JP2954155B1 - Lead frame manufacturing equipment - Google Patents

Lead frame manufacturing equipment

Info

Publication number
JP2954155B1
JP2954155B1 JP9970798A JP9970798A JP2954155B1 JP 2954155 B1 JP2954155 B1 JP 2954155B1 JP 9970798 A JP9970798 A JP 9970798A JP 9970798 A JP9970798 A JP 9970798A JP 2954155 B1 JP2954155 B1 JP 2954155B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead frame
frame
lead
projections
island
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP9970798A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH11297923A (en
Inventor
哲 佐藤
Original Assignee
山形日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 山形日本電気株式会社 filed Critical 山形日本電気株式会社
Priority to JP9970798A priority Critical patent/JP2954155B1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2954155B1 publication Critical patent/JP2954155B1/en
Publication of JPH11297923A publication Critical patent/JPH11297923A/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

【要約】 【課題】 加工がし易く、積層した状態からの分離性が
良好で、かつ、製品品質を維持することができるリード
フレームおよびその製造装置を提供する。 【解決手段】 半導体チップが載置されるアイランド部
4と、リード線接続部5と、これらアイランド部4とリ
ード線接続部5とを支持する枠部2を有しているリード
フレーム1において、枠部2表面に複数の半球状の突起
9が設けられ、この突起9の配置位置が、リードフレー
ム1が複数枚積層された場合に隣接するもの同志で突起
9が同位置とならないように設定されている。
An object of the present invention is to provide a lead frame which can be easily processed, has good separability from a laminated state, and can maintain product quality, and a manufacturing apparatus therefor. SOLUTION: In a lead frame 1 having an island portion 4 on which a semiconductor chip is mounted, a lead wire connecting portion 5, and a frame portion 2 supporting the island portion 4 and the lead wire connecting portion 5, A plurality of hemispherical projections 9 are provided on the surface of the frame portion 2, and the positions of the projections 9 are set such that the projections 9 are not located at the same position between adjacent ones when a plurality of lead frames 1 are stacked. Have been.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置に用
いられる半導体接続部品としてのリードフレームに係る
ものであり、特に、積層した状態から簡単に分離して取
り出すことができるリードフレームおよびその製造装置
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame as a semiconductor connecting part used in a semiconductor device, and more particularly to a lead frame which can be easily separated from a stacked state and taken out, and a manufacturing apparatus therefor. It is about.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のように、従来から半導体装置に用
いられる半導体接続部品としてのリードフレームが知ら
れている。このリードフレームは、半導体チップが載置
されるアイランド部とリード線接続部とこれらアイラン
ド部とリード線接続部とを支持する枠部とを備えてお
り、半導体装置の製造工程との関連から、上記アイラン
ド部とリード線接続部とが複数個連なったシート状のリ
ードフレームとして取り扱われようになっている。そし
て、このシート状のリードフレームを50枚、100枚
単位等として、各リードフレームの向きおよび中心をそ
ろえて積層して包装したり、製造工程においても上記シ
ート状のものを自動機等に1枚づつ供給するため、供給
装置の収納部にリードフレームの向きおよび中心をそろ
えて複数枚積層して収納するようにしている。
2. Description of the Related Art As is well known, a lead frame has conventionally been known as a semiconductor connection component used in a semiconductor device. The lead frame includes an island portion on which the semiconductor chip is mounted, a lead wire connection portion, and a frame portion supporting the island portion and the lead wire connection portion. It is intended to be treated as a sheet-shaped lead frame in which a plurality of the island portions and the lead wire connecting portions are connected. Then, the sheet-shaped lead frames are stacked and packaged in units of 50 sheets, 100 sheets, or the like, with the orientation and center of each lead frame aligned. In order to supply the sheets one by one, a plurality of sheets are stacked and stored in the storage section of the supply device with the orientation and center of the lead frame aligned.

【0003】ここで、上記アイランド部は枠部よりもや
や下方にオフセットして形成され、半導体チップを受け
入れられるようになっており、これらアイランド部やリ
ード線接続部には金メッキや銀メッキが施されている。
Here, the above-mentioned island portion is formed so as to be slightly offset from the frame portion so that a semiconductor chip can be received, and these island portions and lead wire connection portions are plated with gold or silver. Have been.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のリードフレームにあっては、リードフレームを積層
した場合に、上層のリードフレームの裏面のメッキと下
層のリードフレームの表面のメッキが圧着したり、窪ん
で形成されたアイランド部同志が食い込みを起こしてし
まうとこれを分離する作業が困難であり、ラインを停止
する必要があるため、生産効率の低下を招くという問題
がある。また、分離の際の取り扱いの如何では、アイラ
ンド部等が変形を起こしてしまい、製品品質を低下させ
てしまう可能性もある。
However, in the above-mentioned conventional lead frame, when the lead frames are stacked, the plating on the back surface of the upper lead frame and the plating on the front surface of the lower lead frame are crimped. If the recessed island portions dig into each other, it is difficult to separate them, and it is necessary to stop the line, which causes a problem of lowering the production efficiency. In addition, depending on the handling at the time of separation, the island portion and the like may be deformed, and the product quality may be degraded.

【0005】このような問題に対処するために、例え
ば、実開昭59−159959号公報(公知例1)、実
開昭60−151143号公報(公知例2)、特開平1
−99223号公報(公知例3)に記載されているよう
に、リードフレームの表面あるいは裏面に突起を設ける
ようにして積層されたリードフレームを容易に分離する
ような技術が案出されている。しかしながら、公知例1
にあっては、メッキが施されていることが多いステージ
サポートバーの傾斜部に突起を設けるものであるため、
この部分の加工安定性が悪いと共に加工時に半田かすが
付着する問題がある。また、公知例2は、くさび型の溝
によりバリを作りこれを突起としているため、加工ひず
みが起こりやすく精度管理が困難であると共にリードフ
レームが薄い場合には十分な突起高さを得ることができ
ないという問題がある。そして、公知例3にあっては、
突起を設けたリードフレームと突起を設けないリードフ
レームとを交互に積層するための管理が必要となり、作
業が煩雑になるという問題がある。そこで、この発明
は、加工がし易く、積層した状態からの分離性が良好
で、かつ、製品品質を維持することができるリードフレ
ーム製造装置を提供するものである。
In order to deal with such a problem, for example, Japanese Utility Model Laid-Open No. 59-159959 (known example 1), Japanese Utility Model Laid-Open No. 60-151143 (known example 2), and
As described in -99223 (known example 3), a technique has been devised in which protrusions are provided on the front surface or the back surface of the lead frame to easily separate the stacked lead frames. However, known example 1
, Because the projection is provided on the inclined part of the stage support bar that is often plated,
There is a problem that the processing stability of this portion is poor and solder residue adheres at the time of processing. In addition, in the known example 2, since a burr is formed by a wedge-shaped groove and used as a projection, processing distortion is likely to occur, precision control is difficult, and when the lead frame is thin, a sufficient projection height can be obtained. There is a problem that can not be. And in the publicly known example 3,
Management for alternately stacking the lead frame provided with the protrusion and the lead frame not provided with the protrusion is required, and there is a problem that the operation becomes complicated. Accordingly, the present invention is easily processed is, a good separation of the stacked state, and there is provided an apparatus for manufacturing a lead frame that can maintain product quality.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、半導体チップが載置されるアイランド
部と、リード線接続部と、これらアイランド部とリード
線接続部とを支持する枠部を有しており、表面と裏面の
いずれかの平坦面に複数の半球状突起が設けられ、この
突起の配置位置が、複数枚積層された場合に隣接するも
の同志で突起が同位置とならないように設定されている
リードフレームの製造装置であって、リール状リードフ
レームを繰り出す供給装置と、これを短冊状に切断する
と共にアイランド部のディンプル加工を行なう金型とが
設けられ、この金型に複数の突起を成形するためのパン
チが設けられ、このパンチをパソコンのデータに基づい
て移動させることにより、各リードフレームの突起成形
位置を変化させるパンチ動作制御装置が設けられている
ことを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention provides an island on which a semiconductor chip is mounted.
Part, lead wire connection part, these island part and lead
It has a frame part that supports the wire connection part,
A plurality of hemispherical projections are provided on one of the flat surfaces,
When multiple projections are stacked,
Are set so that projections are not in the same position
An apparatus for manufacturing a lead frame, comprising:
Feeding device for feeding the frame and cutting it into strips
Along with a mold that dimples the island
A pan for forming a plurality of projections on this mold is provided.
The punch is provided based on data from a personal computer.
To move each lead frame to form a protrusion.
A punch operation control device for changing the position is provided
It is characterized by the following.

