JP2927083B2 - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
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- recording head
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッド、特に、高解像度用のインクジェット記録ヘッドに
関するものである。
ッド、特に、高解像度用のインクジェット記録ヘッドに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録方式は、比較的高い
周波数で印字ができる記録方法として注目されている。
この方式に用いられるインクジェット記録ヘッドは、イ
ンクを噴出させるための毛細管状に形成されたノズル
と、それぞれのノズルのインク流路に配置される発熱素
子や圧電素子などの圧力発生手段とから構成されてい
る。
周波数で印字ができる記録方法として注目されている。
この方式に用いられるインクジェット記録ヘッドは、イ
ンクを噴出させるための毛細管状に形成されたノズル
と、それぞれのノズルのインク流路に配置される発熱素
子や圧電素子などの圧力発生手段とから構成されてい
る。
【０００３】ノズルの形成方法としては、特開昭６１−
２３０９５４号公報に記載されているように、２枚のシ
リコンウェハから大量の記録ヘッドを同時に作製するこ
とによって、安価で高解像度用のインクジェット記録ヘ
ッドを得る方法が知られている。このようなインクジェ
ット記録ヘッドにおいては、インク滴を吐出するための
ノズルを形成するための溝（チャンネル）やインクリザ
ーバを形成するための開口等を作製する方法としては、
水酸化カリウム（ＫＯＨ）溶液に対するシリコン結晶の
（１００）面と（１１１）面のエッチング速度の差を利
用したシリコンウェハの異方性エッチングを用いる方法
が最適である。この方法は、シリコン結晶の方位に依存
したエッチングであるために、非常に精度良く溝加工が
できるという特徴をもっている。
２３０９５４号公報に記載されているように、２枚のシ
リコンウェハから大量の記録ヘッドを同時に作製するこ
とによって、安価で高解像度用のインクジェット記録ヘ
ッドを得る方法が知られている。このようなインクジェ
ット記録ヘッドにおいては、インク滴を吐出するための
ノズルを形成するための溝（チャンネル）やインクリザ
ーバを形成するための開口等を作製する方法としては、
水酸化カリウム（ＫＯＨ）溶液に対するシリコン結晶の
（１００）面と（１１１）面のエッチング速度の差を利
用したシリコンウェハの異方性エッチングを用いる方法
が最適である。この方法は、シリコン結晶の方位に依存
したエッチングであるために、非常に精度良く溝加工が
できるという特徴をもっている。
【０００４】また、特開昭５６−２８６５４号公報、特
開昭５７−４３７８６号公報等に記されているように、
感光性樹脂で隔壁を形成し、その上に天板を接合する方
法が提案されているが、この方法もノズルを精度良く形
成できる方法である。
開昭５７−４３７８６号公報等に記されているように、
感光性樹脂で隔壁を形成し、その上に天板を接合する方
法が提案されているが、この方法もノズルを精度良く形
成できる方法である。
【０００５】しかしながら、上述したシリコン結晶の
（１００）面と（１１１）面のエッチング速度の差を利
用したシリコンウェハの異方性エッチングによって、ノ
ズルを形成するための溝（チャンネル）を形成する方法
は、非常に精度良く溝加工ができるが、チャンネルの断
面形状は、二等辺三角形または台形に制限される。その
理由は、シリコン結晶の（１００）面と（１１１）面が
５４．７４゜をなすことにより、エッチング溝の斜面の
角度が決まってしまうことによる。
（１００）面と（１１１）面のエッチング速度の差を利
用したシリコンウェハの異方性エッチングによって、ノ
ズルを形成するための溝（チャンネル）を形成する方法
は、非常に精度良く溝加工ができるが、チャンネルの断
面形状は、二等辺三角形または台形に制限される。その
理由は、シリコン結晶の（１００）面と（１１１）面が
