JP2924008B2 - 液晶素子 - Google Patents
液晶素子Info
- Publication number
- JP2924008B2 JP2924008B2 JP28010289A JP28010289A JP2924008B2 JP 2924008 B2 JP2924008 B2 JP 2924008B2 JP 28010289 A JP28010289 A JP 28010289A JP 28010289 A JP28010289 A JP 28010289A JP 2924008 B2 JP2924008 B2 JP 2924008B2
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- JP
- Japan
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- liquid crystal
- film
- crystal element
- substrate
- metal film
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、遮光膜を兼ねた金属補助配線を有するTFT
液晶素子、及び基板上に金属配線を有するTFT液晶素子
に関する。
液晶素子、及び基板上に金属配線を有するTFT液晶素子
に関する。
［従来の技術］ 従来の液晶素子は、例えば低価格な用途を狙ったもの
として単純マトリックス方式、価格は高いが画質が優れ
液晶テレビ等に応用されているアクティブマトリックス
方式とが実用化されている。
として単純マトリックス方式、価格は高いが画質が優れ
液晶テレビ等に応用されているアクティブマトリックス
方式とが実用化されている。
これらの液晶素子は、その表示特性、特にコントラス
トの向上のために液晶素子内の画素間に遮光膜を設ける
のが一般的である。
トの向上のために液晶素子内の画素間に遮光膜を設ける
のが一般的である。
［発明が解決しようとする課題］ しかし、従来の液晶素子及び液晶素子の製造方法には
以下に示すような問題点があった。第一に最近ではこれ
らの液晶素子の大面積化が進み、シート抵抗値で20Ω/c
m2程度の金属酸化膜から成る透明電極のみでは液晶素子
全領域にかかる電界強度が均一にならず、表示ムラが出
安い。第二に、液晶素子の遮光膜は一般的に基板上に直
接設けられており、もし遮光膜の設けられた基板側から
液晶素子を見た場合、遮光膜による光の反射により表示
の視認性が悪かった。
以下に示すような問題点があった。第一に最近ではこれ
らの液晶素子の大面積化が進み、シート抵抗値で20Ω/c
m2程度の金属酸化膜から成る透明電極のみでは液晶素子
全領域にかかる電界強度が均一にならず、表示ムラが出
安い。第二に、液晶素子の遮光膜は一般的に基板上に直
接設けられており、もし遮光膜の設けられた基板側から
液晶素子を見た場合、遮光膜による光の反射により表示
の視認性が悪かった。
そこで本発明は、画素間の遮光膜と、金属配線を兼ね
た金属膜を基板上に設けることにより、表示特性の優れ
たTFT液晶素子を提供することを目的とするものであ
る。
た金属膜を基板上に設けることにより、表示特性の優れ
たTFT液晶素子を提供することを目的とするものであ
る。
［課題を解決するための手段］ 本発明の液晶素子は、一対の基板間に液晶を挟持して
なり、前記一対の基板の一方の基板上には画素電極が形
成されてなり、前記一対の基板の他方の基板上には互い
に間隔を置いて形成された複数のカラーフィルターと、
前記カラーフィルター間に段差を埋めるように前記カラ
ーフィルター上に形成された保護膜と、前記保護膜上の
前記カラーフィルター間に形成された金属膜と、前記金
属膜上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成
された配向膜とを有し、前記金属膜は前記透明電極と接
するように配置されてなることを特徴とする。以下、実
施例により本発明の詳細を示す。
なり、前記一対の基板の一方の基板上には画素電極が形
成されてなり、前記一対の基板の他方の基板上には互い
に間隔を置いて形成された複数のカラーフィルターと、
前記カラーフィルター間に段差を埋めるように前記カラ
ーフィルター上に形成された保護膜と、前記保護膜上の
前記カラーフィルター間に形成された金属膜と、前記金
属膜上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成
された配向膜とを有し、前記金属膜は前記透明電極と接
するように配置されてなることを特徴とする。以下、実
施例により本発明の詳細を示す。
本発明に用いられる液晶はネマチック液晶であるが強
誘電性液晶を用いることもできる。
誘電性液晶を用いることもできる。
本発明の液晶素子の液晶の配向膜はポリイミドが望ま
しいが、SiOなどの斜方蒸着膜、クロム錯体、アミノシ
ラン、チタネート等を用いてもよい。
しいが、SiOなどの斜方蒸着膜、クロム錯体、アミノシ
ラン、チタネート等を用いてもよい。
本発明の液晶素子に用いられる基板材料は、石英ガラ
ス等の硬質無機ガラスが望ましいが、パイレックス、ゾ
ーダガラスも用いることができる。カラーフィルター上
に保護膜を設けてもよい。
ス等の硬質無機ガラスが望ましいが、パイレックス、ゾ
ーダガラスも用いることができる。カラーフィルター上
に保護膜を設けてもよい。
本発明の液晶素子の金属膜に用いられるの金属はアル
ミニウム、ニッケルの蒸着膜を用いるのが望ましいが、
クロム、金、等の他の材料を用いることもできる。複層
の金属膜でもよい。また、蒸着による膜の作成のみでな
く、スパッタ、メッキ、等の手段を用いてもよい。
ミニウム、ニッケルの蒸着膜を用いるのが望ましいが、
クロム、金、等の他の材料を用いることもできる。複層
の金属膜でもよい。また、蒸着による膜の作成のみでな
く、スパッタ、メッキ、等の手段を用いてもよい。
本発明の液晶素子の透明電極はITOが望ましいが、他
の金属酸化膜を用いてもよい。
の金属酸化膜を用いてもよい。
本発明の液晶素子は基体の表面の平坦化処理がなされ
たものを用いた方が望ましいが、平坦化処理を行なわな
い基板を用いても良い。基板を研磨してもよい。
たものを用いた方が望ましいが、平坦化処理を行なわな
い基板を用いても良い。基板を研磨してもよい。
［実施例］ 本発明の液晶素子の具体例を以下に示す。
第１図は、本発明の具体的な一例の断面図を示した図
である。基板11上に緑、赤、青の３色のカラーフィルタ
ー12が、所望のパターンに形成されている。カラーフィ
ルター12自体に段差が存在するので、段差を埋めるため
にそのカラーフィルター12上にオーバーコート剤として
有機樹脂層13が形成される。本実施例では、オーバーコ
ート剤としてチッソ社製のPSI541を膜厚５μｍとなるよ
うにスピンコート法で塗布し、100℃で１時間、200℃で
１時間焼成した。後に、14で示されるAlを2000Å、15で
示されるNiを400Å連続蒸着した。フォトプロセスによ
り、上記金属膜のエッチングを行い、液晶素子の画素内
を金属部を除いた後、金属酸化膜であるITO膜16をスパ
ッタ法で800Å作成した。その後配向膜17として、ポリ
イミド膜をスピンコート法で作成し、ラビング処理を行
い、17で示した配向膜を有するTFT基板18と張り合わ
せ、液晶19を注入し液晶セルを作成した。本液晶セルに
所望の電圧を印加し液晶素子を駆動したところ、全画素
に均一に電圧が印加されていることが確認でき、コント
ラストは、1:80であった。また、カラーフィルター12有
する基板側から液晶セルの反射率を測定したところ0.1
％以下であり、視認性が向上した。
である。基板11上に緑、赤、青の３色のカラーフィルタ
ー12が、所望のパターンに形成されている。カラーフィ
ルター12自体に段差が存在するので、段差を埋めるため
にそのカラーフィルター12上にオーバーコート剤として
有機樹脂層13が形成される。本実施例では、オーバーコ
ート剤としてチッソ社製のPSI541を膜厚５μｍとなるよ
うにスピンコート法で塗布し、100℃で１時間、200℃で
１時間焼成した。後に、14で示されるAlを2000Å、15で
示されるNiを400Å連続蒸着した。フォトプロセスによ
り、上記金属膜のエッチングを行い、液晶素子の画素内
を金属部を除いた後、金属酸化膜であるITO膜16をスパ
ッタ法で800Å作成した。その後配向膜17として、ポリ
イミド膜をスピンコート法で作成し、ラビング処理を行
い、17で示した配向膜を有するTFT基板18と張り合わ
せ、液晶19を注入し液晶セルを作成した。本液晶セルに
所望の電圧を印加し液晶素子を駆動したところ、全画素
に均一に電圧が印加されていることが確認でき、コント
ラストは、1:80であった。また、カラーフィルター12有
する基板側から液晶セルの反射率を測定したところ0.1
％以下であり、視認性が向上した。
［参考例］ 第２図は、参考例の断面図を示した図である。基板21
上にCr金属膜22がメッキ法により形成されている。フォ
トプロセスにより、上記金属膜のエッチングを行い、液
晶素子の画素内の金属部を除いた後、緑、赤、青の３色
のカラーフィルター23を所望のパターンに形成した。カ
ラーフィルター23自体にいくらかの段差があるのでその
カラーフィルター23上にオーバーコート剤として有機樹
脂層24が形成される。本参考例では、実施例と同様にオ
ーバーコート剤として、チッソ社製のPSI541を膜厚５μ
ｍとなるようにスピンコート法で塗布し、100℃で１時
間、200℃で１時間焼成した。その後、金属酸化膜であ
るITO膜25をスパッタ法で800Å作成した。その後配向膜
26としてポリイミド膜をスピンコート法で作成し、ラビ
ング処理を行い、26で示した配向膜を有するTFT基板27
と張り合わせ、液晶28を注入し液晶セルを作成した。本
液晶セルに、実施例と同様の電圧を印加し液晶素子を駆
動したところ、全画素に均一に電圧が印加されておら
ず、電極抵抗による電圧波形のなまりのため、コントラ
ストは、1:20〜1:40と場所により大きく変化しているの
がわかった。また、カラーフィルター２−３有する基板
側から液晶セルの反射率を測定したところ1.5％程度で
あり、視認性が低下した。
上にCr金属膜22がメッキ法により形成されている。フォ
トプロセスにより、上記金属膜のエッチングを行い、液
晶素子の画素内の金属部を除いた後、緑、赤、青の３色
のカラーフィルター23を所望のパターンに形成した。カ
ラーフィルター23自体にいくらかの段差があるのでその
カラーフィルター23上にオーバーコート剤として有機樹
脂層24が形成される。本参考例では、実施例と同様にオ
ーバーコート剤として、チッソ社製のPSI541を膜厚５μ
ｍとなるようにスピンコート法で塗布し、100℃で１時
間、200℃で１時間焼成した。その後、金属酸化膜であ
るITO膜25をスパッタ法で800Å作成した。その後配向膜
26としてポリイミド膜をスピンコート法で作成し、ラビ
ング処理を行い、26で示した配向膜を有するTFT基板27
と張り合わせ、液晶28を注入し液晶セルを作成した。本
液晶セルに、実施例と同様の電圧を印加し液晶素子を駆
動したところ、全画素に均一に電圧が印加されておら
ず、電極抵抗による電圧波形のなまりのため、コントラ
ストは、1:20〜1:40と場所により大きく変化しているの
がわかった。また、カラーフィルター２−３有する基板
側から液晶セルの反射率を測定したところ1.5％程度で
あり、視認性が低下した。
以上実施例を延べたが、本発明は以上の実施例のみな
らず、MIM素子を用いた液晶素子にも応用が可能であ
る。
らず、MIM素子を用いた液晶素子にも応用が可能であ
る。
［発明の効果］ 以上述べたように本発明によれば、下記の効果を奏す
ることができる。
ることができる。
（ａ）一対の基板の他方の基板上に形成されたカラーフ
ィルターと電極との間には、カラーフィルターの段差を
埋めるように保護膜が形成されているため、他方の基板
はカラーフィルターによる段差を少なくすることができ
る。従って、液晶層のギャップを均一にすることができ
るため、配向不良を抑えることができる。
ィルターと電極との間には、カラーフィルターの段差を
埋めるように保護膜が形成されているため、他方の基板
はカラーフィルターによる段差を少なくすることができ
る。従って、液晶層のギャップを均一にすることができ
るため、配向不良を抑えることができる。
（ｂ）また、この保護膜によりカラーフィルターを金属
膜及び透明電極との接触から保護することができるた
め、カラーフィルターの劣化を防ぐことができる。
膜及び透明電極との接触から保護することができるた
め、カラーフィルターの劣化を防ぐことができる。
（ｃ）カラーフィルター間の段差を埋めるように形成さ
れた保護膜上に金属膜を形成するため、密着性よく金属
膜を形成することができる。
れた保護膜上に金属膜を形成するため、密着性よく金属
膜を形成することができる。
（ｄ）また、カラーフィルター間には、金属膜が形成さ
れているため、隣り合う画素間の境界からの光漏れを防
ぐことができる。
れているため、隣り合う画素間の境界からの光漏れを防
ぐことができる。
（ｅ）金属膜と透明電極とが接して導通されるため、金
属膜により透明電極の低抵抗化を図ることができる。
属膜により透明電極の低抵抗化を図ることができる。
第１図は、本発明の液晶セルの具体例の断面を表す図で
あり、第２図は従来の液晶セルの断面を表す図である。 11:基板 12:カラーフィルター 13:オーバーコート 14:Al金属膜 15:Ni金属膜 16:ITO 17:配向膜 18:TFT基板 19:液晶 21:基板 22:Cr金属膜 23:カラーフィルター 24:オーバーコート 25:ITO 26:配向膜 27:TFT基板 28:液晶
あり、第２図は従来の液晶セルの断面を表す図である。 11:基板 12:カラーフィルター 13:オーバーコート 14:Al金属膜 15:Ni金属膜 16:ITO 17:配向膜 18:TFT基板 19:液晶 21:基板 22:Cr金属膜 23:カラーフィルター 24:オーバーコート 25:ITO 26:配向膜 27:TFT基板 28:液晶
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−173023（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−282523（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−201605（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−107303（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−274929（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−200101（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−180934（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−60425（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−65627（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02F 1/1335
Claims (1)
- 【請求項１】一対の基板間に液晶を挟持してなり、前記
一対の基板の一方の基板上には画素電極が形成されてな
り、前記一対の基板の他方の基板上には互いに間隔を置
いて形成された複数のカラーフィルターと、前記カラー
フィルター間の段差を埋めるように前記カラーフィルタ
ー上に形成された保護膜と、前記保護膜上の前記カラー
フィルター間に形成された金属膜と、前記金属膜上に形
成された透明電極と、前記透明電極上に形成された配向
膜とを有し、前記金属膜は前記透明電極と接するように
配置されてなることを特徴とする液晶素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28010289A JP2924008B2 (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | 液晶素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28010289A JP2924008B2 (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | 液晶素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03140925A JPH03140925A (ja) | 1991-06-14 |
| JP2924008B2 true JP2924008B2 (ja) | 1999-07-26 |
Family
ID=17620348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28010289A Expired - Lifetime JP2924008B2 (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | 液晶素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2924008B2 (ja) |
-
1989
- 1989-10-27 JP JP28010289A patent/JP2924008B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03140925A (ja) | 1991-06-14 |
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Legal Events
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