JP2899116B2 - Z-axis origin search device for in-circuit tester - Google Patents

Z-axis origin search device for in-circuit tester

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JP2899116B2
JP2899116B2 JP2416500A JP41650090A JP2899116B2 JP 2899116 B2 JP2899116 B2 JP 2899116B2 JP 2416500 A JP2416500 A JP 2416500A JP 41650090 A JP41650090 A JP 41650090A JP 2899116 B2 JP2899116 B2 JP 2899116B2
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slit
stepping motor
probe pin
substrate
inspected
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隆夫 宮坂
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Hioki Denki KK
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は実装基板の良否の判定に
使用するインサーキットテスタのZ軸原点出し装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a Z-axis origin finding device for an in-circuit tester used for judging the quality of a mounting board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電気部品を半
田付けしたプリント基板はインサーキットテスタを用い
て、その基板の必要な検査ポイントに適宜プローブピン
を接触させ、それらの各部品の電気的測定によって基板
の良否の判定を行っている。特に、被検査基板を載せる
測定台上にX−Yユニットを設置したものは、そのX軸
方向に可動するアームの上に、Y軸方向に可動するZ軸
ユニットを備え、そのZ軸ユニットでプローブピンをZ
軸方向に可動可能に支持しているので、そのX−Yユニ
ットを制御すると、プローブピンを基板の上方からX
軸、Y軸、Z軸方向にそれぞれ適宜移動して、予め設定
された各検査ポイントに順次接触できる。その際、アー
ムのX軸方向への往復動とZ軸ユニットのY軸方向への
往復動にはそれぞれサーボモータを用い、Z軸ユニット
におけるプローブピンのZ軸方向への往復動にはエアシ
リンダやソレノイドを採用している。
2. Description of the Related Art Conventionally, a mounting board, that is, a printed board on which a large number of electrical components are soldered, uses an in-circuit tester to appropriately contact probe pins to required inspection points on the board, and to electrically connect each of those components. The quality of the substrate is determined by the measurement. In particular, the one in which the XY unit is installed on the measuring table on which the substrate to be inspected is mounted is provided with a Z-axis unit movable in the Y-axis direction on the arm movable in the X-axis direction, and the Z-axis unit is Probe pin to Z
Since the XY unit is supported movably in the axial direction, when the XY unit is controlled, the probe pins are moved from above the substrate to X
By appropriately moving in the directions of the axis, the Y axis, and the Z axis, it is possible to sequentially contact the inspection points set in advance. At this time, a servomotor is used for the reciprocating motion of the arm in the X-axis direction and the reciprocating motion of the Z-axis unit in the Y-axis direction, and an air cylinder is used for the reciprocating motion of the probe pin in the Z-axis unit in the Z-axis direction. And solenoids.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにプローブピンをZ軸方向へ往復動させる駆動源とし
てエアシリンダ等を採用すると、プローブピンは単に所
定距離を往復動できるだけであり、被検査基板に実装し
た各部品の突出状態等に対応した適切な距離の往復動を
行わせることができない。従って、無駄な動きが多くな
り、プローブピンの移動距離が長く、移動時間も多くな
って、検査をスピード化できなくなる。
However, if an air cylinder or the like is used as a drive source for reciprocating the probe pins in the Z-axis direction, the probe pins can only reciprocate a predetermined distance, and the substrate to be inspected can be moved. Cannot reciprocate an appropriate distance in accordance with the protruding state of each component mounted on the device. Therefore, useless movement increases, the moving distance of the probe pin increases, and the moving time increases, so that the inspection cannot be speeded up.

【0004】そこで、本出願人は先にインサーキットテ
スタ用X−Yユニットのプローブピン支持機構(特願平
2−186925号)として、Z軸ユニットにステッピ
ングモータを備え、そのモータ取付部材にスライドユニ
ットの案内レールを固定し、その案内レールに沿って往
復動するスライダーでプローブピンを保持し、そのスラ
イダーとステッピングモータの回動軸とをクランクで連
結し、そのスライダーに案内レールの長手方向に沿って
第1、第2スリットを間隔を置いて順次配設した部材を
固定し、そのスリット部材の移動領域近傍にスリットを
検出するフォトインタラプタを設置することを提示し
た。
Accordingly, the present applicant has previously provided a stepping motor in a Z-axis unit as a probe pin support mechanism of an XY unit for an in-circuit tester (Japanese Patent Application No. 2-186925), and a slide member mounted on the motor mounting member. The guide rail of the unit is fixed, the probe pin is held by a slider that reciprocates along the guide rail, the slider is connected to the rotating shaft of the stepping motor by a crank, and the slider is connected to the slider in the longitudinal direction of the guide rail. It has been proposed to fix a member in which first and second slits are sequentially arranged at intervals along the length, and to install a photo interrupter for detecting the slit near the moving region of the slit member.

【0005】そして、検査時には被検査基板に実装した
各部品の突出の程度等に応じ、プローブピンのZ軸方向
への移動原点となる上死点を第1、第2スリットを検出
することにより選んだ上、ステッピングモータに加える
制御信号のパルス数を選択してプローブピンの先端を下
方に速やかに移動させ、予め設定した基板面の検査ポイ
ントに順次接触させるようにした。この結果、プローブ
ピンが無駄な動きをしなくなった。
At the time of inspection, the first and second slits are used to detect the top dead center, which is the origin of movement of the probe pin in the Z-axis direction, according to the degree of protrusion of each component mounted on the board to be inspected. After the selection, the number of pulses of the control signal to be applied to the stepping motor was selected, the tip of the probe pin was quickly moved downward, and was sequentially brought into contact with a preset inspection point on the substrate surface. As a result, the probe pin does not move unnecessarily.

