JP2956230B2 - Surface defect inspection equipment - Google Patents

Surface defect inspection equipment

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JP2956230B2
JP2956230B2 JP3010542A JP1054291A JP2956230B2 JP 2956230 B2 JP2956230 B2 JP 2956230B2 JP 3010542 A JP3010542 A JP 3010542A JP 1054291 A JP1054291 A JP 1054291A JP 2956230 B2 JP2956230 B2 JP 2956230B2
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painted
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、加工後のワーク表面の
欠陥を検査する表面欠陥検査装置に係り、特に、塗装が
施された後のワーク塗装面のキズ等を高精度に検出する
ことができる表面欠陥検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface defect inspection apparatus for inspecting defects on the surface of a work after processing, and more particularly to detecting a flaw or the like on a painted surface of a work after coating with high accuracy. The present invention relates to a surface defect inspection device that can perform the inspection.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、生産工場等における製造加工工
程には、加工後の製品の品質検査を行う検査工程が設け
られており、自動化の進んだ今日では、通常、作業者に
よる目視検査に代ってカメラ等の光学機器を使用して製
品の品質検査を行うようになっている。
2. Description of the Related Art In general, a manufacturing process in a production plant or the like is provided with an inspection process for inspecting the quality of processed products. Therefore, the quality of the product is inspected using an optical device such as a camera.

【0003】このような品質検査には、加工後の製品の
表面にキズ等の欠陥が存在しているか否かの検査を行う
表面欠陥検査があり、これには、例えば自動車の塗装パ
ネルの塗装面の検査などがある。
Such a quality inspection includes a surface defect inspection for inspecting whether a defect such as a scratch is present on the surface of a processed product, and includes, for example, coating of a painted panel of an automobile. Inspection of the surface.

【0004】従来の塗装面の検査装置としては、例えば
図3に示すようなものがある。この塗装面検査装置は、
ワークたる塗装パネルWの被検査面に光(例えばスリッ
トレーザー光)を照射する光源10と、被検査面からの
反射光を受光し電気信号に変換する一次元センサ11
と、この一次元センサ11からの信号を処理してキズF
の有無を判断する画像処理部12とから構成されてい
る。
[0004] As a conventional painted surface inspection apparatus, for example, there is one as shown in FIG. This painted surface inspection device
A light source 10 for irradiating light (for example, slit laser light) to a surface to be inspected of a coating panel W as a workpiece, and a one-dimensional sensor 11 for receiving light reflected from the surface to be inspected and converting the light into an electric signal
And processing the signal from the one-dimensional sensor 11 to
And an image processing unit 12 for determining the presence / absence of the image.

【0005】この画像処理部12では、例えば図4に示
す手順に従って塗装パネルWのキズが検出される。例え
ば塗装パネルWにキズFが存在する場合、画像処理部1
2は、まず一次元センサ11から図5(A)に示すよう
な波形のビデオ信号を入力し、次いで、二値化回路にお
いて、図5(A)に示すようなレベルの直流電圧(以
下、スレッシュホールドレベルという。)を作成した
後、このスレッシュホールドレベルと入力したビデオ信
号とを比較して図5(B)に示すようなパルス波形の二
値化信号を作り出す。そして、この二値化信号に基づい
てキズFがあると判定する。
[0005] The image processing section 12 detects a flaw in the coating panel W in accordance with, for example, the procedure shown in FIG. For example, when a flaw F exists in the paint panel W, the image processing unit 1
2 first inputs a video signal having a waveform as shown in FIG. 5A from the one-dimensional sensor 11, and then, in a binarization circuit, a DC voltage of a level as shown in FIG. After the threshold level is generated, the threshold level is compared with the input video signal to generate a binarized signal having a pulse waveform as shown in FIG. 5B. Then, it is determined that there is a flaw F based on the binarized signal.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の表面欠陥検査装置にあっては、そもそも一般
にワーク塗装後の塗装面表面にいわゆるうねりが発生し
ていることに起因して、キズの検出のためにビデオ信号
を二値化するにあたってはうねりの影響がないレベルに
スレッシュホールドレベルを設定する必要があるため、
比較的小さいキズの場合にはその検出が困難であった。
However, in such a conventional surface defect inspection apparatus, the so-called undulation generally occurs on the surface of the painted surface after the work is painted. When binarizing the video signal for detection, it is necessary to set the threshold level to a level that does not affect the swell,
It was difficult to detect a relatively small flaw.

