JP2862633B2 - レンズ格子 - Google Patents
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- G02B3/0056—Arrays characterized by the distribution or form of lenses arranged along two different directions in a plane, e.g. honeycomb arrangement of lenses
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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- Lens Barrels (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光学面に配列された複数のレンズ要素から
成り、レンズ要素を差込むための凹所を有する支持体を
備えたレンズ格子に関する。
成り、レンズ要素を差込むための凹所を有する支持体を
備えたレンズ格子に関する。
上記の種類のレンズ格子は、特に、面をできる限り均
質に照明すべきである場合に至る所で使用されている。
質に照明すべきである場合に至る所で使用されている。
米国特許第3,580,675号によつて知られているレンズ
格子の場合、レンズ要素は１列に配置されており、個々
のレンズ要素の間に間隙はない。ここでは、レンズ要素
は側方で保持されている。２つの光学的に有効な面は同
じ大きさであり、レンズ要素はどの箇所でも細くなつて
いない。レンズ要素の側方にレンズ要素を固定するため
の広い空間を設けることが不可欠であるので、この種の
固定方法では、レンズ要素を平面に配列することはでき
ない。
格子の場合、レンズ要素は１列に配置されており、個々
のレンズ要素の間に間隙はない。ここでは、レンズ要素
は側方で保持されている。２つの光学的に有効な面は同
じ大きさであり、レンズ要素はどの箇所でも細くなつて
いない。レンズ要素の側方にレンズ要素を固定するため
の広い空間を設けることが不可欠であるので、この種の
固定方法では、レンズ要素を平面に配列することはでき
ない。
ドイツ特許第2951452号には、対物レンズとして使用
されるレンズ格子が記載されている。このレンズ格子で
は、最大限２列までのレンズ要素を１つの支持体によつ
て保持することができる。支持体による機械的な支持は
行われず、個々のレンズを最大限２つの列に、相互間に
隙間をあけずに互いに当接配置できるようになつてい
る。入射エネルギーを高率で利用するときにきわめて不
安定な構成である上に、この場合も、支持体は、両側
で、利用される光学面を越えて大きく突出するので、こ
の種の保持手段はレンズ要素を平面に配列させることが
できない。
されるレンズ格子が記載されている。このレンズ格子で
は、最大限２列までのレンズ要素を１つの支持体によつ
て保持することができる。支持体による機械的な支持は
行われず、個々のレンズを最大限２つの列に、相互間に
隙間をあけずに互いに当接配置できるようになつてい
る。入射エネルギーを高率で利用するときにきわめて不
安定な構成である上に、この場合も、支持体は、両側
で、利用される光学面を越えて大きく突出するので、こ
の種の保持手段はレンズ要素を平面に配列させることが
できない。
ドイツ特許第968430号によつて知られている別のレン
ズ格子においては、レンズ要素は平坦な板に装着され
る。このようなレンズ格子は、今日では、ダイカスト又
は個々のレンズ要素の接合剤による接着によつて、平坦
なガラス板の上に製造される。従つて、このレンズ格子
では、レンズ要素を平面に配列することが可能であり、
その平面内でレンズ要素を互いにごく密接して配置する
ことができる。ダイカスト方法（レンズ材料としてプラ
スチツクは使用できるが、ガラスは使用不可能である）
で製造されたレンズ格子の場合、光学的結像が不正確に
なるということは１つの欠点であり、そのため、個々の
レンズ要素をガラス板に接合するときに、結像時の光学
的品質を低下させることがあつてはならない光学精密機
械に、そのようにして製造されたレンズ格子を使用する
ことは不可能になる。また、ガラス板で光線の吸収が起
こることと、光路内に位置している接合剤層でさらに光
学的遷移が発生することも欠点である。製造技術上の制
限があるため、多数の別個のレンズ要素を接合するとき
に法外なコストを要することは重大な問題である。透明
なガラス板にレンズ要素が接着されているレンズ格子で
も、接合剤の保持力は化学的な影響や、ある放射線領域
に対して部分的に、時間の経過につれてきわめて限定さ
れてしまうので、接合によつてもレンズ格子のあらゆる
適用領域への使用は不可能なのである。
ズ格子においては、レンズ要素は平坦な板に装着され
る。このようなレンズ格子は、今日では、ダイカスト又
は個々のレンズ要素の接合剤による接着によつて、平坦
なガラス板の上に製造される。従つて、このレンズ格子
では、レンズ要素を平面に配列することが可能であり、
その平面内でレンズ要素を互いにごく密接して配置する
ことができる。ダイカスト方法（レンズ材料としてプラ
スチツクは使用できるが、ガラスは使用不可能である）
で製造されたレンズ格子の場合、光学的結像が不正確に
なるということは１つの欠点であり、そのため、個々の
レンズ要素をガラス板に接合するときに、結像時の光学
的品質を低下させることがあつてはならない光学精密機
械に、そのようにして製造されたレンズ格子を使用する
ことは不可能になる。また、ガラス板で光線の吸収が起
こることと、光路内に位置している接合剤層でさらに光
学的遷移が発生することも欠点である。製造技術上の制
限があるため、多数の別個のレンズ要素を接合するとき
に法外なコストを要することは重大な問題である。透明
なガラス板にレンズ要素が接着されているレンズ格子で
も、接合剤の保持力は化学的な影響や、ある放射線領域
に対して部分的に、時間の経過につれてきわめて限定さ
れてしまうので、接合によつてもレンズ格子のあらゆる
適用領域への使用は不可能なのである。
ドイツ特許第3325581号からは、複数の並列する単独
レンズが金属ホルダーに保持されるような真空気密放射
線窓が知られている。真空チヤンバの壁に取付けるには
高い機械的強度が必要である。さらに、このレンズ格子