【0006】しかし、そのZ軸原点出し装置はステッピ
ングモータにXパルスを加えて、プローブピンを被検査
基板に近付けるように大きく移動する構成になっている
ため問題がある。因みに、Xパルス分でプローブピンの
先端が被検査基板に向かって第1、第2スリット間の距
離例えば15mm近づくように移動する。それ故、背の
高い部品等が誤実装されていると、その部品にピン先が
当り、被検査基板に向かってXパルス分移動できなくな
ってZ軸原点出し装置が脱調し、プローブピンのZ軸方
向への移動原点を決定できなくなる。
However, the Z-axis origin finding apparatus has a problem because it has a configuration in which an X pulse is applied to a stepping motor and a probe pin is largely moved so as to approach a substrate to be inspected. Incidentally, the tip of the probe pin moves toward the substrate to be inspected by X pulses so as to approach the distance between the first and second slits, for example, 15 mm. Therefore, if a tall component or the like is erroneously mounted, the pin tip hits the component and cannot move by X pulses toward the substrate to be inspected, and the Z-axis origin search device loses synchronism, and the probe pin The movement origin in the Z-axis direction cannot be determined.

【0007】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、被検査基板に実装した各部品の
突出の程度等に応じ、装置が脱調せずに、常にプローブ
ピンのZ軸方向への移動原点出しの行えるインサーキッ
トテスタのZ軸原点出し装置を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of such a conventional problem, and the probe pins are not always out of step according to the degree of protrusion of each component mounted on the substrate to be inspected, and the probe pins are not lost. It is an object of the present invention to provide a Z-axis origin finding device for an in-circuit tester capable of finding a moving origin in the Z-axis direction.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の手段を、以下本発明を明示する図1を用いて説明す
る。このインサーキットテスタのZ軸原点出し装置はス
テッピングモータ28を備え、そのモータ取付部材32
にスライドユニット36の案内レール38を固定し、そ
の案内レール38に沿って往復動するスライダー40で
プローブピン30を保持し、そのスライダー40とステ
ッピングモータ28の回動軸34とをクランク44で連
結し、そのスライダー40に案内レール38の長手方向
に沿って第1、第2スリット46、48を間隔を置いて
順次配設した部材50を固定し、そのスリット部材50
の移動領域近傍にスリット46、48を検出するフォト
インタラプタ52を設置したZ軸ユニット26付きのX
−Yユニットを備えるものに係る。
Means for achieving the above object will be described below with reference to FIG. 1 which clarifies the present invention. The Z-axis origin search device of this in-circuit tester includes a stepping motor 28, and a motor mounting member 32 thereof.
A guide rail 38 of a slide unit 36 is fixed to the probe unit 30, a probe pin 30 is held by a slider 40 that reciprocates along the guide rail 38, and the slider 40 and a rotating shaft 34 of the stepping motor 28 are connected by a crank 44. Then, a member 50 in which first and second slits 46 and 48 are sequentially arranged at intervals along the longitudinal direction of the guide rail 38 is fixed to the slider 40, and the slit member 50 is provided.
X with a Z-axis unit 26 provided with a photo interrupter 52 for detecting slits 46 and 48 near the movement area of
-Pertaining to a device having a Y unit.

【0009】そして、上記スリット部材50に設ける第
1スリット46はその幅をフォトインタラプタ52が検
出可能なステッピングモータ28に入る1パルス分のス
リット部材50の移動幅に等しくし、又第2スリット4
8はその幅をステッピングモータ28に入る2パルス以
上のパルス数のスリット部材50の移動幅に等しくした
上で、クランク44がストッパ54に当った時にフォト
インタラプタ52にて検出できる位置に設ける。
The width of the first slit 46 provided in the slit member 50 is made equal to the movement width of the slit member 50 for one pulse entering the stepping motor 28 which can be detected by the photo interrupter 52.
Reference numeral 8 denotes a position where the width of the slit member 50 is equal to the movement width of the slit member 50 having two or more pulses entering the stepping motor 28 and is detected by the photo interrupter 52 when the crank 44 hits the stopper 54.

