JP2914886B2 - 磁気ヘッド用揺動支持ア−ム及びその製造法 - Google Patents
磁気ヘッド用揺動支持ア−ム及びその製造法Info
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- JP2914886B2 JP2914886B2 JP11248395A JP11248395A JP2914886B2 JP 2914886 B2 JP2914886 B2 JP 2914886B2 JP 11248395 A JP11248395 A JP 11248395A JP 11248395 A JP11248395 A JP 11248395A JP 2914886 B2 JP2914886 B2 JP 2914886B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置など
に用いられる磁気ヘッド・サスペンション組立体を支持
する為の揺動支持ア−ム及びその製造法に関し、更に具
体的に云えば本発明は、回路配線とサスペンションとを
一体的に形成した磁気ヘッド用サスペンションを支持す
る為の揺動支持ア−ム及びその製造法に関する。
に用いられる磁気ヘッド・サスペンション組立体を支持
する為の揺動支持ア−ム及びその製造法に関し、更に具
体的に云えば本発明は、回路配線とサスペンションとを
一体的に形成した磁気ヘッド用サスペンションを支持す
る為の揺動支持ア−ム及びその製造法に関する。
【０００２】
【従来技術とその問題点】この種の磁気ディスク装置
は、情報を磁気的に記録する為の少なくとも一枚の回転
式ディスクと、このディスク上の各トラックに対するデ
−タの読み取り又は書き込みを行う為の磁気ヘッド素子
と、このヘッド素子に接続されて該ヘッド素子を所望の
トラック位置に移動させると共にこのヘッド素子をその
トラック上方に保持する為のヘッド位置決めアクチュエ
−タ−とを具備する。
は、情報を磁気的に記録する為の少なくとも一枚の回転
式ディスクと、このディスク上の各トラックに対するデ
−タの読み取り又は書き込みを行う為の磁気ヘッド素子
と、このヘッド素子に接続されて該ヘッド素子を所望の
トラック位置に移動させると共にこのヘッド素子をその
トラック上方に保持する為のヘッド位置決めアクチュエ
−タ−とを具備する。
【０００３】従来の磁気ヘッド・サスペンション組立体
の一例としては例えば特開昭６３−１１３９１７号公報
等に開示されたものがある。この公報の技術に於いて、
磁気ヘッド素子は、エポキシ樹脂等によってジンバルに
取付けられており、このジンバルはサスペンションにレ
−ザ−溶接等の手段で設けられている。そして、磁気ヘ
ッド素子上に形成された電極にはウレタン被覆等を施し
た金メッキ銅線などが超音波溶接や半田等で接続されて
信号の外部回路への引出し配線部材を構成している。更
に、この配線部材は、所定の回数タ−ンさせられて可撓
性絶縁樹脂チュ−ブに納められ、サスペンションの一部
をかしめる等の手段でそのサスペンション上に取付けら
れている。
の一例としては例えば特開昭６３−１１３９１７号公報
等に開示されたものがある。この公報の技術に於いて、
磁気ヘッド素子は、エポキシ樹脂等によってジンバルに
取付けられており、このジンバルはサスペンションにレ
−ザ−溶接等の手段で設けられている。そして、磁気ヘ
ッド素子上に形成された電極にはウレタン被覆等を施し
た金メッキ銅線などが超音波溶接や半田等で接続されて
信号の外部回路への引出し配線部材を構成している。更
に、この配線部材は、所定の回数タ−ンさせられて可撓
性絶縁樹脂チュ−ブに納められ、サスペンションの一部
をかしめる等の手段でそのサスペンション上に取付けら
れている。
【０００４】このような磁気ヘッド・サスペンション組
立体に於いては、磁気ヘッド素子上の電極と引出し配線
との接続が作業性の制約から極めて非能率的であって生
産性を高めることは困難である。そして、近年のような