を冷却しなければならない。この場合、レンズ要素の構
成は、広い面に入射する光束を最適の状態で利用するこ
とを可能にするものではない。
レンズが金属ホルダーに保持されるような真空気密放射
線窓が知られている。真空チヤンバの壁に取付けるには
高い機械的強度が必要である。さらに、このレンズ格子
を冷却しなければならない。この場合、レンズ要素の構
成は、広い面に入射する光束を最適の状態で利用するこ
とを可能にするものではない。
本発明の目的は、支持体の保持部分がレンズ要素の利
用可能な光学入射面を縮小せず且つレンズ要素の光学面
の縁部を越えて突出する支持体の一部の形状を自由に選
択できるように、機械的に安定した支持体にある凹所に
多数のレンズ要素を配置することである。
用可能な光学入射面を縮小せず且つレンズ要素の光学面
の縁部を越えて突出する支持体の一部の形状を自由に選
択できるように、機械的に安定した支持体にある凹所に
多数のレンズ要素を配置することである。
本発明によれば、上記の目的は、特許請求の範囲第１
項の特徴部分に従つて、レンズ要素が互いに密接に当接
し且つ２つの大きさの異なる有効光学面を有し、レンズ
要素は、レンズ材料の光学的に利用されない領域で、少
なくとも２つの相対向する側面において先細りの形状を
呈し、バーが支持体の凹部を規定し且つバーはレンズ要
素の先細りの側面に当接し、バーは、先細り形状によつ
て最大限可能である２つのレンズ要素の間の空間の幅を
越えないことによつて達成される。
項の特徴部分に従つて、レンズ要素が互いに密接に当接
し且つ２つの大きさの異なる有効光学面を有し、レンズ
要素は、レンズ材料の光学的に利用されない領域で、少
なくとも２つの相対向する側面において先細りの形状を
呈し、バーが支持体の凹部を規定し且つバーはレンズ要
素の先細りの側面に当接し、バーは、先細り形状によつ
て最大限可能である２つのレンズ要素の間の空間の幅を
越えないことによつて達成される。
本発明によるレンズ格子は、個別に製造され、所定の
品質基準に従つて選別された多数の個々のレンズ要素が
直線状のレンズ格子又は平坦なレンズ格子に互いに隙間
なく隣接してはめ込まれ、その際、レンズ格子に高い機
械的安定性が与えられるという点ですぐれている。レン
ズ要素は支持体の王部に機械的に安定した状態で受入れ
られるので、個々のレンズ要素は支持体により側方から
支持されることになるが、支持体は、その支持のため
に、レンズ要素の光学的に利用されない領域を使用し、
従つて、支持体のどの部分も、個々のレンズ要素の光学
的に有効な面を制限しない。そのため、個々のレンズ要
素の厚さを最小限に抑えた上、入射エネルギーを最大限
に利用することができる。
品質基準に従つて選別された多数の個々のレンズ要素が
直線状のレンズ格子又は平坦なレンズ格子に互いに隙間
なく隣接してはめ込まれ、その際、レンズ格子に高い機
械的安定性が与えられるという点ですぐれている。レン
ズ要素は支持体の王部に機械的に安定した状態で受入れ
られるので、個々のレンズ要素は支持体により側方から
支持されることになるが、支持体は、その支持のため
に、レンズ要素の光学的に利用されない領域を使用し、
従つて、支持体のどの部分も、個々のレンズ要素の光学
的に有効な面を制限しない。そのため、個々のレンズ要
素の厚さを最小限に抑えた上、入射エネルギーを最大限
に利用することができる。
別の重要な利点は、レンズ要素を支持体のそれぞれの
凹所に取付けるのが容易なことであり、たとえば、多数
のレンズ要素を平坦な基板に接合する場合と比べて、は
るかに速く且つ正確に装着を行うことができる。本発明
によるレンズ格子においては、レンズ要素を支持体に固
定するために、光学的に透明でない接合剤も使用可能で
ある。また、接合剤を全く使用せず、レンズ要素を機械
的手段のみによつて安定して固定することも可能であ
る。このことは、レンズ格子に化学物質又は非常に短波
の領域の放射線が作用し、そのような影響に対して接合
剤がごく限られた時間しか耐性をもたないような用途に
レンズ格子を適用するときには、特に重要である。
凹所に取付けるのが容易なことであり、たとえば、多数
のレンズ要素を平坦な基板に接合する場合と比べて、は
るかに速く且つ正確に装着を行うことができる。本発明
によるレンズ格子においては、レンズ要素を支持体に固
定するために、光学的に透明でない接合剤も使用可能で
ある。また、接合剤を全く使用せず、レンズ要素を機械
的手段のみによつて安定して固定することも可能であ
る。このことは、レンズ格子に化学物質又は非常に短波
の領域の放射線が作用し、そのような影響に対して接合
剤がごく限られた時間しか耐性をもたないような用途に
レンズ格子を適用するときには、特に重要である。
新規なレンズ格子では、支持体によりあらゆる側から
レンズ要素を支持できるので、特に、光学的に利用され
る面の対角線がそれぞれのレンズの厚さより長いような
レンズ要素を機械的に安定した状態で保持することが可
能である。支持体が個々のレンズ要素を狭いほうの光学
面の縁部で支持することから、とりわけ、レンズ要素を
平面格子に平坦に配列する場合には、本発明のレンズ格
子の有利さは明らかになる。本発明の方法を採用すれ
ば、従来の慣例であつたレンズ要素の接合を行わずに機
械的に安定したレンズ格子を、必要な機械的強度条件に
相応する厚いが、衝撃の影響を受けやすいガラス板に、
従来と比べて非常に軽くなつた状態で接着することがで
きる。レンズ格子は高い機械的強度を有するのではある
が、レンズ要素の光学表面を適切な形状とすることによ
り、レンズ格子の隙間のない光学的に有効な面が得られ
る。
レンズ要素を支持できるので、特に、光学的に利用され
る面の対角線がそれぞれのレンズの厚さより長いような
レンズ要素を機械的に安定した状態で保持することが可
能である。支持体が個々のレンズ要素を狭いほうの光学
面の縁部で支持することから、とりわけ、レンズ要素を
平面格子に平坦に配列する場合には、本発明のレンズ格
子の有利さは明らかになる。本発明の方法を採用すれ
ば、従来の慣例であつたレンズ要素の接合を行わずに機
械的に安定したレンズ格子を、必要な機械的強度条件に
相応する厚いが、衝撃の影響を受けやすいガラス板に、
従来と比べて非常に軽くなつた状態で接着することがで
きる。レンズ格子は高い機械的強度を有するのではある
が、レンズ要素の光学表面を適切な形状とすることによ
り、レンズ格子の隙間のない光学的に有効な面が得られ
