JP2860667B2 - マグネトロン用陰極 - Google Patents
マグネトロン用陰極Info
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- JP2860667B2 JP2860667B2 JP22177289A JP22177289A JP2860667B2 JP 2860667 B2 JP2860667 B2 JP 2860667B2 JP 22177289 A JP22177289 A JP 22177289A JP 22177289 A JP22177289 A JP 22177289A JP 2860667 B2 JP2860667 B2 JP 2860667B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、陰極スリーブが中空円筒形状の傍熱型のマ
グネトロン用陰極に関する。
グネトロン用陰極に関する。
傍熱型のマグネトロン用陰極の陰極スリーブ表面に
は、通常、ヒータの加熱によって充分な量の電子が放出
されるように、バリウム、ストロンチウム、カルシウム
の酸化物等からなる粉末状の電子放射性物質が塗布され
ており、マグネトロンの寿命は、殆んど、この電子放射
性物質の蒸発及び損傷によって決まる。
は、通常、ヒータの加熱によって充分な量の電子が放出
されるように、バリウム、ストロンチウム、カルシウム
の酸化物等からなる粉末状の電子放射性物質が塗布され
ており、マグネトロンの寿命は、殆んど、この電子放射
性物質の蒸発及び損傷によって決まる。
そして、電子放射性物質の蒸発及び損傷は、下記のよ
うな現象によって起る。
うな現象によって起る。
（１） マグネトロン動作中に生じる電子放射性物質の
蒸発。
蒸発。
（２） 磁界と電界の相互作用から外れた電子による電
子放射性物質への逆衝撃による損傷及び蒸発。
子放射性物質への逆衝撃による損傷及び蒸発。
（３） アノードと陰極間のスパークによるイオン衝撃
による損傷及び蒸発。
による損傷及び蒸発。
このような電子放射性物質の蒸発及び損傷の対策とし
て、従来、特願昭55−35495や特願昭60−21379で電子放
射性物質を塗布する陰極スリーブの構造が提案されてい
る。
て、従来、特願昭55−35495や特願昭60−21379で電子放
射性物質を塗布する陰極スリーブの構造が提案されてい
る。
特願昭55−35495の提案は、第２図に示すように、マ
グネトロンの通常動作中の蒸発により電子放射性物質の
体積が減少しても、電子放出表面積が実質的に減少しな
いように凹部構造を形成したものである。
グネトロンの通常動作中の蒸発により電子放射性物質の
体積が減少しても、電子放出表面積が実質的に減少しな
いように凹部構造を形成したものである。
また、特願昭60−21379の提案は、第３図に示すよう
に、陰極表面にメッシュと同様の効果を持ち、かつ、剥
離することのない角錐体のような突起を一体に形成した
ものである。
に、陰極表面にメッシュと同様の効果を持ち、かつ、剥
離することのない角錐体のような突起を一体に形成した
ものである。
第２図、第３図において２、３は陰極スリーブ、４は
ヒータ、５は電子放射性物質、21、22、31、32はエンド
ハット、23は凹溝、33は突起である。
ヒータ、５は電子放射性物質、21、22、31、32はエンド
ハット、23は凹溝、33は突起である。
上記いずれの構造でも、電子放射性物質を塗布する部
分のスリーブ厚さが加工上の制約から0.3mmを超えるた
め、熱容量が大きくなり、長寿命化には効果があるが、
マグネトロンのクイックスタートができないという欠点
があった。
分のスリーブ厚さが加工上の制約から0.3mmを超えるた
め、熱容量が大きくなり、長寿命化には効果があるが、
マグネトロンのクイックスタートができないという欠点
があった。
また、加工方法においても、機械切削加工、もしくは
冷間鍛造加工が有力な手段として用いられるが、高い加
工精度が要求されるため、コストが高くなるという欠点
があった。
冷間鍛造加工が有力な手段として用いられるが、高い加
工精度が要求されるため、コストが高くなるという欠点
があった。
本発明は上記の問題を解決するためになされたもの
で、長寿命化の効果を有するとともに、マグネトロンを
クイックスタートさせることができ、コストが余り高く
ならないマグネトロン用陰極を提供することを目的とす
る。
で、長寿命化の効果を有するとともに、マグネトロンを
クイックスタートさせることができ、コストが余り高く
ならないマグネトロン用陰極を提供することを目的とす
る。
上記目的を達成するため本発明のマグネトロン用陰極
は、中空円筒形状の陰極スリーブの中空部にヒータを挿
入し、該陰極スリーブに所定の間隔を空けて配設した２
枚のエンドハット間の該陰極スリーブ表面に電子放射性