【0007】例えば、うねりが小さい(つまり表面の粗
さが少ない)塗装パネル(図6(a)参照)とうねりが
大きい(つまり表面の粗さが多い)塗装パネル(図6
(b)参照)とを比較しつつ同程度の小さいキズFを検
出しようとする場合を見てみると、うねりが小さい場合
には、図6(c)に示すような波形のビデオ信号が得ら
れ、表面の凹凸がほとんどないため二値化のためのスレ
ッシュホールドレベルを高く設定できるので、小さいキ
ズFでも検出することができる。これに対し、うねりが
大きい場合には、図6(d)に示すようなビデオ波形と
なり、キズF部分の窪みが表面の凹凸部分よりあまり落
ち込まないため、スレッシュホールドレベルを高く設定
してしまうと、二値化処理によってキズF部分だけを選
択的に切り出すことができなくなり、小さいキズFの検
出ができなくなってしまう。
For example, a painted panel having a small undulation (that is, a small surface roughness) (see FIG. 6A) and a painted panel having a large undulation (that is, a large surface roughness) (FIG. 6)
Looking at the case where the same small flaw F is detected while comparing with (b), if the undulation is small, a video signal having a waveform as shown in FIG. Since there is almost no surface unevenness, the threshold level for binarization can be set high, so that even a small flaw F can be detected. On the other hand, when the undulation is large, a video waveform as shown in FIG. 6D is obtained, and the depression at the flaw F portion does not fall much less than the uneven portion on the surface. In addition, it becomes impossible to selectively cut out only the flaw F portion by the binarization process, and it becomes impossible to detect a small flaw F.

【0008】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、ワーク表面がいかなる粗さ
であっても小さいキズを検出することができる表面欠陥
検査装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems of the prior art, and provides a surface defect inspection apparatus capable of detecting small scratches regardless of the roughness of a work surface. With the goal.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、ワークの表面の被検査面の粗さを検出する
表面粗度検出手段と、当該表面粗度検出手段により検出
された粗さ情報を記憶する記憶手段と、前記被検査面の
画像を入力する画像入力手段と、当該画像入力手段から
出力された画像信号から前記記憶手段に記憶された粗さ
成分を除去するフィルタ手段と、当該フィルタ手段から
の出力信号を入力し前記ワークの被検査面の表面欠陥の
有無を判断する判断手段とを有することを特徴とするも
のである。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a surface roughness detecting means for detecting the roughness of a surface to be inspected on a surface of a work, and the surface roughness detected by the surface roughness detecting means. Storage means for storing roughness information, image input means for inputting an image of the surface to be inspected, and filter means for removing a roughness component stored in the storage means from an image signal output from the image input means And determination means for inputting an output signal from the filter means and determining presence / absence of a surface defect on the surface to be inspected of the work.

【0010】[0010]

【作用】このように構成した本発明にあっては、表面粗
度検出手段は被検査面の粗さを検出し、この粗さ情報を
記憶手段で記憶し、画像入力手段は被検査面の画像を入
力する。そして、フィルタ手段で、画像入力手段からの
画像信号から記憶手段に記憶された粗さ成分を除去し、
このフィルタ手段からの平滑化された信号に基づいて判
断手段は被検査面の表面欠陥の有無を判断することにな
る。
According to the present invention thus constructed, the surface roughness detection means detects the roughness of the surface to be inspected, the roughness information is stored in the storage means, and the image input means is used for the image input means. Enter an image. Then, the filter unit removes the roughness component stored in the storage unit from the image signal from the image input unit,
The judging means judges the presence or absence of a surface defect on the surface to be inspected based on the smoothed signal from the filter means.

