JP2920781B2 - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
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- JP2920781B2 JP2920781B2 JP23281290A JP23281290A JP2920781B2 JP 2920781 B2 JP2920781 B2 JP 2920781B2 JP 23281290 A JP23281290 A JP 23281290A JP 23281290 A JP23281290 A JP 23281290A JP 2920781 B2 JP2920781 B2 JP 2920781B2
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- Japan
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- boat
- heat treatment
- quartz
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Description
この発明は、熱処理装置に関する。
半導体装置の製造工程には、半導体ウェーハの表面に
酸化膜を形成したり、不純物を拡散させたりする熱処理
工程があり、縦型または横型の熱処理炉が用いられる。 この熱処理工程において、ローディング時は、キャリ
アストッカからキャリア搬送装置によって複数枚の未処
理の被熱処理体としての半導体ウェーハを収納する複数
個のキャリアを、所定の位置まで移動する。そして、キ
ャリア内の半導体ウェーハを、ウェーハ移し替え装置に
よって熱処理装置のボート載置台に載置された熱処理用
の空の例えば石英製ボートに移し替える。 熱処理装置では、ボート載置台上の、複数枚の半導体
ウェーハが搭載された移し替え完了後の石英製ボート
を、ボート搬送機構によってボートローダに受け渡し、
ボートローダは、そのボートを熱処理炉内にボートを挿
入して、半導体ウェーハの熱処理を行なう。 また、アンローディング時は、熱処理装置では、熱処
理が終了したボートをボートローダが熱処理炉から引き
出し、ボート搬送機構にそのボートを受け渡し、ボート
搬送機構は、そのボートをボート載置台に載置する。 そして、このボート載置台上のボートから、熱処理の
終了した半導体ウェーハを空のキャリアに移し替える。
そして、処理終了したウェーハを収納するキャリアを、
キャリア搬送装置によってキャリアストッカに搬送す
る。
酸化膜を形成したり、不純物を拡散させたりする熱処理
工程があり、縦型または横型の熱処理炉が用いられる。 この熱処理工程において、ローディング時は、キャリ
アストッカからキャリア搬送装置によって複数枚の未処
理の被熱処理体としての半導体ウェーハを収納する複数
個のキャリアを、所定の位置まで移動する。そして、キ
ャリア内の半導体ウェーハを、ウェーハ移し替え装置に
よって熱処理装置のボート載置台に載置された熱処理用
の空の例えば石英製ボートに移し替える。 熱処理装置では、ボート載置台上の、複数枚の半導体
ウェーハが搭載された移し替え完了後の石英製ボート
を、ボート搬送機構によってボートローダに受け渡し、
ボートローダは、そのボートを熱処理炉内にボートを挿
入して、半導体ウェーハの熱処理を行なう。 また、アンローディング時は、熱処理装置では、熱処
理が終了したボートをボートローダが熱処理炉から引き
出し、ボート搬送機構にそのボートを受け渡し、ボート
搬送機構は、そのボートをボート載置台に載置する。 そして、このボート載置台上のボートから、熱処理の
終了した半導体ウェーハを空のキャリアに移し替える。
そして、処理終了したウェーハを収納するキャリアを、
キャリア搬送装置によってキャリアストッカに搬送す
る。
ところで、熱処理装置のボート載置台、ボート搬送機
構、ボートローダの、それぞれボートと接触する部位が
金属で構成されていると、次のような欠点を生じること
が分かった。 すなわち、石英からなり、不純物の付着していないボ
ートが、移送路において金属部分に接触すると、石英製
ボートに金属が付着する。この金属が付着したボートを
熱処理炉に挿入すると、ボートの温度が熱処理温度に上
昇するため、付着した金属不純物の拡散係数が大きくな
り、金属不純物が被熱処理体である半導体ウェーハにも
入り込み、このウェーハの性能を劣化させる恐れがあ
る。このことは、半導体素子の高密度化、高集積化に伴
い、大きな問題となる。 この発明は、以上の点にかんがみ、被熱処理体である
半導体ウェーハの性能の劣化を最小限に抑えることがで
きる熱処理装置を提供することを目的とする。
構、ボートローダの、それぞれボートと接触する部位が
金属で構成されていると、次のような欠点を生じること
が分かった。 すなわち、石英からなり、不純物の付着していないボ
ートが、移送路において金属部分に接触すると、石英製
ボートに金属が付着する。この金属が付着したボートを
熱処理炉に挿入すると、ボートの温度が熱処理温度に上
昇するため、付着した金属不純物の拡散係数が大きくな
り、金属不純物が被熱処理体である半導体ウェーハにも
入り込み、このウェーハの性能を劣化させる恐れがあ
る。このことは、半導体素子の高密度化、高集積化に伴
い、大きな問題となる。 この発明は、以上の点にかんがみ、被熱処理体である
半導体ウェーハの性能の劣化を最小限に抑えることがで
きる熱処理装置を提供することを目的とする。
この発明は、ボート載置台に載置したボートと被熱処
理体の搬送具との間で被熱処理体の移し替えを行ない、
このボート載置台から熱処理炉に未処理の被熱処理体を
搭載するボートをローディングし、熱処理炉から引き出
した処理の終了した被熱処理体を搭載するボートを前記
ボート載置台までアンローディングするようにする熱処
理装置において、 前記ローディング経路及びアンローディング経路の、
ボートとの接触部位のすべてを、石英またはSiCに接触
させるように構成したことを特徴とする。
理体の搬送具との間で被熱処理体の移し替えを行ない、
このボート載置台から熱処理炉に未処理の被熱処理体を
搭載するボートをローディングし、熱処理炉から引き出
した処理の終了した被熱処理体を搭載するボートを前記
ボート載置台までアンローディングするようにする熱処
理装置において、 前記ローディング経路及びアンローディング経路の、
ボートとの接触部位のすべてを、石英またはSiCに接触
させるように構成したことを特徴とする。
この発明による熱処理装置においては、ボートと接触
する部位は、全て石英または同等の性能のSiCで構成さ
れているので、金属不純物による被熱処理体の汚染の心
配は無い。
する部位は、全て石英または同等の性能のSiCで構成さ
れているので、金属不純物による被熱処理体の汚染の心
配は無い。
以下、この発明による熱処理装置の一実施例を図を参
照しながら説明する。 第１図に示すように、キャリアステージ１には、複数
個のキャリア２が載置されている。この場合、キャリア
２は縦方向に積み重ねるように載置することもできる。
各キャリア２には、複数枚例えば25枚の被熱処理体とし
ての半導体ウェーハＷが収納されている。 ボート載置台としてのボートスタンド３には、石英製
のボート（図示せず）が縦方向に立てられている。ボー
トには、複数枚のウェーハが水平方向に、互いの主面が
対向するような状態で平行に積載される。 ボートスタンド３には、第２図及び第３図に示すよう
に、石英製のボート受け31が設けられると共に、ボート
載置検出用のマイクロスイッチ32のボートとの石英製接
触子33が設けられている。この接触子33は、中央部に溝
が設けられ、そして、この溝内に雄ねじの穴が設けら
れ、ねじ止めにより固定されて、ねじの頭が突出しない
ように構成されている。ボートがボートスタンド３に載
置されると、その重みによって接触子33を押し、スイッ
チ32がオンとなってボートが載置されたことを検出す
る。ボートは、このボートスタンド３では、他の部分に
は接触しない。 ウェーハの移し替え機構としての枚葉移載機４は、ウ
ェーハ移載具41を有する。このウェーハ移載具41は、回
転及び前進後退が可能で、キャリア２のウェーハの１枚
づつの取り出し、キャリア２へのウェーハの１枚づつの
収納、また、ボートスタンド３上のボートからのウェー
ハの１枚づつの取り出し、ボートへのウェーハの１枚づ
つの収納が可能である。 図示しない熱処理炉の下方には、ボートローダとして
