検査を行う
箇所が少なくて済む。また不必要に高精度な検査を行う
ことがなく、精度を変えて検査するため擬似欠陥を拾う
ことが少ない。
【図１】本発明の原理構成を示す図である。
【図２】本発明の実施例の構成の一部を示す図である。
【図３】本発明の実施例の構成の他部を示す図である。
【図４】従来のデータ検査装置を説明する図である。
１ データ照合用検査データ・格納部 ５ 第１照合回路 ７ 製品検査部 ８ データ変換回路 ９ 照合結果データ・格納部 １０ データ抽出回路 １１ 第２検査部 １２ 第２照合回路
Claims (1)
- 【請求項１】データ照合用検査データ(1) を、製品を検
査したデータと照合する照合回路(5) により検査するデ
ータ検査装置において、前記データ照合用検査データ
(1) を精度のより低いデータに変換して前記照合回路に
印加するデータ変換回路(8) と、前記照合回路(5) によ
り照合した後のデータ(9) により、前記データ照合用検
査データ(1) 中から所望データを取り出して新たなデー
タ照合用検査データを求めるデータ抽出回路(10)と、デ
ータ(9) に対応する箇所について製品を検査する第２検
査部(11)と、データ照合用検査データ(1) と第２検査部
(11)の検査データとを照合する第２照合回路(12)と、で
構成することを特徴とするデータ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076947A JP2960191B2 (ja) | 1991-03-16 | 1991-03-16 | データ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076947A JP2960191B2 (ja) | 1991-03-16 | 1991-03-16 | データ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04286971A JPH04286971A (ja) | 1992-10-12 |
| JP2960191B2 true JP2960191B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=13619958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3076947A Expired - Fee Related JP2960191B2 (ja) | 1991-03-16 | 1991-03-16 | データ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2960191B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3466286B2 (ja) * | 1994-08-09 | 2003-11-10 | 富士通株式会社 | パターン検査方法及びパターン検査装置 |
| JP4942800B2 (ja) * | 2009-08-18 | 2012-05-30 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査装置 |
-
1991
- 1991-03-16 JP JP3076947A patent/JP2960191B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04286971A (ja) | 1992-10-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990713 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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