【0011】従って、判断手段は、粗さ成分が除去され
た分だけ画像信号を二値化するためのスレッシュホール
ドレベルを高く設定できるようになるので、より小さい
表面欠陥まで検出できるようになる。
Accordingly, the determination means can set a high threshold level for binarizing the image signal by an amount corresponding to the removal of the roughness component, so that a smaller surface defect can be detected.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図1は、本発明の一実施例に係る表面欠
陥検査装置の概略構成図である。なお、ここでは、被検
査物となるワークとして塗装パネルを例にとって説明す
る。また、図3と同一部材には同一の符号を付してあ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a surface defect inspection apparatus according to one embodiment of the present invention. Here, a painted panel will be described as an example of a workpiece to be inspected. The same members as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals.

【0013】この表面欠陥検査装置は、ワークである塗
装パネルWの塗装面の粗さ(つまりうねり)を検出する
表面粗度計13と、塗装面の被検査面に画像を取るため
の光(例えばスリットレーザー光)を照射する光源10
と、反射光を受光して被検査面の画像を取り込む一次元
センサ11と、被検査面の全ての部分の画像データを取
り得るように塗装パネルW(あるいは光源10及び一次
元センサ11)を移動させるモータ14と、モータ14
の回転角度及び回転速度を検出するエンコーダ15と、
各種機器の動作状態や検査結果等を表示する表示装置1
6と、これらの機器が外部から接続された検査装置本体
17とから構成されている。
This surface defect inspection apparatus includes a surface roughness meter 13 for detecting the roughness (that is, undulation) of a painted surface of a painted panel W, which is a work, and a light (for capturing an image on the inspected surface of the painted surface). Light source 10 for irradiating, for example, a slit laser beam)
And a one-dimensional sensor 11 that receives reflected light and captures an image of the surface to be inspected, and a painted panel W (or light source 10 and one-dimensional sensor 11) so as to capture image data of all portions of the surface to be inspected. Motor 14 to be moved and motor 14
Encoder 15 for detecting the rotation angle and rotation speed of
Display device 1 for displaying the operating status of various devices, inspection results, etc.
6 and an inspection apparatus main body 17 to which these devices are externally connected.

【0014】この検査装置本体17には、前記外部機器
10、11、13〜16の入出力信号の授受を行う入出
力装置18が設けられており、この入出力装置18に
は、表面粗度計13により検出された塗装面の粗さ情報
(例えば、通常塗装面のうねりは一定の周波数成分より
成るので、そのうねりの周波数成分)を記憶する粗さ情
報記憶部19と、一次元センサ11から出力された画像
信号を処理する画像処理部20と、表面粗度計13、一
次元センサ11、光源10、モータ14及び表示装置1
6の動作を制御する機器制御部21とが接続されてお
り、さらに、粗さ情報記憶部19及び画像処理部20に
は、画像処理部20からのビデオ信号から粗さ情報記憶
部19に記憶されている粗さの周波数成分を除去するフ
ィルタ処理を行うフィルタ処理部22が接続され、この
フィルタ処理部22には、フィルタ処理部22からの信
号を二値化して塗装パネルWの被検査面のキズの有無を
検出するキズ検出部23が接続されている。このキズ検
出部23は二値化回路を有している。そして、機器制御
部21は、粗さ情報記憶部19、画像処理部20及びキ
ズ検出部23からの信号に基づいて表面粗度計13やモ
ータ14、表示装置16等の動作を制御するようになっ
ている。
The inspection apparatus main body 17 is provided with an input / output device 18 for transmitting and receiving input / output signals to and from the external devices 10, 11, 13 to 16. The input / output device 18 has a surface roughness. A roughness information storage unit 19 for storing roughness information of the painted surface detected by the total 13 (for example, the swell of a normal painted surface is composed of a constant frequency component, and the frequency component of the swell); Processing unit 20 for processing the image signal output from the camera, surface roughness meter 13, one-dimensional sensor 11, light source 10, motor 14, and display device 1.
6 is connected to a device control unit 21 for controlling the operation of the image processing unit 6. Further, the roughness information storage unit 19 and the image processing unit 20 store the video signal from the image processing unit 20 in the roughness information storage unit 19. A filter processing unit 22 for performing a filtering process for removing the frequency component of the roughness is connected to the filter processing unit 22. A flaw detection unit 23 for detecting the presence / absence of flaws is connected. The flaw detector 23 has a binarization circuit. The device control unit 21 controls the operations of the surface roughness meter 13, the motor 14, the display device 16, and the like based on signals from the roughness information storage unit 19, the image processing unit 20, and the flaw detection unit 23. Has become.