【0010】更に、フォトインタラプタ52が第1、第
2スリット46、48の一方のスリットを検出するまで
プローブピン30の先端が被検査基板から離れる方向
に、ステッピングモータ28に1パルスずつパルス信号
を与えるスリット検出手段62と、フォトインタラプタ
52がそのスリットを検出しなくなるまでプローブピン
30の先端が被検査基板に近付く方向に、ステッピング
モータ28に1パルスずつパルス信号を与え、スリット
を検出しなくなったらプローブピン30の先端が被検査
基板から離れる方向に1パルス信号を与え、そのスリッ
トを移動原点に合わせる検出スリット原点合わせ手段6
4と、プローブピン30の先端が被検査基板から離れる
方向に、ステッピングモータ28に1パルス信号を与
え、フォトインタラプタ52がそのスリットを検出した
か判定し、検出する場合にはそのスリットを第2スリッ
ト48と決定し、検出しない場合にはそのスリットを第
1スリット46と決定する検出スリット判別手段66と
を備える。
Further, until the photo interrupter 52 detects one of the first and second slits 46 and 48, a pulse signal is sent to the stepping motor 28 one pulse at a time in a direction in which the tip of the probe pin 30 moves away from the substrate to be inspected. When a pulse signal is given to the stepping motor 28 one pulse at a time in a direction in which the tip of the probe pin 30 approaches the substrate to be inspected until the slit detecting means 62 and the photo interrupter 52 no longer detect the slit, and the slit is not detected. A detection slit origin aligning means 6 for giving one pulse signal in the direction in which the tip of the probe pin 30 moves away from the substrate to be inspected and aligning the slit with the moving origin.
4 and one pulse signal to the stepping motor 28 in the direction in which the tip of the probe pin 30 moves away from the substrate to be inspected, it is determined whether or not the photo interrupter 52 has detected the slit. There is provided a detection slit discriminating means 66 for determining the slit 48 and determining the slit as the first slit 46 when the slit is not detected.

【0011】[0011]

【作用】上記のように構成し、スリット検出手段62で
フォトインタラプタ52が第1、第2スリット46、4
8の一方のスリットを検出するまで、ステッピングモー
タ28に1パルスずつパルス信号を与えて、プローブピ
ン30を移動する。その際、例え背の高い部品等が誤実
装されていても、プローブピン30は被検査基板から離
れる方向に移動するので、その部品等にピン先が当るよ
うなことはない。
With the construction described above, the photo-interrupter 52 is switched by the slit detecting means 62 to the first and second slits 46, 4 and 4.
Until one slit 8 is detected, a pulse signal is given to the stepping motor 28 one pulse at a time, and the probe pin 30 is moved. At this time, even if a tall component or the like is erroneously mounted, the probe pin 30 moves in a direction away from the substrate to be inspected, so that the pin tip does not hit the component or the like.

【0012】しかし、検出スリット原点合わせ手段64
ではフォトインタラプタ52がそのスリットを検出しな
くなるまで、ステッピングモータ28に1パルスずつパ
ルス信号を与えて、プローブピン30の先端を被検査基
板に近付けるように移動する。このため、検出したスリ
ットが第2スリット48の場合、最長時にはそのスリッ
ト幅だけ移動しなければならないが、第1スリット46
の幅は1パルス分に対応する長さとなっているので、第
2スリット48の幅は第1スリット46と区別するため
に、最小限が2パルス分に対応する長さである。それ
故、第2スリット48の幅を例え2パルス以上にして
も、そのパルス数は少なくてよく、プローブピン30の
移動距離は短いので、そのピン先は実装部品に当らな
い。そこでスリットを検出しなくなったらステッピング
モータ28に1パルス信号を与え、プローブピン30の
先端を被検査基板から離れる方向に移動し、そのスリッ
トを移動原点に合わせる。
However, the detection slit origin aligning means 64
Until the photo interrupter 52 detects the slit, the pulse signal is applied to the stepping motor 28 one pulse at a time, and the tip of the probe pin 30 moves so as to approach the substrate to be inspected. For this reason, if the detected slit is the second slit 48, it must move by the slit width at the longest, but the first slit 46
Is a length corresponding to one pulse, so that the width of the second slit 48 is at least a length corresponding to two pulses in order to distinguish it from the first slit 46. Therefore, even if the width of the second slit 48 is set to two or more pulses, the number of pulses may be small, and the moving distance of the probe pin 30 is short, so that the pin tip does not hit a mounted component. Then, when the slit is no longer detected, a one-pulse signal is given to the stepping motor 28, the tip of the probe pin 30 is moved away from the substrate to be inspected, and the slit is adjusted to the origin of movement.

【0013】検出スリット判別手段64ではステッピン
グモータ28に1パルス信号を与え、プローブピン30
の先端を被検査基板から離れる方向に移動し、そのスリ
ットを検出したか判定する。そして、検出する場合には
そのスリットを第2スリット48と決定し、検出しない
場合にはそのスリットを第1スリット46と決定する。
この結果、検出スリットが判別でき、その現在位置が明
らかになる。
The detecting slit discriminating means 64 gives one pulse signal to the stepping motor 28 and
Is moved away from the substrate to be inspected, and it is determined whether the slit is detected. Then, when detecting, the slit is determined as the second slit 48, and when not detecting, the slit is determined as the first slit 46.
As a result, the detection slit can be determined, and its current position becomes clear.

【0014】[0014]

【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
を説明する。図2は本発明を適用したインサーキットテ
スタの被検査基板を設置する測定台上の配置関係を示す
平面図、図3は同インサーキットテスタ用X−Yユニッ
トのZ軸ユニットを詳細に示す正面図である。図2中、
10はインサーキットテスタの測定台、12はその中央
に設置した被検査基板、14(14a,14b)はその
周辺部の対称位置に設置した2組のX−Yユニットであ
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 2 is a plan view showing an arrangement relationship of the in-circuit tester to which the present invention is applied on a measuring table on which a substrate to be inspected is installed. FIG. 3 is a front view showing a Z-axis unit of the XY unit for the in-circuit tester in detail. FIG. In FIG.
Reference numeral 10 denotes a measuring table of the in-circuit tester, 12 denotes a substrate to be inspected installed at the center thereof, and 14 (14a, 14b) denote two sets of XY units installed at symmetrical positions around the periphery.

【0015】このX−Yユニット14aは測定台10に
据え付けたX軸駆動用サーボモータ16、そのモータ1
6により回動するボールねじ18、そのボールねじ18
の回動によりX軸方向に動くアーム20、そのアーム2
0に据え付けたY軸駆動用サーボモータ22、そのモー
タ22により回動するボールねじ24、そのボールねじ
24の回動によりY軸方向に動くZ軸ユニット等から成
り、そのZ軸ユニット26にはステッピングモータ28
によってZ軸方向に動くプローブピン30を備える。な
お、電源投入時等におけるアーム20やZ軸ユニット2
6の位置を知るため、フォトスイッチや近接スイッチ等
の位置検出スイッチ31(31a,31b)も備えてい
る。
The XY unit 14a includes an X-axis driving servomotor 16 mounted on the measuring table 10,
6, the ball screw 18 which is rotated by the ball screw 18
20 that moves in the X-axis direction by the rotation of
The servo motor 22 for driving the Y-axis installed at 0, a ball screw 24 rotated by the motor 22, a Z-axis unit that moves in the Y-axis direction by the rotation of the ball screw 24, and the like. Stepping motor 28
A probe pin 30 that moves in the Z-axis direction. Note that the arm 20 or the Z-axis unit 2
In order to know the position of 6, a position detection switch 31 (31a, 31b) such as a photo switch or a proximity switch is also provided.

【0016】このZ軸ユニット26に、図3に示すよう
なプローブピン支持機構を備えると、ステッピングモー
タ28の矢印で示したA(逆)方向又はB(正)方向へ
の回転運動がプローブピン30の矢印で示したZ軸方向
への直線運動に変換できる。このため、プローブピン支
持機構の支えとして強固な方形板32を垂直に立てて用
い、その一面側の中央部にステッピングモータ28の本
体を取り付け、他面側にはモータ28の回動軸34を突
出し、プローブピン30を備えたスライドユニット36
等を下側の左隅部付近に取り付ける。
If the Z-axis unit 26 is provided with a probe pin support mechanism as shown in FIG. 3, the rotation of the stepping motor 28 in the A (reverse) direction or the B (forward) direction indicated by the arrow will cause the probe pin to rotate. It can be converted into a linear motion in the Z-axis direction indicated by the arrow 30. For this reason, a strong square plate 32 is used as a vertical support for supporting the probe pin support mechanism, and the main body of the stepping motor 28 is attached to the central part on one side, and the rotating shaft 34 of the motor 28 is mounted on the other side. Slide unit 36 with protrusion and probe pin 30
And so on near the lower left corner.

【0017】このスライドユニット36は案内レール3
8とスライダー40から構成し、そのスライダー40の
正面右側部分にプローブピン30を装着する保持具42
を固定して用いる。取り付けの際、支持版32の左隅部
寄りに案内レール38の上端部を固定してZ軸方向に配
置し、スライダー40等を釣り下げる。そして、スライ
ダー40の先端より案内レール38の長手方向に沿って
平行に配置したプローブピン30の先端を下方に突出さ
せる。又、スライダー40のプローブピン保持具42と
ステッピングモータ28の回動軸34とをクランク44
で連結し、そのスライダー40の正面左側部分に案内レ
ール38の長手方向に沿って第1、第2スリット46、
48を所要の間隔を置いて配設した細長い板50を固定
する。なお、クランク44のリンク51の中央部に設け
た穴は重量軽減用である。
The slide unit 36 is a guide rail 3
8 and a slider 40, and a holder 42 for attaching the probe pin 30 to the right front portion of the slider 40.
Is fixed and used. At the time of attachment, the upper end of the guide rail 38 is fixed near the left corner of the support plate 32 and arranged in the Z-axis direction, and the slider 40 and the like are hung. Then, the tip of the probe pin 30 arranged in parallel along the longitudinal direction of the guide rail 38 from the tip of the slider 40 is projected downward. Further, the probe pin holder 42 of the slider 40 and the rotating shaft 34 of the stepping motor 28 are
The first and second slits 46 are formed on the front left side of the slider 40 along the longitudinal direction of the guide rail 38.
48, an elongated plate 50 arranged at a required interval is fixed. The hole provided in the center of the link 51 of the crank 44 is for reducing the weight.

