JP2892229B2 - Molded body for thermal history detection - Google Patents

Molded body for thermal history detection

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JP2892229B2 JP4230352A JP23035292A JP2892229B2 JP 2892229 B2 JP2892229 B2 JP 2892229B2 JP 4230352 A JP4230352 A JP 4230352A JP 23035292 A JP23035292 A JP 23035292A JP 2892229 B2 JP2892229 B2 JP 2892229B2
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  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスの焼成工
程などにおける熱履歴を検知するためのものであり、特
に低温焼成セラミックス、電子材料セラミックスなどの
焼成工程、および釉薬焼付け工程、厚膜メタライズ工
程、金属材の熱処理工程などにおいて、酸化雰囲気での
550〜1200℃の低温温度域の焼成あるいは熱処理
における熱履歴検知用成形体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is for detecting a thermal history in a ceramic firing step and the like, and in particular, a firing step for low-temperature fired ceramics and electronic material ceramics, a glaze baking step, and a thick film metallizing step. The present invention also relates to a heat history detecting molded body in firing or heat treatment in a low temperature range of 550 to 1200 ° C. in an oxidizing atmosphere in a heat treatment step of a metal material or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】セラミックスなどの焼成工程において、
温度プロファイル、焼成炉の種類、炉内のセッティング
などによって被焼成体の受ける熱履歴は変化する。即
ち、焼成温度が同じでも他の条件が異なれば熱履歴は異
なることとなり、この熱履歴を正しく検知する必要があ
った。例えば、実開昭56−29441号公報などに示
されているゼーゲルコーンを用いて被焼成体の熱履歴を
検知することが行なわれていた。ゼーゲルコーンとは、
溶倒温度の異なる複数の三角錐状体を支持台上に備えた
ものであり、このゼーゲルコーンを被焼成体と共に焼成
した後、各三角錐状体の倒れ方によって、熱履歴を検知
するようになっていた。しかし、これでは正確な検知が
できないことから、現在では使用されることが少なくな
っている。
2. Description of the Related Art In a firing process for ceramics and the like,
The heat history received by the object to be fired changes depending on the temperature profile, the type of firing furnace, the settings in the furnace, and the like. That is, even if the firing temperature is the same, if other conditions are different, the thermal history will be different, and it is necessary to correctly detect the thermal history. For example, the thermal history of a body to be fired is detected using a Zegel cone disclosed in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 56-29441. What is Zegelcorn?
A plurality of triangular pyramids with different melting temperatures are provided on a support base, and after firing this Zegel cone together with the object to be fired, the thermal history is detected by the manner in which each triangular pyramid falls. Had become. However, since accurate detection is not possible with this, it is rarely used at present.

【0003】そこで、例えば特開平1−184388号
公報などに示されているように、セラミックスの未焼成
体を用いて、この成形体を被焼成体と共に焼成した後、
収縮による寸法変化を測定することによって、熱履歴を
検知することが行なわれていた。
Therefore, as shown in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-184388, this molded body is fired together with a fired body using an unfired ceramic body,
It has been practiced to detect a thermal history by measuring a dimensional change due to shrinkage.

【0004】例えば、図2に示すようなリング状の成形
体20、あるいは図3に示すようなシート状の成形体3
0が用いられていた。
For example, a ring-shaped molding 20 as shown in FIG. 2 or a sheet-shaped molding 3 as shown in FIG.
0 was used.

【0005】なお、このような焼成収縮による寸法変化
を測定する場合、寸法変化は便宜的に温度に変換される
が、この温度は実温を測定したものではなく、熱履歴を
示すものであって、本発明では指示温度と呼ぶこととす
る。
When such a dimensional change due to firing shrinkage is measured, the dimensional change is conveniently converted to a temperature. However, this temperature is not a measurement of the actual temperature, but a thermal history. Therefore, in the present invention, it is referred to as an indicated temperature.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の熱履
歴検知用セラミックス成形体は、Al2 3 、Si
2、MgOなどを主成分とし、多量の不純物を含む粗
製原料から成るものであったため、焼成収縮率にバラつ
きがあり、検知された指示温度の精度が悪かった。
However, the ceramic molded body for detecting thermal history described above is made of Al 2 O 3 or Si.
Since it was a crude material containing O 2 , MgO or the like as a main component and containing a large amount of impurities, the firing shrinkage ratio varied, and the accuracy of the detected indicated temperature was poor.

【0007】また、図2に示すリング状のものでは、面
積が大きいため、焼成炉内で広いスペースを必要とし、
図3に示すシート状のものでは、ソリが発生して正しく
寸法を測定できないなどの問題点があった。
Further, the ring-shaped one shown in FIG. 2 has a large area, so that a large space is required in the firing furnace.
The sheet-shaped one shown in FIG. 3 has a problem that warpage occurs and dimensions cannot be measured correctly.

【0008】さらに、リング状のものはおよそ1100
℃以上、シート状のものでおよそ1000℃以上でしか
測定できず、1000℃以下では使用できなかった。前
記ゼーゲルコーンでは1000℃以下にも使用するもの
があるが、検知精度が悪かった。即ち、従来の熱履歴検
知用成形体では、1000℃以下の熱履歴を精度よく検
知することが不可能であった。
[0008] Further, the ring-shaped thing is about 1100
It was measured only at about 1000 ° C. or higher in a sheet-like material at a temperature of 1000 ° C. or higher, and could not be used at 1000 ° C. or lower. Some of the above-mentioned Zegel cones are used even at 1000 ° C. or lower, but the detection accuracy is poor. That is, with the conventional heat history detecting molded body, it was impossible to accurately detect the heat history of 1000 ° C. or less.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、骨剤
を成すアルミナなどのセラミック粉末5〜90重量%
と、結合剤としてのガラス粉末10〜95重量%からな
る混合物の未焼成成形体を熱履歴検知用成形体としたも
のである。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention is directed to a ceramic powder of 5 to 90% by weight, such as alumina, which forms an aggregate.
And a green compact of a mixture consisting of 10 to 95% by weight of glass powder as a binder was used as a thermal history detecting compact.

【0010】このような本発明によれば、成形体の組
成、粉砕粒度、密度を管理することによって、指示温度
の精度のバラつきを±2℃とすることができた。なお、
本発明において、ガラス粉末を10〜95重量%以上と
したのは、10重量%未満では1200℃において殆ん
ど焼成収縮が生じないためであり、逆にガラス成分が9
5重量%より多いとソリや変形が生じやすくなるためで
ある。
[0010] According to the present invention, by controlling the composition, the crushed particle size, and the density of the molded body, the variation in the accuracy of the indicated temperature can be made ± 2 ° C. In addition,
In the present invention, the reason why the glass powder is set to 10 to 95% by weight or more is that if the content is less than 10% by weight, almost no firing shrinkage occurs at 1200 ° C.
If the content is more than 5% by weight, warpage or deformation is likely to occur.

【0011】また、本発明において、より低温での熱履
歴を検知するためには、セラミック粉末5〜70重量
%、ガラス粉末30〜95重量%の範囲としたものが好
ましい。
Further, in the present invention, in order to detect the thermal history at a lower temperature, it is preferable that the range is 5 to 70% by weight of the ceramic powder and 30 to 95% by weight of the glass powder.

【0012】さらに、本発明の成形体の平均粒子径は1
0μm以下、好ましくは5μm以下が良く、このような
粒子径の小さな原料粉末を用いることで、焼成収縮のバ
ラつきを少なくすることができる。
Further, the average particle size of the molded article of the present invention is 1
0 μm or less, preferably 5 μm or less is good. By using such a raw material powder having a small particle diameter, variation in firing shrinkage can be reduced.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。Embodiments of the present invention will be described below.

【0014】図1(a)(b)に示すように、本発明の
熱履歴検知用成形体10は、円板体に平行な弦部12、
12を形成したものであり、残された円弧部は優れた真
円度の測定面11、11としてある。また、表裏を区別
するための凹部13が片面に形成され、上下面の角部に
は面取り14が施されている。なお、凹部13は単なる
凹形状でもよいが、使用温度範囲を示す記号等を刻印し
てもよい。
As shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), a heat history detecting molded body 10 of the present invention has a chord portion 12 parallel to a disc body.
12 are formed, and the remaining arc portions are measurement surfaces 11 and 11 having excellent roundness. In addition, a concave portion 13 for distinguishing front and back is formed on one side, and a chamfer 14 is formed on corners of upper and lower surfaces. The concave portion 13 may have a simple concave shape, but may be engraved with a symbol or the like indicating a use temperature range.

【0015】さらに、この成形体10は、セラミック粉
末5〜90重量%と、ガラス粉末10〜95重量%の混
合物をプレス成形してなる未焼成成形体である。
The compact 10 is a green compact formed by press-forming a mixture of 5 to 90% by weight of ceramic powder and 10 to 95% by weight of glass powder.

【0016】ここで、上記セラミック粉末としては、ア
ルミナ(Al2 3 )、ジルコニア(ZrO2 )、ムラ
イト(3Al2 3 ・2SiO2 )、ステアタイト(M
gO・SiO2 )、スポジューメン、フォルステライト
(2MgO・SiO2 )などの酸化物セラミックス、あ
るいは窒化珪素(Si3 4 )、炭化珪素(SiC)、
窒化アルミニウム(AlN)などの非酸化物セラミック
スを用いれば良い。なお、上記非酸化物セラミックス自
体はガラスとの濡れ性が悪いが、その表面に酸化膜を形
成することで濡れ性を良くし、ガラスとの混合成形体を
得ることができる。
Here, as the ceramic powder, alumina (Al 2 O 3 ), zirconia (ZrO 2 ), mullite (3Al 2 O 3 .2SiO 2 ), steatite (M
gO.SiO 2 ), oxide ceramics such as spodumene, forsterite (2MgO.SiO 2 ), silicon nitride (Si 3 N 4 ), silicon carbide (SiC),
A non-oxide ceramic such as aluminum nitride (AlN) may be used. The non-oxide ceramic itself has poor wettability with glass, but by forming an oxide film on the surface thereof, the wettability can be improved and a mixed molded article with glass can be obtained.

【0017】一方、ガラス粉末の種類はどのようなもの
でも用いることができる。即ち、ガラス粉末としては、
各種のケイ酸塩ガラスをはじめとして、PbO、Ba
O、ZnO、Li2 O、Na2 O、K2 Oその他の特殊
粉末を含む特殊ガラス、結晶化ガラスを用いることがで
きる。いずれのガラス粉末を用いるかということは、酸
化物セラミック粉末と混合してなる成形体の収縮特性に
より、任意に選定される。
On the other hand, any kind of glass powder can be used. That is, as glass powder,
PbO, Ba, including various silicate glasses
Special glass or crystallized glass including O, ZnO, Li 2 O, Na 2 O, K 2 O and other special powders can be used. Which glass powder is to be used is arbitrarily selected depending on the shrinkage characteristics of the molded article mixed with the oxide ceramic powder.

【0018】例えば、本発明で使用されるガラス粉末の
一例を表1に示す。
For example, Table 1 shows an example of the glass powder used in the present invention.

【0019】[0019]

【表1】 [Table 1]

【0020】そして、後述するように、ある条件下で焼
成温度を変化させて、この成形体10の焼成後の寸法を
測定し、寸法と焼成温度の関係を換算表として用意して
おく。その後異なる条件で焼成を行なう際に、被焼成体
と共にこの成形体10を焼成し、焼成後の寸法を測定す
ることによって、上記換算表により指示温度を求めるこ
とができる。
Then, as will be described later, the firing temperature of the molded body 10 is measured by changing the firing temperature under certain conditions, and the relationship between the dimensions and the firing temperature is prepared as a conversion table. Thereafter, when firing is performed under different conditions, the molded body 10 is fired together with the object to be fired, and the dimensions after firing are measured, whereby the indicated temperature can be obtained from the above conversion table.

【0021】なお、前記したように、この指示温度と
は、実際の温度ではなく、熱履歴を便宜的に表したもの
である。即ち、本発明の熱履歴検知用成形体を用いれ
ば、焼成条件が異なる場合でも、指示温度を求めること
によって、熱履歴自体を管理することが可能となる。
As described above, the indicated temperature is not an actual temperature but a heat history for convenience. That is, by using the heat history detecting molded body of the present invention, even when firing conditions are different, it is possible to manage the heat history itself by obtaining the indicated temperature.

【0022】また、本発明の成形体10は、弦部12、
12をもっていることから、図2に示した従来例に比べ
て面積が小さく、焼成炉内で大きなスペースを必要とし
ない。なお、この弦部12、12は互に平行でなくても
よく、一ケ所のみに形成してもよい。さらに、本発明の
成形体10は、ある程度の肉厚をもったプレス成形品で
あるから、ソリなどが生じることはなく、また寸法測定
時には、図1(a)に示すように、円弧をした測定面1
1、11簡を定圧マイクロメータで測定すればよく、測
定位置がずれても、同じ直径Dを正確に測定できる。
Further, the molded body 10 of the present invention comprises a chord portion 12,
Since it has 12, the area is smaller than that of the conventional example shown in FIG. 2, and a large space is not required in the firing furnace. Note that the chords 12 and 12 need not be parallel to each other, and may be formed only at one location. Further, since the molded body 10 of the present invention is a press-molded article having a certain thickness, no warping or the like occurs, and at the time of dimension measurement, an arc is formed as shown in FIG. Measurement surface 1
Measurements 1 and 11 may be measured with a constant pressure micrometer, and the same diameter D can be accurately measured even if the measurement position is shifted.