【0015】なお、表面粗度検出手段は表意粗度計13
により、記憶手段は粗さ情報記憶部19により、画像入
力手段は一次元センサ11により、フィルタ手段はフィ
ルタ処理部22により、判断手段はキズ検出部23によ
りそれぞれ形成されている。
The surface roughness detecting means is a ideographic roughness meter 13.
The storage means is formed by the roughness information storage unit 19, the image input means is formed by the one-dimensional sensor 11, the filter means is formed by the filter processing unit 22, and the judgment means is formed by the flaw detection unit 23.

【0016】次に、このように構成された表面欠陥検査
装置の動作について、図2に示す動作フローチャートに
基づいて説明する。
Next, the operation of the thus configured surface defect inspection apparatus will be described with reference to the operation flowchart shown in FIG.

【0017】まず、作業の開始が指令され、プログラム
がスタートすると、検査装置本体17及びこれに接続さ
れる全ての機器の動作状態を初期化し、塗装パネルWの
表面欠陥検査処理の準備を行う。そして、塗装パネルW
が所定の検査位置に配置されると、機器制御部21は、
入出力装置18を介して表面粗度計13を動作させる
(以上、ステップ1)。
First, when the start of work is instructed and the program is started, the operation states of the inspection apparatus main body 17 and all the devices connected thereto are initialized, and preparation for surface defect inspection processing of the coating panel W is performed. And the painting panel W
Is disposed at a predetermined inspection position, the device control unit 21
The surface roughness meter 13 is operated via the input / output device 18 (step 1 above).

【0018】表面粗度計13は、塗装パネルWの塗装面
の被検査面の全ての部分の粗さを数値(鮮映値)の形で
検出し、検査装置本体17は、入出力装置18を介して
表面粗度計13からの鮮映値を塗装面の粗さ情報として
入力する(ステップ2)。
The surface roughness meter 13 detects the roughness of all portions of the surface to be inspected on the painted surface of the painted panel W in the form of numerical values (clear values). Then, the clear image value from the surface roughness meter 13 is input as the roughness information of the painted surface through (step 2).

【0019】そして、粗さ情報記憶部19は、ステップ
2で入力された塗装面の粗さ情報(前述のようにうねり
の周波数成分を含む。)を被検査面の鮮映性データとし
て記憶する。そして、この記憶処理が全て終了すると機
器制御部21に信号を出し、機器制御部21は入出力装
置18を介して表面粗度計13の動作を終了させる(以
上、ステップ3)。
The roughness information storage unit 19 stores the roughness information (including the undulation frequency component as described above) of the painted surface input in step 2 as sharpness data of the surface to be inspected. . Then, when all the storage processes are completed, a signal is sent to the device control unit 21, and the device control unit 21 ends the operation of the surface roughness meter 13 via the input / output device 18 (Step 3 above).

