JP2945364B2 - 温度制御装置 - Google Patents

温度制御装置

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JP2945364B2
JP2945364B2 JP4292898A JP4292898A JP2945364B2 JP 2945364 B2 JP2945364 B2 JP 2945364B2 JP 4292898 A JP4292898 A JP 4292898A JP 4292898 A JP4292898 A JP 4292898A JP 2945364 B2 JP2945364 B2 JP 2945364B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、恒温槽,クリーン
ルーム等の高精度の温度制御が必要となる温度制御対象
空間の温度を利用者によって設定された設定温度に保つ
温度制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】恒温槽,クリーンルーム等に比較して精
度が要求されない冷蔵庫等に於いては、庫内の温度が設
定温度になった場合、ポンプダウンを行った後(ポンプ
ダウンを行わない場合もある)、冷凍機を停止させ、庫
内の温度が上がった場合には冷凍機の運転を再開するこ
とにより、温度制御を行うようにしている。しかし、こ
の方法は、冷凍機の運転を再開してから庫内の温度が設
定温度になるまでに時間がかかり、高精度の温度制御を
行うことはできない。
【0003】そこで、高精度の温度制御が要求される恒
温槽やクリーンルーム等の温度制御対象空間の温度を設
定温度に保つ場合、従来は、冷凍機を運転しながらヒー
タの発熱量を制御することにより、温度制御対象空間の
温度を設定温度に保つようにしていた。
【0004】図4は、従来の温度制御装置の構成例を示
した図であり、恒温槽1a内の温度を利用者が設定した
設定温度に保つためのものである。
【0005】恒温槽1a内のエバポレータ2から出力し
た気体状態の冷媒は、吸入圧力調整弁8を介して冷凍機
9に導かれる。冷凍機9は、圧縮機及び圧縮機を駆動す
るモータ(共に図示せず)から構成されるものであり、
エバポレータ2からの気体状態の冷媒を圧縮する。
【0006】冷凍機9で圧縮された高温高圧ガスは、高
圧調整弁10を介してコンデンサ11に送られ、そこで
液化される。この液化された冷媒は、レシーバタンク1
2に溜められ、ドライヤフィルタ13,サイトグラス1
4,冷媒用電磁弁15,温度式膨張弁5を介して再びエ
バポレータ2に送られる。エバポレータ2に送られた冷
媒は、その内部で蒸発し、恒温槽1a内を冷却する。
【0007】一方、恒温槽1a内の温度は、温度センサ
3によって検出されており、温度制御部17は、温度セ
ンサ3によって検出された温度と利用者によって設定さ
れた設定温度との差分に基づいてヒータ16の発熱量を
制御することにより、恒温槽1a内の温度を設定温度に
保つ。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
は、冷凍機を運転しながらヒータの発熱量を制御するこ
とにより、温度制御対象空間の温度を設定温度に保つよ
うにしているため、消費電力が多くなるという問題があ
った。通常ヒータの消費電力は、冷凍機の消費電力の2
〜3倍にもなる。
【0009】そこで、本発明の目的は、少ない消費電力
で温度制御対象空間内の温度を設定温度に保てるように
することにある
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の温度制御装置
は、少ない消費電力で温度制御対象空間内の温度を設定
温度に保てるようにするため、温度制御対象空間内に配
置されているエバポレータから出力される冷媒を吸い込
んで圧縮する冷凍機から出力された高温高圧ガスをコン
デンサで液化してレシーバタンクに貯蔵し、膨張弁を通
じて前記エバポレータに供給する構成を有し、更に、前
記コンデンサに入力される高温高圧ガスの一部を前記エ
バポレータの冷媒入力経路に導くバイパス経路と、該バ
イパス経路の途中に設けられた流量制御弁と、前記温度
制御対象空間内の温度を検出する温度センサと、該温度
センサの検出温度と前記温度制御対象空間の設定温度と
の差分に応じて前記流量制御弁を制御する温度制御部