磁気ヘッド素子の小型化及びＭＲ素子化による端子数の
増加は、この問題を更に困難なものにしている。更に
は、上記引出し配線部材の持つ剛性が磁気ヘッド素子の
浮上に影響を与えて最適な浮上姿勢が得られないなどの
問題がある。また、この引出し配線部材が記録媒体の回
転が引き起こす空気の流れによる風圧を受け、磁気ヘッ
ド素子の浮上姿勢に悪影響を与えるなどの問題もある。
立体に於いては、磁気ヘッド素子上の電極と引出し配線
との接続が作業性の制約から極めて非能率的であって生
産性を高めることは困難である。そして、近年のような
磁気ヘッド素子の小型化及びＭＲ素子化による端子数の
増加は、この問題を更に困難なものにしている。更に
は、上記引出し配線部材の持つ剛性が磁気ヘッド素子の
浮上に影響を与えて最適な浮上姿勢が得られないなどの
問題がある。また、この引出し配線部材が記録媒体の回
転が引き起こす空気の流れによる風圧を受け、磁気ヘッ
ド素子の浮上姿勢に悪影響を与えるなどの問題もある。
【０００５】上記のような問題に対して、特開平４−２
１９６１８号公報に開示された技術では、引出し配線部
材とサスペンション機構を兼ねた回路配線一体型サスペ
ンションが提案されている。
１９６１８号公報に開示された技術では、引出し配線部
材とサスペンション機構を兼ねた回路配線一体型サスペ
ンションが提案されている。
【０００６】しかし、この技術に於いて、サスペンショ
ン上に一体的に形成された回路配線パタ−ンとリ−ド・
ライトアンプ部基板との電気的な接続手段としては、従
来のように磁気ヘッド素子から上記アンプ部までの接続
に用いていたリ−ド線による接続が一般に用いられてい
るが、この接続手段では、磁気ヘッド素子の接続に用い
た場合と同様に、自動化によるコストダウンを図る上で
障害となって好ましくない。
ン上に一体的に形成された回路配線パタ−ンとリ−ド・
ライトアンプ部基板との電気的な接続手段としては、従
来のように磁気ヘッド素子から上記アンプ部までの接続
に用いていたリ−ド線による接続が一般に用いられてい
るが、この接続手段では、磁気ヘッド素子の接続に用い
た場合と同様に、自動化によるコストダウンを図る上で
障害となって好ましくない。
【０００７】
【発明の目的及び構成】そこで本発明は、回路配線とサ
スペンションとを可撓性絶縁層を介して一体的に形成し
た磁気ヘッド用サスペンションを支持する為の揺動支持
ア−ム及びその製造法を提供するものである。
スペンションとを可撓性絶縁層を介して一体的に形成し
た磁気ヘッド用サスペンションを支持する為の揺動支持
ア−ム及びその製造法を提供するものである。
【０００８】本発明の磁気ヘッド用揺動支持ア−ムによ
れば、上記のような回路配線一体型サスペンションを用
いた磁気ヘッド・サスペンション組立体の回路配線とリ
−ド・ライトアンプ部基板との間を電気的に接続する際
の自動化を容易にして安価な磁気記録装置を構成する為
の手段をも提供するものである。
れば、上記のような回路配線一体型サスペンションを用
いた磁気ヘッド・サスペンション組立体の回路配線とリ
−ド・ライトアンプ部基板との間を電気的に接続する際
の自動化を容易にして安価な磁気記録装置を構成する為
の手段をも提供するものである。
【０００９】その為に、本発明による磁気ヘッド用揺動
支持アームは、支持部上部及び下部の各側面から一体的
に外方に伸長形成した二個の支持アームを備え、この両
支持アームの間には磁気記録媒体が回転移動する為に必
要な空隙を設け、これら両支持アーム及びその基部が形
成する側端面領域に絶縁層を設け、該絶縁層の表面に形
成した所要の配線パターンを備え、前記両支持アームの
各端部に於いて回路配線一体型磁気ヘッド用サスペンシ
ョンの端部を機械的に支持し且つ電気的に接続するよう
に構成したものである。
支持アームは、支持部上部及び下部の各側面から一体的
に外方に伸長形成した二個の支持アームを備え、この両
支持アームの間には磁気記録媒体が回転移動する為に必