【0020】次いで、機器制御部21は、入出力装置1
8を介して光源10を点灯させると共にモータ14を駆
動して、塗装パネルWの被検査面に光を照射させる。そ
して、一次元センサ11は、被検査面における所定範囲
からの反射光を受光し、これを内部の素子により光電変
換して被検査面の画像を取り込み、この画像信号を入出
力装置18に出力する(以上、ステップ4)。
Next, the device control section 21 controls the input / output device 1
The light source 10 is turned on via the motor 8 and the motor 14 is driven to irradiate the inspection surface of the coating panel W with light. Then, the one-dimensional sensor 11 receives the reflected light from a predetermined range on the surface to be inspected, photoelectrically converts the reflected light into an image of the surface to be inspected, and outputs the image signal to the input / output device 18. (Step 4).

【0021】画像処理部10は、ステップ4において出
力された一次元センサ11からの信号を画像データとし
て記憶する。そして、この記憶処理が終了すると、画像
処理部20は機器制御部21に信号を出力し、機器制御
部21は入出力装置18を介してモータ14を更に作動
させる。これによって、一次元センサ11は被検査面の
異なる部分からの反射光を受光することになる(以上、
ステップ5)。
The image processing section 10 stores the signal output from the one-dimensional sensor 11 in step 4 as image data. When the storage process is completed, the image processing unit 20 outputs a signal to the device control unit 21, and the device control unit 21 further operates the motor 14 via the input / output device 18. Thereby, the one-dimensional sensor 11 receives reflected light from different portions of the surface to be inspected (above,
Step 5).

【0022】機器制御部21は、エンコーダ15からの
信号に基づいて、一次元センサ11によって塗装パネル
Wの被検査面の全ての部分の画像データが取られたか否
かを判断する。この判断の結果、被検査面全ての画像デ
ータの取り込みが終了していなければステップ4からス
テップ6までの処理を繰り返し、全ての部分の画像デー
タの取り込みが終了していれば、画像処理部10に終了
信号を出すと共に、入出力装置18を介してモータ14
の回転を停止させ、次のステップに進む(以上、ステッ
プ6)。
The device control section 21 determines whether or not image data of all portions of the surface to be inspected of the painted panel W has been taken by the one-dimensional sensor 11 based on a signal from the encoder 15. If the result of this determination is that image data has not been completely captured for the surface to be inspected, the processing from step 4 to step 6 is repeated. To the motor 14 via the input / output device 18.
Is stopped, and the process proceeds to the next step (step 6 above).

【0023】次いで、画像処理部20は、ステップ4及
びステップ5の処理において記憶した全画像データを処
理し、そのデータをビデオ信号の形でフィルタ処理部2
2に出力する(ステップ7)。このステップ7において
画像処理部20から出力されるビデオ信号の波形は、例
えば塗装面に小さいキズFがある場合を例にとると、図
6(c)(うねりが小さい場合)及び図6(d)(うね
りが大きい場合)のようになる。
Next, the image processing section 20 processes all the image data stored in the processing of step 4 and step 5 and converts the data to the filter processing section 2 in the form of a video signal.
2 (step 7). The waveform of the video signal output from the image processing unit 20 in step 7 is, for example, as shown in FIG. 6 (c) (when the undulation is small) and FIG. ) (When the swell is large).

【0024】フィルタ処理部22は、ステップ7におい
て画像処理部20からのビデオ信号を入力した後、粗さ
情報記憶部19からここに記憶されている被検査面の鮮
映性データ(特にうねりの周波数成分)を読み出す(ス
テップ9)。
After inputting the video signal from the image processing unit 20 in step 7, the filtering unit 22 reads from the roughness information storage unit 19 the sharpness data (particularly the undulation Frequency component) is read (step 9).