物質を塗布してなるマグネトロン用陰極において、上記
陰極スリーブの上記エンドハット間の部分を、電解めっ
き法あるいはプレス成形法により、全面で肉厚が等し
く、かつ、表面に凹部と凸部とが上記陰極スリーブの軸
方向に交互に配置形成され、該凹部と凸部とが円周方向
で閉じた形状で複数個配置されるか、または該凹部と凸
部とがそれぞれ螺旋状に連なった形状で形成し、上記凹
部と凸部で形成される上記陰極スリーブの外側表面の窪
み部分に電子放射性物質を充填したことを特徴とするも
のである。
は、中空円筒形状の陰極スリーブの中空部にヒータを挿
入し、該陰極スリーブに所定の間隔を空けて配設した２
枚のエンドハット間の該陰極スリーブ表面に電子放射性
物質を塗布してなるマグネトロン用陰極において、上記
陰極スリーブの上記エンドハット間の部分を、電解めっ
き法あるいはプレス成形法により、全面で肉厚が等し
く、かつ、表面に凹部と凸部とが上記陰極スリーブの軸
方向に交互に配置形成され、該凹部と凸部とが円周方向
で閉じた形状で複数個配置されるか、または該凹部と凸
部とがそれぞれ螺旋状に連なった形状で形成し、上記凹
部と凸部で形成される上記陰極スリーブの外側表面の窪
み部分に電子放射性物質を充填したことを特徴とするも
のである。
〔実施例〕 第１図（ａ）は本発明の一実施例を示す。
図において、１は陰極スリーブ、11、12はエンドハッ
ト、13は電解めっき法あるいはプレス成形法により波状
の凹凸を有する形状に形成した陰極スリーブ１のエンド
ハット11、12間の波形状部分、４はヒータ、５は、波形
状部分13表面の窪み部分にその表面が波形頂部13aに達
する状態にまで充填した電子放射性物質である。
ト、13は電解めっき法あるいはプレス成形法により波状
の凹凸を有する形状に形成した陰極スリーブ１のエンド
ハット11、12間の波形状部分、４はヒータ、５は、波形
状部分13表面の窪み部分にその表面が波形頂部13aに達
する状態にまで充填した電子放射性物質である。
第１図（ｂ）は第１図（ａ）の波形状部分13の拡大図
で、図に示す各ディメンションを下記のような値に設定
すると、熱容量の充分小さいものが得られた。
で、図に示す各ディメンションを下記のような値に設定
すると、熱容量の充分小さいものが得られた。
ピッチＰ＝0.4〜0.8mm,深さＤ＝0.2〜0.8mm、θ＝10
〜45゜、肉厚ｔ＝0.1〜0.2mm、 該波形状部分13の形成方法としては、電解めっき法あ
るいはプレス成形法がある。
〜45゜、肉厚ｔ＝0.1〜0.2mm、 該波形状部分13の形成方法としては、電解めっき法あ
るいはプレス成形法がある。
電解めっき法は、ニッケルめっきによるが、あらかじ
めニッケルを付着させる電極を機械加工により成形して
おき、その電極上面に必要な厚さｔのニッケルめっきを
し、電極とニッケルを分離して所要の形状のニッケルス
リーブを得る方法である。
めニッケルを付着させる電極を機械加工により成形して
おき、その電極上面に必要な厚さｔのニッケルめっきを
し、電極とニッケルを分離して所要の形状のニッケルス
リーブを得る方法である。
プレス成形法では、仕上り外径よりやや大きめのニッ
ケルパイプをプレス成形治具に挿入し、プレス成形した
後、治具からスリーブを分離する。この場合、加工誤差
は、電子放射性物質を塗布する前にスリーブ内部より外
周方向に圧力をかけて寸法補正を行って修正する。
ケルパイプをプレス成形治具に挿入し、プレス成形した
後、治具からスリーブを分離する。この場合、加工誤差
は、電子放射性物質を塗布する前にスリーブ内部より外
周方向に圧力をかけて寸法補正を行って修正する。
上記のような構造にすることで、マグネトロン動作中
に電子放射性物質が蒸発し、充填厚みが減少しても、従
来提案されている構造のものと同様、電子放射性物質の
電子放射に寄与する表面積が余り減少することがなく、
同時に、電子放射性物質を塗布する部分の熱容量を従来
提案されている構造のものに比べ大幅に減らすことがで
きる。
に電子放射性物質が蒸発し、充填厚みが減少しても、従
来提案されている構造のものと同様、電子放射性物質の
電子放射に寄与する表面積が余り減少することがなく、
同時に、電子放射性物質を塗布する部分の熱容量を従来
提案されている構造のものに比べ大幅に減らすことがで
きる。
したがって、長寿命化の効果を持ちながらクイックス
タート可能な陰極を実現できる。
タート可能な陰極を実現できる。
また、肉厚が薄いので、寸法補正が容易で、余り高い
加工精度が要求されないので、加工コストが大幅に下が
る。
加工精度が要求されないので、加工コストが大幅に下が
る。
なお、波形凹部と凸部とが陰極スリーブの円周方向で
それぞれ閉じた構造で、陰極スリーブの軸方向に交互に
複数個配置されるか、または、波形凹部と凸部とがそれ
ぞれ螺旋状に連なった構造をしたものでも良いことは勿
論である。
それぞれ閉じた構造で、陰極スリーブの軸方向に交互に