要な空隙を設け、これら両支持アーム及びその基部が形
成する側端面領域に絶縁層を設け、該絶縁層の表面に形
成した所要の配線パターンを備え、前記両支持アームの
各端部に於いて回路配線一体型磁気ヘッド用サスペンシ
ョンの端部を機械的に支持し且つ電気的に接続するよう
に構成したものである。
【００１０】このような配線パタ−ンは前記各支持ア−
ムの端部近傍に回路配線一体型サスペンションの端子部
と接続する為の接続端子部を備え、また、それら配線パ
タ−ンの他の端部にはリ−ド・ライトアンプ部基板側に
接続する為の接続端子部を備えるように構成できる。
ムの端部近傍に回路配線一体型サスペンションの端子部
と接続する為の接続端子部を備え、また、それら配線パ
タ−ンの他の端部にはリ−ド・ライトアンプ部基板側に
接続する為の接続端子部を備えるように構成できる。
【００１１】そして、上記のような磁気ヘッド用揺動支
持ア−ムを製作する為には、基本的には、支持ア−ムを
形成する為の構造体の一側面部に所要の形状に絶縁層を
形成し、この絶縁層の表面の所定位置に所要の接続端子
部と共に所要の配線パタ−ンを形成した後、磁気記録媒
体が回転移動する為に必要な空隙をこの構造体の外側面
から内部方向に形成する各工程を採用することができ
る。
持ア−ムを製作する為には、基本的には、支持ア−ムを
形成する為の構造体の一側面部に所要の形状に絶縁層を
形成し、この絶縁層の表面の所定位置に所要の接続端子
部と共に所要の配線パタ−ンを形成した後、磁気記録媒
体が回転移動する為に必要な空隙をこの構造体の外側面
から内部方向に形成する各工程を採用することができ
る。
【００１２】ここで、前記配線パタ−ンの形成工程後に
は必要に応じて前記接続端子部を除くその配線パタ−ン
の表面に表面保護層を形成することもでき、また、前記
空隙の形成工程は前記絶縁層の形成工程の前に行うこと
もできる。
は必要に応じて前記接続端子部を除くその配線パタ−ン
の表面に表面保護層を形成することもでき、また、前記
空隙の形成工程は前記絶縁層の形成工程の前に行うこと
もできる。
【００１３】
【実施例】以下、図示の実施例を参照しながら本発明を
更に詳述する。図１は本発明の一実施例による磁気ヘッ
ド用揺動支持ア−ムの概念的な斜視図であって、図３か
らも分るように、所要の厚さを有する円盤状の一部の形
状に形成された支持部６はその上部及び下部の両側面か
ら一体的に外方に伸長する二個の支持ア−ム４，４を備
えており、その両支持ア−ム４，４の間には磁気記録媒
体が回転移動する為に必要な空隙５を形成してある。
更に詳述する。図１は本発明の一実施例による磁気ヘッ
ド用揺動支持ア−ムの概念的な斜視図であって、図３か
らも分るように、所要の厚さを有する円盤状の一部の形
状に形成された支持部６はその上部及び下部の両側面か
ら一体的に外方に伸長する二個の支持ア−ム４，４を備
えており、その両支持ア−ム４，４の間には磁気記録媒
体が回転移動する為に必要な空隙５を形成してある。
【００１４】これら両支持ア−ム４，４とそれらの基部
が形成するコの字状或いはＵ字状の側端面領域には、適
宜な絶縁層を介して所要の配線パタ−ン２を形成してあ
る。これらの配線パタ−ン２は各支持ア−ム４，４の端
部近傍に於いて後述の回路配線一体型サスペンションの
端子部と接続する為の接続端子部２Ａとして終端し、ま
た、支持部６に近接した部位に於ける配線パタ−ン２の
他の端部はリ−ド・ライトアンプ部基板側に接続する為
の接続端子部２Ｂとして終端する。
が形成するコの字状或いはＵ字状の側端面領域には、適
宜な絶縁層を介して所要の配線パタ−ン２を形成してあ
る。これらの配線パタ−ン２は各支持ア−ム４，４の端
部近傍に於いて後述の回路配線一体型サスペンションの
端子部と接続する為の接続端子部２Ａとして終端し、ま
た、支持部６に近接した部位に於ける配線パタ−ン２の
他の端部はリ−ド・ライトアンプ部基板側に接続する為
の接続端子部２Ｂとして終端する。
【００１５】これらの配線パタ−ン２は、各接続端子部
２Ａ，２Ｂを露出させるように形成された表面保護層３
によりその表面が被覆されている。このように形成した
揺動支持ア−ム８はアルミニウム部材又はその合金部材
等で構成することができ、その支持部６の中心軸方向に
設けた貫通孔７を用いてこの揺動支持ア−ム８を適当な
シャフト等に支持させて平面方向に揺動させることがで
きる。
２Ａ，２Ｂを露出させるように形成された表面保護層３
によりその表面が被覆されている。このように形成した
揺動支持ア−ム８はアルミニウム部材又はその合金部材
等で構成することができ、その支持部６の中心軸方向に
設けた貫通孔７を用いてこの揺動支持ア−ム８を適当な
シャフト等に支持させて平面方向に揺動させることがで
きる。
【００１６】図２は、図１の揺動支持ア−ム８に取付け
られる回路配線一体型サスペンション９の概念的な斜視
図である。同図に於いて、ステンレス板等の部材を使用
して所要の形状に形成されたサスペンションバネ１０
は、その表面に可撓性絶縁層を介して形成された所要の
配線パタ−ン１１を一体的に備えている。
られる回路配線一体型サスペンション９の概念的な斜視
図である。同図に於いて、ステンレス板等の部材を使用
して所要の形状に形成されたサスペンションバネ１０
は、その表面に可撓性絶縁層を介して形成された所要の
配線パタ−ン１１を一体的に備えている。
【００１７】それらの配線パタ−ン１１の一端部には磁
気ヘッド素子を接続する為の端子部１３が形成され、ま
た、それらの配線パタ−ン１１の他端部には揺動支持ア
−ム８の接続端子部２Ａと接続されるフライングリ−ド
状の端子部１４が形成されており、更に、それらの配線
パタ−ン１１は各端子部１３，１４を露出させるように
形成した表面保護層１２により被覆されている。そし
て、フライングリ−ド状の端子部１４が形成されたサス
ペンションバネ１０の部分は、図のように折曲げられて
揺動支持ア−ム８の接続端子部２Ａと合致するように構
成されている。
気ヘッド素子を接続する為の端子部１３が形成され、ま
た、それらの配線パタ−ン１１の他端部には揺動支持ア
−ム８の接続端子部２Ａと接続されるフライングリ−ド
状の端子部１４が形成されており、更に、それらの配線
パタ−ン１１は各端子部１３，１４を露出させるように
形成した表面保護層１２により被覆されている。そし
て、フライングリ−ド状の端子部１４が形成されたサス
ペンションバネ１０の部分は、図のように折曲げられて
揺動支持ア−ム８の接続端子部２Ａと合致するように構
成されている。
【００１８】図３は、図１の揺動支持ア−ム８に図２の
回路配線一体型サスペンション９を取付けた状態を示す
概念的な斜視図であり、揺動支持ア−ム８の各支持ア−
ム４に於ける端部の各対向部位に形成された図示しない
適当な突起部に回路配線一体型サスペンション９の端部
に形成した取付け穴１５を装着した状態でカシメ手段又
はレ−ザ−スポット溶接等の手段で両者を接合すると共
に、各支持ア−ム４の接続用端子部２Ａとサスペンショ
ン９のフライングリ−ド状の端子部１４とは例えば半田
接続手段又はシングルポイントボンディング手法等によ
る金メッキ皮膜同士の超音波接合によって電気的に接続
され、更に、その接続部位には強度を増す為の樹脂によ
るポッティング１９を施してある。
回路配線一体型サスペンション９を取付けた状態を示す
概念的な斜視図であり、揺動支持ア−ム８の各支持ア−
ム４に於ける端部の各対向部位に形成された図示しない
適当な突起部に回路配線一体型サスペンション９の端部
に形成した取付け穴１５を装着した状態でカシメ手段又
はレ−ザ−スポット溶接等の手段で両者を接合すると共
に、各支持ア−ム４の接続用端子部２Ａとサスペンショ
ン９のフライングリ−ド状の端子部１４とは例えば半田
接続手段又はシングルポイントボンディング手法等によ
る金メッキ皮膜同士の超音波接合によって電気的に接続
され、更に、その接続部位には強度を増す為の樹脂によ
るポッティング１９を施してある。
【００１９】また、各回路配線一体型サスペンション９
の先端部には磁気ヘッド素子を備えた磁気ヘッドスライ
ダ−１６が取付けられてその磁気ヘッド素子を端子部１
３に接続するものである。そして、揺動支持ア−ム８の
他方の接続端子部２Ｂには、リ−ド・ライトアンプ部基
板に接続した可撓性回路基板１７の端子部１８が接続さ
れる。
の先端部には磁気ヘッド素子を備えた磁気ヘッドスライ
ダ−１６が取付けられてその磁気ヘッド素子を端子部１
３に接続するものである。そして、揺動支持ア−ム８の
他方の接続端子部２Ｂには、リ−ド・ライトアンプ部基
板に接続した可撓性回路基板１７の端子部１８が接続さ
れる。
【００２０】図４の（１）〜（４）は本発明の磁気ヘッ
ド用揺動支持ア−ム８を製作する為の一実施例による製
造工程図であって、この製造工程図は図１のＸ−Ｘ線に
沿った位置を示す。
ド用揺動支持ア−ム８を製作する為の一実施例による製
造工程図であって、この製造工程図は図１のＸ−Ｘ線に
沿った位置を示す。
【００２１】先ず、図４（１）に於いて、支持ア−ム４
を形成する為の構造体の一側面部には所要の形状に絶縁
層１を形成する。この絶縁層１は、感光性ポリイミド樹
脂、感光性エポキシ樹脂又は感光性アクリル樹脂等から
なる感光性樹脂の塗布工程、乾燥工程、露光工程、現像
工程及びキュア工程を順次施して形成できる。
を形成する為の構造体の一側面部には所要の形状に絶縁
層１を形成する。この絶縁層１は、感光性ポリイミド樹
脂、感光性エポキシ樹脂又は感光性アクリル樹脂等から
なる感光性樹脂の塗布工程、乾燥工程、露光工程、現像
工程及びキュア工程を順次施して形成できる。
【００２２】次に、同図（２）のように、絶縁層１の表
面の所定位置に、セミアディティブ法又はアディティブ
法等の各種手法によって図１に示す接続端子部２Ａ，２
Ｂと共に所要の配線パタ−ン２を形成する。このような
配線パタ−ン２は、例えば、スパッタリング法等の薄膜
形成手段を用いて絶縁層１の外面に導電層を形成し、次
いで配線パタ−ン２に対応した形状の開口を有するよう
にメッキレジスト層を形成した後、その開口部にメッキ
手段で銅等の導電性金属を充填し、更に、その充填導電
性金属層の外面に耐エッチング性の表面処理金属層をメ
ッキ手段で形成し、最後に、上記メッキレジスト層及び
不要となった導電層をそれぞれ除去することにより、配
線パタ−ン２を形成することができる。なお、これらの
配線パタ−ン２の表面には、接続端子部２Ａ，２Ｂを含
めて半田又は金メッキ等の適当な表面処理を施すことも
できる。
面の所定位置に、セミアディティブ法又はアディティブ
法等の各種手法によって図１に示す接続端子部２Ａ，２
Ｂと共に所要の配線パタ−ン２を形成する。このような
配線パタ−ン２は、例えば、スパッタリング法等の薄膜
形成手段を用いて絶縁層１の外面に導電層を形成し、次
いで配線パタ−ン２に対応した形状の開口を有するよう
にメッキレジスト層を形成した後、その開口部にメッキ
手段で銅等の導電性金属を充填し、更に、その充填導電
性金属層の外面に耐エッチング性の表面処理金属層をメ
ッキ手段で形成し、最後に、上記メッキレジスト層及び
不要となった導電層をそれぞれ除去することにより、配
線パタ−ン２を形成することができる。なお、これらの
配線パタ−ン２の表面には、接続端子部２Ａ，２Ｂを含
めて半田又は金メッキ等の適当な表面処理を施すことも
できる。
【００２３】そこで、同図（３）の如く、図１の接続端
子部２Ａ，２Ｂを除く配線パタ−ン２の表面に感光性樹
脂を用いて表面保護層３を形成する。この表面保護層３
は、感光性ポリイミド樹脂、感光性エポキシ樹脂又は感
光性アクリル樹脂等からなる感光性樹脂の塗布工程、乾
燥工程、露光工程、現像工程及びキュア工程を順次施し
て形成できる。
子部２Ａ，２Ｂを除く配線パタ−ン２の表面に感光性樹
脂を用いて表面保護層３を形成する。この表面保護層３
は、感光性ポリイミド樹脂、感光性エポキシ樹脂又は感
光性アクリル樹脂等からなる感光性樹脂の塗布工程、乾
燥工程、露光工程、現像工程及びキュア工程を順次施し
て形成できる。
【００２４】最後に、磁気記録媒体が回転移動する為に
必要な空隙５をその構造体の外側面から内部方向に機械
的加工手段で形成することにより、回路配線を一体的に
形成した磁気ヘッド用揺動支持ア−ム８を製作すること
ができる。
必要な空隙５をその構造体の外側面から内部方向に機械
的加工手段で形成することにより、回路配線を一体的に
形成した磁気ヘッド用揺動支持ア−ム８を製作すること
ができる。
【００２５】なお、上記空隙５の形成工程は図４（１）
に示す絶縁層１の形成工程の前に行うことも可能であ
る。
に示す絶縁層１の形成工程の前に行うことも可能であ
る。
【００２６】
【発明の効果】本発明に係る磁気ヘッド用揺動支持ア−
ムによれば、回路配線とサスペンションバネとを可撓性
絶縁層を介して一体的に形成した磁気ヘッド用サスペン
ションを確実に支持でき、また、この揺動支持ア−ムと
その磁気ヘッド用サスペンションとの間の電気的接続処
理も自動化できる。
ムによれば、回路配線とサスペンションバネとを可撓性
絶縁層を介して一体的に形成した磁気ヘッド用サスペン
ションを確実に支持でき、また、この揺動支持ア−ムと
その磁気ヘッド用サスペンションとの間の電気的接続処
理も自動化できる。
【００２７】更に、本発明によれば、上記のような回路
配線一体型サスペンションを用いた磁気記録装置に於い
て、回路配線とリ−ド・ライトアンプ部基板との間を従
来のようにワイヤ−で接続するような不都合が解消され
て組立工程の自動化が可能となり、従って安価な磁気記
録装置を安定的に提供できる。
配線一体型サスペンションを用いた磁気記録装置に於い
て、回路配線とリ−ド・ライトアンプ部基板との間を従
来のようにワイヤ−で接続するような不都合が解消され
て組立工程の自動化が可能となり、従って安価な磁気記
録装置を安定的に提供できる。
【図１】 本発明の一実施例による磁気ヘッド用揺動支
持ア−ムの概念的な斜視図。
持ア−ムの概念的な斜視図。
【図２】 本発明の磁気ヘッド用揺動支持ア−ムに装着
される回路配線一体型サスペンションの概念的な斜視
図。
される回路配線一体型サスペンションの概念的な斜視
図。
【図３】 本発明の磁気ヘッド用揺動支持ア−ムに回路
配線一体型サスペンションを取付けた状態の概念的な斜
視図。そして、
配線一体型サスペンションを取付けた状態の概念的な斜
視図。そして、
【図４】 （１）〜（４）は本発明の磁気ヘッド用揺動
支持ア−ムを製作する為の一実施例による製造工程図。
支持ア−ムを製作する為の一実施例による製造工程図。
１ 絶縁層 １０ サスペン
ションバネ ２ 配線パタ−ン １１ 配線パタ
−ン ２Ａ 接続端子部 １２ 表面保
護層 ２Ｂ 接続端子部 １３ 端子部 ３ 表面保護層 １４ 端子部 ４ 支持ア−ム １５ 取付け穴 ５ 空隙 １６ 磁気ヘッ
ドスライダ− ６ 支持部 １７ 可撓性回
路基板 ７ 貫通孔 １８ 端子部 ８ 揺動支持ア−ム １９ ポッティ
ング ９ 回路配線一体型サスペンション
ションバネ ２ 配線パタ−ン １１ 配線パタ
−ン ２Ａ 接続端子部 １２ 表面保
護層 ２Ｂ 接続端子部 １３ 端子部 ３ 表面保護層 １４ 端子部 ４ 支持ア−ム １５ 取付け穴 ５ 空隙 １６ 磁気ヘッ
ドスライダ− ６ 支持部 １７ 可撓性回
路基板 ７ 貫通孔 １８ 端子部 ８ 揺動支持ア−ム １９ ポッティ
ング ９ 回路配線一体型サスペンション
Claims (8)
- 【請求項１】支持部上部及び下部の各側面から一体的に
外方に伸長形成した二個の支持アームを備え、この両支
持アームの間には磁気記録媒体が回転移動する為に必要
な空隙を設け、これら両支持アーム及びその基部が形成
する側端面領域に絶縁層を設け、該絶縁層の表面に形成
した所要の配線パターンを備え、前記両支持アームの各
端部に於いて回路配線一体型磁気ヘッド用サスペンショ
ンの端部を機械的に支持し且つ電気的に接続するように
構成したことを特徴とする磁気ヘッド用揺動支持アー
ム。 - 【請求項２】 前記配線パタ−ンは前記各支持ア−ムの
端部近傍に回路配線一体型サスペンションの端子部と接
続する為の接続端子部を備え、また、それら配線パタ−
ンの他の端部にはリ−ド・ライトアンプ部基板側に接続
する為の接続端子部を備える請求項１の磁気ヘッド用揺
動支持ア−ム。 - 【請求項３】 支持ア−ムを形成する為の構造体の一側
面部に所要の形状に絶縁層を形成し、この絶縁層の表面
の所定位置に所要の接続端子部と共に所要の配線パタ−
ンを形成した後、磁気記録媒体が回転移動する為に必要
な空隙をこの構造体の外側面から内部方向に形成する各
工程を含む磁気ヘッド用揺動支持ア−ムの製造法。 - 【請求項４】 前記配線パタ−ンの形成工程後に前記接
続端子部を除くその配線パタ−ンの表面に表面保護層を
形成する工程を含む請求項３の磁気ヘッド用揺動支持ア
−ムの製造法。 - 【請求項５】 前記空隙の形成工程が前記絶縁層の形成
工程の前に行われる請求項３又は４の磁気ヘッド用揺動
支持ア−ムの製造法。 - 【請求項６】 前記配線パタ−ンの形成工程がセミアデ
ィティブ法又はアディティブ法により行われる請求項３
の磁気ヘッド用揺動支持ア−ムの製造法。 - 【請求項７】 前記絶縁層は、感光性樹脂の塗布工程、
乾燥工程、露光工程と現像工程及びキュア工程を順次施
して形成される請求項３の磁気ヘッド用揺動支持ア−ム
の製造法。 - 【請求項８】 前記感光性樹脂は、感光性ポリイミド樹
脂、感光性エポキシ樹脂又は感光性アクリル樹脂である
請求項７の磁気ヘッド用揺動支持ア−ムの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11248395A JP2914886B2 (ja) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | 磁気ヘッド用揺動支持ア−ム及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11248395A JP2914886B2 (ja) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | 磁気ヘッド用揺動支持ア−ム及びその製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08287629A JPH08287629A (ja) | 1996-11-01 |
| JP2914886B2 true JP2914886B2 (ja) | 1999-07-05 |
Family
ID=14587779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11248395A Expired - Lifetime JP2914886B2 (ja) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | 磁気ヘッド用揺動支持ア−ム及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2914886B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100501693B1 (ko) * | 1998-02-18 | 2005-09-30 | 삼성전자주식회사 | 하드디스크 드라이브의 액츄에이터 |
-
1995
- 1995-04-13 JP JP11248395A patent/JP2914886B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08287629A (ja) | 1996-11-01 |
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