【0007】したがって、積層されたリードフレームの
隣接するもの同志で突起が同位置にならないように、突
起を成形しながらリードフレームを連続的に製造でき、
そのまま順番に積層すれば包装等を行える。また、積層
枚数に応じてパソコンのデータを調整することで突起の
成形位置を容易に設定できる。また、製造されたリード
フレームが積層された場合には、隣接するリードフレー
ムに対して突起が偏りなく当接するためバランスよく収
納でき、包装や自動機への投入のためのストレージが安
定化する。また、突起を平坦面に設けることで突起の加
工を容易化できると共に、積層された各リードフレーム
間に十分なクリアランスを与えることができ各リードフ
レームの分離を容易化する。上記突起が半球状の突起で
あるため、加工ひずみの分散と加工高さの管理の容易化
を図る。
[0007] Therefore, the laminated lead frame
Make sure that the protrusions are not in the same position
Lead frames can be manufactured continuously while shaping
Packaging and the like can be performed by laminating them in order. Also laminated
By adjusting the data on the PC according to the number of sheets,
The molding position can be easily set. Also manufactured leads
If frames are stacked, adjacent lead frames
The projections come into contact with the
Storage, and storage for packaging and loading into automatic machines is cheap.
To standardize. Also, by providing the projection on a flat surface,
In addition to facilitating the work, each lead frame laminated
Enough clearance can be given between
Facilitates frame separation. The above protrusion is a hemispherical protrusion
Dispersion of processing strain and easy management of processing height
Plan.

【0008】上記リードフレームの突起が設けられた平
坦面が枠部である場合には、枠部における突起の加工を
容易化し、機能部分にひずみによる影響を与えない。
[0008] The flat plate provided with the protrusion of the lead frame.
If the flat surface is a frame, process the projections on the frame.
Facilitates and does not affect functional parts by distortion.

【0009】[0009]

【発明の実施形態】以下、この発明の1実施形態を図面
と共に説明する。図1において1はリードフレームを示
し、リードフレーム1には図1の左右方向に延びる平坦
面としての枠部2が上部と下部に設けられている。枠部
2にはサポート部3を介して半導体チップが載置される
アイランド部4が支持されており、このアイランド部4
はサポート部3を折り曲げて枠部2よりも低くなるよう
ディンプル加工により下方に配置され、ここに取り付け
られる半導体チップを受け入れるようになっている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a lead frame, and the lead frame 1 is provided with a frame portion 2 as a flat surface extending in the left-right direction of FIG. An island portion 4 on which the semiconductor chip is mounted is supported by the frame portion 2 via a support portion 3.
Are arranged below by dimple processing so as to bend the support portion 3 so as to be lower than the frame portion 2 so as to receive the semiconductor chip attached thereto.

【0010】上記アイランド部4の周囲には一対のリー
ド線接続部5が配置され、各リード線接続部5は枠部2
に取り付けられた平坦面としてのリブ6に支持されてい
る。このように構成されたアイランド部4と一対のリー
ド線接続部5とが複数組み配置されてシート状のリード
フレーム1が構成されている。上記枠部2には位置決め
用、あるいは自動送りを行うための角孔7と丸孔8が形
成されている。
A pair of lead wire connecting portions 5 are arranged around the island portion 4, and each lead wire connecting portion 5 is
And is supported by a rib 6 as a flat surface attached to the surface. A plurality of sets of the island portion 4 and a pair of lead wire connecting portions 5 configured as described above are arranged to form a sheet-like lead frame 1. The frame 2 has a square hole 7 and a round hole 8 for positioning or for automatic feeding.

【0011】上記枠部2には上部と下部の表面であっ
て、アイランド部4寄りに半球状の突起9が各々設けら
れている。各突起9はアイランド部4の中心線Pに対し
て枠部2の上部では右に、枠部2の下部では左に振り分
けられるように配置されており、図2に示すように複数
枚(例えば1包装50枚)を積層した場合に、隣接する
もの同志の各突起9が同位置とならないように上記振り
分け量を各々変えて設定されている。ここで、リードフ
レーム1の間のクリアランスを確保するための突起9の
突出高さTは、リードフレーム1の厚さ0.15mm、
メッキ厚0.01mm、切断バリ高さ0.018mmを
考慮すると0.05mm程度とするのが望ましい。
The frame 2 is provided with hemispherical projections 9 on the upper and lower surfaces, respectively, closer to the island 4. The projections 9 are arranged so as to be distributed to the right above the frame portion 2 with respect to the center line P of the island portion 4 and to the left below the frame portion 2, and as shown in FIG. In the case where 50 packages (one package) are stacked, the distribution amount is set to be different so that the projections 9 of adjacent ones are not at the same position. Here, the protrusion height T of the protrusion 9 for securing the clearance between the lead frames 1 is 0.15 mm in thickness of the lead frame 1,
Considering the plating thickness of 0.01 mm and the cutting burr height of 0.018 mm, the thickness is preferably about 0.05 mm.

【0012】このような、リードフレーム1を製造する
にあたっては、図3に示すように巻装されたリール状リ
ードフレーム10が供給装置11から繰り出されると、
金型12によって短冊状のリードフレーム1に切断加工
され、このとき、アイランド部4がディンプル加工され
ると共に枠部2の表面の所定位置に突起9が形成され
る。ここで、上記金型12には突起9の加工用の図示し
ないパンチが設けられ、予めパソコン13に入力された
データに基づきパンチ動作制御装置14によってこのパ
ンチが移動制御されるが、このパンチの移動によって、
図2に示すように各リードフレーム1の異なる位置、す
なわち、リードフレーム1が積層された状態で隣接する
もの同志の各突起9が同位置にならないような位置に上
記突起9が加工されるのである。このように切断加工さ
れたリードフレーム1は枠部2の角孔7や丸孔8によっ
て送り出されケース15に積層される。
In manufacturing such a lead frame 1, when the reel-shaped lead frame 10 wound as shown in FIG.
The strip-shaped lead frame 1 is cut by the mold 12. At this time, the island portions 4 are dimple-processed and the projections 9 are formed at predetermined positions on the surface of the frame portion 2. Here, a punch (not shown) for processing the projection 9 is provided on the mold 12, and the movement of the punch is controlled by the punch operation control device 14 based on data previously input to the personal computer 13. By moving
As shown in FIG. 2, the protrusions 9 are processed at different positions of the lead frames 1, that is, at positions where the adjacent protrusions 9 in the state where the lead frames 1 are stacked are not at the same position. is there. The lead frame 1 thus cut is sent out through the square holes 7 and the round holes 8 of the frame portion 2 and is stacked on the case 15.

【0013】上記実施形態によれば、製造されるリード
フレーム1をそのまま順番に積層すれば、各リードフレ
ーム1は各々の突起9により最適なクリアランスを確保
できるため、リードフレーム1を簡単にかつ安定して包
装あるいは収納することができる。この場合、各突起9
が互いに同位置とならないように配置されているため、
各突起9に過重がバランスよく分散され、より一層安定
した状態で積層できる。
According to the above-described embodiment, if the lead frames 1 to be manufactured are laminated in that order, each lead frame 1 can secure an optimum clearance by each projection 9, so that the lead frame 1 can be easily and stably formed. And can be packaged or stored. In this case, each projection 9
Are placed so that they are not in the same position,
The excess load is distributed in a well-balanced manner to the projections 9 so that the layers can be stacked in a more stable state.

【0014】また、突起9が成形されている枠部2は、
機能部とは異なり、メッキが施されない部分であるた
め、突起9の加工の際に半田かすの発生がなく加工安定
性がよく、分離の際に従来のようにメッキの圧着により
分離がし難くなるというような不具合も生じない。した
がって、分離不良等によるラインの停止がなくなり、半
導体装置の生産効率の向上に寄与することができると共
に分離の際に各部が変形することもなく、製品品質を損
なうこともない。また、半球状の突起9としたため、加
工ひずみを分散できると共に突起高さの管理が容易とな
る。尚、この発明は上記実施形態に限られるものではな
く、例えば、上記突起9を枠部2の表面に設ける代わり
に、リブ6の表面に設けるようにしてもよく、枠部2あ
るいはリブ6の裏面に設けるようにしてもよい。また、
上記パソコン13によるデータ制御が可能であるため、
上記突起9を成形するための金型を別体化しこれに応じ
てデータを対応させれば、タイプの違う他のリードフレ
ームにも適応でき、タイプ毎に金型を製造する無駄な投
資を抑制できる。
The frame 2 on which the projection 9 is formed is
Unlike the functional part, since it is a part that is not plated, there is no generation of solder residue when processing the projection 9 and the processing stability is good, and it is difficult to separate by separation by pressure bonding of the plating as in the conventional case. There is no such a problem that it becomes. Therefore, there is no line stoppage due to separation failure or the like, which can contribute to improvement in the production efficiency of the semiconductor device, and there is no deformation of each part at the time of separation and no loss of product quality. In addition, since the projections 9 are hemispherical, processing strain can be dispersed and the height of the projections can be easily controlled. The present invention is not limited to the above embodiment. For example, instead of providing the protrusion 9 on the surface of the frame 2, the protrusion 9 may be provided on the surface of the rib 6. It may be provided on the back surface. Also,
Since data control by the personal computer 13 is possible,
If a mold for forming the projection 9 is separately provided and the data is corresponded to the mold, it can be applied to other lead frames of different types, thereby suppressing unnecessary investment in manufacturing the mold for each type. it can.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明してきたように、この発明によ
れば、積層されたリードフレームの隣接するもの同志で
突起が同位置にならないように、突起を成形しながら連
続的にリードフレームを製造でき、そのまま順番に積層
すれば簡単に包装等を行えるという効果がある。また、
積層枚数に応じてパソコンのデータを調整することで突
起の成形位置を容易に変更できる設計自由度の高さがあ
るという効果がある。
As described above, according to the present invention, adjacent ones of stacked lead frames are connected to each other.
Make sure that the projections are not in the same
Lead frames can be manufactured one after another and stacked in order as they are
This has the effect that packaging and the like can be easily performed. Also,
Adjusting PC data according to the number of layers
There is a high degree of design freedom to easily change the starting molding position.
There is an effect that.

【0016】上記リードフレームの突起が設けられた平
坦面が枠部である場合には、枠部における突起の加工を
容易化し、機能部分にひずみによる影響を与えないとい
う効果がある。
The flat plate provided with the protrusion of the lead frame is provided.
If the flat surface is a frame, process the projections on the frame.
Simplifies the function and does not affect the function
Has the effect.

【0017】[0017]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の1実施形態のリードフレームの部分
平面図である。
FIG. 1 is a partial plan view of a lead frame according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のリードフレームの積層状態を示す正面図
である。
FIG. 2 is a front view showing a stacked state of the lead frame of FIG. 1;

【図3】図1のリードフレームの製造装置を示す全体図
である。
FIG. 3 is an overall view showing an apparatus for manufacturing the lead frame of FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リードフレーム 2 枠部(平坦面) 4 アイランド部 5 リード線接続部 6 リブ(平坦面) 9 突起 10 リール状リードフレーム 11 供給装置 12 金型 13 パソコン 14 パンチ動作制御装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lead frame 2 Frame part (flat surface) 4 Island part 5 Lead wire connection part 6 Rib (flat surface) 9 Projection 10 Reel-shaped lead frame 11 Supply device 12 Die 13 Personal computer 14 Punch operation control device