る。
レンズ要素が支持体の凹部で確実に保持されるように
するには、レンズ要素を、光学的に利用されない領域
で、先細りの形状にしなければならない。この先細りは
円錐形であつても良く、段部の形態をとる円筒形状であ
つても良い。適用用途の必要に応じて、レンズ要素を支
持体により機械的に保持させるか、あるいはレンズ要素
を支持体に接合することができる。透明材料の厚さをで
きる限り少なくし、それによつて吸収を最小限に抑える
ためには、可能であれば、レンズ要素を支持体に接合す
るのが好ましい。しかしながら、ある波長領域、特に短
波領域では、放射線が接合剤を時間の経過と共に破壊し
てしまうので、機械的固定に移行することが不可欠であ
るとわかる。その場合には、レンズ要素を支持体に差込
み、薄く平坦な板によりレンズ要素を支持体に固定する
ことができる。これは、レンズ要素に機械的応力が伝わ
らないという利点を有する。
するには、レンズ要素を、光学的に利用されない領域
で、先細りの形状にしなければならない。この先細りは
円錐形であつても良く、段部の形態をとる円筒形状であ
つても良い。適用用途の必要に応じて、レンズ要素を支
持体により機械的に保持させるか、あるいはレンズ要素
を支持体に接合することができる。透明材料の厚さをで
きる限り少なくし、それによつて吸収を最小限に抑える
ためには、可能であれば、レンズ要素を支持体に接合す
るのが好ましい。しかしながら、ある波長領域、特に短
波領域では、放射線が接合剤を時間の経過と共に破壊し
てしまうので、機械的固定に移行することが不可欠であ
るとわかる。その場合には、レンズ要素を支持体に差込
み、薄く平坦な板によりレンズ要素を支持体に固定する
ことができる。これは、レンズ要素に機械的応力が伝わ
らないという利点を有する。
レンズ要素から射出した個々の光束を、面の照明のた
めに、１つの平面で重ね合わせるために、レンズ格子の
背後に収束レンズを取付けることができる。この目的の
ためには、２つのレンズ格子を相前後して装着し且つそ
れらを互いに相対的にアライメントすると有利である
が、その場合、２つのレンズ格子の間には、狭いほうの
光学的に利用される面が位置している。それにより、１
本の照明光線を多数の独立した部分光線にエネルギーの
損失なく分割することができる。
めに、１つの平面で重ね合わせるために、レンズ格子の
背後に収束レンズを取付けることができる。この目的の
ためには、２つのレンズ格子を相前後して装着し且つそ
れらを互いに相対的にアライメントすると有利である
が、その場合、２つのレンズ格子の間には、狭いほうの
光学的に利用される面が位置している。それにより、１
本の照明光線を多数の独立した部分光線にエネルギーの
損失なく分割することができる。
１本の光線を複数の独立した、形態が可変である光束
に同時に分割した場合、光エネルギーは高率で伝達され
るため、このレンズ格子は、ある限定された面を所定の
波長の光線のエネルギーで均質に照明しなければならな
いような装置に組込むのに特に適している。従つて、こ
のようなレンズ格子をウエハステツパに組込むと有利で
あり、その場合、レンズ格子は照明光学系の集光レンズ
の一部を形成する。
に同時に分割した場合、光エネルギーは高率で伝達され
るため、このレンズ格子は、ある限定された面を所定の
波長の光線のエネルギーで均質に照明しなければならな
いような装置に組込むのに特に適している。従つて、こ
のようなレンズ格子をウエハステツパに組込むと有利で
あり、その場合、レンズ格子は照明光学系の集光レンズ
の一部を形成する。
以下、添付の図面に示されている実施例によつて本発
明をさらに詳細に説明する。以下の説明の中には、本発
明のその他の重要な特徴並びに本発明をさらに良く理解
するのに役立つ解説及び本発明の考えを構成する可能性
が記載されている。
明をさらに詳細に説明する。以下の説明の中には、本発
明のその他の重要な特徴並びに本発明をさらに良く理解
するのに役立つ解説及び本発明の考えを構成する可能性
が記載されている。
第１図において、概略的に示されている４つのレンズ
要素2a〜2dは矩形の光学的に有効な面を有し、その四角
の１つがレンズ格子１の１つの点で鋭くとがつた状態で
互いに突当たつている。レンズ要素2a〜2dはより広いほ
うの光学面の縁部で互いに当接し、光軸３の方向から見
て、レンズ格子１の閉じた光線入射面を形成している。
レンズ要素2a〜2dは、上方の光学的に有効な面から下方
の光学的に有効な面に向かつて円錐形に細くなつてい
る。そのため、レンズ要素2a〜2d相互の間には、下方に
向かつて広くなる空間が形成される。この空間の下部に
は、支持体のバー4a〜4dの上方領域７が突出しており、
レンズ要素2a〜2dの側方ストツパとなつている。当接支
持部はレンズ要素を保持部材６に当接保持するが、レン
ズ要素はその角部５によつて保持部材に当接している。
バー4a〜4dは保持部材６に差込まれ、それと堅固に結合
されている。レンズ要素2a〜2dの光学的に利用される領
域を表示するために、光線40が記入されている。
要素2a〜2dは矩形の光学的に有効な面を有し、その四角
の１つがレンズ格子１の１つの点で鋭くとがつた状態で
互いに突当たつている。レンズ要素2a〜2dはより広いほ
うの光学面の縁部で互いに当接し、光軸３の方向から見
て、レンズ格子１の閉じた光線入射面を形成している。
レンズ要素2a〜2dは、上方の光学的に有効な面から下方
の光学的に有効な面に向かつて円錐形に細くなつてい
る。そのため、レンズ要素2a〜2d相互の間には、下方に
向かつて広くなる空間が形成される。この空間の下部に
は、支持体のバー4a〜4dの上方領域７が突出しており、
レンズ要素2a〜2dの側方ストツパとなつている。当接支
持部はレンズ要素を保持部材６に当接保持するが、レン
ズ要素はその角部５によつて保持部材に当接している。
バー4a〜4dは保持部材６に差込まれ、それと堅固に結合
されている。レンズ要素2a〜2dの光学的に利用される領
域を表示するために、光線40が記入されている。
第１図ａには、第１図のバー4a〜4dの代わりに使用す
ることができる変形バー4eが示されている。このバー4e
は、第１図のバー4a〜4dと同様にレンズ要素（第１図の
2a〜2d）の側方ストツパとして作用するばかりでなく、
２つの保持部材の間に、その側面下方の境界縁部に沿つ
て、レンズ要素（第１図の2a〜2d）の当接面45a〜45bを
も形成している。