【0023】実験例1 骨剤として精製した純度99.9%以上のアルミナ原料
からなるセラミック粉末と、結合剤として表2に示した
組成を有するガラス粉末を混合し、アルミナボールによ
り湿式粉砕し、レーザー光散乱法による粒度分析を行な
って、平均粒径2.0±0.1μmの範囲とする。この
原料粉末に8重量%のワックス系バインダを添加、混合
し、噴霧乾燥することによって、流動性の良い顆粒を得
る。この顆粒を、空調された成形室にて、図1(a)
(b)に示す形状にプレス成形するが、このとき、成形
体の生密度を1.6〜2.2±0.005g/cm3
範囲内として、本発明の熱履歴検知用成形体を得た。
EXPERIMENTAL EXAMPLE 1 A ceramic powder composed of an alumina raw material having a purity of 99.9% or more and purified as an aggregate was mixed with a glass powder having a composition shown in Table 2 as a binder, and wet-pulverized with an alumina ball. A particle size analysis is performed by a laser light scattering method to obtain an average particle size of 2.0 ± 0.1 μm. An 8% by weight wax binder is added to the raw material powder, mixed, and spray-dried to obtain granules having good fluidity. The granules are placed in an air-conditioned molding chamber as shown in FIG.
Press molding to the shape shown in (b), at this time, the green density of the molded body is set in the range of 1.6 to 2.2 ± 0.005 g / cm 3 , and the molded body for heat history detection of the present invention is formed. Obtained.

【0024】この成形体の調合組成と、収縮特性の関係
を表3に示した。この結果、アルミナとガラスA、およ
びアルミナとガラスBの組合せで、550〜1200℃
の低温温度域において熱履歴検知用成形体として利用可
能であることがわかる。なお、セラミック粉末が10%
と少ないNo.1の組成では焼成時にやや変形がみられ
たが、ガラス粉末として結晶化ガラスを使用すれば変形
を防止できる。ただし、セラミック粉末が5重量%より
も少ないとソリなどの変形が生じやすかった。一方、セ
ラミック粉末が90重量%と多いNo.10の組成では
1200℃で収縮しなかったことから、セラミック粉末
が90重量%より多いと、本発明の目的とする低温温度
域での熱履歴検知ができない。したがって、セラミック
粉末は5〜90重量%、ガラス粉末は10〜95重量%
の範囲のものが良かった。
Table 3 shows the relationship between the composition of the molded product and the shrinkage characteristics. As a result, the combination of alumina and glass A, and alumina and glass B,
It can be seen that the molded article can be used as a heat history detecting molded article in the low temperature range. In addition, ceramic powder is 10%
And a small No. Deformation was slightly observed during firing in the composition of No. 1, but deformation can be prevented by using crystallized glass as the glass powder. However, if the amount of the ceramic powder was less than 5% by weight, deformation such as warpage was likely to occur. On the other hand, the ceramic powder containing as much as 90% by weight of ceramic powder No. 1 Since the composition of No. 10 did not shrink at 1200 ° C., if the content of the ceramic powder was more than 90% by weight, the thermal history detection in the low temperature range, which is the object of the present invention, cannot be performed. Therefore, the ceramic powder is 5 to 90% by weight, and the glass powder is 10 to 95% by weight.
Those in the range were good.

【0025】[0025]

【表2】 [Table 2]

【0026】[0026]

【表3】 [Table 3]

【0027】実験例2 上記表3中のアルミナが70重量%、ガラスAが30重
量%の場合について、実施例1と全く同様にして、直径
が22.300mmの熱履歴検知用成形体10を用意し
た。この成形体10を厳密に管理校正された焼成炉を用
いて、酸化雰囲気にて、昇温速度200℃/時、最高焼
成温度で2時間保持、降温速度300℃/時として焼成
し、350℃で1時間脱脂した。焼成後の成形体10の
寸法を、20℃にて定圧マイクロメータで測定した。
EXPERIMENTAL EXAMPLE 2 In the case of 70% by weight of alumina and 30% by weight of glass A in Table 3 above, a heat history detecting molded body 10 having a diameter of 22.300 mm was produced in the same manner as in Example 1. Prepared. The molded body 10 was fired in a oxidizing atmosphere at a heating rate of 200 ° C./hour, a maximum firing temperature of 2 hours, and a cooling rate of 300 ° C./hour in a strictly controlled and calibrated firing furnace. For 1 hour. The dimensions of the molded body 10 after firing were measured at 20 ° C. with a constant pressure micrometer.

【0028】焼成温度(指示温度)を様々に変化させ
て、それぞれ20個の成形体10の焼成を3回繰返して
行なった。この結果は、表4および図4に示す通りであ
る。また、各温度における寸法のばらつき(3σ)と、
その温度での1℃当りの寸法変化量(接線の傾き)か
ら、 指示温度の検知精度=±(寸法のばらつき)/(1℃当
りの寸法変化量) により、指示温度の検知精度(3σ)を算出した。結果
は、表4に示す通り、650〜850℃の範囲内で、指
示温度の検知精度を±2℃以内とすることができた。さ
らに、表4では、指示温度50℃毎の成形体の寸法を示
しているが、もっと細かな指示温度ごとの寸法を測定し
ておくことによって、成形体の寸法と指示温度の換算表
とすることができる。
By varying the firing temperature (indicated temperature) in various ways, firing of 20 molded bodies 10 was repeated three times. The results are as shown in Table 4 and FIG. Also, the dimensional variation (3σ) at each temperature,
From the dimensional change per 1 ° C (tangent slope) at that temperature, the indicated temperature detection accuracy = ± (dimension variation) / (the dimensional change per 1 ° C), the indicated temperature detection accuracy (3σ) Was calculated. As a result, as shown in Table 4, within the range of 650 to 850 ° C., the detection accuracy of the indicated temperature could be kept within ± 2 ° C. Further, Table 4 shows the dimensions of the compact at each indicated temperature of 50 ° C. By measuring the dimensions at each indicated temperature more finely, a conversion table of the dimensions of the compact and the designated temperature is obtained. be able to.

【0029】[0029]

【表4】 [Table 4]

【0030】なお、以上の実施例ではセラミック粉末と
してアルミナを用いたもののみを示したが、この他にジ
ルコニア、ムライトなどの酸化物セラミックスや、窒化
珪素、炭化珪素などの非酸化物セラミックスを用いても
ほぼ同様の結果であった。
In the above embodiment, only the ceramic powder using alumina is shown. In addition, oxide ceramics such as zirconia and mullite and non-oxide ceramics such as silicon nitride and silicon carbide are used. The results were almost the same.

【0031】[0031]

【発明の効果】このように本発明によれば、セラミック
粉末5〜90重量%と、ガラス粉末10〜95重量%の
混合物の未焼成成形体から熱履歴検知用成形体を構成し
たことによって、550〜1200℃程度の低温におい
て、指示温度の検知精度を±2℃以下と極めて高精度に
できることから、焼成条件が変わっても焼成工程を厳密
に管理することができ、優れた焼結体を得ることが可能
となる。
As described above, according to the present invention, a green body for detecting thermal history is constituted by a green body of a mixture of 5 to 90% by weight of ceramic powder and 10 to 95% by weight of glass powder. At a low temperature of about 550 to 1200 ° C., since the detection accuracy of the indicated temperature can be extremely high as ± 2 ° C. or less, the firing process can be strictly controlled even if the firing conditions are changed, and an excellent sintered body can be obtained. It is possible to obtain.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)は本発明の熱履歴検知用成形体を示す平
面図、(b)は(a)中のX−X線断面図である。
FIG. 1A is a plan view showing a heat history detecting molded body of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line XX in FIG.

【図2】従来の熱履歴検知用成形体を示す斜視図であ
る。
FIG. 2 is a perspective view showing a conventional heat history detecting molded body.

【図3】従来の熱履歴検知用成形体を示す斜視図であ
る。
FIG. 3 is a perspective view showing a conventional heat history detecting molded body.

【図4】本発明の熱履歴検知用成形体における、指示温
度と焼成収縮率の関係を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing the relationship between the indicated temperature and the firing shrinkage in the molded article for detecting heat history of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・熱履歴検知用成形体 11・・・測定面 12・・・弦部 13・・・凹部 14・・・面取り DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Heat history detection molded body 11 ... Measurement surface 12 ... String part 13 ... Depression 14 ... Chamfer

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01K 11/06 G01K 11/00 C04B 35/63 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01K 11/06 G01K 11/00 C04B 35/63

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】アルミナ、ジルコニア、ムライト、炭化珪
素、窒化珪素などのセラミック粉末5〜90重量%と、
結合材としてのガラス粉末10〜95重量%の混合物の
未焼成成形体から成ることを特徴とする熱履歴検知用成
形体。
1. A ceramic powder, such as alumina, zirconia, mullite, silicon carbide, silicon nitride, in an amount of 5 to 90% by weight;
A molded article for thermal history detection, comprising a green compact of a mixture of 10 to 95% by weight of glass powder as a binder.
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