と、前記エバポレータから出力される冷媒を冷却して出
力する第1の冷却器と、 該第1の冷却器から出力される
冷媒を前記冷凍機の低圧側に送る経路中に設けられた吸
入圧力調整弁とを備えている。
【0011】この構成に於いては、冷凍機から出力され
た高温高圧ガスの一部は、流量制御弁を介してエバポレ
ータの冷媒入力経路に導かれ、冷媒入力経路を流れる冷
媒と混合される。混合される高温高圧ガスの量は、流量
制御弁により調整され、この流量制御弁は、温度制御部
が、温度センサの検出温度と温度制御対象空間の温度と
の差分に応じて制御する。従って、検出温度と設定温度
との差分に応じた温度の冷媒がエバポレータに供給され
るので、温度制御対象空間の温度は設定温度となる。ま
た、エバポレータから出力された冷媒は、第1の冷却器
によって冷却された後、吸入圧力調整弁を介して冷凍機
に送られる。
【0012】また、本発明の温度制御装置は、装置を経
済的に構成するため、前記第1の冷却器は、前記レシー
バタンクに貯蔵され前記膨張弁を通じて前記エバポレー
タに供給される冷媒を、冷却用の冷媒として使用する第
1の熱交換器によって構成される。
【0013】この構成に於いては、レシーバタンクに貯
蔵され膨張弁を通じてエバポレータに供給される冷媒
を、冷却用の冷媒として使用する第1の熱交換器によ
り、エバポレータから出力される冷媒を冷却する。
【0014】また、本発明の温度制御装置は、流量制御
弁が加熱によって破損することを防止するため、前記バ
イパス経路上の前記流量制御弁より上流に設けられ、前
記高温高圧ガスを冷却して前記流量制御弁に送る第2の
冷却器を備えている。
【0015】この構成に於いては、冷凍機から出力され
た高温高圧ガスは、第2の冷却器で冷却されてから、流
量制御弁に送られる。
【0016】また、本発明の温度制御装置は、装置を経
済的に構成するため、前記第2の冷却器は、前記レシー
バタンクに貯蔵され前記膨張弁を通じて前記エバポレー
タに供給される冷媒を、冷却用の冷媒として使用する第
2の熱交換器によって構成される。
【0017】この構成に於いては、レシーバタンクに貯
蔵され膨張弁を通じてエバポレータに供給される冷媒
を、冷却用の冷媒として使用する第2の熱交換器により
冷凍機から出力された高温高圧ガスを冷却する。
【0018】本発明の温度制御装置は、温度制御装置を
製作する際の配管作業や、設置作業を容易なものにする
ために、温度制御装置に於いて使用する第1,第2の熱
交換器を、密閉容器と、該密閉容器内部をその一端から
他端に向かって4分割することにより構成した第1,第
2,第3及び第4の室と、前記第1の室と前記第4の室
とを連通させ且つ前記第2及び第3の室を通る複数本の
連通パイプと、前記密閉容器に開けられた、前記第1の
室の内外を連通させる1個の孔,前記第2の室の内外を
連通させる2個の孔,前記第3の室の内外を連通させる
2個の孔,前記第4の室の内外を連通させる1個の孔そ
れぞれに対して、孔が中空部と一致する状態で前記密閉
容器の外面に取り付けられたパイプとから構成する。
【0019】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面を参照して詳細に説明する。
【0020】図1は本発明の実施例の一例を示す構成図
であり、恒温槽1の温度を設定温度(−80℃〜60℃
程度)に保つ温度制御装置に本発明を適用した場合につ
いてのものである。
【0021】本実施例の温度制御装置は、恒温槽1と、
エバポレータ2と、温度センサ3と、温度制御部4と、
温度式膨張弁5と、電磁弁6と、熱交換器7と、熱交換
器7を所定位置に固定するための取付金具7aと、吸入
圧力調整弁8と、圧縮機及び圧縮機を駆動するモータ
(共に図示せず)から構成される冷凍機9と、高圧調整
弁10と、コンデンサ11と、レシーバタンク12と、
ドライヤフィルタ13と、サイトグラス14と、冷媒用
電磁弁15と、熱交換器7に溶接された6本のパイプ7
5−1〜75−6とから構成されている。コンデンサ1
1は、水冷式,空冷式の何れでも構わない。
【0022】恒温槽1内の温度センサ3は、恒温槽1内
の温度を検出し、検出温度を温度制御部4に出力する機
能を有する。
【0023】温度制御部4は、温度センサ3の検出温度
と利用者によって設定された設定温度との差分に基づい
て電磁弁6の単位時間当たりの開時間を制御することに