ることができる変形バー4eが示されている。このバー4e
は、第１図のバー4a〜4dと同様にレンズ要素（第１図の
2a〜2d）の側方ストツパとして作用するばかりでなく、
２つの保持部材の間に、その側面下方の境界縁部に沿つ
て、レンズ要素（第１図の2a〜2d）の当接面45a〜45bを
も形成している。
バー4eは、上方頂部面に突出部44が取付けられている
基礎部材49から構成される。この突出部44は頂部面を３
つの領域に分割する。レンズ要素2a〜2dはバー4eの側方
の面45a〜45bを当接面とし、２つの当接面がとりうる幅
43は、２つの互いに隣接するレンズ要素の下方の光学的
に有効な面の間隔から突出部44の幅41を差引いた長さで
ある。この場合、バー4eは、はめ込まれるレンズ要素の
光学的に利用される面を制限しないので、レンズ要素の
光学的機能を制限せずに、レンズ要素（第１図の2a〜2d
をバー4eで確実に支持することができる。
基礎部材49から構成される。この突出部44は頂部面を３
つの領域に分割する。レンズ要素2a〜2dはバー4eの側方
の面45a〜45bを当接面とし、２つの当接面がとりうる幅
43は、２つの互いに隣接するレンズ要素の下方の光学的
に有効な面の間隔から突出部44の幅41を差引いた長さで
ある。この場合、バー4eは、はめ込まれるレンズ要素の
光学的に利用される面を制限しないので、レンズ要素の
光学的機能を制限せずに、レンズ要素（第１図の2a〜2d
をバー4eで確実に支持することができる。
基礎部材49上にある突出部44は、基礎部材49の端部で
は、その中央で、差込み用突出部48として構成されてい
る。突出部44の幅のみならず、その高さ42も、突出部44
が２つの互いに隣接するレンズ要素2a〜2dの間の下方空
間の中へ妨げられずに侵入するように選択されている。
バー4eはその差込み用突出部48によつて保持部材６に、
差込み用突出部48の全長47にわたり係合し、保持部材６
により支持されると共に、側方からも押えられる。バー
4eの保持部材６への固定は接着剤又は機械的固定方法
（ねじ留め、楔の打込みなど）によつて行うことができ
る。
は、その中央で、差込み用突出部48として構成されてい
る。突出部44の幅のみならず、その高さ42も、突出部44
が２つの互いに隣接するレンズ要素2a〜2dの間の下方空
間の中へ妨げられずに侵入するように選択されている。
バー4eはその差込み用突出部48によつて保持部材６に、
差込み用突出部48の全長47にわたり係合し、保持部材６
により支持されると共に、側方からも押えられる。バー
4eの保持部材６への固定は接着剤又は機械的固定方法
（ねじ留め、楔の打込みなど）によつて行うことができ
る。
バー4eの突出部44によるレンズ要素の側方保持が十分
ではない場合には、バー4eの突出部44をレンズ要素のテ
ーパ形状に対応した構成にすることにより、レンズ要素
をさらに側方から保持することができる。レンズ要素の
構造が許せば、レンズ要素がバー4eの突出部44のみなら
ず、その側方境界面46にも当接するように、レンズ要素
は円錐形の側面の下部に段部を有することも可能であ
る。
ではない場合には、バー4eの突出部44をレンズ要素のテ
ーパ形状に対応した構成にすることにより、レンズ要素
をさらに側方から保持することができる。レンズ要素の
構造が許せば、レンズ要素がバー4eの突出部44のみなら
ず、その側方境界面46にも当接するように、レンズ要素
は円錐形の側面の下部に段部を有することも可能であ
る。
第２図には、角部が丸くなつている矩形の面を照明す
るのに適するレンズ要素15が平面図で示されている。レ
ンズ要素15は、上面に広い光学的に有効な面（実線の境
界線９）を有し、その面の対角線13は下方の狭い光学的
に有効な面（内側点線の境界線10）の対角線14より長
い。２つの光学的に有効な面の境界線9,10は、最大限で
狭いほうの光学的に有効な面に支持体のバーの支持面と
して現われる空間を規定する。レンズ要素15は円錐形で
あり、広い光学的に有効な面９から狭い光学的に有効な
面10に向かつて細くなつているので、レンズ要素15の側
方には自由な空間が形成される。そこで、この空間の有
効可能サイズは入射条件と、光学的に有効な面の形状と
によつて決まる。
るのに適するレンズ要素15が平面図で示されている。レ
ンズ要素15は、上面に広い光学的に有効な面（実線の境
界線９）を有し、その面の対角線13は下方の狭い光学的
に有効な面（内側点線の境界線10）の対角線14より長
い。２つの光学的に有効な面の境界線9,10は、最大限で
狭いほうの光学的に有効な面に支持体のバーの支持面と
して現われる空間を規定する。レンズ要素15は円錐形で
あり、広い光学的に有効な面９から狭い光学的に有効な
面10に向かつて細くなつているので、レンズ要素15の側
方には自由な空間が形成される。そこで、この空間の有
効可能サイズは入射条件と、光学的に有効な面の形状と
によつて決まる。
第２図ａ及び第２図ｂと、第２図ｃ及び第２図ｄに
は、第２図のレンズ要素15の２つの実施例の側面図が示
されている。尚、特に２つの光学的に有効な面の形状は
単なる例として挙げてあるにすぎない。
は、第２図のレンズ要素15の２つの実施例の側面図が示
されている。尚、特に２つの光学的に有効な面の形状は
単なる例として挙げてあるにすぎない。
第２図ａ及び第２図ｂのレンズ要素15aは凸形の広い
光学的に有効な面12aaと、凹形の狭い光学的に有効な面
12abとを有する。レンズ要素15aの側部は上方の広い光
学的に有効な面12aaから下方の狭い光学的に有効な面12
abに向かつて細くなつているので、レンズ要素は光軸の
方向に円錐形に傾斜した側面を有することになる。その
ため、２つの互いに隣接するレンズ要素の間には、レン
ズ要素15aを側方から固定するためにバーの突出部が係
合することができる三角形の空間が形成される。このレ
ンズ要素は以上のような構成であるので、側方からの保
持と共に、レンズ要素15aの側方境界面における下方か
らの支持も得られる。その場合、レンズ要素を支持体の
バーに固定するために利用できるのはそれらのバーのみ
であり、バーは、その全体が、レンズ要素15aの円錐形
の側面により形成された空間に入つてしまうので、支持
体のバーは、レンズ要素を受入れるために、レンズ要素
15aの側方境界面に厳密に適合する形態を有していなけ
ればならない。それには、支持体のバーを非常に高い精
度で製造する必要があるが、バーの側面の面取りという
ことが問題になると考えられる。それぞれ対応するレン
ズ要素との接触面が互いに垂直に延在するようなバー
は、製造が容易である。この製造技術上の提案は、第２
図ｃ及び第２図ｄに示す別のレンズ要素15bの側面図で
考慮されている。このレンズ要素の平面図は第２図のレ
ンズ要素15に対応する。
光学的に有効な面12aaと、凹形の狭い光学的に有効な面
12abとを有する。レンズ要素15aの側部は上方の広い光
学的に有効な面12aaから下方の狭い光学的に有効な面12
abに向かつて細くなつているので、レンズ要素は光軸の
方向に円錐形に傾斜した側面を有することになる。その
ため、２つの互いに隣接するレンズ要素の間には、レン
ズ要素15aを側方から固定するためにバーの突出部が係
合することができる三角形の空間が形成される。このレ
ンズ要素は以上のような構成であるので、側方からの保
持と共に、レンズ要素15aの側方境界面における下方か
らの支持も得られる。その場合、レンズ要素を支持体の
バーに固定するために利用できるのはそれらのバーのみ
であり、バーは、その全体が、レンズ要素15aの円錐形
の側面により形成された空間に入つてしまうので、支持
体のバーは、レンズ要素を受入れるために、レンズ要素
15aの側方境界面に厳密に適合する形態を有していなけ
ればならない。それには、支持体のバーを非常に高い精
度で製造する必要があるが、バーの側面の面取りという
ことが問題になると考えられる。それぞれ対応するレン
ズ要素との接触面が互いに垂直に延在するようなバー
は、製造が容易である。この製造技術上の提案は、第２
図ｃ及び第２図ｄに示す別のレンズ要素15bの側面図で
考慮されている。このレンズ要素の平面図は第２図のレ
ンズ要素15に対応する。
レンズ要素15bは上方の凹形の広い光学的に有効な面1
2baと、下方の凸形の狭い光学的に有効な面12bbとを有
する。レンズ要素15bの側部は、広き光学的に有効な面
の上方境界線9c,9dから狭い光学的に有効な面の下方境
界線10c,10dに向かう方向に細くなつてはいるが、それ
は連続していない。レンズ要素15bは、その上部では、
ごくわずかに円錐形に細くなつているのみであり、下部
には段部11がある。上半分では、双方の側方境界面は互
いにやや円錐形に延在しているので、レンズ要素15b
は、光学的に利用されない領域では、全体として円筒形
に細くなつている。レンズ要素の上下の側方境界面がこ
のようにわずかな円錐形であることによつて、レンズ要
素15bを支持体の凹部に差込むのは容易になる。原則的
には、側面は互いに平行であつても良いであろう。
2baと、下方の凸形の狭い光学的に有効な面12bbとを有
する。レンズ要素15bの側部は、広き光学的に有効な面
の上方境界線9c,9dから狭い光学的に有効な面の下方境
界線10c,10dに向かう方向に細くなつてはいるが、それ
は連続していない。レンズ要素15bは、その上部では、
ごくわずかに円錐形に細くなつているのみであり、下部
には段部11がある。上半分では、双方の側方境界面は互
いにやや円錐形に延在しているので、レンズ要素15b
は、光学的に利用されない領域では、全体として円筒形
に細くなつている。レンズ要素の上下の側方境界面がこ
のようにわずかな円錐形であることによつて、レンズ要
素15bを支持体の凹部に差込むのは容易になる。原則的
には、側面は互いに平行であつても良いであろう。
レンズ要素15bは段部11によつてレンズ格子の支持体
のバーに当接するが、その結果、下方からの支持が確実
になると共に、レンズ要素15bは側方からも問題なく確
実に保持されるようになる。段部の最大高さは、狭い光
学的に有効な面と広い光学的に有効な面との比と、装置
ごとの特定の幾何学的入射条件と、側方境界面の面取り
角度とによつて決まる。レンズ格子に有意義に適用可能
であるレンズ要素15bの場合、広い光学的に有効な面か
ら狭い光学的に有効な面への移行の形状を比較的自由に
選択できるので、上述の段部11をレンズ要素15bの材料
から加工製造することはいつでも可能である。
のバーに当接するが、その結果、下方からの支持が確実
になると共に、レンズ要素15bは側方からも問題なく確
実に保持されるようになる。段部の最大高さは、狭い光
学的に有効な面と広い光学的に有効な面との比と、装置
ごとの特定の幾何学的入射条件と、側方境界面の面取り
角度とによつて決まる。レンズ格子に有意義に適用可能
であるレンズ要素15bの場合、広い光学的に有効な面か
ら狭い光学的に有効な面への移行の形状を比較的自由に
選択できるので、上述の段部11をレンズ要素15bの材料
から加工製造することはいつでも可能である。
第３図には、第４図のレンズ格子20の詳細図が示され
ており、レンズ要素15は、支持体のバー16により規定さ
れる凹部に差込まれている。個々のレンズ要素15は、そ
の広い光学的に有効な面によつて互いに密接に当接して
いる。レンズ要素15は２つの大きさの異なる光学的に有
効な面を有し、矩形のレンズ要素15の４つの側面の全て
において、上方の光学的に有効な面から下方の光学的に
有効な面に向かつて細くなつている。２つのレンズ要素
15の間に生じる空間で、バー16はレンズ要素15を確実に
保持している。バー16はレンズ要素15の徐々に細くなつ
てゆく側面にのみ当接し、レンズ要素15の先細り形状の
ためにレンズ要素15の間に形成される空間の外へ突出す
ることはない。この場合、レンズ要素15の光学的に有効
な面の形状は、物質に照明すべき、角の丸い矩形の面と
いう形状を条件としている。そのような形状を有してい
ることにより、レンズ要素15の上方の光学的に有効な面
は、レンズ格子20の支持体のバー16を越えて延出してい
る。
ており、レンズ要素15は、支持体のバー16により規定さ
れる凹部に差込まれている。個々のレンズ要素15は、そ
の広い光学的に有効な面によつて互いに密接に当接して
いる。レンズ要素15は２つの大きさの異なる光学的に有
効な面を有し、矩形のレンズ要素15の４つの側面の全て
において、上方の光学的に有効な面から下方の光学的に
有効な面に向かつて細くなつている。２つのレンズ要素
15の間に生じる空間で、バー16はレンズ要素15を確実に
保持している。バー16はレンズ要素15の徐々に細くなつ
てゆく側面にのみ当接し、レンズ要素15の先細り形状の
ためにレンズ要素15の間に形成される空間の外へ突出す
