JP2954921B1 - 噴射型イオン発生装置 - Google Patents
噴射型イオン発生装置Info
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- JP2954921B1 JP2954921B1 JP10078204A JP7820498A JP2954921B1 JP 2954921 B1 JP2954921 B1 JP 2954921B1 JP 10078204 A JP10078204 A JP 10078204A JP 7820498 A JP7820498 A JP 7820498A JP 2954921 B1 JP2954921 B1 JP 2954921B1
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Abstract
【要約】
【課題】 除電効率を高め、エミッタからのイオン発生
量を十分に多くする。 【解決手段】 エミッタからのコロナ放電によって発生
したイオンを気体により除電対象物に噴射する噴射型イ
オン発生装置に関する。内部に第１の気体流路を有する
エミッタ２１または２６と、このエミッタを包囲してエ
ミッタとの間に第２の気体流路を形成し、かつ、エミッ
タの最先端部よりも除電対象物側に突出された導風管１
１と、前記エミッタの先端部に近接して配置された対向
電極３１とを有する。
量を十分に多くする。 【解決手段】 エミッタからのコロナ放電によって発生
したイオンを気体により除電対象物に噴射する噴射型イ
オン発生装置に関する。内部に第１の気体流路を有する
エミッタ２１または２６と、このエミッタを包囲してエ
ミッタとの間に第２の気体流路を形成し、かつ、エミッ
タの最先端部よりも除電対象物側に突出された導風管１
１と、前記エミッタの先端部に近接して配置された対向
電極３１とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コロナ放電を利用
して発生させたイオンを気体（エア）により噴射させる
噴射型イオン発生装置に関し、特に、ＶＬＳＩやＬＣＤ
等の製造プロセスにおいて、除電対象物から静電気を除
去する除電装置に使用して好適なイオン発生装置に関す
るものである。
して発生させたイオンを気体（エア）により噴射させる
噴射型イオン発生装置に関し、特に、ＶＬＳＩやＬＣＤ
等の製造プロセスにおいて、除電対象物から静電気を除
去する除電装置に使用して好適なイオン発生装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】この種
のイオン発生装置では、イオンを生成するためのエミッ
タ（放電電極）に高電圧が印加されるため、このエミッ
タがいわば集塵機となってしまい、クリーンルーム内の
塵埃等の微粒子を静電吸着してしまう。その結果、イオ
ンの発生量が減少したり、本来はイオンを除電対象物方
向へ送るためのエアによって吸着微粒子を再飛散させる
こととなり、除電効率やクリーンルーム内の清浄度を低
下させるおそれがあった。
のイオン発生装置では、イオンを生成するためのエミッ
タ（放電電極）に高電圧が印加されるため、このエミッ
タがいわば集塵機となってしまい、クリーンルーム内の
塵埃等の微粒子を静電吸着してしまう。その結果、イオ
ンの発生量が減少したり、本来はイオンを除電対象物方
向へ送るためのエアによって吸着微粒子を再飛散させる
こととなり、除電効率やクリーンルーム内の清浄度を低
下させるおそれがあった。
【０００３】このため、導風管の内部に同軸上にエミッ
タを配置し、導風管にエアを送ってエミッタの根元から
先端部方向に向かう気流を発生させることにより、導風
管内部を正圧にしてエミッタへの微粒子の吸着を防ぐよ
うにした構造が既に提案されている。しかしながら、こ
の構造によると、コロナ放電により発生したイオンがエ
ミッタ先端部の周囲の導風管内周面に付着してしまい、
エミッタ先端部と導風管との電位差が小さくなる。この
ため、エミッタ先端部における電界強度が弱くなり、イ
オン発生量が少なくなるという問題があった。
タを配置し、導風管にエアを送ってエミッタの根元から
先端部方向に向かう気流を発生させることにより、導風
管内部を正圧にしてエミッタへの微粒子の吸着を防ぐよ
うにした構造が既に提案されている。しかしながら、こ
の構造によると、コロナ放電により発生したイオンがエ
ミッタ先端部の周囲の導風管内周面に付着してしまい、
エミッタ先端部と導風管との電位差が小さくなる。この
ため、エミッタ先端部における電界強度が弱くなり、イ
オン発生量が少なくなるという問題があった。
【０００４】そこで本発明は、エミッタ先端部の電界強
度を低下させることなく、十分な量のイオンを発生させ
ることができる噴射型イオン発生装置を提供しようとす
るものである。
度を低下させることなく、十分な量のイオンを発生させ
ることができる噴射型イオン発生装置を提供しようとす
るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、エミッタからのコロナ放電
によって発生したイオンを気体により除電対象物に噴射
する噴射型イオン発生装置において、内部に第１の気体
流路を有するエミッタと、このエミッタを包囲してエミ
ッタとの間に第２の気体流路を形成し、かつ、エミッタ
の最先端部よりも除電対象物側に突出された導風管と、
前記エミッタの先端部に近接して配置された対向電極
と、を備える噴射型イオン発生装置であって、第１の気
体流路から出力される気体流を第２の気体流路から出力
される気体流により包囲しつつ両気体流を前記導風管内
で合流させ、合流させた気体流を導風管口から出力する
ことを特徴とするものである。
め、請求項１記載の発明は、エミッタからのコロナ放電
によって発生したイオンを気体により除電対象物に噴射
する噴射型イオン発生装置において、内部に第１の気体
流路を有するエミッタと、このエミッタを包囲してエミ
ッタとの間に第２の気体流路を形成し、かつ、エミッタ
の最先端部よりも除電対象物側に突出された導風管と、
前記エミッタの先端部に近接して配置された対向電極
と、を備える噴射型イオン発生装置であって、第１の気
体流路から出力される気体流を第２の気体流路から出力
される気体流により包囲しつつ両気体流を前記導風管内
で合流させ、合流させた気体流を導風管口から出力する
ことを特徴とするものである。
【０００６】なお、上記噴射型イオン発生装置におい
て、第１の気体流路は、請求項２のようにパイプ状のエ
ミッタの内部空間によって形成され、または、請求項３
のように中実のエミッタ本体と該エミッタ本体を包囲す
るノズルとの間の空間によって形成されている。
て、第１の気体流路は、請求項２のようにパイプ状のエ
ミッタの内部空間によって形成され、または、請求項３
のように中実のエミッタ本体と該エミッタ本体を包囲す
るノズルとの間の空間によって形成されている。
【０００７】また、請求項４に記載するように、前記第
１の気体流路を分岐させて第２の気体通路に連絡させて
も良い。
１の気体流路を分岐させて第２の気体通路に連絡させて
も良い。
【０００８】エミッタまたはエミッタ本体の材質として
は、請求項５に記載するようにシリコン製とすることが
好ましく、同時に、請求項６に記載する如く、前記対向
電極の少なくともエミッタ側の材質をシリコンとするこ
とが望ましい。
は、請求項５に記載するようにシリコン製とすることが
好ましく、同時に、請求項６に記載する如く、前記対向
電極の少なくともエミッタ側の材質をシリコンとするこ
とが望ましい。
【０００９】導風管の材質としては、請求項７に記載す
るようにガラス等の絶縁性無機物質にすると良い。
るようにガラス等の絶縁性無機物質にすると良い。
【００１０】この導風管の外周面を、請求項８に記載す
るように導電材料により覆えば電磁シールド効果が得ら
れ、請求項１０に記載する如く上記導電材料を対向電極
に電気的に接続して接地することにより、接地極を共用
することができる。また、請求項９に記載するように対
向電極を接地することにより、エミッタ先端部における
電界強度を十分に大きくすることができる。
るように導電材料により覆えば電磁シールド効果が得ら