５４．７４゜をなすことにより、エッチング溝の斜面の
角度が決まってしまうことによる。
【０００６】このような溝加工によって形成されたチャ
ンネル基板と、発熱素子等の圧力発生手段などが形成さ
れた別の基板とを接合して作製されるインクジェット記
録ヘッドでは、ノズルの断面形状は、通常底角が５４．
７４゜の二等辺三角形となる。したがって、ノズルの底
辺の幅をＷとすると、ノズル断面積Ａは、 Ａ＝Ｗ×（Ｗ×ｔａｎ５４．７４゜／２）／２ ＝０．３５×Ｗ2 （Ｗ＝ノズル幅） で表される。
ンネル基板と、発熱素子等の圧力発生手段などが形成さ
れた別の基板とを接合して作製されるインクジェット記
録ヘッドでは、ノズルの断面形状は、通常底角が５４．
７４゜の二等辺三角形となる。したがって、ノズルの底
辺の幅をＷとすると、ノズル断面積Ａは、 Ａ＝Ｗ×（Ｗ×ｔａｎ５４．７４゜／２）／２ ＝０．３５×Ｗ2 （Ｗ＝ノズル幅） で表される。
【０００７】すなわち、ノズル断面積Ａは、ノズル幅Ｗ
のみに依存するので、高解像度になるとノズル幅Ｗが小
さくなり、必然的にノズル断面積Ａが小さくなる。
のみに依存するので、高解像度になるとノズル幅Ｗが小
さくなり、必然的にノズル断面積Ａが小さくなる。
【０００８】一方、ノズルから吐出されるインク滴の体
積Ｖは、ノズル断面積Ａと正の相関がある。必要なイン
ク滴の体積ＶMIN は、解像度とドット広がり係数（ｋ
値）から決定されるが、高解像度になるに伴って、上述
したように、ノズル幅Ｗが小さくなり、必然的にノズル
断面積Ａが小さくなり、その結果、インク滴の体積Ｖも
小さくなる。解像度をある値以上にすると、ノズルの寸
法から決まる必要なインク滴の最小体積ＶMIN が得られ
なくなってしまう。これは、ノズル断面積Ａが小さくな
り過ぎると、インク滴の吐出に伴うインクの再供給（リ
フィル）が追随できなくなるためと考えられる。
積Ｖは、ノズル断面積Ａと正の相関がある。必要なイン
ク滴の体積ＶMIN は、解像度とドット広がり係数（ｋ
値）から決定されるが、高解像度になるに伴って、上述
したように、ノズル幅Ｗが小さくなり、必然的にノズル
断面積Ａが小さくなり、その結果、インク滴の体積Ｖも
小さくなる。解像度をある値以上にすると、ノズルの寸
法から決まる必要なインク滴の最小体積ＶMIN が得られ
なくなってしまう。これは、ノズル断面積Ａが小さくな
り過ぎると、インク滴の吐出に伴うインクの再供給（リ
フィル）が追随できなくなるためと考えられる。
【０００９】すなわち、インク滴の最高吐出周波数Ｆ
MAX をある値以上に保ち、かつ必要なインク滴の体積Ｖ
MIN を得るためには、ノズルの最小断面積ＡMIN がある
値以上が必要であるが、シリコンの異方性エッチングで
ノズルを形成するための溝（チャンネル）を形成した場
合には、ある解像度以上になると、ノズル断面積は最小
断面積ＡMIN 以下とならざるを得ない。
MAX をある値以上に保ち、かつ必要なインク滴の体積Ｖ
MIN を得るためには、ノズルの最小断面積ＡMIN がある
値以上が必要であるが、シリコンの異方性エッチングで
ノズルを形成するための溝（チャンネル）を形成した場
合には、ある解像度以上になると、ノズル断面積は最小
断面積ＡMIN 以下とならざるを得ない。
【００１０】一方、感光性樹脂で隔壁を形成し、その上
に天板を接合してノズルを形成する方法においては、ノ
ズル幅が小さくなっても、隔壁の高さを高くすれば、ノ
ズル断面積をある程度大きくすることが理論上可能であ
る。しかし、感光性樹脂の解像度は、膜厚（隔壁の高
さ）との相関が大きい。実用的な感光性樹脂において
は、膜厚／パターン幅の比が１以上になると、解像でき
なくなる。
に天板を接合してノズルを形成する方法においては、ノ
ズル幅が小さくなっても、隔壁の高さを高くすれば、ノ
ズル断面積をある程度大きくすることが理論上可能であ
る。しかし、感光性樹脂の解像度は、膜厚（隔壁の高
さ）との相関が大きい。実用的な感光性樹脂において
は、膜厚／パターン幅の比が１以上になると、解像でき
なくなる。
【００１１】さらに、耐薬品性、耐熱性、加工性等に優
れるという理由から、インクジェット記録ヘッドの隔壁
形成材料として最も適している感光性ポリイミドのよう
な、熱硬化性の感光性樹脂を用いた場合には、熱硬化時