【0018】このスリット板50の移動領域中央の近傍
にある支持板32の一部に、第1、第2スリット46、
48を検出する発光器と受光器を備えたフォトインタラ
プタ52を設置する。そして、第1スリット46の幅は
フォトインタラプタ52が検出可能なステッピングモー
タ28に入る1パルス分のスリット板50の移動幅に等
しくし、第2スリット48の幅はステッピングモータに
入る2パルス以上のパルス数例えば3パルス分のスリッ
ト板50の移動幅に等しくする。更に、支持板32には
スリット46、48の誤検出を防止するため、ステッピ
ングモータ28のA方向への一定以上用の回転を防止す
るストッパ54を固着し、回動軸34にはクランク44
と一体となった対応する突出片56を設ける。しかも、
突出片56がA方向に移動してストッパ54に当る時に
フォトインタラプタ52が第2スリット48を検出でき
るようにする。
The first and second slits 46 are provided on a part of the support plate 32 near the center of the movement area of the slit plate 50.
A photo-interrupter 52 having a light-emitting device and a light-receiving device for detecting 48 is installed. The width of the first slit 46 is made equal to the movement width of the slit plate 50 for one pulse entering the stepping motor 28 which can be detected by the photo interrupter 52, and the width of the second slit 48 is set to two or more pulses entering the stepping motor. The number of pulses is made equal to the movement width of the slit plate 50 for three pulses, for example. Further, in order to prevent erroneous detection of the slits 46 and 48, a stopper 54 for preventing the stepping motor 28 from rotating more than a predetermined amount in the direction A is fixed to the support plate 32.
And a corresponding protruding piece 56 integrated therewith. Moreover,
When the projecting piece 56 moves in the direction A and hits the stopper 54, the photo interrupter 52 can detect the second slit 48.

【0019】図4はZ軸ユニットに関する信号回路を示
すブロック図である。この図のようにコントローラ58
からステッピングモータ28に制御信号を与え、ドライ
バ60からパルスを発生させると、そのパルス数に応じ
てモータ28は正又は逆方向に回転する。この回転運動
はモータ28の回動軸34に結合したクランク44を介
し、スライダー40に伝えられ、Z軸方向に配設した案
内レール38に沿って往復の直線運動となる。すると、
スライダー40と共に、そこに保持されたプローブピン
30とスリット板50も同様にZ軸方向の直線運動をす
る。それ故、スリット板50の移動領域近傍にフォトイ
ンタラプタ52を設置しておくと、第1、第2スリット
46、48を検出でき、その信号をコントローラ58に
送れる。
FIG. 4 is a block diagram showing a signal circuit relating to the Z-axis unit. As shown in FIG.
When a control signal is supplied to the stepping motor 28 from the driver 60 and a pulse is generated from the driver 60, the motor 28 rotates in the forward or reverse direction according to the number of pulses. This rotational movement is transmitted to a slider 40 via a crank 44 connected to a rotating shaft 34 of the motor 28, and reciprocates linearly along a guide rail 38 disposed in the Z-axis direction. Then
Along with the slider 40, the probe pin 30 and the slit plate 50 held thereon also make a linear motion in the Z-axis direction. Therefore, if the photo interrupter 52 is installed near the moving area of the slit plate 50, the first and second slits 46 and 48 can be detected, and the signal can be sent to the controller 58.

【0020】このコントローラ58は例えばマイクロコ
ンピュータであり、CPU(中央処理装置)、ROM
(読み出し専用メモリ)、RAM(読み出し書き込み可
能メモリ)、入力ポート、出力ポート、バスライン等か
ら構成されている。CPUはマイクロコンピュータの中
心となる頭脳部に相当し、プログラムの命令に従って、
インサーキットテスタ全体に対する制御を実行すると共
に、算術、論理演算を行い、その結果も一時的に記憶す
る。又、周辺装置に対しても制御を行っている。ROM
にはインサーキットテスタ全体を制御するための制御プ
ログラム、プローブピン移動原点検出処理プログラム等
が格納されている。又、RAMは入力データ、演算デー
タ、測定データ等の各種のデータを記憶する。
The controller 58 is, for example, a microcomputer, a CPU (central processing unit), a ROM
(Read only memory), RAM (read / write memory), input port, output port, bus line and the like. The CPU corresponds to the brain which is the center of the microcomputer, and according to the instructions of the program,
It controls the entire in-circuit tester, performs arithmetic and logical operations, and temporarily stores the results. It also controls peripheral devices. ROM
Stores a control program for controlling the entire in-circuit tester, a probe pin movement origin detection processing program, and the like. The RAM stores various data such as input data, calculation data, and measurement data.

【0021】そして、入力ポートにはデータ入力用キー
等を備える入力部が接続され、フォトインタラプタ52
から信号ラインが入るばかりでなく、各X軸、Y軸駆動
用サーボモータ16、22、アームの位置検出スイッチ
31等の信号ラインも入る。又、出力ポートには各種の
データや実装基板の良否に関する判定結果を示すディス
プレイが接続され、ステッピングモータ駆動用ドライバ
60へ信号ラインがでるばかりでなく、各サーボモータ
駆動用ドライバ等へも信号ラインが出る。バスラインは
それ等を接続するためのアドレスバスライン、データバ
スライン、制御バスライン等を含み、周辺装置とも結合
している。
The input port is connected to an input unit having a data input key and the like.
, And signal lines for the X-axis and Y-axis driving servomotors 16 and 22, the arm position detection switch 31, and the like. The output port is connected to a display for displaying various data and the result of determination on the quality of the mounting board. Not only a signal line is output to the driver 60 for driving the stepping motor, but also a signal line is output to each driver for driving the servo motor. coming out. The bus lines include an address bus line, a data bus line, a control bus line, and the like for connecting them, and are also connected to peripheral devices.

【0022】次に、プローブピン位置検出処理動作につ
いて説明する。図5はプローブピン移動原点検出処理プ
ログラムを示すフローチャートである。この処理プログ
ラムはP1〜P10のステップにより実行される。先ず
P1で、フォトインタラプタ52が第1、第2スリット
46、48の一方を検出したか判定する。NOの場合に
はP2へ行く。P2ではコントローラ58から駆動用ド
ライバ60へ制御信号を送り、ステッピングモータ28
に1パルス信号を与え、A方向に回転させる。このた
め、フォトインタラプタ52で一方のスリットが検出さ
れるまで、プローブピン30の先端は被検査基板12か
ら順次離れていく。従って、例え背の高い部品等が誤実
装されていても、ピン先がその部品等に当るようなこと
はない。YESの場合はP3へ行く。
Next, a probe pin position detecting operation will be described. FIG. 5 is a flowchart showing a probe pin moving origin detection processing program. This processing program is executed by steps P1 to P10. First, at P1, it is determined whether the photo interrupter 52 has detected one of the first and second slits 46 and 48. If NO, go to P2. At P2, a control signal is sent from the controller 58 to the driving driver 60, and the stepping motor 28
, A one-pulse signal is supplied, and it is rotated in the A direction. For this reason, until the photo interrupter 52 detects one of the slits, the tips of the probe pins 30 sequentially move away from the substrate 12 to be inspected. Therefore, even if a tall component or the like is erroneously mounted, the pin tip does not hit the component or the like. If YES, go to P3.

【0023】P3ではステッピングモータ28に1パル
ス信号を与え、B方向に回転させる。次にP4へ行く。
P4では先に検出したスリットを再度検出したか判定す
る。YESの場合にはP3へ戻る。このため、フォトイ
ンタラプタ52でスリットが検出されなくなるまで、プ
ローブピン30の先端は被検査基板12へ順次近付いて
行く。その際、検出されたスリットが第1スリット46
の場合、ピン先が1パルス分のスリット幅例えば0.5
mmだけ近付く。第2スリット48の場合、最長時には
ピン先が3パルス分のスリット幅例えば1.5mm近付
くが、プローブピン30の移動距離は第1、第2スリッ
ト46、48の距離例えば15mmと比べて非常に短
く、そのピン先が実装部品に当るようなこともない。N
Oの場合、P5へ行く。
At P3, a one-pulse signal is given to the stepping motor 28 to rotate it in the B direction. Next, go to P4.
In P4, it is determined whether the previously detected slit is detected again. In the case of YES, the process returns to P3. Therefore, the tip of the probe pin 30 sequentially approaches the substrate to be inspected 12 until the photo interrupter 52 no longer detects the slit. At this time, the detected slit is the first slit 46.
In the case of, the pin tip has a slit width of one pulse, for example, 0.5
mm. In the case of the second slit 48, at the longest point, the pin tip approaches a slit width of three pulses, for example, 1.5 mm, but the moving distance of the probe pin 30 is much smaller than the distance between the first and second slits 46, 48, for example, 15 mm. It is short and its pins do not hit the mounted components. N
In the case of O, go to P5.

【0024】P5ではステッピングモータ28に1パル
ス信号を与え、A方向に回転させる。すると、検出スリ
ットを移動原点に一致させることができる。その際、検
出されたスリットが第1スリット46の場合、フォトイ
ンタラプタ52の検出位置と第1スリット46の位置は
一致し、そこが移動原点となる。しかし、第2スリット
48の場合には、フォトインタラプタ52の検出位置は
第2スリット48の1パルス分の幅に当る上位位置に一
致し、そこが移動原点となる。次にP6へ行く。
At P5, a one-pulse signal is given to the stepping motor 28 to rotate it in the A direction. Then, the detection slit can be made to coincide with the movement origin. At this time, if the detected slit is the first slit 46, the detection position of the photo interrupter 52 and the position of the first slit 46 match, and that position becomes the movement origin. However, in the case of the second slit 48, the detection position of the photointerrupter 52 coincides with the upper position corresponding to the width of one pulse of the second slit 48, and that position becomes the movement origin. Next, go to P6.

【0025】P6ではステッピングモータ28に1パル
ス信号を与え、A方向に回転させる。次にP7へ行く。
P7では移動原点に合わせスリットを再度検出したか判
定する。NOの場合P8へ行く。P8では移動原点に合
わせたスリットが第1スリットであることがわかる。従
って、現在のプローブピン30の先端位置も明らかにな
る。YESの場合、P9へ行く。P9では移動原点に合
わせたスリットが第2スリット48であることがわか
る。従って、現在のプローブピン30の先端位置も明ら
かになる。
At P6, a one-pulse signal is given to the stepping motor 28 to rotate it in the A direction. Next, go to P7.
At P7, it is determined whether the slit is detected again according to the movement origin. If NO, go to P8. At P8, it can be seen that the slit corresponding to the movement origin is the first slit. Therefore, the current tip position of the probe pin 30 is also clarified. If YES, go to P9. At P9, it can be seen that the second slit 48 is the slit aligned with the movement origin. Therefore, the current tip position of the probe pin 30 is also clarified.

【0026】このようにスライダー40に結合したスリ
ット板50を用い、第1、第2スリット46、48とプ
ローブピン30の先端との距離をそれぞれ決定すると、
それ等の各距離を一定に保てるので、クランク44に遊
びがあってがたついても、各スリット46、48の位置
でプローブピン30の移動の原点(上死点)を2箇所正
確に設定できる。次にP10へ行く。P10ではプロー
ブピン30の移動の原点が明確になったので、次の処理
へと進む。因みに、クランク機構を図3と左右対称に配
置する場合にはフローチャートのA方向、B方向を入れ
替える。
When the distance between the first and second slits 46 and 48 and the tip of the probe pin 30 is determined using the slit plate 50 connected to the slider 40 as described above,
Since these distances can be kept constant, two origins (top dead center) of the movement of the probe pin 30 can be accurately set at the positions of the slits 46 and 48 even if there is play in the crank 44. . Next, go to P10. At P10, since the origin of the movement of the probe pin 30 has been clarified, the process proceeds to the next process. Incidentally, when the crank mechanism is arranged symmetrically with respect to FIG. 3, the directions A and B in the flowchart are exchanged.

【0027】検査時には、被検査基板12に実装した各
部品の突出の程度等に応じ、プローブピン30のZ軸方
向への移動原点となる上死点を選んだ上、ステッピング
モータ28に加える制御信号のパルス数を選択してプロ
ーブピン30の先端を下方に移動し、予め設定した基板
面の検査ポイント(測定ランド)に順次接触する。この
結果、プローブピン30の上死点は第1スリット46或
いは第2スリット48により、又下死点はパルス数によ
り任意に選択でき、プローブピン30は無駄な動きをし
なくなる。そこで、プローブピン30等を経て各部品に
それぞれ測定電流を流し、或いは測定電圧を印加して、
抵抗値、静電容量値、インダクタンス値等を測定する
と、被検査基板12の良否が判定できる。
At the time of inspection, a top dead center, which is the origin of movement of the probe pin 30 in the Z-axis direction, is selected according to the degree of protrusion of each component mounted on the substrate 12 to be inspected, and control to be applied to the stepping motor 28 The number of pulses of the signal is selected, the tip of the probe pin 30 is moved downward, and sequentially contacts a predetermined inspection point (measurement land) on the substrate surface. As a result, the top dead center of the probe pin 30 can be arbitrarily selected by the first slit 46 or the second slit 48, and the bottom dead center can be arbitrarily selected by the number of pulses, so that the probe pin 30 does not move unnecessarily. Therefore, a measurement current is applied to each component through the probe pin 30 or the like, or a measurement voltage is applied,
By measuring the resistance value, the capacitance value, the inductance value, and the like, it is possible to determine the quality of the inspection target substrate 12.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、スリット
検出時にはスリットが検出されるまでステッピングモー
タに1パルスずつパルス信号を与えて、プローブピンを
被検査基板から離す方向に移動するため、例え背の高い
部品等が誤実装されていても、当然プローブピンの先端
がその部品等に当ることはない。しかし、検出スリット
を移動原点に合わせる時にはそのスリットを検出しなく
なるまで、ステッピングモータに1パルスずつパルス信
号を与えて、プローブピンを被検査基板に近付ける方向
に移動するが、その移動距離は短く最長でもスリットの
幅だけであるため、ピン先は実装部品に当らない。従っ
て、装置が脱調することもなく、被検査基板に実装した
各部品の突出等の程度に応じ、常にプローブピンのZ軸
方向への移動原点出しを正確に行うことができる。
According to the present invention described above, when a slit is detected, a pulse signal is applied to the stepping motor one pulse at a time until the slit is detected, and the probe pin moves in a direction away from the substrate to be inspected. Even if a tall component or the like is erroneously mounted, the tip of the probe pin does not naturally hit the component or the like. However, when the detection slit is aligned with the origin of movement, a pulse signal is given to the stepping motor one pulse at a time until the slit is no longer detected, and the probe pin is moved in a direction approaching the substrate to be inspected. However, since it is only the width of the slit, the pin tip does not hit the mounted component. Therefore, the origin of the movement of the probe pin in the Z-axis direction can always be accurately determined in accordance with the degree of protrusion of each component mounted on the board to be inspected without the step-out of the apparatus.

【0029】しかも、プローブピンを各原点から移動し
て各検査ポイントに接触させる突出距離はステッピング
モータに加えるパルス数より任意に選択できる。従っ
て、プローブピンに被検査基板の実装状態に対応した適
切な距離の往復動を行わせることにより、無駄な動きを
なくし、移動距離を短く、移動時間を少なくして、検査
のスピード化を達成できる。
Further, the protruding distance for moving the probe pin from each origin and contacting each inspection point can be arbitrarily selected from the number of pulses applied to the stepping motor. Therefore, by making the probe pins reciprocate an appropriate distance corresponding to the mounting state of the board to be inspected, unnecessary movement is eliminated, the moving distance is shortened, the moving time is reduced, and the inspection speed is achieved. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるインサーキットテスタのZ軸原点
出し装置を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a Z-axis origin finding device of an in-circuit tester according to the present invention.

【図2】本発明を適用したインサーキットテスタの被検
査基板を設置する測定台上の配置関係を示す平面図であ
る。
FIG. 2 is a plan view showing an arrangement relationship on a measurement table on which a substrate to be inspected is installed in an in-circuit tester to which the present invention is applied.

【図3】同インサーキットテスタ用X−YユニットのZ
軸ユニットを詳細に示す正面図である。
FIG. 3 shows Z of the XY unit for the in-circuit tester.
It is a front view which shows a shaft unit in detail.

【図4】同インサーキットテスタ用X−YユニットのZ
軸ユニットに関する信号回路を示すブロック図である。
FIG. 4 shows the Z of the XY unit for the in-circuit tester.
It is a block diagram showing a signal circuit about a shaft unit.

【図5】同インサーキットテスタのメモリに格納するプ
ローブピン移動原点検出処理プログラムを示すフローチ
ャートである。
FIG. 5 is a flowchart showing a probe pin movement origin detection processing program stored in a memory of the in-circuit tester.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

14…X−Yユニット 28…ステッピングモータ 3
0…プローブピン 32…モータ取付部材 34…回動
軸 36…スライドユニット 38…案内レール40…
スライダー 44…クランク 46、48…第1、第2
スリット 50…スリット部材 52…フォトインタラ
プタ 54…ストッパ 56…突出片58…コントロー
ラ 60…ステッピングモータ駆動用ドライバ 62…
スリット検出手段 64…検出スリット原点合わせ手段
66…検出スリット判別手段
14 XY unit 28 Stepping motor 3
0 ... Probe pin 32 ... Motor mounting member 34 ... Rotating shaft 36 ... Slide unit 38 ... Guide rail 40 ...
Slider 44 ... Crank 46, 48 ... First and second
Slit 50 ... Slit member 52 ... Photo interrupter 54 ... Stopper 56 ... Protruding piece 58 ... Controller 60 ... Stepping motor drive driver 62 ...
Slit detecting means 64: detecting slit origin matching means 66: detecting slit discriminating means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01R 31/28 G01R 1/06 H01L 21/66 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01R 31/28 G01R 1/06 H01L 21/66

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ステッピングモータを備え、そのモータ
取付部材にスライドユニットの案内レールを固定し、そ
の案内レールに沿って往復動するスライダーでプローブ
ピンを保持し、そのスライダーとステッピングモータの
回動軸とをクランクで連結し、そのスライダーに案内レ
ールの長手方向に沿って第1、第2スリットを間隔を置
いて順次配設した部材を固定し、そのスリット部材の移
動領域近傍にスリットを検出するフォトインタラプタを
設置したZ軸ユニット付きのX−Yユニットを備えるイ
ンサーキットテスタのZ軸原点出し装置において、上記
スリット部材に設ける第1スリットはその幅をフォトイ
ンタラプタが検出可能なステッピングモータに入る1パ
ルス分のスリット部材の移動幅に等しくし、又第2スリ
ットはその幅をステッピングモータに入る2パルス以上
のパルス数のスリット部材の移動幅に等しくした上で、
クランクがストッパに当った時にフォトインタラプタに
て検出できる位置に設け、フォトインタラプタが一方の
スリットを検出するまでプローブピンの先端が被検査基
板から離れる方向に、ステッピングモータに1パルスず
つパルス信号を与えるスリット検出手段と、フォトイン
タラプタがそのスリットを検出しなくなるまでプローブ
ピンの先端が被検査基板に近付く方向に、ステッピング
モータに1パルスずつパルス信号を与え、スリットを検
出しなくなったらプローブピンの先端が被検査基板から
離れる方向に1パルス信号を与え、そのスリットを移動
原点に合わせる検出スリット原点合わせ手段と、プロー
ブピンの先端が被検査基板から離れる方向に、ステッピ
ングモータに1パルス信号を与え、フォトインタラプタ
がそのスリットを検出したか判定し、検出する場合には
そのスリットを第2スリットと決定し、検出しない場合
にはそのスリットを第1スリットと決定する検出スリッ
ト判別手段とを備えることを特徴とするインサーキット
テスタのZ軸原点出し装置。
A stepping motor is provided, a guide rail of a slide unit is fixed to a motor mounting member, a probe pin is held by a slider reciprocating along the guide rail, and a rotating shaft of the slider and the stepping motor is provided. Are connected to each other by a crank, and a member in which first and second slits are sequentially arranged at intervals along the longitudinal direction of the guide rail is fixed to the slider, and the slit is detected in the vicinity of the moving region of the slit member. In a Z-axis origin finding device for an in-circuit tester having an XY unit with a Z-axis unit provided with a photo interrupter, the first slit provided in the slit member enters a stepping motor whose width can be detected by the photo interrupter. The width of the slit member must be equal to the pulse width, and the width of the second slit must be After making it equal to the movement width of the slit member with the number of pulses of 2 or more pulses entering the ping motor,
Provided at a position where the photo interrupter can detect when the crank hits the stopper, and applies a pulse signal to the stepping motor one pulse at a time in the direction in which the tip of the probe pin moves away from the substrate to be inspected until the photo interrupter detects one slit. A pulse signal is supplied to the stepping motor in a direction in which the tip of the probe pin approaches the substrate to be inspected until the slit detecting means and the photo interrupter no longer detect the slit. A one-pulse signal is given in a direction away from the substrate to be inspected, a detection slit origin aligning means for aligning the slit with the movement origin, and a one-pulse signal is given to the stepping motor in a direction in which the tip of the probe pin is away from the substrate to be inspected, The interrupter cuts the slit The in-circuit tester is characterized by comprising: a detection slit discriminating means for judging whether or not the slit has been ejected, determining the slit as the second slit when detecting, and determining the slit as the first slit when not detecting. Z-axis origin search device.
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