複数個配置されるか、または、波形凹部と凸部とがそれ
ぞれ螺旋状に連なった構造をしたものでも良いことは勿
論である。
また、本実施例には、エンドハット11,12が、スリー
ブ１と一体に形成されたものを示したが、あらかじめプ
レス成形で製作したエンドハットを、加工後のスリーブ
に抵抗溶接により取り付ける構造としてもよい。
ブ１と一体に形成されたものを示したが、あらかじめプ
レス成形で製作したエンドハットを、加工後のスリーブ
に抵抗溶接により取り付ける構造としてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、長寿命化効果
を持ち、かつ、マグネトロンをクイックスタートさせる
ことができ、加工コストが余り高くならない陰極が得ら
れるという効果がある。
を持ち、かつ、マグネトロンをクイックスタートさせる
ことができ、加工コストが余り高くならない陰極が得ら
れるという効果がある。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を示す説明図、第１図
（ｂ）は第１図（ａ）の陰極スリーブの波形状部分の拡
大図、第２図、第３図は従来長寿命化対策陰極として提
案されているマグネトロン用陰極の例を示す説明図であ
る。 １……陰極スリーブ、11,12……エンドハット、13……
波形状部分、13a……波形頂部、４……ヒータ、５……
電子放射性物質。 なお図中同一符号は同一または相当するものを示す。
（ｂ）は第１図（ａ）の陰極スリーブの波形状部分の拡
大図、第２図、第３図は従来長寿命化対策陰極として提
案されているマグネトロン用陰極の例を示す説明図であ
る。 １……陰極スリーブ、11,12……エンドハット、13……
波形状部分、13a……波形頂部、４……ヒータ、５……
電子放射性物質。 なお図中同一符号は同一または相当するものを示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 23/04 H01J 23/05 H01J 1/20 H01J 9/04
Claims (1)
- 【請求項１】中空円筒形状の陰極スリーブの中空部にヒ
ータを挿入し、該陰極スリーブに所定の間隔を空けて配
設した２枚のエンドハット間の該陰極スリーブ表面に電
子放射性物質を塗布してなるマグネトロン用陰極におい
て、 上記陰極スリーブの上記エンドハット間の部分を、電解
めっき法あるいはプレス成形法により、全面で肉厚が等
しく、かつ、表面に凹部と凸部とが上記陰極スリーブの
軸方向に交互に配置形成され、該凹部と凸部とが円周方
向で閉じた形状で複数個配置されるか、または該凹部と
凸部とがそれぞれ螺旋状に連なった形状で形成され、上
記凹部と凸部で形成される上記陰極スリーブの外側表面
の窪み部分に電子放射性物質を充填したことを特徴とす
るマグネトロン陰極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22177289A JP2860667B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | マグネトロン用陰極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22177289A JP2860667B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | マグネトロン用陰極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0388238A JPH0388238A (ja) | 1991-04-12 |
| JP2860667B2 true JP2860667B2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=16771962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22177289A Expired - Fee Related JP2860667B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | マグネトロン用陰極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2860667B2 (ja) |
-
1989
- 1989-08-30 JP JP22177289A patent/JP2860667B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0388238A (ja) | 1991-04-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |