JP2953023B2 - Matrix display device - Google Patents

Matrix display device

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JP2953023B2
JP2953023B2 JP28087390A JP28087390A JP2953023B2 JP 2953023 B2 JP2953023 B2 JP 2953023B2 JP 28087390 A JP28087390 A JP 28087390A JP 28087390 A JP28087390 A JP 28087390A JP 2953023 B2 JP2953023 B2 JP 2953023B2
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matrix
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博之 村井
和弘 小林
徹 爰河
昌宏 羽山
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はマトリックス表示装置に関し、特に薄膜トラ
ンジスタ(TFT)等を用いたアクティブマトリックス方
式の表示装置に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a matrix display device, and more particularly to an active matrix display device using a thin film transistor (TFT) or the like.

[従来の技術] 近年、液晶を表示に用いるディスプレイ等では各画素
の液晶を駆動するために、各画素毎に薄膜トランジスタ
hin ilm ransistor:略してTFT)を形成するア
クティブマトリックス(ctive atri:略してAM
X)方式が用いられている。このようなディスプレイと
外部との結線を減らしディスプレイの小型化、低価格化
を目的として、AMX方式の表示部と同一基板上にTFT素子
による周辺駆動回路を一体化したIEEE TRANSACTIONS ON
ELECTRON DEVICES,36(9),1923(1989)に記載され
たディスプレイが提案されている。
[Prior Art] In recent years, a display or the like using a liquid crystal display for driving the liquid crystal of each pixel, the thin film transistors for each pixel: Active matrix forming the (T hin F ilm T ransistor short TFT in) (A ctive M atri x: short AM
X) method is used. IEEE TRANSACTIONS ON, which integrates a peripheral drive circuit with TFT elements on the same substrate as the AMX display unit, with the aim of reducing the connection between the display and the outside and reducing the size and cost of the display.
A display described in ELECTRON DEVICES, 36 (9), 1923 (1989) has been proposed.

第6図は従来の周辺駆動回路一体型AMX液晶ディスプ
レイの構造を示す図である。図において表示部(8)は
各画素の液晶を駆動するための多数のTFT(9)が走査
配線と信号線によって接続されたマトリックス回路によ
り構成される。この表示部(8)に対向して設けられた
対向基板(11)の間に液晶(10)を封入することによ
り、AMX液晶ディスプレイが形成される。このAMX液晶デ
ィスプレイを駆動するための周辺駆動回路として、走査
配線に走査側駆動信号を供給する走査回路(6)と信号
配線に信号側駆動信号を供給するシフトレジスタ
(2)、マトリックススイッチ(3)、電圧変換回路
(4)からなる信号回路とをTFTにより形成する。これ
らの表示部(8)と周辺駆動回路(2,3,4,6)を同一絶
縁基板(12)上に一体形成することにより、液晶ディス
プレイを形成した基板と外部との結線を減らすことがで
きる。
FIG. 6 is a diagram showing the structure of a conventional peripheral drive circuit integrated type AMX liquid crystal display. In the figure, the display section (8) is composed of a matrix circuit in which a number of TFTs (9) for driving the liquid crystal of each pixel are connected by scanning lines and signal lines. An AMX liquid crystal display is formed by enclosing a liquid crystal (10) between opposing substrates (11) provided opposite to the display section (8). As a peripheral driving circuit for driving the AMX liquid crystal display, a scanning circuit (6) for supplying a scanning-side driving signal to the scanning wiring, a shift register (2) for supplying a signal-side driving signal to the signal wiring, and a matrix switch (3) ) And a signal circuit comprising a voltage conversion circuit (4) are formed by TFT. By integrally forming the display section (8) and the peripheral drive circuits (2, 3, 4, 6) on the same insulating substrate (12), the connection between the substrate on which the liquid crystal display is formed and the outside can be reduced. it can.

[発明が解決しようとする課題] 従来の同一基板上にAMX表示部と周辺駆動回路を形成
したディスプレイでは、その製造歩留まり(P)はAMX
表示部の製造歩留まり(Q)と周辺駆動回路の製造歩留
まり(R)の積(P=Q×R)となり、製造補留まりの
向上は困難であった。また、走査側駆動回路を構成する
TFTでは24KHz以上、信号側駆動回路を構成するTFTでは4
MHz以上での動作が必要となり、このため周辺駆動回路
を構成するTFTの材料としては高い応答速度が期待でき
る多結晶シリコン(Polycrystalline Sillicon:略してP
oly−Si)が必要であり、このためAMX表示部及び周辺駆
動回路を一体形成する基板としては、Poly−SiTFTを製
作するために必要なプロセス温度である少なくとも700
℃以上の耐熱性を有する高価なガラス基板あるいは石英
基板を用いる必要があった。
[Problems to be Solved by the Invention] In a conventional display in which an AMX display section and a peripheral driving circuit are formed on the same substrate, the manufacturing yield (P) is AMX.
The product yield (Q) of the display section and the product yield (R) of the peripheral drive circuit are the product (P = Q × R), and it is difficult to improve the production yield. In addition, a scanning side driving circuit is configured.
24KHz or higher for TFT, 4 for TFT that configures signal side drive circuit
Operation at MHz or higher is required, Thus polycrystalline silicon (Poly Crystalline Sillicon can expect high response speed as the material of the TFT constituting the peripheral drive circuit: short P
o-Si) is required, and therefore, a substrate on which the AMX display unit and the peripheral driving circuit are integrally formed has a process temperature of at least 700 which is necessary for manufacturing a Poly-Si TFT.
It was necessary to use an expensive glass substrate or quartz substrate having a heat resistance of not less than ° C.

また、表示部が大面積である場合、通常のAMX方式で
はその画素毎に設けられたTFTの材料として大面積形成
が容易な水素化非晶質シリコン(Hydrogenated Amorpho
us Sillicon:略してa−Si:H)を用い、このa−Si:HTF
Tを製作するために必要な製造温度は高々350℃であるの
に対し、この場合においてもAMX表示部と周辺駆動回路
を一体形成する基板としてはPoly−SiTFTを形成するの
に必要な高価なガラス基板を用いる必要があり材料価格
が高くなるという課題があった。また、この製造におい
ては異なる製造工程を必要とするため、例えば表示部の
製造工程により周辺駆動回路に損傷を与え製造歩留まり
を更に低下させるといった課題があった。
In the case where the display unit has a large area, in a normal AMX method, as a material of a TFT provided for each pixel, a hydrogenated amorphous silicon (Hydrogenated Amorpho) which can easily form a large area is used.
us Sillicon: a-Si: H)
The manufacturing temperature required to manufacture T is at most 350 ° C., but in this case also, the expensive substrate necessary to form the Poly-Si TFT is used as a substrate on which the AMX display unit and the peripheral drive circuit are integrally formed. There was a problem that a glass substrate had to be used and the material price was high. In addition, since this manufacturing requires different manufacturing steps, there has been a problem that, for example, the peripheral drive circuit is damaged by the manufacturing process of the display unit, and the manufacturing yield is further reduced.

本発明は上記の様な課題を解決するためになされたも
ので、周辺駆動回路を一体化したマトリックス表示装置
において製造歩留まりを高め、材料価格を低減すること
を目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to increase the production yield and reduce the material cost in a matrix display device in which peripheral driving circuits are integrated.

[課題を解決するための手段] この発明に係るマトリックス表示装置は、複数の走査
配線と、上記各走査配線と交差して設けられた複数の信
号配線と、上記各走査配線と信号配線とに対応して設け
られた表示部と、上記各走査配線と信号配線との交差位
置に設けられ、それぞれの配線及び表示部に接続された
スイッチング用の薄膜半導体と、走査配線用端子部と、
信号配線用端子部とが石英またはガラスよりなる絶縁基
板上に形成されたマトリックス回路基板、上記マトリッ
クス回路基板とは別体で石英またはガラスよりなる絶縁
基板上に薄膜半導体により形成されると共に、該絶縁基
板の一部に形成された端子部を介して上記複数の走査配
線に駆動信号を供給する走査側駆動回路基板、及び上記
マトリックス回路基板と上記走査駆動回路基板とは別体
で石英またはガラスよりなる絶縁基板上に薄膜半導体に
よって形成され、該絶縁基板の一部に形成された端子部
を介して上記複数の信号配線に駆動信号を供給する信号
側駆動回路基板を備え、上記マトリックス回路基板の走
査配線用端子部と上記走査側駆動回路基板の端子部並び
に上記マトリックス回路基板の信号配線用端子部と上記
信号側駆動回路基板の端子部をそれぞれ接合すると共
に、上記マトリックス回路基板と上記走査側駆動回路基
板並びに上記マトリックス回路基板と上記信号側駆動回
路基板をそれぞれ剛体接着するようにしたものである。
[Means for Solving the Problems] A matrix display device according to the present invention includes a plurality of scanning wirings, a plurality of signal wirings provided to intersect each of the scanning wirings, and each of the scanning wirings and the signal wirings. A display unit provided correspondingly, a switching thin film semiconductor provided at the intersection of each of the scanning wirings and the signal wiring, and connected to each wiring and the display unit, a scanning wiring terminal unit,
A matrix circuit board having a signal wiring terminal portion formed on an insulating substrate made of quartz or glass, and a thin-film semiconductor formed on an insulating substrate made of quartz or glass separately from the matrix circuit board. A scanning-side driving circuit board for supplying a driving signal to the plurality of scanning wirings via a terminal formed on a part of an insulating substrate; and a quartz or glass body separate from the matrix circuit board and the scanning driving circuit board A signal side driving circuit board formed of a thin film semiconductor on an insulating substrate made of a thin film semiconductor and supplying a driving signal to the plurality of signal wirings via a terminal portion formed on a part of the insulating substrate; The terminal part for scanning wiring and the terminal part of the scanning side drive circuit board, and the terminal part for signal wiring of the matrix circuit board and the signal side driving circuit board Thereby bonding terminals of each is obtained by the matrix circuit board and the scanning side drive circuit board and the matrix circuit board and the signal-side drive circuit board to each rigid adhesive.

[作用] この発明においては、周辺駆動回路は、マトリックス
回路基板とは別の基板上に薄膜半導体によって形成さ
れ、後にこの周辺駆動回路基板の端子部をマトリックス
回路基板の配線用端子部と接合すると共に、マトリック
ス回路基板と周辺駆動回路基板とを接着固定するため、
基板材質を各々の基板で変えることができ材料価格の低
減が行えるとともに、製造歩留まりの低下を生じること
なく駆動回路を一体化したマトリックス表示装置を得る
ことができる。
[Operation] In the present invention, the peripheral driving circuit is formed of a thin film semiconductor on a substrate different from the matrix circuit substrate, and the terminal portion of the peripheral driving circuit substrate is later joined to the wiring terminal portion of the matrix circuit substrate. At the same time, to adhesively fix the matrix circuit board and the peripheral drive circuit board,
The substrate material can be changed for each substrate, the material price can be reduced, and a matrix display device with an integrated drive circuit can be obtained without lowering the production yield.

[実施例] (実施例1) 以下この発明の一実施例を図について説明する。Embodiment (Embodiment 1) An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図において(1)は信号側駆動回路基板で、Poly
−SiTFTにより構成されたシフトレジスタ(2)、マト
リックススイッチ(3)、電圧変換回路(4)からなる
信号駆動回路が形成されている。また、(5)は走査側
駆動回路基板で、Poly−SiTFTにより構成された走査回
路(6)が形成されている。(7)はAMX基板で、ここ
ではTFT(9)からなるマトリックス回路基板であり、
信号配線用端子部と、走査配線用端子部とを有する。
In FIG. 1, (1) is a signal side drive circuit board,
A signal driving circuit including a shift register (2), a matrix switch (3), and a voltage conversion circuit (4) constituted by SiTFT is formed. Further, (5) is a scanning-side drive circuit board on which a scanning circuit (6) composed of Poly-Si TFT is formed. (7) is an AMX board, here a matrix circuit board made of TFT (9),
It has a signal wiring terminal portion and a scanning wiring terminal portion.

本実施例ではTFT(9)はPoly−Siを用いており、AMX
基板(7)は周辺駆動回路を形成する信号制御回路基板
(1)及び走査側駆動回路基板(5)と同じ材料の基板
を用い、例えば高い歪み点(1000℃)を持つ石英を用い
る。このAMX基板(7)上に表示部(8)を形成し電気
的な検査を行い良否選別を行った後、AMX基板(7)と
対向して対向基板(11)を設け、液晶(10)を封入し液
晶セルを形成する。この液晶セルを点灯検査により再び
良否選別を行った後、電気的な検査により良否選別を行
った周辺駆動回路基板(1)及び(5)と結線、接着す
る。次にAMX基板(7)と信号側駆動回路基板(1)と
の結線、接着方法について述べる。
In this embodiment, the TFT (9) uses Poly-Si, and AMX
As the substrate (7), a substrate made of the same material as the signal control circuit substrate (1) forming the peripheral driving circuit and the scanning side driving circuit substrate (5) is used, for example, quartz having a high strain point (1000 ° C.). A display section (8) is formed on the AMX substrate (7), an electrical inspection is performed, and a pass / fail selection is performed. Then, an opposing substrate (11) is provided facing the AMX substrate (7), and a liquid crystal (10) is provided. To form a liquid crystal cell. After the liquid crystal cell is again subjected to pass / fail screening by lighting inspection, the liquid crystal cell is connected and bonded to the peripheral drive circuit boards (1) and (5) that have been passed / failed screening by electrical inspection. Next, a method of connecting and bonding the AMX board (7) and the signal side drive circuit board (1) will be described.

第2図は、AMX基板(7)と信号側駆動基板(1)と
の結線、接着方法を示す図である。まずAMX基板(7)
の信号配線用端子部に導電性ペースト(13)、ここでは
異方性導電ペーストを塗布し、AMX基板(7)の信号配
線用端子部と信号側駆動回路基板(1)の端子部との位
置合わせを行い熱圧着により剛体接着する。この後、接
着剤(14)、ここでは熱硬化型樹脂によりAMX基板
(7)と信号側駆動回路基板(1)とを接着固定する。
AMX基板(7)の走査配線用端子部と走査側駆動回路基
板(5)の端子部も同様の手順で熱圧着による剛体接着
を行なう。
FIG. 2 is a diagram showing a method of connecting and bonding the AMX substrate (7) and the signal side drive substrate (1). First, AMX substrate (7)
A conductive paste (13), here an anisotropic conductive paste, is applied to the signal wiring terminal portions of the AMX substrate (7) and the signal wiring terminal portions of the AMX substrate (7) and the signal side drive circuit substrate (1). After positioning, rigid bonding is performed by thermocompression bonding. Thereafter, the AMX substrate (7) and the signal side drive circuit substrate (1) are bonded and fixed with an adhesive (14), here a thermosetting resin.
Rigid bonding by thermocompression bonding is also performed on the scanning wiring terminal portion of the AMX substrate (7) and the terminal portion of the scanning side drive circuit substrate (5) in the same procedure.

この様にして製造された駆動回路一体型AMX液晶ディ
スプレイは、表示部(AMX基板)と周辺駆動回路とを各
々選別して熱圧着、接着固定するため、同一基板上に周
辺駆動回路を一体化するAMX液晶ディスプレイに較べ、
周辺駆動回路の一体化によって製造歩留まりの低下を生
じることが無い。
The AMX liquid crystal display with integrated drive circuit manufactured in this way integrates the peripheral drive circuit on the same substrate in order to select the display section (AMX substrate) and the peripheral drive circuit, and heat-bond and fix them. AMX LCD display,
The integration of the peripheral drive circuit does not cause a reduction in manufacturing yield.