に膜が収縮し、その結果として、パターンの端部が額縁
状に盛り上がるという現象が発生する。このような現象
が発生すると、接着不良が発生しやすく、天板との接合
プロセスにおいて大きな障害となる。このパターン端部
の盛り上がりの高さは、膜厚との相関が大きいため、こ
れが障害とならないようにするためには、膜厚をあまり
厚くすることはできない。したがって、この方法でも、
現実的にはやはり隔壁の高さに限界値があり、ノズル断
面積の限界値が存在するから、高密度化は困難である。
れるという理由から、インクジェット記録ヘッドの隔壁
形成材料として最も適している感光性ポリイミドのよう
な、熱硬化性の感光性樹脂を用いた場合には、熱硬化時
に膜が収縮し、その結果として、パターンの端部が額縁
状に盛り上がるという現象が発生する。このような現象
が発生すると、接着不良が発生しやすく、天板との接合
プロセスにおいて大きな障害となる。このパターン端部
の盛り上がりの高さは、膜厚との相関が大きいため、こ
れが障害とならないようにするためには、膜厚をあまり
厚くすることはできない。したがって、この方法でも、
現実的にはやはり隔壁の高さに限界値があり、ノズル断
面積の限界値が存在するから、高密度化は困難である。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に鑑みてなされたもので、非常に高解像度になって
も、インク滴の最高吐出周波数ＦMAX を損なわず、か
つ、最適なインク滴の体積を得るために必要なノズル断
面積を得ることができるインクジェット記録ヘッドを提
供することを目的とするものである。
情に鑑みてなされたもので、非常に高解像度になって
も、インク滴の最高吐出周波数ＦMAX を損なわず、か
つ、最適なインク滴の体積を得るために必要なノズル断
面積を得ることができるインクジェット記録ヘッドを提
供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、インクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、シリコンの異方性エッチングに
より加工されインク吐出口まで延びる第１の溝を有する
第１の基板と、感光性樹脂で形成された隔壁により形成
されインク吐出口まで延びる第２の溝を有する第２の基
板とが、前記第１の溝と前記第２の溝が位置合わせされ
て接合され、前記第１の溝と前記第２の溝の先端により
インク吐出口が形成されていることを特徴とするもので
ある。
ト記録ヘッドにおいて、シリコンの異方性エッチングに
より加工されインク吐出口まで延びる第１の溝を有する
第１の基板と、感光性樹脂で形成された隔壁により形成
されインク吐出口まで延びる第２の溝を有する第２の基
板とが、前記第１の溝と前記第２の溝が位置合わせされ
て接合され、前記第１の溝と前記第２の溝の先端により
インク吐出口が形成されていることを特徴とするもので
ある。
【００１４】
【作用】本発明によれば、ノズルを形成するための溝
が、第１の基板と第２の基板とにより形成される。第１
の基板においては、シリコンの異方性エッチングにより
溝加工がされるので、非常に精度良く溝加工ができる。
第２の基板においては、感光性樹脂で隔壁が形成され
る。感光性樹脂の膜厚を大きくとる必要がないため、解
像度よく、また、パターン端部での盛り上がりの高さも
小さくできる。溝の断面積は、両方の基板の溝の合計値
になり、ノズルを高密度に配置しても、最小断面積Ａ
MIN を確保することができる。
が、第１の基板と第２の基板とにより形成される。第１
の基板においては、シリコンの異方性エッチングにより
溝加工がされるので、非常に精度良く溝加工ができる。
第２の基板においては、感光性樹脂で隔壁が形成され
る。感光性樹脂の膜厚を大きくとる必要がないため、解
像度よく、また、パターン端部での盛り上がりの高さも
小さくできる。溝の断面積は、両方の基板の溝の合計値
になり、ノズルを高密度に配置しても、最小断面積Ａ
MIN を確保することができる。
【００１５】
【実施例】図１乃至図４は、本発明のインクジェット記
録ヘッドの第１の実施例を説明するためのものであり、
図１は本発明により作製されたヘッドの斜視図であり、