のボートエレベーター５が設けられる。このボートエレ
ベーター５には、熱処理炉の蓋体51の上の保温筒52の上
にボート置き台53が取り付けられたものが昇降自在に取
り付けられており、ボートは、ボート置き台53上に搭載
される。ボート置き台53は、石英で構成されている。こ
のボート置き台53の固定も上記接触子33と同様である。 ボート置き台53等は、縦型の熱処理炉の開口の真下に
置かれている。そして、ボートエレベーター５により、
これらが昇降して、熱処理炉内にボートを挿入し、ある
いはボートを熱処理炉から引出す。 ボート搬送機構６は、ボート搬送アーム61を有し、こ
のボート搬送アーム61を回動支持部62を中心として水平
方向に回動移動させる機構である。すなわち、搬送アー
ム61の上にボートを載置して、図中実線63で示すように
回動して、ボートスタンド３−ボート置き台53−後述す
るボートスライドユニット７のボート載置台71間におい
て、ボートを搬送する。 ボート搬送アーム61には、第４図及び第５図に示すよ
うに、120゜角間隔離れて石英製の円筒状ボート受け66
A,66B,66Cが設けられると共に、ボートの側部を押圧し
てボートをアーム61上で位置決めするための、石英製の
位置決め具64A,64Bと、石英製のストッパ65が設けられ
ている。これらの固定構造も上記接触子33と同様な構造
が選択できる。位置決め具64A,64Bは、ローラの構成と
することができる。ボート搬送アーム上では、ボートは
ボート受け66A,66B,66C、位置決め具64A,64B及びストッ
パ65以外には接触しない。 ボートスライドユニット７は、ボート受け台71を備
え、このボート受け台71は、図の上下方向にスライド移
動可能に構成されている。このボートスライドユニット
７においては、ボート搬送アーム61の回動経路中の図の
下方位置71′では、ボート搬送アーム61との間でボート
の受け渡しを行なう。そして、ボート受け台71は、図の
ように上方にスライド移動して、退避位置に移動可能で
ある。ボートスライドユニット７のボート受け台71は、
ボートスタンド３と同様に構成されている。すなわち、
第６図及び第７図に示すように、石英製のボート受け72
が設けられると共に、ボート載置検出用のマイクロスイ
ッチ73のボートとの石英製の接触子74が設けられる。こ
の接触子74の固定手段も、上記接触子33と同様である。 また、石英製の位置決め具75が設けられている。ボー
トは、ボートスライドユニット７では、ボート受け72、
接触子74、位置決め具75以外の部分とは接触しない。 以下に、この熱処理装置の動作について説明する。以
下の動作は、コンピュータによって予め定められたプロ
グラム手順にしたがって自動的になされる。 ローディング時には、空のボートが、ボートスタンド
３の石英製のボート受け31によって受けられて、立てら
れている。このとき、マイクロスイッチ32の石英製接触
子33をボートの一部が押圧するので、マイクロスイッチ
32がオンとなり、ボートがボートスタンド３上に載置さ
れたことが検出される。 そして、枚葉移載機４によって、キャリアステージ１
の、未処理のウェーハを収納するキャリア２から１枚づ
つ未処理のウェーハが、ボートスタンド３の空のボート
に移し替えられる。 移し替えが終了すると、ボート搬送機構６の搬送アー
ム61にボートが載せられる。このとき、ボートは、搬送
アーム61の石英製位置決め具64A,64B及び石英製のスト
ッパ65によりアーム61上での位置決めがなされて、３個
の石英製ボート受け66A,66B,66Cによって支持されてい
る。そして、ボート搬送アーム61は、ボートエレベータ
ー５により昇降されるボート置き台53の上まで回動さ
れ、ボートがボート置き台53上に載置される。 すると、ボートエレベーター５が駆動され、ボートが
熱処理炉（図示せず）内に挿入され、蓋体51によって熱
処理炉の開口が閉じられ、熱処理がなされる。 この場合、ボートがボートスタンド３から熱処理炉内
に挿入されるまでのローディング時の搬送経路におい
て、また、後述するように、熱処理炉からボートスタン
ドまでのアンローディング時の搬送経路において、ボー
トが接触する部位はすべて石英で構成されているので、
ボートに金属のような不純物が付着することはない。し
たがって、従来のような熱処理の際の金属不純物の拡散
によるウェーハの性能の低下の恐れがない。 一方、ボートスライドユニット７の受け台71には、最
初は空のボートが載置されており、また、その後は、既
に拡散処理等の熱処理の終了したボートが載置されてい
る。このとき、ボートは受け台71の石英製ボート受け72
により受けられ、石英製位置決め具75により位置決めさ
れている。そして、ボートが受け台71に載置されたこと
が、石英製接触子74をボートが押圧することによりマイ
クロスイッチ73により検知されると、受け台71は上方に
スライド移動して退避位置に移動する。 そして、熱処理炉内にボートを挿入すると、スライド
ユニット７は、受け台71をボート搬送機構６の移動経路
中の位置に戻す。そして、ボート搬送機構６は、ボート
スライドユニット７のボート受け台71に載置されている
空のあるいは熱処理の終了したウェーハを搭載するボー
トを、ボート搬送アーム61上に載せ、これをボートスタ
ンド３にまで搬送し、ボートスタンド３の石英製ボート
受け31上に載置する。このとき、石英製接触子33がボー
トにより押圧されて、マイクロスイッチ32がオンとなっ
て、ボートが載置されたことが検知される。 そして、ボートが空のときは、枚葉移載機４はこのボ
ートにキャリア２の未処理のウェーハを移し替える。ま
た、ボートスタンド３に載置されたボートに処理済みの
ウェーハが搭載されているときは、枚葉移載機４は、熱
処理済みのウェーハを、このボートからキャリアステー
ジ１の空のキャリア２に移し替える。そして、その後、
キャリアステージ１のキャリア２から未処理のウェーハ
を、ボートスタンド３の空になったボートに移し替え
る。 熱処理炉で熱処理が終了すると、ボートエレベーター
５が降下して、ボートを熱処理炉から引き出す。そし
て、ボート搬送機構６の搬送アーム61にそのボートを載
置し、ボートスライドユニット７に搬送し、そのボート
をボートスライドユニット７のボート受け台71上に載置
する。 次に、ボート搬送機構６は、搬送アーム61をボートス
タンド３に移動し、未処理のウェーハを搭載しているボ
ートを搬送アーム61上に載せ、そのボートをボート置き
台53上に搬送する。そして、ボートエレベーター５によ
りボートを上昇させて、熱処理炉内に挿入する。 次に、ボート搬送機構６は、ボートスライドユニット
７の受け台71上の処理済みのウェーハを搭載するボート
を、ボートスタンド３まで搬送して、ボート受け31上に
ボートを立てる。そして、処理済みのウェーハをボート
からキャリア２に、枚葉移載機４により移し替える。以
下、前記と同様の動作を繰り返す。 なお、以上の例では、ボートの接触部位をすべて石英
で構成するようにしたが、石英の代わりにSiCであって
も良い。
照しながら説明する。 第１図に示すように、キャリアステージ１には、複数
個のキャリア２が載置されている。この場合、キャリア
２は縦方向に積み重ねるように載置することもできる。
各キャリア２には、複数枚例えば25枚の被熱処理体とし
ての半導体ウェーハＷが収納されている。 ボート載置台としてのボートスタンド３には、石英製
のボート（図示せず）が縦方向に立てられている。ボー
トには、複数枚のウェーハが水平方向に、互いの主面が
対向するような状態で平行に積載される。 ボートスタンド３には、第２図及び第３図に示すよう
に、石英製のボート受け31が設けられると共に、ボート
載置検出用のマイクロスイッチ32のボートとの石英製接
触子33が設けられている。この接触子33は、中央部に溝
が設けられ、そして、この溝内に雄ねじの穴が設けら
れ、ねじ止めにより固定されて、ねじの頭が突出しない
ように構成されている。ボートがボートスタンド３に載
置されると、その重みによって接触子33を押し、スイッ
チ32がオンとなってボートが載置されたことを検出す
る。ボートは、このボートスタンド３では、他の部分に
は接触しない。 ウェーハの移し替え機構としての枚葉移載機４は、ウ
ェーハ移載具41を有する。このウェーハ移載具41は、回
転及び前進後退が可能で、キャリア２のウェーハの１枚
づつの取り出し、キャリア２へのウェーハの１枚づつの
収納、また、ボートスタンド３上のボートからのウェー
ハの１枚づつの取り出し、ボートへのウェーハの１枚づ
つの収納が可能である。 図示しない熱処理炉の下方には、ボートローダとして
のボートエレベーター５が設けられる。このボートエレ
ベーター５には、熱処理炉の蓋体51の上の保温筒52の上
にボート置き台53が取り付けられたものが昇降自在に取
り付けられており、ボートは、ボート置き台53上に搭載
される。ボート置き台53は、石英で構成されている。こ
のボート置き台53の固定も上記接触子33と同様である。 ボート置き台53等は、縦型の熱処理炉の開口の真下に
置かれている。そして、ボートエレベーター５により、
これらが昇降して、熱処理炉内にボートを挿入し、ある
いはボートを熱処理炉から引出す。 ボート搬送機構６は、ボート搬送アーム61を有し、こ
のボート搬送アーム61を回動支持部62を中心として水平
方向に回動移動させる機構である。すなわち、搬送アー
ム61の上にボートを載置して、図中実線63で示すように
回動して、ボートスタンド３−ボート置き台53−後述す
るボートスライドユニット７のボート載置台71間におい
て、ボートを搬送する。 ボート搬送アーム61には、第４図及び第５図に示すよ
うに、120゜角間隔離れて石英製の円筒状ボート受け66
A,66B,66Cが設けられると共に、ボートの側部を押圧し
てボートをアーム61上で位置決めするための、石英製の
位置決め具64A,64Bと、石英製のストッパ65が設けられ
ている。これらの固定構造も上記接触子33と同様な構造
が選択できる。位置決め具64A,64Bは、ローラの構成と
することができる。ボート搬送アーム上では、ボートは
ボート受け66A,66B,66C、位置決め具64A,64B及びストッ
パ65以外には接触しない。 ボートスライドユニット７は、ボート受け台71を備
え、このボート受け台71は、図の上下方向にスライド移
動可能に構成されている。このボートスライドユニット
７においては、ボート搬送アーム61の回動経路中の図の
下方位置71′では、ボート搬送アーム61との間でボート
の受け渡しを行なう。そして、ボート受け台71は、図の
ように上方にスライド移動して、退避位置に移動可能で
ある。ボートスライドユニット７のボート受け台71は、
ボートスタンド３と同様に構成されている。すなわち、
第６図及び第７図に示すように、石英製のボート受け72
が設けられると共に、ボート載置検出用のマイクロスイ
ッチ73のボートとの石英製の接触子74が設けられる。こ
の接触子74の固定手段も、上記接触子33と同様である。 また、石英製の位置決め具75が設けられている。ボー
トは、ボートスライドユニット７では、ボート受け72、
接触子74、位置決め具75以外の部分とは接触しない。 以下に、この熱処理装置の動作について説明する。以
下の動作は、コンピュータによって予め定められたプロ
グラム手順にしたがって自動的になされる。 ローディング時には、空のボートが、ボートスタンド
３の石英製のボート受け31によって受けられて、立てら
れている。このとき、マイクロスイッチ32の石英製接触
子33をボートの一部が押圧するので、マイクロスイッチ
32がオンとなり、ボートがボートスタンド３上に載置さ
れたことが検出される。 そして、枚葉移載機４によって、キャリアステージ１
の、未処理のウェーハを収納するキャリア２から１枚づ
つ未処理のウェーハが、ボートスタンド３の空のボート
に移し替えられる。 移し替えが終了すると、ボート搬送機構６の搬送アー
ム61にボートが載せられる。このとき、ボートは、搬送
アーム61の石英製位置決め具64A,64B及び石英製のスト
ッパ65によりアーム61上での位置決めがなされて、３個
の石英製ボート受け66A,66B,66Cによって支持されてい
る。そして、ボート搬送アーム61は、ボートエレベータ
ー５により昇降されるボート置き台53の上まで回動さ
れ、ボートがボート置き台53上に載置される。 すると、ボートエレベーター５が駆動され、ボートが
熱処理炉（図示せず）内に挿入され、蓋体51によって熱
処理炉の開口が閉じられ、熱処理がなされる。 この場合、ボートがボートスタンド３から熱処理炉内
に挿入されるまでのローディング時の搬送経路におい
て、また、後述するように、熱処理炉からボートスタン
ドまでのアンローディング時の搬送経路において、ボー
トが接触する部位はすべて石英で構成されているので、
ボートに金属のような不純物が付着することはない。し
たがって、従来のような熱処理の際の金属不純物の拡散
によるウェーハの性能の低下の恐れがない。 一方、ボートスライドユニット７の受け台71には、最
初は空のボートが載置されており、また、その後は、既
に拡散処理等の熱処理の終了したボートが載置されてい
る。このとき、ボートは受け台71の石英製ボート受け72
により受けられ、石英製位置決め具75により位置決めさ
れている。そして、ボートが受け台71に載置されたこと
が、石英製接触子74をボートが押圧することによりマイ
クロスイッチ73により検知されると、受け台71は上方に
スライド移動して退避位置に移動する。 そして、熱処理炉内にボートを挿入すると、スライド
ユニット７は、受け台71をボート搬送機構６の移動経路
中の位置に戻す。そして、ボート搬送機構６は、ボート
スライドユニット７のボート受け台71に載置されている
空のあるいは熱処理の終了したウェーハを搭載するボー
トを、ボート搬送アーム61上に載せ、これをボートスタ
ンド３にまで搬送し、ボートスタンド３の石英製ボート
受け31上に載置する。このとき、石英製接触子33がボー
トにより押圧されて、マイクロスイッチ32がオンとなっ
て、ボートが載置されたことが検知される。 そして、ボートが空のときは、枚葉移載機４はこのボ
ートにキャリア２の未処理のウェーハを移し替える。ま
た、ボートスタンド３に載置されたボートに処理済みの
ウェーハが搭載されているときは、枚葉移載機４は、熱
処理済みのウェーハを、このボートからキャリアステー
ジ１の空のキャリア２に移し替える。そして、その後、
キャリアステージ１のキャリア２から未処理のウェーハ
を、ボートスタンド３の空になったボートに移し替え
る。 熱処理炉で熱処理が終了すると、ボートエレベーター
５が降下して、ボートを熱処理炉から引き出す。そし
て、ボート搬送機構６の搬送アーム61にそのボートを載
置し、ボートスライドユニット７に搬送し、そのボート
をボートスライドユニット７のボート受け台71上に載置
する。 次に、ボート搬送機構６は、搬送アーム61をボートス
タンド３に移動し、未処理のウェーハを搭載しているボ
ートを搬送アーム61上に載せ、そのボートをボート置き
台53上に搬送する。そして、ボートエレベーター５によ
りボートを上昇させて、熱処理炉内に挿入する。 次に、ボート搬送機構６は、ボートスライドユニット
７の受け台71上の処理済みのウェーハを搭載するボート
を、ボートスタンド３まで搬送して、ボート受け31上に
ボートを立てる。そして、処理済みのウェーハをボート
からキャリア２に、枚葉移載機４により移し替える。以
下、前記と同様の動作を繰り返す。 なお、以上の例では、ボートの接触部位をすべて石英
で構成するようにしたが、石英の代わりにSiCであって
も良い。
以上説明したように、この発明によれば、キャリアと
の間で被熱処理体の移し替えを行なうボート載置台から
熱処理炉へのローディング時、及び熱処理炉から前記ボ
ート載置台までのアンローディング時の、搬送経路中に
ボートが接触する部位は、すべて石英またはSiCで構成
されているので、ボートに金属不純物が付着することは
なく、熱処理の際の金属不純物の拡散による被熱処理体
の汚染が防止できる。
の間で被熱処理体の移し替えを行なうボート載置台から
熱処理炉へのローディング時、及び熱処理炉から前記ボ
ート載置台までのアンローディング時の、搬送経路中に
ボートが接触する部位は、すべて石英またはSiCで構成
されているので、ボートに金属不純物が付着することは
なく、熱処理の際の金属不純物の拡散による被熱処理体
の汚染が防止できる。
第１図は、この発明による熱処理装置の全体の構成を示
す図、第２図はボート載置台としてのボートスタンドの
一例の平面図、第３図は第２図のＡ−Ａ線断面図、第４
図はボート搬送機構の搬送アームの一例の要部を示す
図、第５図は第４図の断面図、第６図はボートスライド
ユニットのボート受け台の一例の平面図、第７図は第６
図のＡ−Ａ線断面図である。 1;キャリアステージ 2;キャリア 3;ボートスタンド 4;枚葉移載機 5;ボートエレベーター 6;ボート搬送機構 7;ボートスライドユニット 31;ボート受け 32;マイクロスイッチ 33;接触子 53;ボート置き台 61;ボート搬送アーム 64A,64B;位置決め具 65;位置決めストッパ 66A,66B,66C;ボート受け 71;ボート受け台 72;ボート受け 73;マイクロスイッチ 74;接触子
す図、第２図はボート載置台としてのボートスタンドの
一例の平面図、第３図は第２図のＡ−Ａ線断面図、第４
図はボート搬送機構の搬送アームの一例の要部を示す
図、第５図は第４図の断面図、第６図はボートスライド
ユニットのボート受け台の一例の平面図、第７図は第６
図のＡ−Ａ線断面図である。 1;キャリアステージ 2;キャリア 3;ボートスタンド 4;枚葉移載機 5;ボートエレベーター 6;ボート搬送機構 7;ボートスライドユニット 31;ボート受け 32;マイクロスイッチ 33;接触子 53;ボート置き台 61;ボート搬送アーム 64A,64B;位置決め具 65;位置決めストッパ 66A,66B,66C;ボート受け 71;ボート受け台 72;ボート受け 73;マイクロスイッチ 74;接触子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/31 H01L 21/205 H01L 21/22 H01L 21/324 H01L 21/68 F27D 3/06
Claims (2)
- 【請求項１】ボート載置台に載置したボートと被熱処理
体の搬送具との間で被熱処理体の移し替えを行ない、こ
のボート載置台から熱処理炉に未処理の被熱処理体を搭
載するボートをローディングし、熱処理炉から引き出し
た処理の終了した被熱処理体を搭載するボートを前記ボ
ート載置台までアンローディングするようにする熱処理
装置において、 前記ローディング経路及びアンローディング経路の、前
記ボートとの接触部位のすべてを、石英またはSiCに接
触させるように構成したことを特徴とする熱処理装置。 - 【請求項２】前記ボートとの接触部位の一部は、石英ま
たはSiCからなる接触子が、ねじ止めされたものであっ
て、前記接触子は、ねじ止めしたときに、ねじの頭部が
突出しない溝を備えることを特徴とする請求項（１）に
記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23281290A JP2920781B2 (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23281290A JP2920781B2 (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | 熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04113622A JPH04113622A (ja) | 1992-04-15 |
| JP2920781B2 true JP2920781B2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=16945160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23281290A Expired - Lifetime JP2920781B2 (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2920781B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011018908A (ja) * | 2010-07-15 | 2011-01-27 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
-
1990
- 1990-09-03 JP JP23281290A patent/JP2920781B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04113622A (ja) | 1992-04-15 |
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