(実施例2) 次に、この発明の別な実施例について述べる。第1図
においてTFT(9)はa−Si:Hにより形成され、製造工
程における最高温度は350℃であり、このためAMX基板
(7)の材料として歪み点が510℃のパイレックス(Pyr
ex)を用いる。また、周辺駆動回路を形成した信号側駆
動回路基板(1)と走査側駆動回路基板(5)は、Poly
−Siにより回路を構成するため製造工程における最高温
度は700℃であり、このため基板材料として歪み点が799
℃のコーニング1729(Cornig1729,コーニング社商標)
を用いる。
Embodiment 2 Next, another embodiment of the present invention will be described. In FIG. 1, the TFT (9) is formed of a-Si: H, and the highest temperature in the manufacturing process is 350 ° C. Therefore, as a material of the AMX substrate (7), Pyrex (Pyr) having a strain point of 510 ° C.
ex). The signal-side drive circuit board (1) on which the peripheral drive circuit is formed and the scan-side drive circuit board (5) are made of Poly.
−Since a circuit is composed of Si, the maximum temperature in the manufacturing process is 700 ° C.
C Corning 1729 (Cornig1729, trademark of Corning)
Is used.

この様に異なる材質の基板上に形成されたAMX基板
(7)と周辺駆動回路を形成した信号側駆動回路基板
(1)及び走査側駆動回路基板(5)を実施例1と同じ
手順で熱圧着、剛体接着する。しかし、基板材質が異な
り熱膨張率が違うと熱圧着、剛体接着時の熱処理により
基板相互の端子部の位置ずれが生じ接続不良が生じると
ともに、基板の割れが生じる可能性がある。このため、
各々の基板材料の熱膨張率の差に周辺駆動回路を形成し
た基板(1)及び(5)の長さを乗じた値を2×10-5cm
/℃以下とする必要がある。パイレックスの熱膨張率は
3.25×10-6/℃コーニング1729の熱膨張率は3.5×10-6/
℃であり、本実施例においてはこれらの材料を基板とし
て選ぶことにより、200℃の熱処理を有する熱圧着、接
着固定の製造工程において端子部の位置ずれや基板の割
れ等の原因による不良を生じることなく、長さ60cmまで
の周辺駆動回路基板(1)及び(5)を用いることがで
きる。
The AMX substrate (7) formed on the substrates of different materials in this way, the signal-side drive circuit substrate (1) and the scan-side drive circuit substrate (5) on which the peripheral drive circuit is formed are heated by the same procedure as in the first embodiment. Crimping, rigid bonding. However, if the substrate materials are different and the coefficients of thermal expansion are different, the heat treatment during thermocompression bonding and rigid bonding may cause displacement of the terminals between the substrates, resulting in poor connection and cracking of the substrate. For this reason,
The value obtained by multiplying the difference between the coefficients of thermal expansion of the respective substrate materials by the lengths of the substrates (1) and (5) on which the peripheral drive circuit is formed is 2 × 10 −5 cm.
/ ° C or lower. Pyrex has a coefficient of thermal expansion of
3.25 × 10 -6 / ° C Corning 1729 has a coefficient of thermal expansion of 3.5 × 10 -6 /
° C, and in the present embodiment, by selecting these materials as the substrate, in the manufacturing process of thermocompression bonding and adhesive fixing having a heat treatment of 200 ° C, a defect due to a position shift of the terminal portion or a crack of the substrate occurs. Without using the peripheral drive circuit boards (1) and (5) up to a length of 60 cm.

この様にして製造された駆動回路一体型AMX液晶ディ
スプレイは、実施例1と同様製造歩留まりの低下を生じ
ることなく、かつAMX基板(7)として低価格な材料を
用いることができるため材料コストを低減することがで
きる。
The drive circuit integrated type AMX liquid crystal display manufactured in this manner does not cause a reduction in the production yield as in the first embodiment, and can use a low-cost material as the AMX substrate (7). Can be reduced.

(実施例3) 次にこの発明の第3の実施例について述べる。第3図
において信号側駆動回路基板(1)及び走査側駆動回路
基板(5)を各々2個の基板に分割して周辺駆動回路を
形成し、実施例1と同様の手順で熱圧着、剛体接着す
る。
Third Embodiment Next, a third embodiment of the present invention will be described. In FIG. 3, the signal-side driving circuit board (1) and the scanning-side driving circuit board (5) are each divided into two boards to form a peripheral driving circuit. Glue.

この様に、周辺駆動回路基板を分割して熱圧着、剛体
接着することにより、端子部の位置ずれ及び基板の割れ
等を生じず熱圧着、剛体接着できる各々の基板材料の選
択の範囲が広がり、N個に分割した場合、2×10-5cm/
℃を満足する各々の基板材料の熱膨張率の差は分割しな
い場合の約N倍となる。このため、例えばAMX基板
(7)として一辺10cmのパイレックスを用いる場合、分
割を行わなければ周辺駆動回路基板(1)及び(5)の
材料としては石英を用いることはできなかったが、周辺
駆動回路基板(1)及び(5)を2個以上に分割するこ
とによって、石英を周辺駆動回路基板(1)及び(5)
の材料として用いることができる。このため、周辺駆動
回路を形成する製造温度を実施例2に較べて高くするこ
とができ、高性能な周辺駆動回路の形成が可能となる。
In this way, by dividing the peripheral drive circuit board and performing thermocompression bonding and rigid bonding, the range of selection of each substrate material that can be subjected to thermocompression bonding and rigid bonding without causing displacement of the terminal portion and cracking of the substrate is expanded. , When divided into N pieces, 2 × 10 -5 cm /
The difference between the coefficients of thermal expansion of the respective substrate materials satisfying the temperature C is about N times that in the case where no division is performed. For this reason, for example, when Pyrex having a side of 10 cm is used as the AMX substrate (7), quartz cannot be used as the material of the peripheral drive circuit substrates (1) and (5) unless division is performed. By dividing the circuit boards (1) and (5) into two or more pieces, the quartz is driven around the peripheral drive circuit boards (1) and (5).
Can be used as a material. Therefore, the manufacturing temperature for forming the peripheral drive circuit can be set higher than that in the second embodiment, and a high-performance peripheral drive circuit can be formed.

(実施例4) 次にこの発明の第4の実施例について述べる。第4図
は、AMX基板(7)と信号側駆動回路基板(1)の熱圧
着、剛体接着の方法を示す図である。信号側駆動回路基
板(1)をAMX基板(7)の外周部と対向基板(11)の
間に実施例1と同様の手順で熱圧着、剛体接着する。
Fourth Embodiment Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a diagram showing a method of thermocompression bonding and rigid bonding of the AMX substrate (7) and the signal side drive circuit substrate (1). The signal side drive circuit board (1) is thermocompression-bonded and rigidly bonded between the outer peripheral portion of the AMX board (7) and the opposing board (11) in the same procedure as in the first embodiment.

この様に構成することにより、周辺駆動回路基板
(1)及び(5)の接着強度を実施例1の場合に較べて
高めることができる。
With this configuration, the adhesive strength between the peripheral drive circuit boards (1) and (5) can be increased as compared with the case of the first embodiment.

(実施例5) 第5図は、AMX基板(7)及び信号側駆動回路基板
(1)の端子部を示す図である。端子(16)は一方の側
から順に2つの線列上に交互に分けられて互い違いに配
列されている。この様にすることによって、信号配線
(15)の間隔に較べて隣あう端子(16)の間隔を広くす
ることができ、熱圧着、剛体接着の際の隣の端子(16)
との短絡をなくすことができる。また、走査側について
も同様の構成とすることにより同様の効果を奏すること
はいうまでもない。
Embodiment 5 FIG. 5 is a diagram showing terminal portions of an AMX board (7) and a signal side drive circuit board (1). The terminals (16) are alternately arranged on two lines in order from one side and are alternately arranged. By doing so, the distance between the adjacent terminals (16) can be made wider than the distance between the signal wirings (15), and the adjacent terminals (16) for thermocompression bonding and rigid bonding can be used.
Can be eliminated. Also, needless to say, the same effect can be obtained by adopting the same configuration on the scanning side.

また、上記実施例では導電性ペースト(13)として異
方性導電ペーストを用いる場合について述べたが、半田
ペーストであっても同様の効果を奏する。
In the above embodiment, the case where an anisotropic conductive paste is used as the conductive paste (13) has been described. However, the same effect can be obtained by using a solder paste.

また、上記実施例では接着剤として熱硬化樹脂を用い
る場合について述べたが、光硬化性樹脂であってもよく
同様の効果を奏する。
In the above embodiment, the case where a thermosetting resin is used as the adhesive has been described.

また、上記実施例ではAMX液晶ディスプレイについて
述べたが、他のマトリックス表示装置であっても同様の
効果を奏する。
In the above embodiment, the AMX liquid crystal display has been described. However, the same effects can be obtained with other matrix display devices.

[発明の効果] この発明に係るマトリックス装置によれば以上説明し
たとおり、石英またはガラスよりなる別々の基板にマト
リックス回路と周辺駆動回路を形成した後、それぞれの
回路の端子部を接合し、基板相互を剛体接着するように
しているため基板材質を各々の基板で変えることができ
材料価格の低減が行えるとともに、製造歩留まりの低下
を生じることなく駆動回路を一体化したマトリックス表
示装置が得られるという効果がある。
[Effects of the Invention] According to the matrix device of the present invention, as described above, after forming a matrix circuit and a peripheral drive circuit on separate substrates made of quartz or glass, the terminal portions of the respective circuits are joined to form a substrate. Rigid bonding allows the substrate material to be changed for each substrate, thereby reducing material costs and providing a matrix display device with integrated drive circuits without lowering manufacturing yield. effective.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図はこの発明の一実施例によるマトリックス表示装
置を示す構成図、第2図はこの発明の一実施例による結
線、接着を示す構成図、第3図はこの発明の他の実施例
によるマトリックス表示装置を示す構成図、第4図はこ
の発明の他の実施例による結線、接着を示す構成図、第
5図はこの発明の他の実施例による端子の配置を示す表
示図、第6図は従来のマトリックス表示装置を示す構成
図である。 図において、(1)は信号側駆動回路基板、(2)はシ
フトレジスタ、(3)はマトリックススイッチ、(4)
は電圧変換回路、(5)は走査側駆動回路基板、(6)
は走査回路、(7)はAMX基板、(8)は表示部、
(9)はTFT、(10)は液晶、(11)は対向基板、(1
2)は絶縁基板、(13)は導電ペースト、(14)は接着
剤、(15)は信号配線、(16)は信号配線端子である。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
FIG. 1 is a block diagram showing a matrix display device according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing connection and bonding according to one embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diagram showing another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a configuration diagram showing a matrix display device, FIG. 4 is a configuration diagram showing connection and bonding according to another embodiment of the present invention, FIG. 5 is a display diagram showing arrangement of terminals according to another embodiment of the present invention, FIG. FIG. 1 is a configuration diagram showing a conventional matrix display device. In the figure, (1) is a signal side drive circuit board, (2) is a shift register, (3) is a matrix switch, and (4)
Is a voltage conversion circuit, (5) is a scanning side drive circuit board, (6)
Is a scanning circuit, (7) is an AMX substrate, (8) is a display unit,
(9) TFT, (10) liquid crystal, (11) counter substrate, (1)
2) is an insulating substrate, (13) is a conductive paste, (14) is an adhesive, (15) is a signal wiring, and (16) is a signal wiring terminal. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.

フロントページの続き (72)発明者 羽山 昌宏 兵庫県尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機株式会社材料研究所内 (56)参考文献 特開 平1−289917(JP,A) 特開 平2−89027(JP,A) 特開 平2−214823(JP,A) 実開 平1−166320(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/1345 Continuation of the front page (72) Inventor Masahiro Hayama 8-1-1 Tsukaguchi Honcho, Amagasaki City, Hyogo Prefecture Mitsubishi Materials Corporation Materials Research Laboratory (56) References JP-A-1-289917 (JP, A) JP-A-2 -89027 (JP, A) JP-A-2-214823 (JP, A) JP-A-1-166320 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G02F 1/1345

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数の走査配線と、上記各走査配線と交差
して設けられた複数の信号配線と、上記各走査配線と信
号配線とに対応して設けられた表示部と、上記各走査配
線と信号配線との交差位置に設けられ、それぞれの配線
及び表示部に接続されたスイッチング用の薄膜半導体
と、走査配線用端子部と、信号配線用端子部とが石英ま
たはガラスよりなる絶縁基板上に形成されたマトリック
ス回路基板、上記マトリックス回路基板とは別体で石英
またはガラスよりなる絶縁基板上に薄膜半導体により形
成されると共に、該絶縁基板の一部に形成された端子部
を介して上記複数の走査配線に駆動信号を供給する走査
側駆動回路基板、及び上記マトリックス回路基板と上記
走査側駆動回路基板とは別体で石英またはガラスよりな
る絶縁基板上に薄膜半導体によって形成され、該絶縁基
板の一部に形成された端子部を介して上記複数の信号配
線に駆動信号を供給する信号側駆動回路基板を備え、上
記マトリックス回路基板の走査配線用端子部と上記走査
側駆動回路基板の端子部並びに上記マトリックス回路基
板の信号配線用端子部と上記信号側駆動回路基板の端子
部をそれぞれ接合すると共に、上記マトリックス回路基
板と上記走査側駆動回路基板並びに上記マトリックス回
路基板と上記信号側駆動回路基板をそれぞれ剛体接着す
るようにしたことを特徴とするマトリックス表示装置。
A plurality of scanning lines; a plurality of signal lines provided to intersect each of the scanning lines; a display unit provided corresponding to each of the scanning lines and the signal lines; A switching thin film semiconductor provided at the intersection of the wiring and the signal wiring and connected to the respective wiring and the display unit, an insulating substrate in which the scanning wiring terminal and the signal wiring terminal are made of quartz or glass. The matrix circuit board formed on the thin film semiconductor is formed on an insulating substrate made of quartz or glass separately from the matrix circuit board, and through a terminal portion formed on a part of the insulating substrate. A scanning-side driving circuit board for supplying a driving signal to the plurality of scanning wirings; and a thin film on an insulating substrate made of quartz or glass separately from the matrix circuit board and the scanning-side driving circuit board. A signal-side driving circuit board that is formed of a conductor and supplies a driving signal to the plurality of signal wirings via a terminal formed on a part of the insulating substrate; and a scanning wiring terminal of the matrix circuit board. The terminal part of the scanning side drive circuit board, the signal wiring terminal part of the matrix circuit board and the terminal part of the signal side drive circuit board are respectively joined, and the matrix circuit board, the scan side drive circuit board, and the matrix A matrix display device, wherein a circuit board and the signal-side drive circuit board are rigidly bonded to each other.
【請求項2】マトリックス回路基板、走査側駆動回路基
板及び信号側駆動回路基板は、各別に電気的検査による
良否選別を行なった後、剛体接着されることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載のマトリックス表示装置。
2. The method according to claim 1, wherein the matrix circuit board, the scanning-side drive circuit board and the signal-side drive circuit board are individually subjected to quality inspection by electrical inspection and then rigidly bonded. The matrix display device according to the above item.
【請求項3】走査側駆動回路基板及び信号側駆動回路基
板は、それぞれの絶縁基板の材料とマトリックス回路基
板の絶縁基板の材料との熱膨張率差に走査側駆動回路基
板又は信号側駆動回路基板の長辺の長さを乗じた値が2
×10-5cm/℃以下であることを特徴とする特許請求の範
囲第1項または第2項記載のマトリックス表示装置。
3. The scanning-side drive circuit board and the signal-side drive circuit board, wherein the thermal expansion coefficient difference between the material of the respective insulating substrate and the material of the insulating substrate of the matrix circuit board is different. The value obtained by multiplying the length of the long side of the substrate is 2
3. The matrix display device according to claim 1, wherein the matrix display device has a temperature of not more than × 10 −5 cm / ° C.
【請求項4】走査側駆動回路基板及び信号側駆動回路基
板の端子部は、互いに隣接する端子部が異なる線列上に
互い違いに配列されていることを特徴とする特許請求の
範囲第1項〜第3項のいずれか一項記載のマトリックス
表示装置。
4. The terminal part of the scanning-side drive circuit board and the terminal part of the signal-side drive circuit board, wherein terminal parts adjacent to each other are alternately arranged on different line rows. The matrix display device according to any one of claims 1 to 3.
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