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 半導体チップが載置されるアイランド部
と、リード線接続部と、これらアイランド部とリード線
接続部とを支持する枠部を有しており、表面と裏面のい
ずれかの平坦面に複数の半球状突起が設けられ、この突
起の配置位置が、複数枚積層された場合に隣接するもの
同志で突起が同位置とならないように設定されているリ
ードフレームの製造装置であって、リール状リードフレ
ームを繰り出す供給装置と、これを短冊状に切断すると
共にアイランド部のディンプル加工を行なう金型とが設
けられ、この金型に複数の突起を成形するためのパンチ
が設けられ、このパンチをパソコンのデータに基づいて
移動させることにより、各リードフレームの突起成形位
置を変化させるパンチ動作制御装置が設けられているこ
とを特徴とするリードフレームの製造装置。
An island portion on which a semiconductor chip is mounted
, Lead wire connection part, these island part and lead wire
It has a frame that supports the connection part, and
A plurality of hemispherical projections are provided on some of the flat surfaces.
If the starting positions are adjacent to each other when multiple sheets are stacked
Reset the projections so that they are not in the same position.
An apparatus for manufacturing a lead frame, comprising a reel-shaped lead frame.
Feeding unit that feeds the drum and cutting it into strips
Both are equipped with a mold for dimple processing of the island part.
And a punch for forming a plurality of protrusions on this mold.
This punch is based on the data of the personal computer
By moving, the protrusion forming position of each lead frame
A punch operation control device for changing the
And a lead frame manufacturing apparatus.
【請求項2】 上記リードフレームは、突起が設けられ
た平坦面が上記枠部であることを特徴とする請求項1に
記載のリードフレームの製造装置。
2. The lead frame has a projection.
2. The flat surface as defined in claim 1, wherein the flat surface is the frame portion.
An apparatus for manufacturing a lead frame as described in the above.
JP9970798A 1998-04-10 1998-04-10 Lead frame manufacturing equipment Expired - Fee Related JP2954155B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9970798A JP2954155B1 (en) 1998-04-10 1998-04-10 Lead frame manufacturing equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9970798A JP2954155B1 (en) 1998-04-10 1998-04-10 Lead frame manufacturing equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2954155B1 true JP2954155B1 (en) 1999-09-27
JPH11297923A JPH11297923A (en) 1999-10-29

Family

ID=14254549

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9970798A Expired - Fee Related JP2954155B1 (en) 1998-04-10 1998-04-10 Lead frame manufacturing equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2954155B1 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11297923A (en) 1999-10-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100927319B1 (en) Stamped Leadframe and Manufacturing Method Thereof
KR101019369B1 (en) Lead frame, resin encapsulated semiconductor device and method for manufacturing the same
JP5824236B2 (en) QFN (QuadFlatNonLeadedSemiconductorPackage) semiconductor package, manufacturing method thereof, and metal plate used for manufacturing the semiconductor package
JP2954155B1 (en) Lead frame manufacturing equipment
US5920113A (en) Leadframe structure having moveable sub-frame
US5914136A (en) Apparatus for forming semiconductor chip packages
CN102044445B (en) Method for manufacturing lead frame of no-lead semiconductor package (QFN)
JP3638548B2 (en) Manufacturing method of semiconductor package
US8421221B2 (en) Integrated circuit heat spreader stacking system
US20090001531A1 (en) Integrated circuit package system with integral inner lead and paddle
JP2966070B2 (en) Lead frame
JPH04251618A (en) Die for fine press working
US11626350B2 (en) Cutting a leadframe assembly with a plurality of punching tools
CN217862882U (en) IC lead frame forming structure
JP2005252314A (en) Lead frame, resin sealed semiconductor device, and manufacturing method of them
US5155902A (en) Method of packaging a semiconductor device
JPH0974162A (en) Lead frame
JP2016004887A (en) Lead frame, and method of manufacturing lead frame
KR100325291B1 (en) structure for LEAD in stack type semiconductor-package and method of manufacture in stack type semiconductor-package use to this LEAD
JPH06177309A (en) Lead frame provided with excellent contact and separation property
JPH0325418Y2 (en)
JP3069630B2 (en) Lead frame for semiconductor device
KR100621436B1 (en) Multi-chip semiconductor package
JPH01212453A (en) Semiconductor device
JPH01268036A (en) Molding die

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19990615

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees