JP2860289B2 - Perforation equipment for soft sheets such as ceramic green sheets and flexible substrates - Google Patents

Perforation equipment for soft sheets such as ceramic green sheets and flexible substrates

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JP2860289B2
JP2860289B2 JP8343194A JP34319496A JP2860289B2 JP 2860289 B2 JP2860289 B2 JP 2860289B2 JP 8343194 A JP8343194 A JP 8343194A JP 34319496 A JP34319496 A JP 34319496A JP 2860289 B2 JP2860289 B2 JP 2860289B2
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soft sheet
sheet
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winding
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政計 柿本
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックグリー
ンシート、フレキシブル基板等の軟質シートの穿孔装
置、更に詳しくはロール状に巻回された前記軟質シート
を繰り出しながら所望の穿孔パターンで穿孔する穿孔装
置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a punching apparatus for punching a soft sheet such as a ceramic green sheet or a flexible substrate, and more particularly to a punching apparatus for punching out a rolled soft sheet while punching it in a desired punching pattern. It is about.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ロール状に巻回されたセラミック
グリーンシート、フレキシブル基板等の軟質シートを送
りながら穿孔する穿孔装置としては例えば特公平7−4
7279号公報(前者)や特公平7−47280号公報
(後者)等が知られている。前者、後者とも基本的には
機台の一方側に設けられたロール状の軟質シートを繰り
出し機構(繰り出しロール)でX軸線方向に送り出しな
がら他方側に設けた巻き取り機構(巻き取りロール)で
巻き取りつつ、繰り出し機構と巻き取り機構との間にお
いて軟質シートの穿孔対象部位に穿孔具ユニットで穿孔
する構造である。これら穿孔装置の利点はロール状に巻
回された軟質シートを繰り出しながら穿孔することから
前もって軟質シートを板状に裁断し、それをワークホル
ダー等に挟持する前作業が不要となり、生産性を大幅に
向上させることができる。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a punching apparatus for punching while feeding a soft sheet such as a ceramic green sheet or a flexible substrate wound in a roll shape, for example, Japanese Patent Publication No. 7-4
No. 7279 (the former) and Japanese Patent Publication No. 7-47280 (the latter) are known. Both the former and the latter are basically a winding mechanism (winding roll) provided on the other side while feeding a roll-shaped soft sheet provided on one side of the machine base in the X-axis direction by a feeding mechanism (feeding roll). This is a structure in which a punching unit is used to pierce a target portion of the soft sheet to be pierced between the feeding mechanism and the winding mechanism while winding. The advantage of these perforators is that the perforation is performed while unwinding the soft sheet wound in a roll shape, so the pre-cutting of the soft sheet into a plate shape in advance and the clamping of it with a work holder is unnecessary, greatly improving productivity. Can be improved.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、繰り出し機
構(繰り出しロール)と巻き取り機構(巻き取りロー
ル)とを同期させて駆動させているものの、若干の緩み
があることと、繰り出し機構(繰り出しロール)、巻き
取り機構(巻き取りロール)間の軟質シートの自重が関
連して繰り出し機構(繰り出しロール)、巻き取り機構
(巻き取りロール)間の軟質シートに弛みを生じる。そ
のため、先行技術では穿孔具ユニットの両側に下面に吸
引孔を散在して開孔した内部中空とする平板状のバキュ
ーム体を配置し、定量送りされる度にバキューム体で軟
質シートを吸引してテンションをかけている。しかしな
がら、穿孔具ユニットを挟んで両側の軟質シート部分を
若干真上に持ち上げる吸着方式になる結果、材質違いを
基にする弛み量の差異に対して正確に対応できず、穿孔
精度を低下させる。それを是正するためには繰り出し機
構と巻き取り機構との離間距離に対する軟質シートの材
質毎に弛み量を予め測定し、その測定量に応じた高さ位
置に前記するバキューム体を配置することを必要とし、
対応も面倒である。
By the way, although the feeding mechanism (feeding roll) and the winding mechanism (winding roll) are driven in synchronization with each other, there is a slight loosening and the feeding mechanism (feeding roll). ), The soft sheet between the take-up mechanism (take-up roll) and the soft sheet between the pay-out mechanism (take-up roll) and the take-up mechanism (take-up roll) are loosened. For this reason, in the prior art, a flat-plate-shaped vacuum body having a hollow inside is formed by scattered suction holes on the lower surface on both sides of the piercing device unit, and the vacuum sheet sucks the soft sheet each time a fixed amount is fed. Tension is applied. However, as a result of the suction method in which the soft sheet portions on both sides are slightly lifted directly above the punching device unit, it is impossible to accurately cope with a difference in the amount of slack based on a difference in material, and the punching accuracy is reduced. In order to correct this, it is necessary to previously measure the amount of slack for each material of the soft sheet with respect to the separation distance between the feeding mechanism and the winding mechanism, and to arrange the vacuum body at a height position corresponding to the measured amount. Need and
Correspondence is troublesome, too.

【0004】本発明は、このような従来事情に鑑みてな
されたもので、その目的とする処は、繰り出し機構と巻
き取り機構との間の軟質シートの弛みを矯正して所望す
る位置に正確に穿孔するセラミックグリーンシート、フ
レキシブル基板等の軟質シートの穿孔装置を提供するこ
とにある。
The present invention has been made in view of such a conventional situation, and an object thereof is to correct a slack of a soft sheet between a feeding mechanism and a winding mechanism so that the soft sheet can be accurately positioned at a desired position. It is an object of the present invention to provide a perforation device for a soft sheet such as a ceramic green sheet or a flexible substrate that is perforated.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に講じた技術的手段は、請求項1は、セラミックグリー
ンシート、フレキシブル基板等の軟質シートをX軸線方
向に繰り出す繰り出し機構及びそれをロール状に巻き取
る巻き取り機構と、その繰り出し機構、巻き取り機構と
の間に配設されY軸線方向、X軸線方向に制御動させて
軟質シートに穿孔を施す穿孔具ユニットと、前記繰り出
し機構、巻き取り機構間の軟質シートを固定してX軸線
方向に微動する固定解除可能なテンション機構とを有
し、該テンション機構は軟質シートの所定の張力を検出
した時X軸線方向への微動を停止するセンサー手段を備
えていることを要旨とする。また請求項2は、前記請求
項1記載のテンション機構が、軟質シートをX軸線方向
に対して直交して上下から挟持する接近・離間可能な一
対のクランプアームと、そのクランプアームの支持部を
X軸線方向に微動させるテンション用移動機構と、前記
支持部とテンション用移動機構との間に設けられ支持部
をY軸線方向に制御動させる補正動用移動機構と、前記
クランプアームに設けられ軟質シートを挟持した固定状
態とその挟持力よりも弱い挟持力で軟質シートを半挟持
する半固定状態を作り出す挟持力可変機構とを備え、機
台に軟質シートのエッジを検出するエッジ検出手段を有
し、また繰り出し機構、巻き取り機構はY軸線方向に制
御動可能に構成してなり、前記挟持力可変機構はクラン
プアームに周方向に遊転可能な状態で収容される突子を
軟質シート方向に突出するようにバネで付勢した構成と
し、前記エッジ検出手段の出力信号に基づいて前記半固
定状態で繰り出し機構、巻き取り機構がY軸線方向に制
御動されることを要旨とする。更に請求項3は、エッジ
検出手段の出力信号に基づいて前記半固定状態で繰り出
し機構、巻き取り機構がY軸線方向に制御動される請求
項2に代えて、エッジ検出手段の出力信号に基づいて前
記固定状態で補正動用移動機構、繰り出し機構、巻き取
り機構がY軸線方向に制御動されることを要旨とする。
前記するセンサー手段で検出される所定の張力は軟質シ
ートの材質毎に異にし、予め記憶値として制御部に記憶
されている。
The technical means taken to achieve the above object is as follows. Claim 1 is a mechanism for feeding out a soft sheet such as a ceramic green sheet or a flexible substrate in the X-axis direction, and a roll-out mechanism. A winding mechanism for winding in a shape, a feeding mechanism for the winding mechanism, a piercing device unit disposed between the winding mechanism, and a punching unit for punching a soft sheet by controlling and moving in a Y-axis direction and an X-axis direction, and the feeding mechanism; A tension mechanism that fixes the soft sheet between the take-up mechanisms and finely moves in the X-axis direction while finely moving in the X-axis direction. The tension mechanism stops fine movement in the X-axis direction when a predetermined tension of the soft sheet is detected. The gist of the present invention is to provide sensor means for performing the above. According to a second aspect of the present invention, the tension mechanism according to the first aspect includes a pair of approachable / separable clamp arms which sandwich the soft sheet from above and below at right angles to the X-axis direction, and a support portion of the clamp arm. a correction movement for moving mechanism for controlling movement of the support portion in the Y-axis direction provided between the tension for moving mechanism for finely moving the X-axis direction, and the support portion and the tension for moving mechanism, the soft sheet is provided on the clamp arm A holding force variable mechanism for creating a semi-fixed state in which the soft sheet is half-clamped with a clamping state weaker than the clamping state, and edge detection means for detecting the edge of the flexible sheet on the machine base. The unwinding mechanism and the winding mechanism are configured to be controllably movable in the Y-axis direction, and the clamping force variable mechanism is accommodated in the clamp arm so as to be freely rotatable in the circumferential direction. The protrusion is biased by a spring so as to protrude in the direction of the soft sheet, and the feeding mechanism and the winding mechanism are controlled and moved in the Y-axis direction in the semi-fixed state based on the output signal of the edge detecting means. Is the gist. According to a third aspect of the present invention, the feeding mechanism and the winding mechanism are controlled and moved in the Y-axis direction in the semi-fixed state based on the output signal of the edge detecting means. The gist is that the correction movement moving mechanism, the feeding mechanism, and the winding mechanism are controlled and moved in the Y axis direction in the fixed state.
The predetermined tension detected by the above-mentioned sensor means differs for each material of the soft sheet, and is stored in the control unit in advance as a stored value.

【0006】上記技術的手段によれば下記を作用を奏す
る。 (請求項1)繰り出し機構で繰り出し、巻き取り機構で
巻き取りながら軟質シートの穿孔対象部位を穿孔具ユニ
ットと相対するように定量送りをする。その度に軟質シ
ートを固定して弛みを矯正するようにテンション機構で
X軸線方向に微動する。その微動はテンション機構に設
けたセンサー手段が所定の張力を検出するまで行われ、
セラミックグリーンシート、フレキシブル基板等の軟質
シートの弛みを矯正する。 (請求項2)繰り出し機構と巻き取り機構との間の軟質
シートのクランプアームでの固定(挟持)は完全に挟持
する固定状態とそれよりも弱い力で挟持する半固定状態
とを作り出すことができる。半固定状態は、軟質シート
がバネの付勢力に抗して周方向に遊転可能な突子を後退
させ、そのバネの反発力が軟質シートの半固定力を付与
する。この半固定力は軟質シートを軽く押さえ、エッジ
検出手段の出力信号を基に繰り出し機構、巻き取り機構
をY軸線方向に制御動(詳細には例えば繰り出し機構、
巻き取り機構のどちらか一方をプラスY軸線方向に制御
動し、他方をマイナスY軸線方向に制御動)する時のθ
方向の軟質シートの回動支点となる。そのため穿孔時の
穿孔具との摩擦等で軟質シートにおける平面視でθ方向
に位置ずれが生じる時にその修正を軟質シートに皺を招
かず行うことができる。 (請求項3)また、穿孔時の穿孔具との摩擦等で軟質シ
ートがY軸線方向に平行移動することがあっても軟質シ
ートを挟持した固定状態でエッジ検出手段の出力信号を
基に補正動用移動機構、繰り出し機構、巻き取り機構を
夫々プラスまたはマイナス方向にY軸線方向に同時に同
動制御動し、平面視でY軸線方向の位置ずれが生じるこ
とがあってもそれを修正する。
According to the above technical means, the following effects are obtained. (Claim 1) A fixed amount is fed so that a portion to be pierced of a soft sheet is opposed to a piercing unit while being wound by a winding mechanism and wound up by a winding mechanism. Each time, the soft sheet is finely moved in the X-axis direction by a tension mechanism so as to correct the slack by fixing the soft sheet. The fine movement is performed until the sensor means provided in the tension mechanism detects a predetermined tension,
Corrects looseness of soft sheets such as ceramic green sheets and flexible substrates. (Claim 2) The fixing (clamping) of the soft sheet with the clamp arm between the feeding mechanism and the winding mechanism can produce a fixed state in which the sheet is completely clamped and a semi-fixed state in which the sheet is clamped with a smaller force. it can. In the semi-fixed state, the soft sheet retreats the protruding member that is freely rotatable in the circumferential direction against the urging force of the spring, and the repulsive force of the spring gives the semi-fixed force of the soft sheet. This semi-fixing force gently presses the soft sheet, and controls the feeding mechanism and the winding mechanism in the Y axis direction based on the output signal of the edge detecting means (specifically, for example, the feeding mechanism,
Θ when one of the winding mechanisms is controlled to move in the plus Y axis direction and the other is controlled to move in the minus Y axis direction).
It becomes a fulcrum of rotation of the soft sheet in the direction. Therefore, when the soft sheet is displaced in the θ direction in plan view due to friction with a punch or the like at the time of perforation, the correction can be performed without causing wrinkles in the soft sheet. (Claim 3) Even if the soft sheet may move in parallel in the Y-axis direction due to friction with a piercing tool at the time of punching, correction is made based on the output signal of the edge detecting means while the soft sheet is held in a fixed state. The moving movement mechanism, the feeding mechanism, and the winding mechanism are simultaneously and simultaneously moved in the Y-axis direction in the plus or minus direction to correct any displacement in the Y-axis direction when viewed in plan.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1乃至図7はセラミックグリー
ンシート、フレキシブル基板等の軟質シートの穿孔装置
の実施の形態を図面に基づいて説明する。符号Aは穿孔
装置、1は穿孔具ユニット、2はエッジ検出手段、3は
繰り出し機構、4は巻き取り機構、5はテンション機構
である。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 7 illustrate an embodiment of a punching apparatus for a soft sheet such as a ceramic green sheet and a flexible substrate with reference to the drawings. Reference numeral A denotes a punching device, 1 denotes a punching unit, 2 denotes an edge detecting means, 3 denotes a feeding mechanism, 4 denotes a winding mechanism, and 5 denotes a tension mechanism.

【0008】穿孔具ユニット1は本実施の形態ではパン
チユニット11…を必要数X軸線方向に並設したタイプを
示し、図1、図2に示すように水平な基準面(取付面)
21を上面とする段部を中途高さに形成した機台31の基準
面(取付面)11にX軸線移動機構41、Y軸線移動機構51
を介してX軸線方向、Y軸線方向に制御動可能に設けら
れている。
In the present embodiment, the punch unit 1 is of a type in which a required number of punch units 11 are arranged in the X-axis direction, and as shown in FIGS. 1 and 2, a horizontal reference surface (mounting surface).
An X-axis moving mechanism 41 and a Y-axis moving mechanism 51 are provided on a reference surface (mounting surface) 11 of a machine base 31 having a step part having an intermediate surface at the upper surface 21.
Are provided so as to be controllably movable in the X-axis direction and the Y-axis direction via the.

【0009】パンチユニット11は図面では明らかにしな
いが、側面視コ型状を呈してなり、中央空間をワーク
(軟質シート)Xの搬送空間11aとし、その搬送空間11
aを挟んで正対する上側腕部にパンチ11bを、また下側
腕部においてパンチ11bと対向する上部部分に上面と面
一にしてダイス(図示せず)を埋設状に備えている。無
論パンチとダイスは交換可能である。各々のパンチユニ
ット11…は各々形状を異にするパンチ11bを備えてな
り、それによって異なる形状の孔を穿孔することができ
る。また、この穿孔具ユニット1はパンチユニット群の
一つにCCDカメラを設けた芯出し用のカメラユニット
61を備えている。尚、穿孔具ユニット1はパンチに限定
されるものではなく、ドリルであっても良いし、また打
ち抜き型であっても良いものである。
Although not shown in the drawings, the punch unit 11 has a U-shape in a side view, and a central space is a transfer space 11a for a work (soft sheet) X.
A punch 11b is provided in an upper arm portion facing directly opposite to a, and a die (not shown) is buried in an upper portion of the lower arm portion facing the punch 11b so as to be flush with the upper surface. Of course, punches and dice are interchangeable. Each of the punch units 11 is provided with a punch 11b having a different shape, so that holes having different shapes can be formed. The punch unit 1 is a centering camera unit provided with a CCD camera in one of the punch units.
61 is equipped. The punch unit 1 is not limited to a punch, but may be a drill or a punch type.

【0010】X軸線移動機構41は前記する穿孔具ユニッ
ト1をX軸線方向に移動するもので、その穿孔具ユニッ
ト1を支承する台41aと、前記基準面(取付面)21にX
軸線方向に沿って平行に並設され前記台41aを挿通する
ガイド棒41b、41bと、ガイド棒41b、41b間にX軸線
方向に設けられ前記台41aを挿通するネジ棒41cと、前
記台41aに各々設けられネジ棒41cに螺合するプーリ、
スプロケット(図示せず)と、同様に台41aに設けられ
プーリ、スプロケットに連絡する駆動源(例えばサーボ
モータ)(図示せず)等から構成され、駆動源の駆動で
プーリ、スプロケットを回転させることでそのプーリ、
スプロケットをネジ棒41cを中心に回転させて穿孔具ユ
ニット1を支承する台41aをX軸線方向に移動させる。
The X-axis moving mechanism 41 moves the piercing tool unit 1 in the X-axis direction, and a base 41a for supporting the piercing tool unit 1 and the reference surface (mounting surface) 21 have an X-axis moving mechanism.
Guide rods 41b, 41b arranged in parallel along the axial direction and penetrating the table 41a; screw rods 41c provided between the guide rods 41b, 41b in the X-axis direction and penetrating the table 41a; Each of which is provided with a pulley that is screwed into the screw rod 41c;
A sprocket (not shown), a pulley similarly provided on the base 41a, a drive source (for example, a servomotor) (not shown) connected to the sprocket, and the like. The drive of the drive source causes the pulley and sprocket to rotate. With its pulley,
By rotating the sprocket about the screw rod 41c, the base 41a supporting the piercing tool unit 1 is moved in the X-axis direction.

【0011】また、Y軸線移動機構51は前記する穿孔具
ユニット1をY軸線方向に移動するもので、前記台41a
の上面にY軸線方向に沿って設けられたネジ棒51aと、
そのネジ棒51aを駆動させる駆動源(例えばサーボモー
タ)51bと、穿孔具ユニット1の下面から垂設しネジ棒
51aに螺合する垂設部(図示せず)と、台41a上面にY
軸線方向に沿って設けたガイド部51cとからなってお
り、駆動源51bの駆動によって台41a上方を穿孔具ユニ
ット1がX軸線方向に移動する。
The Y-axis moving mechanism 51 moves the piercing tool unit 1 in the Y-axis direction.
A screw rod 51a provided along the Y-axis direction on the upper surface of
A driving source (for example, a servo motor) 51b for driving the screw rod 51a and a screw rod
A vertical portion (not shown) that is screwed to 51a, and Y
The drill unit 1 is moved in the X-axis direction above the table 41a by the driving of the drive source 51b.

【0012】繰り出し機構3はロール状に巻回されたセ
ラミックグリーンシート、フレキシブル基板等の軟質シ
ート(ワーク)Xの巻軸13を回転可能に設けると共に、
巻軸13の下流側に送りローラ23を設けている。
The feeding mechanism 3 rotatably mounts a winding shaft 13 of a soft sheet (work) X such as a ceramic green sheet or a flexible substrate wound in a roll shape.
A feed roller 23 is provided downstream of the winding shaft 13.

【0013】巻き取り機構4は繰り出し機構3とは対称
的な働きをするものであり、上流側に送りローラ14を、
またその下流側に軟質シートXの巻軸24を各々備えてい
る。
The winding mechanism 4 functions symmetrically with the unwinding mechanism 3, and has a feed roller 14 on the upstream side.
Further, a winding shaft 24 of the soft sheet X is provided on the downstream side.

【0014】この繰り出し機構3と巻き取り機構4は各
々モータ駆動とし、図示するように各々Y軸線方向に個
別に制御動可能とする支持台33、34に支持されている。
The feeding mechanism 3 and the winding mechanism 4 are each driven by a motor, and are supported by support bases 33 and 34 which can be individually controlled and moved in the Y-axis direction as shown in the figure.

【0015】各々の支持台33、34をY軸線方向に制御動
させる機構は前記するY軸線移動機構51と同様な構造に
なっている。
The mechanism for controlling and moving each of the supports 33 and 34 in the Y-axis direction has the same structure as the Y-axis moving mechanism 51 described above.

【0016】尚、符号6はピンチローラであり、上下昇
降動用の駆動源(例えばシリンダ等)で支持され、軟質
シートXの巻き取り量(送り量)を測定する機能を有す
る。また符号2はエッジ検出手段であり、穿孔具ユニッ
ト1を挟んで上方位置に設置されたリニアセンサー等で
あり、軟質シートXのエッジ(長辺側)を検出するもの
である。
Reference numeral 6 denotes a pinch roller, which is supported by a drive source (for example, a cylinder) for vertical movement and has a function of measuring a winding amount (feed amount) of the soft sheet X. Reference numeral 2 denotes an edge detecting means, which is a linear sensor or the like installed at an upper position with the punch unit 1 interposed therebetween, and detects an edge (long side) of the soft sheet X.

【0017】テンション機構5は図3に示すように穿孔
具ユニット1よりも上流側に配設した上下一対のクラン
プアーム15、15と、クランプアーム15、15を接近・離間
させるアクチュエータ25と、上下一対のクランプアーム
15、15の支持部35をX軸線方向に微動させるテンション
用移動機構45と、そのテンション用移動機構45と前記支
持部35との間に設けられた補正動用移動機構55と、軟質
シートXを挟持した固定状態、その挟持力よりも弱い挟
持力で軟質シートXを半挟持する挟持力可変機構65と、
軟質シートXの所定の張力を検出した時X軸線方向への
微動を停止するセンサー手段75とを備えている。
As shown in FIG. 3, the tension mechanism 5 includes a pair of upper and lower clamp arms 15, 15 disposed upstream of the piercing device unit 1, an actuator 25 for moving the clamp arms 15, 15 toward and away from each other, A pair of clamp arms
A tension moving mechanism 45 for finely moving the support portions 35 of the 15 and 15 in the X-axis direction, a correcting motion moving mechanism 55 provided between the tension moving mechanism 45 and the support portion 35, and a soft sheet X. A clamping force variable mechanism 65 for half-clamping the soft sheet X with a clamping force weaker than the clamping state,
A sensor means 75 for stopping fine movement in the X-axis direction when a predetermined tension of the soft sheet X is detected.

【0018】クランプアーム15、15はX軸線方向に対し
て直交する上下一対の接近・離間可能な水平帯状板から
なり、図3に示すように側面視略上向きコ型を呈する支
持部35で支持されている。その支持部35は平行片部35a
の上端部にZ軸のアクチュエータ(リニアモータ、サー
ボモータ等)25、25を備えると共に、そのその下位に上
位のフクランプアーム15を下位のクランプアーム15に接
触させるガイド空間35cを凹設し、その上位のクランプ
アーム15にそのアクチュエータ25の駆動軸25aを連結し
ている。
The clamp arms 15, 15 are formed of a pair of upper and lower horizontal strips which are perpendicular to the X-axis direction and can be approached and separated from each other. As shown in FIG. Have been. The supporting part 35 is a parallel piece 35a.
A Z-axis actuator (linear motor, servomotor, etc.) 25, 25 is provided at the upper end of the, and a guide space 35c for making the upper clamp arm 15 contact the lower clamp arm 15 is recessed thereunder, The drive shaft 25a of the actuator 25 is connected to the upper clamp arm 15.

【0019】このZ軸のアクチュエータ25はクランプア
ーム15、15の対面同士を軟質シートXを隔てて間接的に
接触させる固定状態時と後述する半固定状態時を作るよ
うに制御されている。
The Z-axis actuator 25 is controlled so as to make a fixed state where the opposing faces of the clamp arms 15 and 15 are indirectly contacted with the soft sheet X therebetween and a semi-fixed state which will be described later.

【0020】補正動用移動機構55は図3に示すように固
定台55a、支持部35の底片部35dから垂設するナット部
35e、固定台55aにY軸線方向に沿って設けられナット
部35eに螺嵌するネジ棒55b、そのネジ棒55bを回転さ
せる駆動源(例えばサーボモータ)55cからなってい
る。
As shown in FIG. 3, the correction movement moving mechanism 55 includes a fixing base 55a, and a nut portion vertically suspended from a bottom piece 35d of the support portion 35.
35e, a screw bar 55b provided on the fixed base 55a along the Y-axis direction and screwed into the nut portion 35e, and a drive source (for example, a servomotor) 55c for rotating the screw bar 55b.

【0021】固定台55aは内部を中空とする垂設体55d
をY軸線方向に沿って垂設しており、上面には支持部35
のガイドレール55eをY軸線方向に向いて突設し、この
ガイドレール55eが前記支持部35をY軸線方向に移動可
能に支承している。
The fixed base 55a is a vertical body 55d having a hollow inside.
Are suspended along the Y-axis direction, and a support portion 35 is provided on the upper surface.
The guide rail 55e projects in the Y-axis direction, and the guide rail 55e supports the support portion 35 so as to be movable in the Y-axis direction.

【0022】この補正動用移動機構55、前記繰り出し機
構3及び繰り出し機構4のY軸線方向制御動用の駆動源
は前記するエッジ検出手段2に連係してある。
A drive source for the Y-axis direction control movement of the moving mechanism 55 for correcting movement, the feeding mechanism 3 and the feeding mechanism 4 is linked to the edge detecting means 2 described above.

【0023】テンション用移動機構45は図1乃至図3に
示すように前記垂設部55dに収容された駆動源45aと前
記するX軸線移動機構41とで構成されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, the tension moving mechanism 45 includes a drive source 45a housed in the vertical portion 55d and the X-axis moving mechanism 41 described above.

【0024】その駆動源45aは図3に示すようにネジ棒
41cに螺合するプーリ、スプロケットにサーボモータ等
のアクチュエータの駆動力が伝達される仕組みになって
おり、このアクチュエータの駆動によってプーリ、スプ
ロケットがネジ棒41cを中心に回転してガイド棒41b、
41bをガイドとして前記上下一対のクランプアーム15、
15を備えた支持部35をX軸線方向に微動させて、軟質シ
ートXにテンションをかけるようになっている。
The driving source 45a is a screw rod as shown in FIG.
The driving force of an actuator such as a servomotor is transmitted to a pulley and a sprocket screwed into 41c. By driving the actuator, the pulley and the sprocket rotate around the screw rod 41c to guide the guide rod 41b.
The pair of upper and lower clamp arms 15, using 41b as a guide,
The support portion 35 provided with 15 is slightly moved in the X-axis direction to apply tension to the soft sheet X.

【0025】前記センサー手段75は前記するガイド空間
35cの底面から立設し上端を下位のクランプアーム15に
固定した起歪体75aにストレーンゲージ75bを固着し、
このストレーンゲージ75bを制御部Yに連係して構成し
てある。
The sensor means 75 is provided in the guide space described above.
A strain gauge 75b is fixed to a flexure element 75a which is erected from the bottom of 35c and whose upper end is fixed to the lower clamp arm 15,
The strain gauge 75b is linked to the control unit Y.

【0026】挟持力可変機構65は図3、図4に示すよう
に上下のクランプアーム15、15の中央部位に設けられて
いる。この挟持力可変機構65は各々のクランプアーム1
5、15の対面から突出する突子65a、65aをリニアガイ
ド等のガイド手段65bで回転可能(周方向に遊転可能)
に支持すると共にその突子65a、65aを介設したバネ
(圧縮バネ)65c、65cで突出方向に付勢し、そのバネ
65cの反力に抗して押さえると突子65aが、それら突子
65a、ガイド手段65b、バネ(圧縮バネ)65cを収容す
る収容ケース65d内に没入する構造とし、クランプアー
ム15、15で軟質シートを挟持する固定状態(挟持状態)
と半挟持する半固定状態(半挟持状態)にすることがで
きる。
The variable clamping force mechanism 65 is provided at the center of the upper and lower clamp arms 15, 15, as shown in FIGS. This clamping force variable mechanism 65 is provided for each clamp arm 1
The protrusions 65a, 65a protruding from the facing surfaces of 5, 15 can be rotated by guide means 65b such as a linear guide (can rotate freely in the circumferential direction).
And springs (compression springs) 65c, 65c provided with the projections 65a, 65a interposed therebetween, and are urged in the projecting direction by the springs.
If you hold down against the reaction force of 65c, the spike 65a
65a, guide means 65b, and a structure in which it is immersed in a housing case 65d for housing a spring (compression spring) 65c, and a fixed state in which a soft sheet is held by the clamp arms 15, 15 (a holding state)
And a semi-fixed state (semi-clamped state).

【0027】制御部Yは、軟質シートXを穿孔する所定
の制御プログラムを記憶するROM、演算処理に必要な
穿孔パターン等を必要なデータを記憶するRAM、その
データに基づいて制御プログラムを実行するCPU、及
び繰り出し機構3及び巻き取り機構4の駆動源、そのY
軸線方向の駆動源、エッジ検出手段2、クランプアーム
のテンション用移動機構45、補正動用移動機構55、挟持
力可変機構65、ピンチローラ6、センサー手段75、穿孔
具ユニット4のX軸線移動機構41、Y軸線移動機構51等
の各インターフェースを備えている。
The control unit Y includes a ROM for storing a predetermined control program for punching the soft sheet X, a RAM for storing data necessary for a punching pattern and the like required for arithmetic processing, and executes the control program based on the data. CPU, drive source of the feeding mechanism 3 and the winding mechanism 4, and its Y
Axial drive source, edge detecting means 2, moving mechanism 45 for tensioning clamp arm, moving mechanism 55 for correcting movement, variable clamping force mechanism 65, pinch roller 6, sensor means 75, X-axis moving mechanism 41 for piercing tool unit 4. , Y-axis moving mechanism 51 and the like.

【0028】以上の構成になっているセラミックスグリ
ーンシート、フレキシブル基板等の軟質シートでは、ま
ずロール状に巻回された軟質シートXを繰り出し機構3
の送りローラ23上、クランプアーム15、15間、穿孔具ユ
ニット1の搬送空間11a、ピンチローラ6と受けローラ
16との間、巻き取り機構4の送りローラ14上を通してそ
の遊端を巻軸24に巻着する。
In the soft sheet such as the ceramic green sheet and the flexible substrate having the above structure, first, the soft sheet X wound in a roll shape is fed out.
On the feed roller 23, between the clamp arms 15, 15, the transport space 11a of the punch unit 1, the pinch roller 6, and the receiving roller.
The free end of the winding mechanism 4 is wound around the winding shaft 24 through the feed roller 14 of the winding mechanism 4.

【0029】次に装置自体を作動させると、エッジ検出
手段2で軟質シートXの両側部分(長縁部分)を検出
し、ピンチローラ6を上昇させて軟質シートXから離し
且つ繰り出し機構3、巻き取り機構4におけるY軸線方
向の制御動用の駆動源を作動させて繰り出し機構3、巻
き取り機構4を個別にY軸線方向にプラス方向またはマ
イナス方向に制御動して平面視θ方向の位置ずれを修正
する(図6(b))。次に上下一対のクランプアーム1
5、15で軟質シートXを挟持(固定状態)し、テンショ
ン用移動機構45を作動させて軟質シートXに張力を作用
させる。この軟質シートXの微動は前記するストレーン
ゲージ75bによる歪み量を電気的に変換して換算された
値が制御部Yに記憶されている所定の張力値に達するま
で行われる。この制御部Yに記憶されている所定の張力
は穿孔対象になっている軟質シートXの材質毎で異な
り、テンションでの切断は勿論のこと塑性変形しない最
適値である(図5(a)(b))。そして、穿孔具ユニ
ット1がX・Y軸線方向に制御動されて所定の穿孔パタ
ーンで穿孔対象部位を穿孔する。この穿孔時には穿孔具
ユニット1がカメラユニット61を有することから基準点
の芯出し補正を行った後、穿孔が行われる。この穿孔は
繰り出し機構3、巻き取り機構4による定量繰り出し、
定量巻き取りの度に行われるが、穿孔時の穿孔具(パン
チ)との穿孔摩擦によって軟質シートXが平面視でθ方
向に微回動したり(図6(a))、平面視で平行に微移
動することがある(図7(a))。その時には前記エッ
ジ検出手段2が常時軟質シートXの両側部分(長縁部
分)を検出していることから、その出力信号に基づいて
平面視でθ方向に微回動していると制御部Yが判断した
場合にはクランプアーム15、15を前記半固定状態すると
共にピンチローラ6を上昇させて軟質シートXから離し
且つ繰り出し機構3、巻き取り機構4におけるY軸線方
向の制御動用の駆動源を作動させて繰り出し機構3、巻
き取り機構4を個別にY軸線方向にプラス方向またはマ
イナス方向に制御動して平面視θ方向の位置ずれを修正
する(図6(b))。この修正時には突子65aが周方向
に遊転可能になっていることから軟質シートXに皺等を
生成することはない。一方、前記出力信号に基づいて平
面視で平行に微移動していると制御部Yが判断した場合
には挟持(固定状態)したままピンチローラ6を上昇さ
せて軟質シートXから離し且つ補正動用移動機構55、繰
り出し機構3、巻き取り機構4におけるY軸線方向の制
御動用の駆動源をY軸線方向のプラス側またはマイナス
側に同時に同量制御動して平面視での平行な位置ずれを
修正する(図7(b))。
Next, when the apparatus itself is operated, the edge detecting means 2 detects both side portions (long edge portions) of the soft sheet X, raises the pinch roller 6 to separate it from the soft sheet X, and feeds out the mechanism 3 and the winding mechanism. By actuating the drive source for control movement in the Y-axis direction of the take-up mechanism 4, the feed-out mechanism 3 and the take-up mechanism 4 are individually controlled to move in the plus or minus direction in the Y-axis direction to reduce the positional deviation in the θ direction in plan view. Correct (FIG. 6B). Next, a pair of upper and lower clamp arms 1
The soft sheet X is pinched (fixed state) by 5 and 15, and the tension moving mechanism 45 is operated to apply tension to the soft sheet X. The fine movement of the soft sheet X is performed until the value obtained by electrically converting the amount of strain by the strain gauge 75b reaches a predetermined tension value stored in the control unit Y. The predetermined tension stored in the control unit Y differs depending on the material of the soft sheet X to be perforated, and is an optimal value that does not cause cutting by tension but also plastic deformation (FIG. 5A). b)). Then, the piercing tool unit 1 is controlled to move in the X and Y axis directions to pierce the target portion in a predetermined piercing pattern. Since the piercing tool unit 1 has the camera unit 61 during the piercing, the piercing is performed after the centering correction of the reference point is performed. This perforation is carried out by the feeding mechanism 3 and the winding mechanism 4 in a fixed amount.
This is performed every time a fixed amount of winding is performed. However, the soft sheet X slightly rotates in the θ direction in a plan view due to punching friction with a punch (punch) at the time of punching (FIG. 6A), or is parallel in a plan view. (FIG. 7A). At that time, since the edge detecting means 2 always detects both side portions (long edge portions) of the soft sheet X, the control section Y determines that the control section Y is slightly rotated in the θ direction in plan view based on the output signal. Is determined, the clamp arms 15 and 15 are set in the semi-fixed state, and the pinch roller 6 is raised to separate from the soft sheet X and the driving source for the control movement in the Y-axis direction in the feeding mechanism 3 and the winding mechanism 4 is set. When it is operated, the feeding mechanism 3 and the winding mechanism 4 are individually controlled and moved in the plus direction or the minus direction in the Y axis direction to correct the positional deviation in the θ direction in plan view (FIG. 6B). At the time of this correction, wrinkles and the like are not generated on the soft sheet X because the protrusion 65a is freely rotatable in the circumferential direction. On the other hand, when the control unit Y determines that it is slightly moving in parallel in a plan view based on the output signal, the pinch roller 6 is lifted while being pinched (fixed state) to separate from the soft sheet X and perform the correction operation. The driving source for the control movement in the Y-axis direction in the moving mechanism 55, the feeding mechanism 3, and the winding mechanism 4 is simultaneously moved to the plus side or the minus side in the Y-axis direction by the same amount to correct the parallel positional deviation in plan view. (FIG. 7B).

【0030】前記平面視でのθ方向への微回動や平面視
での平行な微移動は穿孔後に軟質シートXを定量送りし
て再度クランプアーム15、15で軟質シートXをクランプ
して所定の張力を掛けた後で且つ穿孔前に行われる。
The fine rotation in the θ direction in the plan view and the parallel fine movement in the plan view are performed by fixedly feeding the soft sheet X after perforating and clamping the soft sheet X again by the clamp arms 15 and 15. And before drilling.

【0031】このようにして軟質シートXを繰り出し、
巻き取りながらロール状の巻回された軟質シートXに所
定の穿孔を施す。
In this way, the soft sheet X is fed out,
A predetermined perforation is made in the rolled soft sheet X while being wound.

【0032】[0032]

【発明の効果】本発明は以上のように構成したので下記
の利点がある。 (請求項1)ロール状に巻回されたセラミックグリーン
シート、フレキシブル基板等の軟質シートを繰り出しな
がら穿孔するに際し、緩みや己の自重で自ずと弛む軟質
シートに対して最適な所定の張力を与えてその弛みを矯
正するようにしているから、所望する位置に正確に穿孔
することができる。 (請求項2)その上、軟質シートに張力を付与するテン
ション機構が上下一対のクランプアーム、そのクランプ
アームから軟質シート方向にバネ付勢された突子を周方
向に遊転可能に収容した挟持力可変機構を有する場合に
はその突子が軟質シートの平面視θ方向の回動支点にな
るので、エッジ検出手段の出力信号に基づいて前記挟持
力可変機構で軟質シートを半固定状態すると共に繰り出
し機構、巻き取り機構をY軸線方向に制御動することに
よって平面視θ方向の軟質シートの位置ずれを修正でき
る。そのため、穿孔具との穿孔摩擦等の影響で繰り出し
機構と巻き取り機構との間の軟質シート部分が平面視θ
方向に回動するようなことがあっても軟質シートに皺等
穿孔誤差の要因を招かずにその位置ずれを修正できる。 (請求項3)また、前記軟質シートに張力を付与するテ
ンション機構はY軸線方向に制御動するようになってい
ることから、エッジ検出手段の出力信号に基づいて挟持
力可変機構で軟質シートを固定状態すると共に、補正動
用移動機構、繰り出し機構、巻き取り機構をY軸線方向
に制御動することによって穿孔具との穿孔摩擦等の影響
で繰り出し機構と巻き取り機構との間の軟質シート部分
が平面視で平行な位置ずれが生じた時にそれを修正で
き、請求項2と同様に軟質シートに所望穿孔位置に正し
く穿孔できる。
As described above, the present invention has the following advantages. (Claim 1) When perforating a soft sheet such as a ceramic green sheet or a flexible substrate wound in a roll shape while feeding out the sheet, an optimum predetermined tension is applied to the soft sheet loosened or loosened by its own weight. Since the slack is corrected, it is possible to accurately pierce a desired position. (Claim 2) In addition, a tension mechanism for applying tension to the soft sheet includes a pair of upper and lower clamp arms, and a clamp accommodating a spring biased from the clamp arm toward the soft sheet so as to be freely rotatable in the circumferential direction. In the case of having a variable force mechanism, the protrusion serves as a fulcrum of rotation of the soft sheet in the θ direction in plan view, so that the soft sheet is semi-fixed by the clamping force variable mechanism based on the output signal of the edge detecting means, and By controlling and moving the feeding mechanism and the winding mechanism in the Y-axis direction, the displacement of the soft sheet in the θ direction in plan view can be corrected. Therefore, the soft sheet portion between the feeding mechanism and the winding mechanism is affected by the perforation friction with the perforator, etc.
Even if the flexible sheet is rotated in the direction, the displacement can be corrected without causing a perforation error such as wrinkles in the soft sheet. (Claim 3) Further, since the tension mechanism for applying tension to the soft sheet is controlled to move in the Y-axis direction, the soft sheet is held by the pinching force variable mechanism based on the output signal of the edge detecting means. In the fixed state, the soft sheet portion between the feeding mechanism and the winding mechanism is controlled by moving the correcting movement moving mechanism, the feeding mechanism, and the winding mechanism in the Y-axis direction under the influence of the punching friction with the punch. When a parallel displacement occurs in plan view, it can be corrected, and the soft sheet can be correctly perforated at a desired perforation position as in the second aspect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】穿孔装置の正面図。FIG. 1 is a front view of a punching device.

【図2】穿孔装置の平面図。FIG. 2 is a plan view of the punching device.

【図3】テンション機構の側面断面図。FIG. 3 is a side sectional view of the tension mechanism.

【図4】テンション機構の要部の拡大図で一部切欠して
示し、(a)は挟持する前の状態を示す。(b)は半固
定状態を示す。(c)は完全固定状態を示す。
FIG. 4 is an enlarged view of a main part of the tension mechanism, partially cut away, and FIG. 4 (a) shows a state before clamping. (B) shows a semi-fixed state. (C) shows a completely fixed state.

【図5】穿孔途中の正面図で概略的に示し、(a)はテ
ンションを掛ける前、(b)はテンションを掛けた後を
示す。
FIG. 5 schematically shows a front view in the middle of perforation, (a) showing a state before tension is applied, and (b) showing a state after tension is applied.