れ、請求項１０に記載する如く上記導電材料を対向電極
に電気的に接続して接地することにより、接地極を共用
することができる。また、請求項９に記載するように対
向電極を接地することにより、エミッタ先端部における
電界強度を十分に大きくすることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１は本発明の第１実施形態を示す断面
図である。図において、１１は絶縁性の導風管であり、
その下端部近傍には段部１２が形成されている。導風管
１１は、例えばガラス等の絶縁性無機物質によって構成
することが望ましい。これは、樹脂等の有機物質を使用
すると、コロナ放電時に発生するオゾンによって劣化す
るおそれがあるためである。
態を説明する。図１は本発明の第１実施形態を示す断面
図である。図において、１１は絶縁性の導風管であり、
その下端部近傍には段部１２が形成されている。導風管
１１は、例えばガラス等の絶縁性無機物質によって構成
することが望ましい。これは、樹脂等の有機物質を使用
すると、コロナ放電時に発生するオゾンによって劣化す
るおそれがあるためである。
【００１２】前記段部１２の内側には、導電性を有する
リング状の対向電極３１が固定されており、かつ接地さ
れている。この対向電極３１は、後述するエミッタ２１
の先端部近傍に発生するイオンが導風管１１の内周面に
付着しないように、これらのイオンを捕集して接地側へ
移動させる作用をなす。これにより、エミッタ２１の先
端部と対向電極３１との間の電位差が増大し、エミッタ
２１の先端部の電界強度は対向電極３１がない場合に比
べて大きくなる。
リング状の対向電極３１が固定されており、かつ接地さ
れている。この対向電極３１は、後述するエミッタ２１
の先端部近傍に発生するイオンが導風管１１の内周面に
付着しないように、これらのイオンを捕集して接地側へ
移動させる作用をなす。これにより、エミッタ２１の先
端部と対向電極３１との間の電位差が増大し、エミッタ
２１の先端部の電界強度は対向電極３１がない場合に比
べて大きくなる。
【００１３】さて、エミッタ２１は、電界を集中させる
ように先端部（図の下端部）を尖鋭状に形成した導電性
のパイプ部材からなり、中心孔２２を有している。エミ
ッタ２１の材質としては、劣化防止のためにシリコン製
とすることが好ましい。同様に、前記対向電極３１の少
なくともエミッタ２１側をシリコンで被覆すると良い。
なお、エミッタ２１の最先端部は、導風管１１の最先端
部（図では最下端部）よりも内側（上方）に位置させ
る。言い換えれば、導風管１１の最先端部はエミッタ２
１の最先端部よりも除電対象物側に突出している。
ように先端部（図の下端部）を尖鋭状に形成した導電性
のパイプ部材からなり、中心孔２２を有している。エミ
ッタ２１の材質としては、劣化防止のためにシリコン製
とすることが好ましい。同様に、前記対向電極３１の少
なくともエミッタ２１側をシリコンで被覆すると良い。
なお、エミッタ２１の最先端部は、導風管１１の最先端
部（図では最下端部）よりも内側（上方）に位置させ
る。言い換えれば、導風管１１の最先端部はエミッタ２
１の最先端部よりも除電対象物側に突出している。
【００１４】本実施形態の動作を説明すると、エミッタ
２１の中心孔２２には第１のエア流路が形成され、エミ
ッタ２１の周囲には第２のエア流路が形成される。第１
のエア流路にはエミッタ２１の根元から先端方向に向か
うように第１のエアＡ１が供給され、導風管１１内部の
第２のエア流路には同方向に第２のエアＡ２が供給され
ている。ここで、第１のエアＡ１の流速は第２のエアＡ
２の流速よりも速くなるようにエアの供給圧や流路が考
慮されている。
２１の中心孔２２には第１のエア流路が形成され、エミ
ッタ２１の周囲には第２のエア流路が形成される。第１
のエア流路にはエミッタ２１の根元から先端方向に向か
うように第１のエアＡ１が供給され、導風管１１内部の
第２のエア流路には同方向に第２のエアＡ２が供給され
ている。ここで、第１のエアＡ１の流速は第２のエアＡ
２の流速よりも速くなるようにエアの供給圧や流路が考
慮されている。
【００１５】この状態でエミッタに高電圧（例えば直流
高電圧）を印加すると、エミッタ２１の先端部でコロナ
放電が生じ、その近傍にイオンが生成される。このイオ
ンは、流速の速い第１のエアＡ１に乗ってエミッタ２１
の中心軸方向に高速で噴射される。その際、第１のエア
Ａ１の周囲には第２のエアＡ２による気流が存在するの
で、発生したイオンが導風管１１の内周面に付着した
り、対向電極３１を介して接地側へ吸い取られることな
く、大部分が導風管１１の先端部から除電対象物側へ噴
射される。従って、除電対象物を高効率で除電すること
ができると共に、エミッタ２１の先端部の電界強度は常
に大きく保たれるため、安定した状態で効果的に除電を
行うことができる。
高電圧）を印加すると、エミッタ２１の先端部でコロナ
放電が生じ、その近傍にイオンが生成される。このイオ
ンは、流速の速い第１のエアＡ１に乗ってエミッタ２１
の中心軸方向に高速で噴射される。その際、第１のエア
Ａ１の周囲には第２のエアＡ２による気流が存在するの
で、発生したイオンが導風管１１の内周面に付着した
り、対向電極３１を介して接地側へ吸い取られることな
く、大部分が導風管１１の先端部から除電対象物側へ噴
射される。従って、除電対象物を高効率で除電すること
ができると共に、エミッタ２１の先端部の電界強度は常
に大きく保たれるため、安定した状態で効果的に除電を
行うことができる。
【００１６】次に、図２は本発明の第２実施形態を示し
ている。この実施形態は、エミッタ本体２３を中実の針
状に形成し、その周囲を絶縁性かつ中空のノズル２４に
よって包囲することによりエミッタ２６を構成したもの
である。なお、２５はノズル２４の中心に設けられた通
孔である。その他の構成要素は図１と同様である。この
実施形態では、エミッタ２６の内部の通孔２５が第１の
エア流路となって第１のエアＡ１が供給され、ノズル２
４の周囲（エミッタ２６の周囲）の導風管１１内部が第
２のエア流路となって同方向の第２のエアＡ２が供給さ
れる。動作としては、図１と実質的に同一である。
ている。この実施形態は、エミッタ本体２３を中実の針
状に形成し、その周囲を絶縁性かつ中空のノズル２４に
よって包囲することによりエミッタ２６を構成したもの
である。なお、２５はノズル２４の中心に設けられた通
孔である。その他の構成要素は図１と同様である。この
実施形態では、エミッタ２６の内部の通孔２５が第１の
エア流路となって第１のエアＡ１が供給され、ノズル２
４の周囲（エミッタ２６の周囲）の導風管１１内部が第
２のエア流路となって同方向の第２のエアＡ２が供給さ
れる。動作としては、図１と実質的に同一である。
【００１７】図３は、本発明の第３実施形態を示してい
る。この実施形態は、第１のエア流路を途中で分岐して
第２のエア流路に連絡させ、単一のエア流から第１のエ
アＡ１及び第２のエアＡ２を作り出すようにしたもので
ある。すなわち、図３において、エミッタ２１にはその
途中にエア分岐孔２７が設けられており、中心孔２２に
供給された単一のエア流Ａのほとんどは第１のエアＡ１
となるが、その一部はエア分岐孔２７により分岐され、
導風管１１の内部を通過する第２のエアＡ２となる。図
中、４１は導風管１１及びエミッタ２１を支持するホル
ダを示す。
る。この実施形態は、第１のエア流路を途中で分岐して
第２のエア流路に連絡させ、単一のエア流から第１のエ
アＡ１及び第２のエアＡ２を作り出すようにしたもので
ある。すなわち、図３において、エミッタ２１にはその
途中にエア分岐孔２７が設けられており、中心孔２２に
供給された単一のエア流Ａのほとんどは第１のエアＡ１
となるが、その一部はエア分岐孔２７により分岐され、
導風管１１の内部を通過する第２のエアＡ２となる。図
中、４１は導風管１１及びエミッタ２１を支持するホル
ダを示す。
【００１８】図３のようなエアの分岐構造にすると、エ
アの供給側で第１のエア、第２のエア用に独立した２系
統の配管を備える必要が無くなり、構造の簡略化、コス
トの低減が可能になる。図３では図１のエミッタ２１を
使用した場合につき示してあるが、図２のエミッタ２６
を使用する場合には、ノズル２４の途中にエア分岐孔を
形成すれば良い。
アの供給側で第１のエア、第２のエア用に独立した２系
統の配管を備える必要が無くなり、構造の簡略化、コス
トの低減が可能になる。図３では図１のエミッタ２１を
使用した場合につき示してあるが、図２のエミッタ２６
を使用する場合には、ノズル２４の途中にエア分岐孔を
形成すれば良い。
【００１９】上記各実施形態において、図示されていな
いが、導風管１１の外周面には導電材料からなる電磁シ
ールド材を被覆しても良い。これは、コロナ放電に伴う
電磁ノイズを吸収して外部にノイズ障害を与えるのを防
止するためである。その場合、電磁シールド材の接地極
と前記対向電極３１の接地極とを共用することができ
る。
いが、導風管１１の外周面には導電材料からなる電磁シ
ールド材を被覆しても良い。これは、コロナ放電に伴う
電磁ノイズを吸収して外部にノイズ障害を与えるのを防
止するためである。その場合、電磁シールド材の接地極
と前記対向電極３１の接地極とを共用することができ
る。
【００２０】また、図４は本発明の第４実施形態を示す
図である。この実施形態は、上述したような電磁シール
ド材と前記対向電極３１とを兼用するパイプ状の対向電
極兼シールド材４１を導風管１３の下端部外周面に取り
付け、これを接地したものである。この実施形態によれ
ば、単一部材で前述の対向電極３１及び電磁シールド材
の両方の機能を果たすことができ、構造の簡略化、部品
数の減少が可能になる。
図である。この実施形態は、上述したような電磁シール
ド材と前記対向電極３１とを兼用するパイプ状の対向電
極兼シールド材４１を導風管１３の下端部外周面に取り
付け、これを接地したものである。この実施形態によれ
ば、単一部材で前述の対向電極３１及び電磁シールド材
の両方の機能を果たすことができ、構造の簡略化、部品
数の減少が可能になる。
【００２１】図５は図４と同一の着想に基づく第５実施
形態であり、シールド効果を一層高めるために、導風管
１４の外周面の多くの部分を対向電極兼シールド材４２
により覆った構造である。この場合、対向電極兼シール
ド材４２と導風管１４との連結固定構造は、段部４３と
係止孔１５との係止構造による。なお、段部４３は特に
対向電極としての機能を持つ。
形態であり、シールド効果を一層高めるために、導風管
１４の外周面の多くの部分を対向電極兼シールド材４２
により覆った構造である。この場合、対向電極兼シール
ド材４２と導風管１４との連結固定構造は、段部４３と
係止孔１５との係止構造による。なお、段部４３は特に
対向電極としての機能を持つ。
【００２２】最後に、図６は本発明の第６実施形態を示
している。この実施形態は、更に構造の簡略化を図るた
め、エミッタ２１を中心として十分な絶縁距離を保ちつ
つ同心状の包囲材５１を配置したものである。この包囲
材５１は、導電性を有していて前述の対向電極及び電磁
シールド材としての機能を備えるとともに、その構造
上、導風管としての機能も備えている。この実施形態に
おいて、包囲材本体の外径は、上述した絶縁距離を確保
する観点からある程度長くする必要がある。しかし、そ
の一方で、除電対象物に噴射されるエアの流量を適切に
するために、包囲材５１の下端部５１ａを絞り込んで先
細状に形成してある。ここで、下端部５１ａは特に対向
電極としての機能も持つ。
している。この実施形態は、更に構造の簡略化を図るた
め、エミッタ２１を中心として十分な絶縁距離を保ちつ
つ同心状の包囲材５１を配置したものである。この包囲
材５１は、導電性を有していて前述の対向電極及び電磁
シールド材としての機能を備えるとともに、その構造
上、導風管としての機能も備えている。この実施形態に
おいて、包囲材本体の外径は、上述した絶縁距離を確保
する観点からある程度長くする必要がある。しかし、そ
の一方で、除電対象物に噴射されるエアの流量を適切に
するために、包囲材５１の下端部５１ａを絞り込んで先
細状に形成してある。ここで、下端部５１ａは特に対向
電極としての機能も持つ。
【００２３】これらの図４〜図６の実施形態において
も、エミッタ２１の代わりに図２のエミッタ２６を使用
することができる。なお、上記各実施形態において、各
構成部材の形状、構造等はあくまで例示に過ぎず、本発
明は各請求項に記載した着想のもとで種々の変形が可能
である。
も、エミッタ２１の代わりに図２のエミッタ２６を使用
することができる。なお、上記各実施形態において、各
構成部材の形状、構造等はあくまで例示に過ぎず、本発
明は各請求項に記載した着想のもとで種々の変形が可能
である。
【００２４】更に、本発明において、対向電極を接地す
ることは必ずしも必須の構成要件ではない。対向電極が
絶縁体からなる導風管の内部にある場合には、エミッタ
で発生したイオンが対向電極に吸収され、エミッタと対
向電極との間の電位差が低くなるため、イオンの発生が
減少する。しかし、図４，５，６に示すように、導風管
の外部に対向電極の導体部が存在する場合、導風管外部
に存在する異種イオンが対向電極に吸収されるため、エ
ミッタと対向電極との間の電位差が低くなることを阻止
する。したがって、対向電極を接地したのと同様に考え
られる。
ることは必ずしも必須の構成要件ではない。対向電極が
絶縁体からなる導風管の内部にある場合には、エミッタ
で発生したイオンが対向電極に吸収され、エミッタと対
向電極との間の電位差が低くなるため、イオンの発生が
減少する。しかし、図４，５，６に示すように、導風管
の外部に対向電極の導体部が存在する場合、導風管外部
に存在する異種イオンが対向電極に吸収されるため、エ
ミッタと対向電極との間の電位差が低くなることを阻止
する。したがって、対向電極を接地したのと同様に考え
られる。
【００２５】
【発明の効果】以上のように本発明は、エミッタの先端
部近傍に発生するイオンをエミッタ内部の第１の気体流
路を介して除電対象物方向へ噴射し、エミッタの周囲の
第２の気体流路に同方向で気体を噴射させると共に、エ
ミッタの先端部に近接して対向電極またはそれに相当す
る部材を配置したものである。このため、エミッタから
は常に十分な量のイオンが発生し、そのイオンが減衰す
ることなく高効率で除電対象物方向へ噴射されることと
なり、除電効率の向上、除電時間の短縮が可能になる。
また、構造も極めて簡単であるため、イオン発生装置、
除電装置の低コスト化、メンテナンス作業の容易化が可
能である。
部近傍に発生するイオンをエミッタ内部の第１の気体流
路を介して除電対象物方向へ噴射し、エミッタの周囲の
第２の気体流路に同方向で気体を噴射させると共に、エ
ミッタの先端部に近接して対向電極またはそれに相当す
る部材を配置したものである。このため、エミッタから
は常に十分な量のイオンが発生し、そのイオンが減衰す
ることなく高効率で除電対象物方向へ噴射されることと
なり、除電効率の向上、除電時間の短縮が可能になる。
また、構造も極めて簡単であるため、イオン発生装置、
除電装置の低コスト化、メンテナンス作業の容易化が可
能である。
【図１】本発明の第１実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態を示す断面図である。
【図３】本発明の第３実施形態を示す断面図である。
【図４】本発明の第４実施形態を示す断面図である。
【図５】本発明の第５実施形態を示す断面図である。
【図６】本発明の第６実施形態を示す断面図である。
Ａ１，Ａ２，Ａ エア流 １１，１３，１４ 導風管 １２，４３ 段部 １５ 係止孔 ２１，２６ エミッタ ２２ 中心孔 ２３ エミッタ本体 ２４ ノズル ２５ 通孔 ２７ エア分岐孔 ３１ 対向電極 ４１，４２，４４ 対向電極兼シールド材 ５１ 包囲材 ５１ａ 下端部
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H05F 3/04
Claims (10)
- 【請求項１】 エミッタからのコロナ放電によって発生
したイオンを気体により除電対象物に噴射する噴射型イ
オン発生装置において、 内部に第１の気体流路を有するエミッタと、 このエミッタを包囲してエミッタとの間に第２の気体流
路を形成し、かつ、エミッタの最先端部よりも除電対象
物側に突出された導風管と、 前記エミッタの先端部に近接して配置された対向電極
と、 を備える噴射型イオン発生装置であって、 第１の気体流路から出力される気体流を第２の気体流路
から出力される気体流により包囲しつつ両気体流を前記
導風管内で合流させ、合流させた気体流を導風管口から
出力することを特徴とする噴射型イオン発生装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の噴射型イオン発生装置に
おいて、 第１の気体流路が、パイプ状のエミッタの内部空間によ
って形成されていることを特徴とする噴射型イオン発生
装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の噴射型イオン発生装置に
おいて、 第１の気体流路が、中実のエミッタ本体と該エミッタ本
体を包囲するノズルとの間の空間によって形成されてい
ることを特徴とする噴射型イオン発生装置。 - 【請求項４】 請求項１，２または３記載の噴射型イオ
ン発生装置において、 第１の気体流路が分岐して第２の気体通路に連絡してい
ることを特徴とする噴射型イオン発生装置。 - 【請求項５】 請求項１，２，３または４記載の噴射型
イオン発生装置において、 エミッタまたはエミッタ本体がシリコン製であることを
特徴とする噴射型イオン発生装置。 - 【請求項６】 請求項１，２，３，４または５記載の噴
射型イオン発生装置において、 対向電極の少なくともエミッタ側の材質がシリコンであ
ることを特徴とする噴射型イオン発生装置。 - 【請求項７】 請求項１，２，３，４，５または６記載
の噴射型イオン発生装置において、 導風管の材質が絶縁性無機物質であることを特徴とする
噴射型イオン発生装置。 - 【請求項８】 請求項１，２，３，４，５，６または７
記載の噴射型イオン発生装置において、 導風管の外周面が導電材料により覆われていることを特
徴とする噴射型イオン発生装置。 - 【請求項９】 請求項１，２，３，４，５，６または７
記載の噴射型イオン発生装置において、 対向電極が接地されていることを特徴とする噴射型イオ
ン発生装置。 - 【請求項１０】 請求項８記載の噴射型イオン発生装置
において、 導電材料が対向電極に電気的に接続され、かつ接地され
ていることを特徴とする噴射型イオン発生装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10078204A JP2954921B1 (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | 噴射型イオン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP10078204A JP2954921B1 (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | 噴射型イオン発生装置 |
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|---|---|---|---|
| JP10078204A Expired - Lifetime JP2954921B1 (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | 噴射型イオン発生装置 |
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1998
- 1998-03-26 JP JP10078204A patent/JP2954921B1/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106871257A (zh) * | 2017-03-13 | 2017-06-20 | 悟清（上海）环境科技有限公司 | 一种室内顶部安装的电子除尘集化器 |
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