ることはない。この場合、レンズ要素15の光学的に有効
な面の形状は、物質に照明すべき、角の丸い矩形の面と
いう形状を条件としている。そのような形状を有してい
ることにより、レンズ要素15の上方の光学的に有効な面
は、レンズ格子20の支持体のバー16を越えて延出してい
る。
レンズ要素15の光学的に有効な面の幾何学的形態によ
り規定されて、レンズ要素相互の間の角部には、保持部
材17をバー16の接合点に取付けるための余地となる空間
が形成される。
り規定されて、レンズ要素相互の間の角部には、保持部
材17をバー16の接合点に取付けるための余地となる空間
が形成される。
第４図は、レンズ格子20の全体を示す平面図である。
レンズ要素15は、面をできる限り有効に利用できるよう
に（最大実総密度）レンズ格子20の全面に規則的に配分
されている。照明すべき光学面に対応してレンズ要素15
の角部を丸くしたことによつて、可視保持部材17でエネ
ルギーの損失が発生する。レンズ格子20に十分な機械的
強度を与えるため、レンズ要素15の配列構造を安定した
支持リング18によつて外側から囲んでいる。この支持リ
ング18と、バー（第３図の16）と、バーの接合点にある
保持部材17とは、レンズ要素15の膨張係数にできる限り
近い膨張係数を有する材料、たとえばアンバーから成
る。レンズ格子20の支持リング18には、レンズ格子20を
そのホルダーに正しく取付けられるように保証すると共
に、レンズ格子20をホルダーに取付ける際の何らかの目
印を与えるために、支持リング18の肉厚の箇所に切欠き
19が設けられている。
レンズ要素15は、面をできる限り有効に利用できるよう
に（最大実総密度）レンズ格子20の全面に規則的に配分
されている。照明すべき光学面に対応してレンズ要素15
の角部を丸くしたことによつて、可視保持部材17でエネ
ルギーの損失が発生する。レンズ格子20に十分な機械的
強度を与えるため、レンズ要素15の配列構造を安定した
支持リング18によつて外側から囲んでいる。この支持リ
ング18と、バー（第３図の16）と、バーの接合点にある
保持部材17とは、レンズ要素15の膨張係数にできる限り
近い膨張係数を有する材料、たとえばアンバーから成
る。レンズ格子20の支持リング18には、レンズ格子20を
そのホルダーに正しく取付けられるように保証すると共
に、レンズ格子20をホルダーに取付ける際の何らかの目
印を与えるために、支持リング18の肉厚の箇所に切欠き
19が設けられている。
第５図には、ホルダー31に取付けられた２つのレンズ
格子36,36aが示されている。２つのレンズ格子36,36aの
レンズ要素22,22aは、一方のレンズ格子36の各レンズ要
素22が光源の平行な通過光線を他方のレンズ格子36aの
対応するレンズ要素22aに遮断させずに正確に集束する
ように、互いにアライメントされている。２つのレンズ
格子36,36aのこのようなアライメントを互いに正確に実
施できるようにするために、レンズ格子36,36aのホルダ
ー31には、２つのレンズ格子36,36aを互いに相対的に移
動し且つ固定することができる要素が設けられている。
格子36,36aが示されている。２つのレンズ格子36,36aの
レンズ要素22,22aは、一方のレンズ格子36の各レンズ要
素22が光源の平行な通過光線を他方のレンズ格子36aの
対応するレンズ要素22aに遮断させずに正確に集束する
ように、互いにアライメントされている。２つのレンズ
格子36,36aのこのようなアライメントを互いに正確に実
施できるようにするために、レンズ格子36,36aのホルダ
ー31には、２つのレンズ格子36,36aを互いに相対的に移
動し且つ固定することができる要素が設けられている。
レンズ要素22,22aは、上部領域ではわずかな円錐形を
呈し、下部領域には段部を有する。レンズ要素22,22a
は、段部を越えたその先細りの部分で、レンズ格子36,3
6aの空間の中へ突出している。それらの空間はバー24,2
4aにより規定され、バー自体は、それらを安定させてい
る外側の支持リング25,25aの中に位置している。レンズ
要素22,22aは段部によつてそれらのバー24,24aに当接し
ているので、レンズ要素22,22aは下方からだけでなく、
双方の側面においても確実に保持されることになる。レ
ンズ要素22,22aの側方保持部は、外側のレンズ要素22,2
2aと、内側の、ホルダー31の可動支持体29,29aとの間の
外側充填部材21,21aにより支持される。
呈し、下部領域には段部を有する。レンズ要素22,22a
は、段部を越えたその先細りの部分で、レンズ格子36,3
6aの空間の中へ突出している。それらの空間はバー24,2
4aにより規定され、バー自体は、それらを安定させてい
る外側の支持リング25,25aの中に位置している。レンズ
要素22,22aは段部によつてそれらのバー24,24aに当接し
ているので、レンズ要素22,22aは下方からだけでなく、
双方の側面においても確実に保持されることになる。レ
ンズ要素22,22aの側方保持部は、外側のレンズ要素22,2
2aと、内側の、ホルダー31の可動支持体29,29aとの間の
外側充填部材21,21aにより支持される。
ホルダー31と支持体29,29aとの間にあるペーサリンク
35,35aは、レンズ格子36,36aの正しい離間距離を保つ働
きをする。
35,35aは、レンズ格子36,36aの正しい離間距離を保つ働
きをする。
それぞれのレンズ格子36,36aは、頭なし固定ねじ26,2
6aによつて支持体29,29aに固定される。レンズ格子36,3
6aの上方にあるガラス板23,23aは、レンズ格子36,36aの
バーに接合剤によりはめ込み固定されていないレンズ要
素22,22aがレンズ格子36,36aから抜け落ちるのを防止す
る働きをする。レンズ要素22,22aをレンズ格子36,36aの
バーに接合剤で固定するならば、ガラス板23,23aはなく
ても良い。いずれにせよ、周囲環境の条件（光線，化学
物質など）が接合剤層を破壊してしまうようなものであ
る場合には、ガラス板23,23aによつてレンズ要素22,22a
をレンズ格子36,36aに確実に保持することができる。ガ
ラス板23,23aは、支持体29,29aの中でレンズ格子36,36a
に、引締めリング28,28aにより固定される。
6aによつて支持体29,29aに固定される。レンズ格子36,3
6aの上方にあるガラス板23,23aは、レンズ格子36,36aの
バーに接合剤によりはめ込み固定されていないレンズ要
素22,22aがレンズ格子36,36aから抜け落ちるのを防止す
る働きをする。レンズ要素22,22aをレンズ格子36,36aの
バーに接合剤で固定するならば、ガラス板23,23aはなく
ても良い。いずれにせよ、周囲環境の条件（光線，化学
物質など）が接合剤層を破壊してしまうようなものであ
る場合には、ガラス板23,23aによつてレンズ要素22,22a
をレンズ格子36,36aに確実に保持することができる。ガ
ラス板23,23aは、支持体29,29aの中でレンズ格子36,36a
に、引締めリング28,28aにより固定される。
スペーサリング35,35aは締めねじ33a,34a及び35a）に
よりホルダーに固定される。さらに、それらの締めねじ
33a,34aによつて、レンズ格子36aを、製造許容差を補償
するある領域の中で、光軸37に対し垂直な平面で側方へ
摺動させることができる。
よりホルダーに固定される。さらに、それらの締めねじ
33a,34aによつて、レンズ格子36aを、製造許容差を補償
するある領域の中で、光軸37に対し垂直な平面で側方へ
摺動させることができる。
調整ねじ32,32aにより、２つのレンズ格子36,36aを光
軸37に対し垂直に回転させることができる。そのため
に、調整ねじ32,32aは、その端部に、軸外延出部を有す
る。この軸外延出部は支持体29,29aの開口30,30aの中に
あつて、レンズ格子36,36aを狭い角度範囲の中で左又は
右に回転自在にする働きをする。双方のレンズ格子36,3
6aが互いに相対的に厳密にアライメントされていれば、
そのアライメントを各支持体29,29aの引締めリング27,2
7aにより固定することができる。２つのレンズ格子36,3
6aを伴なうこのようなホルダー31は、ウエハステツパの
照明光学系の集光レンズに適用するのに適する。その場
合、２つのレンズ格子36,36aの背後に取付けられた大型
のレンズ39は、レンズ格子36,36aによつて発生された光
束が、原稿を照明するための平面で重なり合うように作
用する。
軸37に対し垂直に回転させることができる。そのため
に、調整ねじ32,32aは、その端部に、軸外延出部を有す
る。この軸外延出部は支持体29,29aの開口30,30aの中に
あつて、レンズ格子36,36aを狭い角度範囲の中で左又は
右に回転自在にする働きをする。双方のレンズ格子36,3
6aが互いに相対的に厳密にアライメントされていれば、
そのアライメントを各支持体29,29aの引締めリング27,2
7aにより固定することができる。２つのレンズ格子36,3
6aを伴なうこのようなホルダー31は、ウエハステツパの
照明光学系の集光レンズに適用するのに適する。その場
合、２つのレンズ格子36,36aの背後に取付けられた大型
のレンズ39は、レンズ格子36,36aによつて発生された光
束が、原稿を照明するための平面で重なり合うように作
用する。
ガラス板23,23aをレンズ要素22,22aを直接当接させる
代わりに、個々のレンズ要素22,22aをその角の箇所でレ
ンズ格子36,36aに固定する小さなスペーサ要素をガラス
板23,23aに取付けることも可能である。
代わりに、個々のレンズ要素22,22aをその角の箇所でレ
ンズ格子36,36aに固定する小さなスペーサ要素をガラス
板23,23aに取付けることも可能である。
第１図は、複数のレンズ要素の交差点を、レンズ要素を
固定するための支持体のバーと共に示す斜視図、第１図
ａは、第１図のバーの代わりとなる、支持段部を有する
バーを示す図、第２図は、１つのレンズ要素の平面図、
第２図ａ及び第２図ｂは、円錐形の側面を有する第２図
のレンズ要素の側面図、第２図ｃ及び第２図ｄは、段部
を含む円錐形の側面を有する第２図のレンズ要素の側面
図、第３図は、レンズ格子の領域の一部を示す図、第４
図は、レンズ格子の平面図、第５図は、重複レンズ格子
構成の側面図である。 １……レンズ格子、2a〜2d……レンズ要素、4a〜4e……
バー、12aa,12ab,12ba,12bb……光学的に有効な面、15,
15a,15b……レンズ要素、16……バー、18……支持リン
グ、20……レンズ格子、22,22a……レンズ要素、24,24a
……バー、29,29a……支持体、36,36a……レンズ格子、
39……レンズ。
固定するための支持体のバーと共に示す斜視図、第１図
ａは、第１図のバーの代わりとなる、支持段部を有する
バーを示す図、第２図は、１つのレンズ要素の平面図、
第２図ａ及び第２図ｂは、円錐形の側面を有する第２図
のレンズ要素の側面図、第２図ｃ及び第２図ｄは、段部
を含む円錐形の側面を有する第２図のレンズ要素の側面
図、第３図は、レンズ格子の領域の一部を示す図、第４
図は、レンズ格子の平面図、第５図は、重複レンズ格子
構成の側面図である。 １……レンズ格子、2a〜2d……レンズ要素、4a〜4e……
バー、12aa,12ab,12ba,12bb……光学的に有効な面、15,
15a,15b……レンズ要素、16……バー、18……支持リン
グ、20……レンズ格子、22,22a……レンズ要素、24,24a
……バー、29,29a……支持体、36,36a……レンズ格子、
39……レンズ。
Claims (9)
- 【請求項１】複数のレンズ要素から構成されるレンズ格
子であって、各レンズ要素の光学的に有効な２つの面は
異なる大きさを有し、一方の光学的に有効な面が凸面で
あると共にバーで制限された支持体の開口に配列されて
いる、複数のレンズ要素から構成されるレンズ格子にお
いて、 上記レンズ要素（1,15,15a−b,22,22a）の他方の光学的
に有効な面（12ab,12bb）は凹面であると共に、レンズ
要素（1,15,15a−b,22,22a）の光学的に使用されない少
なくとも２つの側面にレンズ要素の支持に使用されるテ
ーパが形成され、上記支持体（18,29,29a）のバー（4a
−e,16,24,24a）の幅は上記テーパによって生じる２つ
のレンズ要素（1,15,15a−b,22,22a）間の最大空間の幅
を越えない寸法を有し、これによってバー（4a−e,16,2
4,24a）を有する上記支持体（18,29,29a）は各レンズ要
素（1,15,15a−b,22,22a）の光学的に有効な領域を制限
しないことを特徴とするレンズ格子。 - 【請求項２】レンズ要素（1,15,15a−b,22,22a）の光学
的に有効な面の面対角線はレンズの厚さより長いことを
特徴とする請求項１記載のレンズ格子。 - 【請求項３】レンズ要素（1,15,15a−b,22,22a）は、１
つの平面に、その広い方の光学的に有効な面が互に隣接
するように配列されていることを特徴とする請求項１又
は２項記載のレンズ格子。 - 【請求項４】レンズ要素（1,15,15a−b,22,22a）は、光
学的に利用されない領域で、円錐形にテーパを形成して
いることを特徴とする請求項１から３項のいずれか１項
に記載のレンズ格子。 - 【請求項５】レンズ要素（1,15,15a−b,22,22a）は、光
学的に利用されない領域で、段部を有する円筒形となっ
ている請求項１から３項のいずれか１項に記載のレンズ
格子。 - 【請求項６】同じ構造の２組のレンズ格子であって、各
レンズ格子がレンズ要素群で構成され、各レンズ要素の
光学的に有効な２つの面は、異なる大きさで、その一方
の面は凸面であり他方の面は凹面である、同じ構造の２
組のレンズ格子を備え、 上記レンズ格子（36,36a）は、それぞれのレンズ要素
（22,22a）の光学的に使用されない少なくとも２つの側
面にレンズ要素の支持に使用されるテーパが形成され、
上記支持体（29,29a）のバー（24,24a）の幅は上記テー
パによって生じる２つのレンズ要素（22,22a）間の最大
空間の幅を越えない寸法を有し、これによってバー（2
4,24a）を有する上記支持体（29,29a）は各レンズ要素
（22,22a）の光学的に有効な領域を制限することがな
く、 上記２組のレンズ格子（36,36a）は一定の間隔を介して
保持されて、上記２組のレンズ格子のレンズ要素群（2
2,22a）が、互に面積の小さい方の光学的に有効な面（3
8b,38d）同士が向き合う状態で固定されている ことを特徴とする光学装置。 - 【請求項７】レンズ格子の支持体（29,29a）に固定され
た透明平板（23,23a）がレンズ要素（22,22a）の前面に
配置されていることを特徴とする請求項６記載の装置。 - 【請求項８】レンズ要素（22,22a）は支持体（29,29a）
のバー（24,24a）に接着されていることを特徴とする請
求項６および７のいずれかに記載されたレンズ格子。 - 【請求項９】支持体（29,29a）のレンズ格子（36,36a）
は照明光学系の集光レンズの一部としてウェハステッパ
に組込まれていることを特徴とする請求項６記載の装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3918293.2 | 1989-06-05 | ||
| DE3918293A DE3918293A1 (de) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | Linsenraster |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0324510A JPH0324510A (ja) | 1991-02-01 |
| JP2862633B2 true JP2862633B2 (ja) | 1999-03-03 |
Family
ID=6382097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2134233A Expired - Fee Related JP2862633B2 (ja) | 1989-06-05 | 1990-05-25 | レンズ格子 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5041862A (ja) |
| EP (1) | EP0401608B1 (ja) |
| JP (1) | JP2862633B2 (ja) |
| DE (2) | DE3918293A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19513354A1 (de) * | 1994-04-14 | 1995-12-14 | Zeiss Carl | Materialbearbeitungseinrichtung |
| US5674414A (en) * | 1994-11-11 | 1997-10-07 | Carl-Zeiss Stiftung | Method and apparatus of irradiating a surface of a workpiece with a plurality of beams |
| DE19829612A1 (de) | 1998-07-02 | 2000-01-05 | Zeiss Carl Fa | Beleuchtungssystem der Mikrolithographie mit Depolarisator |
| US6605796B2 (en) | 2000-05-25 | 2003-08-12 | Westar Photonics | Laser beam shaping device and apparatus for material machining |
| JP3977038B2 (ja) | 2001-08-27 | 2007-09-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | レーザ照射装置およびレーザ照射方法 |
| US7206132B2 (en) | 2004-08-06 | 2007-04-17 | Visx, Incorporated | Lenslet array for beam homogenization |
| US20070148567A1 (en) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Joerg Ferber | Method and apparatus for laser-drilling an inkjet orifice in a substrate |
Family Cites Families (15)
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|---|---|---|---|---|
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