【図6】軟質シートの平面図を示し、(a)は軟質シー
トがθ方向に傾斜している状態を示す。(b)はそれを
修正した状態を示す。
FIG. 6 is a plan view of a soft sheet, and (a) shows a state in which the soft sheet is inclined in the θ direction. (B) shows a state where it has been corrected.

【図7】軟質シートの平面図を示し、(a)は軟質シー
トがY方向に微動している状態を示す。(b)はそれを
修正した状態を示す。
FIG. 7 is a plan view of the soft sheet, and FIG. 7A shows a state in which the soft sheet slightly moves in the Y direction. (B) shows a state where it has been corrected.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

X :軟質シート(ワーク) 3 :繰り出し機構 4 :巻き取り機構 1 :穿孔具ユニッ
ト 5 :テンション機構 2 :センサー手段 15、15 :クランプアーム 45 :テンション用
移動機構 35 :支持部 55 :補正動用移動
機構 65 :挟持力可変機構 2 :エッジ検出手
段 65a:突子 65c:バネ 75 :センサー手段 31 :機台 6 :ピンチローラ
X: Soft sheet (work) 3: Unreeling mechanism 4: Rewind mechanism 1: Punch unit 5: Tension mechanism 2: Sensor means 15, 15: Clamp arm 45: Tension moving mechanism 35: Supporting part 55: Movement for correction movement Mechanism 65: Variable clamping force mechanism 2: Edge detection means 65a: Protrusion 65c: Spring 75: Sensor means 31: Machine base 6: Pinch roller

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 セラミックグリーンシート、フレキシブ
ル基板等の軟質シートをX軸線方向に繰り出す繰り出し
機構及びそれをロール状に巻き取る巻き取り機構と、そ
の繰り出し機構、巻き取り機構との間に配設されY軸線
方向、X軸線方向に制御動させて軟質シートに穿孔を施
す穿孔具ユニットと、前記繰り出し機構、巻き取り機構
間の軟質シートを固定してX軸線方向に微動する固定解
除可能なテンション機構とを有し、該テンション機構は
軟質シートの所定の張力を検出した時X軸線方向への微
動を停止するセンサー手段を備えているセラミックグリ
ーンシート、フレキシブル基板等の軟質シートの穿孔装
置。
1. A feeding mechanism for feeding a soft sheet such as a ceramic green sheet or a flexible substrate in the X-axis direction, a winding mechanism for winding the same in a roll shape, and a winding mechanism disposed between the feeding mechanism and the winding mechanism. A punch unit for punching the soft sheet by controlling the movement in the Y-axis direction and the X-axis direction; and a tension-releasable tension mechanism for fixing the soft sheet between the feeding mechanism and the winding mechanism and finely moving the sheet in the X-axis direction. A perforation device for a soft sheet such as a ceramic green sheet or a flexible substrate, comprising a sensor means for stopping fine movement in the X-axis direction when a predetermined tension of the soft sheet is detected.
【請求項2】 前記テンション機構が、軟質シートをX
軸線方向に対して直交して上下から挟持する接近・離間
可能な一対のクランプアームと、そのクランプアームの
支持部をX軸線方向に微動させるテンション用移動機構
と、前記支持部とテンション用移動機構との間に設けら
れ支持部をY軸線方向に制御動させる補正動用移動機構
と、前記クランプアームに設けられ軟質シートを挟持し
た固定状態とその挟持力よりも弱い挟持力で軟質シート
を半挟持する半固定状態を作り出す挟持力可変機構とを
備え、機台に軟質シートのエッジを検出するエッジ検出
手段を有し、また繰り出し機構、巻き取り機構はY軸線
方向に制御動可能に構成してなり、前記挟持力可変機構
はクランプアームに周方向に遊転可能な状態で収容され
る突子を軟質シート方向に突出するようにバネで付勢し
た構成とし、前記エッジ検出手段の出力信号に基づいて
前記半固定状態で繰り出し機構、巻き取り機構がY軸線
方向に制御動される請求項1記載のセラミックグリーン
シート、フレキブル基板等の軟質シートの穿孔装置。
2. The tension mechanism according to claim 1, wherein
A pair of clamp arms which can be approached and separated from each other in a direction perpendicular to the axial direction and which can be approached / separated, a tension moving mechanism for finely moving the support portion of the clamp arm in the X-axis direction, and the support portion and the tension moving mechanism And a moving mechanism for correcting movement which moves the supporting portion in the Y-axis direction and a fixed state provided on the clamp arm, and the soft sheet is half-held with a holding force weaker than the holding force. A variable clamping force mechanism for creating a semi-fixed state, and an edge detection means for detecting the edge of the soft sheet on the machine base.The unwinding mechanism and the winding mechanism are configured to be controllably movable in the Y-axis direction. The clamping force variable mechanism has a configuration in which a protrusion accommodated in the clamp arm in a state of being freely rotatable in a circumferential direction is biased by a spring so as to protrude in a soft sheet direction, Tsu di mechanism feeding in the semi-fixed state based on the output signal of the detecting means, the winding mechanism ceramic green sheet according to claim 1, wherein the controlled movement in the Y-axis direction, perforating apparatus soft sheet such as Furekiburu substrate.
【請求項3】 前記エッジ検出手段の出力信号に基づい
て前記半固定状態で繰り出し機構、巻き取り機構がY軸
線方向に制御動されるものに代えて、エッジ検出手段の
出力信号に基づいて前記固定状態で補正動用移動機構、
繰り出し機構、巻き取り機構がY軸線方向に制御動され
る請求項2記載のセラミックグリーンシート、フレキシ
ブル基板等の軟質シートの穿孔装置。
3. The apparatus according to claim 2, wherein the feeding mechanism and the winding mechanism are controlled and moved in the Y-axis direction in the semi-fixed state based on an output signal of the edge detecting means. Moving mechanism for correction movement in fixed state,
The punching device for a soft sheet such as a ceramic green sheet or a flexible substrate according to claim 2, wherein the feeding mechanism and the winding mechanism are controlled and moved in the Y-axis direction.
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