【0025】そして、フィルタ処理部22は、画像処理
部20からのビデオ信号と粗さ情報記憶部19からの鮮
映性データとを対応させて、ビデオ信号からこれに対応
する部分の粗さ成分(周波数成分)を除去し、このフィ
ルタ処理後の信号をキズ検出部23の二値化回路に出力
する。このフィルタ処理によって、ビデオ信号からうね
りの成分が除かれ、キズFの部分を除いて信号の凹凸が
平滑化されるようになる(ステップ9)。このステップ
9におけるフィルタ処理後の信号の波形を見てみると、
例えば、図6(c)の信号は図6(e)に示すような波
形の信号に、図6(d)の信号は図6(f)に示すよう
な波形の信号にそれぞれ修正される。
Then, the filter processing section 22 associates the video signal from the image processing section 20 with the sharpness data from the roughness information storage section 19 and converts the video signal into a roughness component corresponding to the video signal. (Frequency component) is removed, and the signal after this filter processing is output to the binarization circuit of the flaw detection unit 23. By this filtering, the undulation component is removed from the video signal, and the unevenness of the signal is smoothed except for the flaw F (step 9). Looking at the waveform of the signal after the filter processing in step 9,
For example, the signal of FIG. 6C is corrected to a signal having a waveform as shown in FIG. 6E, and the signal of FIG. 6D is corrected to a signal having a waveform as shown in FIG.

【0026】キズ検出部23は、二値化回路にステップ
9でフィルタ処理された信号を入力すると、この信号を
二値化するためのスレッシュホールドレベルを設定す
る。この時、フィルタ処理後の信号は、図6(e)及び
図6(f)に示すように、塗装パネルWの塗装面のうね
りの大小を問わずキズF部分を除いてほぼ平滑化された
波形になっているため、常にスレッシュホールドレベル
を高く設定することができる(以上、ステップ10)。
これによって、塗装面のうねりが大きい場合にも小さい
キズを検出できるようになる。
When the signal subjected to the filtering process in step 9 is input to the binarizing circuit, the flaw detecting section 23 sets a threshold level for binarizing the signal. At this time, as shown in FIGS. 6 (e) and 6 (f), the signal after the filter processing was substantially smoothed except for the flaw F portion regardless of the magnitude of the undulation of the painted surface of the painted panel W. Because of the waveform, the threshold level can always be set high (step 10).
As a result, even when the undulation of the painted surface is large, small scratches can be detected.

【0027】そして、キズ検出部23は、二値化回路に
おいてフィルタ処理後のビデオ信号をスレッシュホール
ドレベルと比較して二値化する(ステップ11)。
Then, the flaw detector 23 binarizes the video signal after the filtering process in the binarization circuit with a threshold level (step 11).

【0028】キズ検出部23は、この二値化された信号
に基づいて塗装面のキズの有無を判断し、その結果を機
器制御部21に出力する。そして、機器制御部21は、
入出力装置18を介して表示装置16を作動させ、表示
装置16に検査結果を表示させる(以上、ステップ1
2)。
The flaw detection section 23 determines the presence or absence of flaws on the painted surface based on the binarized signal, and outputs the result to the equipment control section 21. Then, the device control unit 21
The display device 16 is operated via the input / output device 18 to display the inspection result on the display device 16 (step 1).
2).

【0029】以上、本実施例によれば、塗装面の被検査
面の粗さ成分(うねりの周波数成分)を表面粗度計13
で検出し、被検査面のビデオ信号を二値化処理する前に
フィルタ処理部22においてビデオ信号から粗さ成分を
除去するようにしたので、塗装面の粗さの大小如何にか
かわらずビデオ信号の波形がキズF部分を除いて平滑化
されるようになり、二値化のためのスレッシュホールド
レベルを常に高く設定することができるようになる。従
って、塗装面の粗さが多い場合にも小さいキズを検出で
きることになり、塗装面のキズの検出精度が向上する。
As described above, according to the present embodiment, the roughness component (undulation frequency component) of the inspected surface of the painted surface is measured by the surface roughness meter 13.
And the filtering unit 22 removes the roughness component from the video signal before binarizing the video signal on the surface to be inspected, so that the video signal is removed regardless of the roughness of the painted surface. Is smoothed except for the flaw F, and the threshold level for binarization can always be set high. Therefore, even when the painted surface has a large roughness, a small flaw can be detected, and the accuracy of detecting the flaw on the painted surface is improved.

【0030】なお、本実施例では、ワークの一例とし
て、塗装パネルを例示したが、これに限らず、表面の粗
さを信号的に検出できるようなものであれば本発明の表
面欠陥検査装置の適用は可能である。
In this embodiment, a painted panel is exemplified as an example of a work. However, the present invention is not limited to this, and a surface defect inspection apparatus according to the present invention can be used as long as the surface roughness can be detected by a signal. Is possible.

【0031】また、画像処理については、ワークの被検
査面における全画像データを記憶した後に行うような例
を示したが、一次元センサ11によって得られる画像デ
ータをリアルタイムで処理するように構成しても良いこ
とは勿論である。
Also, an example has been shown in which image processing is performed after storing all image data on the surface to be inspected of the workpiece, but the image data obtained by the one-dimensional sensor 11 is configured to be processed in real time. Of course, it may be possible.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上の説明により明らかなように、本発
明によれば、ワーク表面の被検査面の粗さの程度如何を
問わず確実に小さい表面欠陥でも検出することができる
ようになり、表面欠陥の検査精度が向上する。
As is apparent from the above description, according to the present invention, it is possible to reliably detect a small surface defect regardless of the roughness of the surface to be inspected on the work surface. Inspection accuracy of surface defects is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る表面欠陥検査装置の概
略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a surface defect inspection apparatus according to one embodiment of the present invention.

【図2】図1の装置の動作フローチャートである。FIG. 2 is an operation flowchart of the apparatus of FIG. 1;

【図3】従来の表面欠陥検査装置を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing a conventional surface defect inspection apparatus.

【図4】図3の装置の動作手順を示すブロック図であ
る。
FIG. 4 is a block diagram showing an operation procedure of the device shown in FIG. 3;

【図5】ビデオ信号と二値化信号のそれぞれの一例を示
す図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of each of a video signal and a binary signal.

【図6】様々な場合のビデオ波形の一例を示す図であ
る。
FIG. 6 shows examples of video waveforms in various cases.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…一次元センサ(画像入力装置) 13…表面粗度計(表面粗度検出手段) 19…粗さ情報記憶部(記憶手段) 22…フィルタ処理部(フィルタ手段) 23…キズ検出部(判断手段) W…塗装パネル(ワーク) F…キズ(表面欠陥) 11: one-dimensional sensor (image input device) 13: surface roughness meter (surface roughness detection means) 19: roughness information storage section (storage means) 22: filter processing section (filter means) 23: scratch detection section (judgment) Means) W ... Painted panel (work) F ... Scratch (surface defect)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ワークの表面の被検査面の粗さを検出する
表面粗度検出手段と、当該表面粗度検出手段により検出
された粗さ情報を記憶する記憶手段と、前記被検査面の
画像を入力する画像入力手段と、当該画像入力手段から
出力された画像信号から前記記憶手段に記憶された粗さ
成分を除去するフィルタ手段と、当該フィルタ手段から
の出力信号を入力し、前記ワークの被検査面の表面欠陥
の有無を判断する判断手段と、を有することを特徴とす
る表面欠陥検査装置。
1. A surface roughness detecting means for detecting the roughness of a surface to be inspected on a surface of a work; a memory means for storing roughness information detected by the surface roughness detecting means; Image input means for inputting an image, filter means for removing a roughness component stored in the storage means from an image signal output from the image input means, and an output signal from the filter means, Determining means for determining the presence or absence of a surface defect on the surface to be inspected.
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