より、電磁弁6を介して流れる冷媒の流量を制御する機
能を有する。
【0024】図2(A),(B)は、それぞれ熱交換器
7の縦,横方向の断面を示す断面図である。
【0025】熱交換器7を構成する密閉容器71は、半
球部77−1の端部と円筒部77−2の上端との間に隔
壁73−1を挟んだ状態で半球部77−1と筒部77−
2とを溶接し、円筒部77−2の下端と円筒部77−3
の上端との間に隔壁73−2を挟んだ状態で円筒部77
−2と円筒部77−3とを溶接し、円筒部77−3の下
端と半球部77−4の端部との間に隔壁73−3を挟ん
だ状態で円筒部77−3と半球部77−4とを溶接する
ことにより構成される。尚、本実施例では、密閉容器7
1,隔壁73−1〜73−3の材質を鉄とした。
【0026】密閉容器71の内部は、隔壁73−1〜7
3−3によって、第1〜第4の室72−1〜72−4に
分割されている。第1の室72−1と第4の室72−4
とは、複数本(10本程度)の連通パイプ74によって
連通されている。つまり、第1の室72−1には連通パ
イプ74の一端が配置され、第4の室72−4には連通
パイプ74の他端が配置されている。連通パイプ74の
中間部分は、第2,第3の室72−2,72−3を通っ
ている。また、連通パイプ74と各隔壁73−1〜73
−3との間に生じた隙間は、ロウ付けにより塞がれてい
る。
【0027】また、密閉容器71には、第1の室72−
1の内外を連通する孔76−1と、第2の室72−2の
内外を連通する2個の孔76−2,76−4と、第3の
室72−3の内外を連通する2個の孔76−3,76−
5と、第4の室74−4の内外を連通する孔76−6と
が設けられている。尚、第2の室72−2の内外を連通
する2つの孔76−2,76−4は、第2の室72−2
に於いて行われる熱交換の効率を良くするために、なる
べく離れた位置に設けることが望ましく、第3の室72
−3の内外を連通する2つの孔76−3,76−5も同
様の理由からなるべくはなれた位置に設けることが望ま
しい。また、孔76−2,76−4は、それぞれ第2の
室72−2の下部,上部に設けることが望ましく、孔7
6−3,76−5はそれぞれ第3の室72−3の上部,
下部に設けることが望ましい。
【0028】また、密閉容器71の外面には、各孔76
−1〜76−6それぞれに対して、孔が中空部に位置す
るような形でパイプ75−1〜75−6が溶接されてい
る。本実施例では、パイプ75−1〜75−6の材質を
銅とした。
【0029】パイプ75−1は、合流部Aに於いて、パ
イプ75−2に接続されている。パイプ75−3はエバ
ポレータ2に接続され、パイプ75−4は分岐部Bに接
続され、パイプ75−5は吸入圧力調整弁8に接続さ
れ、パイプ75−6は温度式膨張弁5に接続されてい
る。
【0030】熱交換器7のサイズは、冷凍機9のモータ
出力によって異なるものとなるが、モータ出力が3馬力
程度の場合は、全体の高さが450mm、外径が200m
m、第1〜第4の室の高さがそれぞれ50mm,200m
m,150mm,50mm程度となる。また、連通パイプ7
4の外径,内径はそれぞれ12mm,10mm程度となる。
【0031】次に、本実施例の動作について説明する。
【0032】恒温槽1内に設けられたエバポレータ2か
ら出力された気体状態の冷媒(例えば、R−22,R−
23,R−404a等)は、パイプ75−3を通じて熱
交換器7内の第3の室72−3に導かれ、更に、パイプ
75−5,吸入圧力調整弁8を介して冷凍機9に導かれ
る。冷凍機9では、冷媒を圧縮して出力する。尚、冷凍
機9は、連続運転される。
【0033】冷凍機9から出力された高温高圧ガスは、
分岐部Bに至り、ここでコンデンサ11方向と熱交換器
7方向に分岐される。
【0034】コンデンサ11では、高圧調整弁10を介
して冷凍機9から供給される高温高圧ガスを冷却して液
化する。この液化された冷媒は、レシーバタンク12に
溜められた後、ドライヤフィルタ13,サイトグラス1
4,冷媒用電磁弁15,温度式膨張弁5,パイプ75−
6を介して熱交換器7内の第4の室72−4に導かれ
る。
【0035】第4の室72−4は、図2に示すように、
複数本の連通パイプ74によって第1の室72−1と連
通しているので、第4の室72−4に導かれた冷媒は、
第1の室72−1に導かれる。この第1の室72−1に
導かれた冷媒は、パイプ75−1を介して合流部Aに至
り、ここで、パイプ75−2,電磁弁6を介して熱交換
器7から送られてくる冷媒と混合される。混合後の冷媒
は、エバポレータ2に送られてその内部で蒸発し、再び
熱交換器7の第3の室72−3に導かれる。分岐部Bで
コンデンサ11方向に分岐された高温高圧ガスの流れ
は、上記したようになる。
【0036】一方、分岐部Bで熱交換器7方向に分岐さ
れた高温高圧ガスは、パイプ75−4を介して熱交換器
7内の第2の室72−2に導かれる。更に、この第2の
室72−2に導かれた冷媒は、パイプ75−2,電磁弁
6を介して合流部Aに至り、そこでパイプ75−1を介
して熱交換器7から送られてくる冷媒と混合される。
尚、このような冷媒の流れは、電磁弁6が開となってい
る場合のみ生じる。
【0037】ここで、熱交換器7周辺の冷媒の流れにつ
いてまとめておく。
【0038】a.第4の室72−4には、コンデンサ1
1で液化された低温(−10℃程度)の冷媒が流入す
る。この第4の室72−4に流入した低温の冷媒は、連
通パイプ74を通って第1の室72−1に送られ、更に
パイプ75−1を介して合流部Aに送られる。
【0039】b.第2の室72−2には、電磁弁6が開
いている期間、冷凍機9から出力された110℃〜12
0℃程度の高温高圧ガスが、パイプ75−4を介して流
入する。第2の室72−2に流入した高温高圧ガスは、
電磁弁6が開いている期間、パイプ75−2を介して合
流部Aに送られ、ここで、パイプ75−1を介して送ら
れてきた冷媒と混合されてエバポレータ2に送られる。
【0040】c.第3の室72−3には、エバポレータ
2で蒸発した冷媒がパイプ75−3を介して流入する。
この冷媒は、パイプ75−5から流出する。尚、第3の
室72−3に流入する冷媒の温度は、恒温槽1の温度に
より異なるものとなるが、従来の温度制御装置のエバポ
レータから出力される冷媒よりも高い温度となる。
【0041】このような冷媒の流れにより、熱交換器7
内に於いては、下記d,eのような熱交換が行われる。
【0042】d.第2の室72−2に於いては、連通パ
イプ74を流れる低温の冷媒と、パイプ75−4を介し
て流入した高温高圧ガス(冷凍機9の高圧側から出力さ
れた高温高圧ガス)との間で熱交換が行われる。
【0043】e.第3の室72−3に於いては、連通パ
イプ74を流れる低温の冷媒と、パイプ75−3を介し
て流入したエバポレータ2からの冷媒との間で熱交換が
行われる。
【0044】上記したように、コンデンサ11で液化さ
れた冷媒,冷凍機9から出力された高温高圧ガスは、熱
交換器7内で上記dのような熱交換が行われた後、合流
部Aで合流し、エバポレータ2に送られるので、温度制
御部4に於いて、利用者によって設定された設定温度T
と温度センサ3によって検出された恒温槽1内の温度T
sとの差分ΔT=T−Tsに基づいて、電磁弁6の単位
時間当たりの開時間を制御することにより、恒温槽1内
の温度を設定温度Tにすることができる。より具体的に
は、差分ΔTの符号が正の場合(恒温槽1内の温度Ts
が設定温度Tよりも低い場合)は、差分ΔTの絶対値が
大きいほど、電磁弁6の単位時間当たりの開時間を長く
し、差分ΔTの符号が負の場合(恒温槽1内の温度Ts
が設定温度Tよりも高い場合)は、差分ΔTの絶対値が
大きい場合ほど、電磁弁6の単位時間当たりの開時間を
短くし、差分ΔTが0の場合は、現在の単位時間当たり
の開時間を保持する。
【0045】つまり、恒温槽1内の温度Tsが設定温度
Tに比べて低い場合ほど、熱交換器7に流れ込む高温高
圧ガスの量が多くなり(エバポレータ2に流れ込む冷媒
の温度が高くなる)、恒温槽1内の温度Tsが設定温度
Tに比べて高い場合ほど、熱交換器7に流れ込む高温高
圧ガスの量が少なくなる(エバポレータ2に流れ込む冷
媒の温度が低くなる)ので、恒温槽1内の温度Tsを設
定温度Tにすることができる。
【0046】このように、本実施例は、冷凍機9の高圧
側から出力される高温高圧ガスを利用して恒温槽1内の
温度を設定温度にするようにしているので、ヒータによ
る温度制御が不要になる。このため、ヒータを用いて恒
温槽1内の温度を制御していた従来の技術に比較して消
費電力を大幅に削減することができる。前述したよう
に、ヒータの消費電力は、冷凍機の2〜3倍であるの
で、本実施例のようにすることにより、消費電力は1/
3〜1/2程度になる。
【0047】本実施例では、エバポレータ2に供給する
冷媒の温度が、従来の技術に比較して高くなるので、エ
バポレータ2から出力される冷媒の温度も従来の技術に
比較して高いものになる。このため、エバポレータ2か
ら出力された冷媒をそのまま冷凍機9に戻すと、冷凍機
9が加熱し壊れてしまう場合がある。そこで、本実施例
では、エバポレータ2から出力された冷媒を熱交換器7
の第3の室72−3を介して冷凍機9の低圧側に戻して
いる。第3の室72−3では、上記eの熱交換を行われ
るので、エバポレータ2から出力された冷媒は温度が下
げられた後に、冷凍機9に戻されることになる。従っ
て、本実施例によれば、冷凍機9の加熱を抑えることが
できる。尚、冷凍機9に戻す冷媒の温度は、冷凍機9の
規格によって定まっている許容温度範囲(0℃〜20℃
程度)とする。
【0048】また、本実施例では、冷凍機9から出力さ
れた高温高圧ガスを、熱交換器7内の第2の室72−2
を介して電磁弁6に供給するようにしている。上記高温
高圧ガスは、第2の室72−2内に於いて、連通パイプ
74内を流れるコンデンサ11からの冷媒と熱交換さ
れ、その温度が下げられるので、電磁弁6が高温に耐え
られないものであっても、それが破損することはない。
尚、電磁弁6が高温に耐えられるものである場合には、
冷凍機9の高圧側から出力された高温高圧ガスを、熱交
換器7を介さずに、直接電磁弁6に供給するようにする
構成を採用することもできる。尚、電磁弁6に供給する
冷媒の温度は、電磁弁6の規格によって定まっている許
容温度(例えば120℃)以下にする。
【0049】また、上述した実施例に於いては、電磁弁
6の単位時間当たりの開時間を制御することにより、熱
交換器7の第2の室72−2から出力される冷媒の流量
を制御するようにしたが、ステップモータによりその開
度が制御されるような弁の開度を制御することにより、
冷媒の流量を制御するようにしても良い。
【0050】ところで、熱交換器7の代わりに、図3に
示すような、2つの熱交換器7A,7Bを用いることも
考えられる。しかし、このようにした場合は、熱交換器
7AのパイプPAと熱交換器7BのパイプPBとを接続
部Cで接続しなければならないので、配管作業が本発明
に比較して面倒なものになる。更に、2個の熱交換器7
A,7Bを設置しなければならないので、多くの設置ス
ペースが必要になると共に、設置作業が面倒なものにな
る。尚、図3に於いて、図1と同一符号は同一部分を表
している。
【0051】
【発明の効果】本発明の温度制御装置は、冷凍機から出
力される高温高圧ガスを利用して温度制御を行っている
ので、ヒータを用いて温度制御をしていた従来の技術に
比較して消費電力を大幅に削減できる効果がある。更
に、エバポレータから出力された冷媒の温度を第1の冷
却器を用いて下げた後、吸入圧力調整弁を介して冷凍機
に戻すようにしているので、冷凍機の加熱による破損を
防ぐことができる。
【0052】また、本発明の温度制御装置は、レシーバ
タンクに貯蔵され膨張弁を通じてエバポレータに供給さ
れる冷媒(温度制御対象空間の温度制御を行うために使
用する冷媒)を、冷却用の冷媒として使用する第1の熱
交換器によりエバポレータから出力される冷媒を冷却す
るようにしているので、装置を経済的に構成することが
できる。
【0053】また、本発明の温度制御装置は、バイパス
経路上の流量制御弁より上流に設けられ、高温高圧ガス
を冷却して流量制御弁に送る第2の冷却器を備えている
ので、流量制御弁が加熱によって破損することを防止で
きる。
【0054】更に、本発明の温度制御装置は、レシーバ
タンクに貯蔵され膨張弁を通じてエバポレータに供給さ
れる冷媒を、冷却用の冷媒として使用する第2の熱交換
器により冷凍機から出力された高温高圧ガスを冷却する
ようにしているので、装置を経済的に構成することがで
きる。
【0055】また、本発明の温度制御装置で使用する
交換器は、密閉容器と、密閉容器内部に構成された第
1,第2,第3及び第4の室と、第1の室と第4の室と
を連通させる複数本の連通パイプと、密閉容器に開けら
れた各孔に対応して密閉容器の外面に取り付けられたパ
イプとを備えているので、温度制御装置を製作する際の
配管作業や、設置作業を容易なものにすることができる
と共に、設置スペースを小さくすることができる。更
に、温度制御装置にある程度の容積を有する温度制御装
置用熱交換器を使用することにより、脈流を少なくし、
エバポレータに供給する冷媒の量を安定させることがで
きるので、温度制御を高精度で行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成図である。
【図2】熱交換器7の構成例を示す断面図である。
【図3】本発明の熱交換器の効果を説明するための図で
ある。
【図4】従来例の構成図である。
【符号の説明】
1…恒温槽 2…エバポレータ 3…温度センサ 4…温度制御部 5…温度式膨張弁 6…電磁弁 7…熱交換器 71…密閉容器 72−1〜72−4…室 73−1〜73−3…隔壁 74…連通パイプ 75−1〜75−6…パイプ 76−1〜76−6…孔 7a…取付金具 8…吸入圧力調整弁 9…冷凍機 10…高圧調整弁 11…コンデンサ 12…レシーバタンク 13…ドライヤフィルタ 14…サイトグラス 15…冷媒用電磁弁

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 温度制御対象空間内に配置されているエ
    バポレータから出力される冷媒を吸い込んで圧縮する冷
    凍機から出力された高温高圧ガスをコンデンサで液化し
    てレシーバタンクに貯蔵し、膨張弁を通じて前記エバポ
    レータに供給する構成を有し、更に、 前記コンデンサに入力される高温高圧ガスの一部を前記
    エバポレータの冷媒入力経路に導くバイパス経路と、 該バイパス経路の途中に設けられた流量制御弁と、 前記温度制御対象空間内の温度を検出する温度センサ
    と、 該温度センサの検出温度と前記温度制御対象空間の設定
    温度との差分に応じて前記流量制御弁を制御する温度制
    御部と、 前記エバポレータから出力される冷媒を冷却して出力す
    る第1の冷却器と、 該第1の冷却器から出力される冷媒を前記冷凍機の低圧
    側に送る経路中に設けられた吸入圧力調整弁 とを備える
    ことを特徴とする温度制御装置。
  2. 【請求項2】 前記第1の冷却器は、前記レシーバタン
    クに貯蔵され前記膨張弁を通じて前記エバポレータに供
    給される冷媒を、冷却用の冷媒として使用する第1の熱
    交換器であることを特徴とする請求項1記載の温度制御
    装置。
  3. 【請求項3】 前記バイパス経路上の前記流量制御弁よ
    り上流に設けられ、前記高温高圧ガスを冷却して前記流
    量制御弁に送る第2の冷却器を備えることを特徴とする
    請求項2記載の温度制御装置。
  4. 【請求項4】 前記第2の冷却器は、前記レシーバタン
    クに貯蔵され前記膨張弁を通じて前記エバポレータに供
    給される冷媒を、冷却用の冷媒として使用する第2の熱
    交換器であることを特徴とする請求項3記載の温度制御
    装置。
  5. 【請求項5】 前記第1及び第2の熱交換器は、一体に
    なっていることを特徴とする請求項4記載の温度制御装
    置。
  6. 【請求項6】 前記流量制御弁は、弁の開閉を制御され
    る構成を備え、 前記温度制御部は、前記流量制御弁の単位時間当たりの
    開時間を制御する構成を備えたことを特徴とする請求項
    5記載の温度制御装置。
  7. 【請求項7】 前記流量制御弁は、弁の開度を制御され
    る構成を備え、 前記温度制御部は、前記流量制御弁の開度を制御する構
    成を備えたことを特徴とする請求項5記載の温度制御装
    置。
  8. 【請求項8】 請求項5記載の温度制御装置に於いて、
    前記一体となっている第1及び第2の熱交換器は、 密閉容器と、 該密閉容器内部をその一端から他端に向かって4分割す
    ることにより構成した第1,第2,第3及び第4の室
    と、 前記第1の室と前記第4の室とを連通させ且つ前記第2
    及び第3の室を通る複数本の連通パイプと、 前記密閉容器に開けられた、前記第1の室の内外を連通
    させる1個の孔,前記第2の室の内外を連通させる2個
    の孔,前記第3の室の内外を連通させる2個の孔,前記
    第4の室の内外を連通させる1個の孔それぞれに対し
    て、孔が中空部と一致する状態で前記密閉容器の外面に
    取り付けられたパイプとを備えたことを特徴とする温度
    制御装
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