図２は、そのヒーター近傍のＡ−Ａ断面図、図３は、イ
ンク吐出口近傍の拡大図、図４は、ヒーター基板のヒー
ター近傍の平面図である。図中、１はヒーター基板、２
はヒーター層、３ａは個別電極、３ｂは共通電極、４は
耐インク保護層、５，６はヒーター保護層、７は電極保
護層、８は蓄熱層、９はチャンネル基板、１０はノズ
ル、１１はフィルタ、１２はインク供給口、１３は隔
壁、１４はインク吐出口である。
録ヘッドの第１の実施例を説明するためのものであり、
図１は本発明により作製されたヘッドの斜視図であり、
図２は、そのヒーター近傍のＡ−Ａ断面図、図３は、イ
ンク吐出口近傍の拡大図、図４は、ヒーター基板のヒー
ター近傍の平面図である。図中、１はヒーター基板、２
はヒーター層、３ａは個別電極、３ｂは共通電極、４は
耐インク保護層、５，６はヒーター保護層、７は電極保
護層、８は蓄熱層、９はチャンネル基板、１０はノズ
ル、１１はフィルタ、１２はインク供給口、１３は隔
壁、１４はインク吐出口である。
【００１６】ヒーター基板１は、Ｓｉ基板を用い、その
上に熱酸化により蓄熱層８が形成されている。ヒーター
層２は、ｐｏｌｙ−Ｓｉにより形成され、個別電極３ａ
および共通電極３ｂは、Ａｌにより形成され、その上の
電極保護層７は、ＳｉＯ2 により形成されている。ヒー
ター保護層５，６には、Ｓｉ3 Ｎ4 膜とその上のＴａ膜
が用いられている。耐インク保護層４にはポリイミドを
用いた。さらに、その上に後述するチャンネル基板９と
の接着代に対応して、隔壁１３を感光性ポリイミドで形
成した。この隔壁１３の高さは、例えば、２μｍであ
る。隔壁１３により形成される溝の幅は、例えば、２
１．８μｍであり、断面形状は長方形である。したがっ
て、隔壁により構成される溝の断面積は、 ２１．８μｍ×２μｍ＝４３．６μｍ2 である。
上に熱酸化により蓄熱層８が形成されている。ヒーター
層２は、ｐｏｌｙ−Ｓｉにより形成され、個別電極３ａ
および共通電極３ｂは、Ａｌにより形成され、その上の
電極保護層７は、ＳｉＯ2 により形成されている。ヒー
ター保護層５，６には、Ｓｉ3 Ｎ4 膜とその上のＴａ膜
が用いられている。耐インク保護層４にはポリイミドを
用いた。さらに、その上に後述するチャンネル基板９と
の接着代に対応して、隔壁１３を感光性ポリイミドで形
成した。この隔壁１３の高さは、例えば、２μｍであ
る。隔壁１３により形成される溝の幅は、例えば、２
１．８μｍであり、断面形状は長方形である。したがっ
て、隔壁により構成される溝の断面積は、 ２１．８μｍ×２μｍ＝４３．６μｍ2 である。
【００１７】一方、チャンネル基板９には、（１００）
面を表面に持つＳｉウェハの異方性エッチングにより、
ノズル１０を形成するための溝およびインク供給口１２
を形成するための開口が形成されている。この実施例の
インクジェット記録ヘッドにおいては、解像度を８００
ｓｐｉとしたので、ノズル１０は、３１．８μｍピッチ
で配列されている。ノズル間の距離は１０μｍとした。
したがって、チャンネル基板９に形成されたノズル１０
を形成するための溝の断面形状は、二等辺三角形であ
り、底辺が２１．８μｍ、底角が５４．７４゜となり、
この断面積は、１６８．１μｍ2 である。
面を表面に持つＳｉウェハの異方性エッチングにより、
ノズル１０を形成するための溝およびインク供給口１２
を形成するための開口が形成されている。この実施例の
インクジェット記録ヘッドにおいては、解像度を８００
ｓｐｉとしたので、ノズル１０は、３１．８μｍピッチ
で配列されている。ノズル間の距離は１０μｍとした。
したがって、チャンネル基板９に形成されたノズル１０
を形成するための溝の断面形状は、二等辺三角形であ
り、底辺が２１．８μｍ、底角が５４．７４゜となり、
この断面積は、１６８．１μｍ2 である。
【００１８】ヒーター基板１とチャンネル基板９はエポ
キシ樹脂などの接着剤で接合されるが、実用的な接着力
を得るためには、接着代は、１０μｍ以上が必要であ
る。すなわち、ノズル間の距離である隔壁１３の幅は、
１０μｍ以上必要である。
キシ樹脂などの接着剤で接合されるが、実用的な接着力
を得るためには、接着代は、１０μｍ以上が必要であ
る。すなわち、ノズル間の距離である隔壁１３の幅は、
１０μｍ以上必要である。
【００１９】このようにして作製されたヒーター基板１
とチャンネル基板９を位置合わせして接合した後、ダイ
シングソーにより各チップに切断、分離して、図１に示
したようなインクジェット記録ヘッドが作製される。こ
のインクジェット記録ヘッドにおいては、ノズルの断面
形状は、チャンネル基板９に形成された二等辺三角形の
溝と、ヒーター基板１上の隔壁１３により形成された長
方形の溝を合成した五角形となり、この断面積は、 １６８．１μｍ2 ＋４３．６μｍ2 ＝２１１．７μｍ2 である。
とチャンネル基板９を位置合わせして接合した後、ダイ
シングソーにより各チップに切断、分離して、図１に示
したようなインクジェット記録ヘッドが作製される。こ
のインクジェット記録ヘッドにおいては、ノズルの断面
形状は、チャンネル基板９に形成された二等辺三角形の
溝と、ヒーター基板１上の隔壁１３により形成された長
方形の溝を合成した五角形となり、この断面積は、 １６８．１μｍ2 ＋４３．６μｍ2 ＝２１１．７μｍ2 である。
【００２０】８００ｓｐｉでプリントを行なうとき、実
際の記録紙上で必要なドット径は、４５μｍである。ド
ット広がり係数（ｋ値）を１．７とすると、必要なイン
ク滴の体積は１０ｐｌとなる。インク滴の吐出周波数を
４．５ｋＨｚとすると、この必要なインク滴体積を得る
ための必要ノズル断面積は、２１０μｍ2 程度であるこ
とが実験的に確認されている。
際の記録紙上で必要なドット径は、４５μｍである。ド
ット広がり係数（ｋ値）を１．７とすると、必要なイン
ク滴の体積は１０ｐｌとなる。インク滴の吐出周波数を
４．５ｋＨｚとすると、この必要なインク滴体積を得る
ための必要ノズル断面積は、２１０μｍ2 程度であるこ
とが実験的に確認されている。
【００２１】したがって、シリコンの異方性エッチング
で形成された二等辺三角形の溝だけでは必要なノズル断
面積を得ることはできない。
で形成された二等辺三角形の溝だけでは必要なノズル断
面積を得ることはできない。
【００２２】一方、感光性ポリイミドで形成された隔壁
１３の高さを１０μｍとして、その上に天板を接合すれ
ば、断面形状が長方形で、断面積が、 ２１．８μｍ×１０μｍ＝２１８μｍ2 のノズルを形成できる。しかし、実際に、このようなイ
ンクジェット記録ヘッドの作製を試みたところ、隔壁１
３のパターン端部には、高さ３μｍの盛り上がりが生
じ、天板との密着性が悪くなり、隔壁１３と天板とを接
着することができなかった。
１３の高さを１０μｍとして、その上に天板を接合すれ
ば、断面形状が長方形で、断面積が、 ２１．８μｍ×１０μｍ＝２１８μｍ2 のノズルを形成できる。しかし、実際に、このようなイ
ンクジェット記録ヘッドの作製を試みたところ、隔壁１
３のパターン端部には、高さ３μｍの盛り上がりが生
じ、天板との密着性が悪くなり、隔壁１３と天板とを接
着することができなかった。
【００２３】この実施例のように、シリコンの異方性エ
ッチングで形成された二等辺三角形の溝と感光性樹脂で
形成された隔壁により形成される溝とを組み合わせるこ
とによって、作製精度を損なうことなしに、必要ノズル
断面積を得ることが可能となり、８００ｓｐｉの高解像
度で良好なプリントを行なうことができる。
ッチングで形成された二等辺三角形の溝と感光性樹脂で
形成された隔壁により形成される溝とを組み合わせるこ
とによって、作製精度を損なうことなしに、必要ノズル
断面積を得ることが可能となり、８００ｓｐｉの高解像
度で良好なプリントを行なうことができる。
【００２４】なお、耐インク層４は必ずしも必要とする
ものではない。また、耐インク層の上にピット層を形成
してもよく、また、耐インク層に代えてピット層を設け
るようにしてもよい。
ものではない。また、耐インク層の上にピット層を形成
してもよく、また、耐インク層に代えてピット層を設け
るようにしてもよい。
【００２５】図５は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの第２の実施例のヒーター基板のヒーター近傍の平面
図である。図中、図４と同様な部分には同じ符号を付し
て説明を省略する。この実施例は、隔壁１３により形成
されるインク流路を吐出口１４側で細くなるようにパタ
ーニングしたものである。このようにすることにより、
インク滴の飛翔速度を速くすることができ、インク滴の
噴射方向性も安定して、より信頼性の高いプリントを行
なうことができる。
ドの第２の実施例のヒーター基板のヒーター近傍の平面
図である。図中、図４と同様な部分には同じ符号を付し
て説明を省略する。この実施例は、隔壁１３により形成
されるインク流路を吐出口１４側で細くなるようにパタ
ーニングしたものである。このようにすることにより、
インク滴の飛翔速度を速くすることができ、インク滴の
噴射方向性も安定して、より信頼性の高いプリントを行
なうことができる。
【００２６】図６は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの第３の実施例のヒーター基板のヒーター近傍の平面
図である。図中、図４と同様な部分には同じ符号を付し
て説明を省略する。１５は流れ制御部材である。この実
施例は、隔壁１３により形成されるインク流路を吐出口
１４の中央付近に感光性樹脂で形成された流れ制御部材
１５を耐インク保護層４上に形成したものである。この
流れ制御部材１５は、インク滴が噴射されるときインク
の流れを中央部に引き寄せる役割を果たす。その形状
は、インクの流れ方向に対して、流線型とするのがよ
い。流れ制御部材１５を設けたことにより、インク滴の
噴射方向性も安定して、より信頼性の高い印字を行なう
ことができる。この実施例では、流れ制御部材１５は、
感光性ポリイミドで隔壁１３と同時に形成し、厚さは２
μｍで、放射状の形状とした。
ドの第３の実施例のヒーター基板のヒーター近傍の平面
図である。図中、図４と同様な部分には同じ符号を付し
て説明を省略する。１５は流れ制御部材である。この実
施例は、隔壁１３により形成されるインク流路を吐出口
１４の中央付近に感光性樹脂で形成された流れ制御部材
１５を耐インク保護層４上に形成したものである。この
流れ制御部材１５は、インク滴が噴射されるときインク
の流れを中央部に引き寄せる役割を果たす。その形状
は、インクの流れ方向に対して、流線型とするのがよ
い。流れ制御部材１５を設けたことにより、インク滴の
噴射方向性も安定して、より信頼性の高い印字を行なう
ことができる。この実施例では、流れ制御部材１５は、
感光性ポリイミドで隔壁１３と同時に形成し、厚さは２
μｍで、放射状の形状とした。
【００２７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、シリコンの異方性エッチングにより形成され
た第１の溝と、感光性樹脂の隔壁により形成された最２
の溝とを位置合わせして組み合わせて、前記第１の溝と
前記第２の溝の先端によりインク吐出口が形成されてい
ることにより、高解像度のインクジェット記録ヘッドを
作製する場合にも、インク滴の最高吐出周波数を損なう
ことなしに、必要なドロップ体積を得ることができると
いう効果がある。
によれば、シリコンの異方性エッチングにより形成され
た第１の溝と、感光性樹脂の隔壁により形成された最２
の溝とを位置合わせして組み合わせて、前記第１の溝と
前記第２の溝の先端によりインク吐出口が形成されてい
ることにより、高解像度のインクジェット記録ヘッドを
作製する場合にも、インク滴の最高吐出周波数を損なう
ことなしに、必要なドロップ体積を得ることができると
いう効果がある。
【図１】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施例により作製されたヘッドの斜視図である。
実施例により作製されたヘッドの斜視図である。
【図２】 図１のヒーター近傍のＡ−Ａ断面図である。
【図３】 図１のインク吐出口近傍の拡大図である。
【図４】 図１のヒーター基板のヒーター近傍の平面図
である。
である。
【図５】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第２の
実施例のヒーター基板のヒーター近傍の平面図である。
実施例のヒーター基板のヒーター近傍の平面図である。
【図６】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第３の
実施例のヒーター基板のヒーター近傍の平面図である。
実施例のヒーター基板のヒーター近傍の平面図である。
１ ヒーター基板、２ ヒーター層、３ａ 個別電極、
３ｂ 共通電極、４耐インク保護層、５，６ ヒーター
保護層、７ 電極保護層、８ 蓄熱層、９チャンネル基
板、１０ ノズル、１１ フィルタ、１２ インク供給
口、１３隔壁、１４ インク吐出口、１５ 流れ制御部
材。
３ｂ 共通電極、４耐インク保護層、５，６ ヒーター
保護層、７ 電極保護層、８ 蓄熱層、９チャンネル基
板、１０ ノズル、１１ フィルタ、１２ インク供給
口、１３隔壁、１４ インク吐出口、１５ 流れ制御部
材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 誠一 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社 海老名事業所内 (72)発明者 小泉 幸久 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社 海老名事業所内 (72)発明者 内藤 浩一 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社 海老名事業所内 (72)発明者 井上 七穂 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼ ロックス株式会社 海老名事業所内 (56)参考文献 特開 平２−99334（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−148560（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−294048（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−299854（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/135 B41J 2/16
Claims (1)
- 【請求項１】 シリコンの異方性エッチングにより加工
されインク吐出口まで延びる第１の溝を有する第１の基
板と、感光性樹脂で形成された隔壁により形成されイン
ク吐出口まで延びる第２の溝を有する第２の基板とが、
前記第１の溝と前記第２の溝が位置合わせされて接合さ
れ、前記第１の溝と前記第２の溝の先端によりインク吐
出口が形成されていることを特徴とするインクジェット
記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32392091A JP2927083B2 (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32392091A JP2927083B2 (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05131635A JPH05131635A (ja) | 1993-05-28 |
| JP2927083B2 true JP2927083B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=18160105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32392091A Expired - Lifetime JP2927083B2 (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2927083B2 (ja) |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP32392091A patent/JP2927083B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05131635A (ja) | 1993-05-28 |
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