JP2849697B2 - 2-DOF vibration microactuator - Google Patents

2-DOF vibration microactuator

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JP2849697B2
JP2849697B2 JP5078915A JP7891593A JP2849697B2 JP 2849697 B2 JP2849697 B2 JP 2849697B2 JP 5078915 A JP5078915 A JP 5078915A JP 7891593 A JP7891593 A JP 7891593A JP 2849697 B2 JP2849697 B2 JP 2849697B2
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electrode
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田 孝 臼
田 章 梅
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、静電力または電磁力に
よる2自由度振動型マイクロアクチュエータに関するも
のであり、さらに詳しくは、光スキャナーのミラー駆動
機構、振動型の雰囲気センサ、ディスプレイの光シャッ
ター等に有効に利用できる2自由度振動型マイクロアク
チュエータに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a two-degree-of-freedom vibration type microactuator using electrostatic force or electromagnetic force, and more particularly to a mirror driving mechanism of an optical scanner, a vibration type atmosphere sensor, and an optical shutter of a display. The present invention relates to a two-degree-of-freedom vibration type micro-actuator that can be effectively used for example.

【0002】[0002]

【従来の技術】図6に示すような、平行平板状に電極を
配置した1自由度のねじり振動子は、その構造が簡単な
ことから、マイクロアクチュエータの研究初期から提案
されている(一例として K.E.Petersen:"Silicon Torsi
onal Scanning Mirror",IBM J.Res.Develop.,vol.24(19
80)P.631参照)。また、上記ねじり振動子をカンチレバ
ー方式とした1自由度静電駆動型振動子も提案されてい
る(河村他:”Siを用いたマイクロメカニクスの研
究”、昭和61年度精密工学会秋季大会学術講演会論文
集、P.753 )。
2. Description of the Related Art As shown in FIG. 6, a one-degree-of-freedom torsional vibrator having electrodes arranged in a parallel plate shape has been proposed since the early days of microactuator research because of its simple structure. KEPetersen: "Silicon Torsi
onal Scanning Mirror ", IBM J. Res.Develop., vol. 24 (19
80) See page 631). In addition, a one-degree-of-freedom electrostatic drive type vibrator using the above-mentioned torsional vibrator as a cantilever type has been proposed (Kawamura et al .: “Study of micromechanics using Si”). Proceedings, p.753).

【0003】上記図6の1自由度静電駆動型ねじり振動
子は、ガラス基板1上の両端部にスぺーサ2を介してシ
リコンの単結晶板からなる可動電極板3の両端固定部3
aを固定し、この可動電極板3の両端固定部3a間に、
細巾のトーションバー3bを介して可動電極部3cを支
持させ、また、その可動電極部3cに電極間隔を置いて
対向させる固定電極4を、ガラス基板1上において上記
可動電極部3cに対し平行配置している。可動電極板3
と固定電極4との間にはスイッチ6を介して電源5が接
続される。
[0003] The one-degree-of-freedom electrostatic drive type torsional vibrator shown in FIG. 6 has fixed ends 3 of a movable electrode plate 3 made of a silicon single crystal plate at both ends on a glass substrate 1 via spacers 2.
a between the fixed portions 3a at both ends of the movable electrode plate 3.
A fixed electrode 4 supporting the movable electrode portion 3c via the narrow torsion bar 3b and facing the movable electrode portion 3c at an electrode interval is provided in parallel with the movable electrode portion 3c on the glass substrate 1. Have been placed. Movable electrode plate 3
A power supply 5 is connected between the power supply 5 and the fixed electrode 4 via a switch 6.

【0004】上記構成を有するねじり振動子は、可動電
極部3cと固定電極4との間に電圧を印加すると、静電
引力によりトーションバー3bを軸として可動電極部3
cが回転するものである。しかるに、静電引力は電極間
隔の二乗に反比例するため、この種の静電アクチュエー
タにおいては電極間隔を小さくすることが望まれる。し
かし、上述した1自由度の構造では、可動電極部3cが
電極と可動部を兼ねるため、電極間隔を狭くすると変位
(回転角)に制約が生じ、また可動範囲を大きくとるた
めには電極間隔を大きくする必要がある。このため、低
電圧駆動と大振幅の両立が困難であるという問題があ
る。
In the torsional vibrator having the above structure, when a voltage is applied between the movable electrode portion 3c and the fixed electrode 4, the movable electrode portion 3 is rotated about the torsion bar 3b by electrostatic attraction.
c rotates. However, since the electrostatic attractive force is inversely proportional to the square of the electrode interval, it is desired to reduce the electrode interval in this type of electrostatic actuator. However, in the above-described structure having one degree of freedom, the movable electrode portion 3c serves as both an electrode and a movable portion. Therefore, if the electrode interval is reduced, the displacement (rotation angle) is restricted. Need to be larger. Therefore, there is a problem that it is difficult to achieve both low voltage driving and large amplitude.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、電圧印加等により駆動する駆動部分と可動部分を分
離して、2自由度の振動系を構成させることにより、電
極間隔(電磁力伝達間隔)を狭くして低電圧駆動を可能
にすると同時に、可動部分の可動範囲を確保して大振幅
を得られるようにした2自由度振動型マイクロアクチュ
エータを提供することにある。
The technical problem of the present invention is to separate a driving part and a movable part which are driven by applying a voltage or the like to form a two-degree-of-freedom vibration system so that the electrode spacing (electromagnetic force) can be reduced. Another object of the present invention is to provide a two-degree-of-freedom vibrating microactuator that has a small transmission interval and enables low-voltage driving, and at the same time secures a movable range of a movable part to obtain a large amplitude.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の2自由度振動型マイクロアクチュエータは、
周期的な静電力が外力として与えられる駆動板を、第1
の弾性連結部材を介して固定部で弾性支持させ、上記駆
動板に第2の弾性連結部材を介して可動板を弾性的に結
合し、上記駆動板と可動板にそれぞれの弾性連結部材に
おいて弾性的に変位する2自由度の振動系を形成し、上
記外力による励振振動数を上記駆動板系の固有振動数に
等しく設定して2自由度振動系の反共振振動数で駆動さ
れる振動系を形成することによって構成される。
The two-degree-of-freedom vibration type microactuator of the present invention for solving the above-mentioned problems is provided by:
The drive plate periodic electrostatic force is applied as an external force, first
The movable plate is elastically connected to the driving plate via a second elastic connecting member, and the driving plate and the movable plate are elastically supported by the respective elastic connecting members. A vibration system driven by an anti-resonance frequency of a two-degree-of-freedom vibration system by forming a two-degree-of-freedom vibration system that is displaced in a dynamic manner, and setting an excitation frequency of the external force equal to a natural frequency of the drive plate system. Is formed.

【0007】[0007]

【作用】上記構成を有する2自由度振動型マイクロアク
チュエータにおいては、駆動板と可動板がそれぞれ振動
系を構成し、駆動板に外部から作用させる周期的な静電
力または電磁力の周波数を適切に設定すると、駆動板の
振幅をほぼ0とし、可動板の振幅を有限の値に設定する
ことができる。ここで、駆動板を駆動する静電力や電磁
力は、それを伝達する距離の二乗に反比例するので、駆
動板の振幅が小さい程、上記距離を短縮し、より低電圧
(低電力)で可動板の可動範囲を確保し、大振幅を得る
ことができる。
In the two-degree-of-freedom vibrating microactuator having the above-described structure, the driving plate and the movable plate constitute a vibration system, and the frequency of the periodic electrostatic force or electromagnetic force applied to the driving plate from the outside is appropriately adjusted. When set, the amplitude of the driving plate can be set to approximately 0, and the amplitude of the movable plate can be set to a finite value. Here, the electrostatic force or electromagnetic force for driving the driving plate is inversely proportional to the square of the distance transmitting the driving plate. Therefore, the smaller the amplitude of the driving plate, the shorter the distance and the lower the voltage (low power). The movable range of the plate is secured, and a large amplitude can be obtained.

【0008】[0008]

【実施例】図1及び図2は、本発明に係るマイクロアク
チュエータの実施の一例を示している。図1に示す2自
由度静電駆動型マイクロアクチュエータは、表面にエッ
チングによる所要の加工を施したガラス基板10上に固
定電極18を設けると共に、単結晶シリコンウエハから
異方性エッチングにより所要形状に形成した可動電極板
20を取付けることにより構成したものである。
1 and 2 show an embodiment of a microactuator according to the present invention. The two-degree-of-freedom electrostatic drive type microactuator shown in FIG. 1 has a fixed electrode 18 provided on a glass substrate 10 whose surface has been subjected to required processing by etching, and has a required shape formed by anisotropic etching from a single crystal silicon wafer. It is configured by attaching the formed movable electrode plate 20.

【0009】上記ガラス基板10は、実質的に長方形状
をなし、上記エッチングにより、その表面における長手
方向両端部に可動電極板20の両端固定部21を支持す
るためのスぺーサ11を形成すると共に、上記長手方向
の中心線Lに沿って、図2に明瞭に示す刃型エッジ12
を形成し、さらに、その他の部分を掘削薄肉化し、その
際、特に可動電極板20における後記可動板25に対向
する部分14を一層深くし、これによって、可動電極板
20を全体的にガラス基盤10の表面から離間させた状
態で、その両端固定部21をスぺーサ11上に支持させ
ている。
The glass substrate 10 has a substantially rectangular shape, and a spacer 11 for supporting the fixed portions 21 of the movable electrode plate 20 at both ends in the longitudinal direction on the surface thereof is formed by the etching. In addition, along the longitudinal center line L, the blade-shaped edge 12 clearly shown in FIG.
In addition, the other portions are excavated and thinned, and in particular, the portion 14 of the movable electrode plate 20 facing the later-described movable plate 25 is further deepened, whereby the movable electrode plate 20 is entirely formed on the glass substrate. In a state of being separated from the surface of 10, both end fixing portions 21 are supported on the spacer 11.

【0010】一方、上記可動電極板20は、その両端に
設けた固定部21間において、両側に上記中心線Lに沿
う細巾の第1のトーションバー22を介して電極板23
を連設し、その電極板23内を部分的に切除することに
より、上記中心線Lに沿う第2のトーションバー24を
形成すると共に、それらの第2のトーションバー24を
介して可動板25を連設している。この可動電極板20
における電極板23及び可動板25は、中心線Lの両側
において対称形をなすものである。
On the other hand, the movable electrode plate 20 is provided between the fixed portions 21 provided at both ends thereof via a narrow first torsion bar 22 along the center line L on both sides thereof.
And the electrode plate 23 is partially cut away to form a second torsion bar 24 along the center line L and a movable plate 25 through the second torsion bar 24. Are connected. This movable electrode plate 20
Are symmetrical on both sides of the center line L.

【0011】上記可動電極板20は、その両端の固定部
21をガラス基板10上のスぺーサ11上にホットワッ
クス等で接着して支持させ、その中心線Lに沿うトーシ
ョンバー22,24をガラス基板10上の刃型エッジ1
2に接触状態で載置(図2)することにより、ガラス基
板10に固定されるものである。また、上記ガラス基板
10上には、中心線Lの一側において、電極板23に対
して電極間隔を置いて固定電極18を対向配置してい
る。この固定電極18は、ガラス基板10上にTiを蒸
着するなどの手段により形成することができるものであ
る。なお、図示を省略しているが、この固定電極18と
上記電極板23とは、電源に接続される。
The movable electrode plate 20 has fixed portions 21 at both ends thereof adhered and supported on the spacer 11 on the glass substrate 10 with hot wax or the like, and torsion bars 22 and 24 along the center line L thereof. Blade type edge 1 on glass substrate 10
2 is fixed to the glass substrate 10 by being placed in a contact state (FIG. 2). Further, on the glass substrate 10, the fixed electrode 18 is disposed on one side of the center line L at an electrode interval with respect to the electrode plate 23. This fixed electrode 18 can be formed by means such as evaporating Ti on the glass substrate 10. Although not shown, the fixed electrode 18 and the electrode plate 23 are connected to a power supply.

【0012】上記構成を有する2自由度振動型マイクロ
アクチュエータにおいては、電極板23と可動板25が
それぞれ振動系を構成し、固定電極18と電極板23と
の間に周期的な電圧を印加すると、静電力により電極板
23が駆動されてトーションバー22,24がねじり振
動し、その周期的な静電力の周波数を適切に設定する
と、電極板23の振幅をほぼ0とし、可動板25の振幅
を有限の値に設定することができる。ここで、電極板2
3を駆動する静電力は電極間隔の二乗に反比例するの
で、駆動板の振幅が小さい程、上記電極間隔を短縮し、
より低電圧で可動板25の可動範囲を確保し、大振幅を
得ることができる。
In the two-degree-of-freedom vibrating microactuator having the above configuration, the electrode plate 23 and the movable plate 25 constitute a vibration system, and a periodic voltage is applied between the fixed electrode 18 and the electrode plate 23. When the electrode plate 23 is driven by the electrostatic force and the torsion bars 22 and 24 are torsionally oscillated, and the frequency of the periodic electrostatic force is appropriately set, the amplitude of the electrode plate 23 is reduced to almost zero, and the amplitude of the movable plate 25 is reduced. Can be set to a finite value. Here, the electrode plate 2
Since the electrostatic force for driving 3 is inversely proportional to the square of the electrode interval, the smaller the amplitude of the drive plate, the shorter the electrode interval,
The movable range of the movable plate 25 can be secured at a lower voltage, and a large amplitude can be obtained.

【0013】図3は、上記2自由度振動型マイクロアク
チュエータの構成を力学モデルによって示すもので、上
記実施例との対応部分に同一の符号を付している。この
力学モデルにおいては、電極板23が第1のトーション
バー22により固定部21に対して弾性支持され、可動
板25が第2のトーションバー24により電極板23と
弾性的に結合されている。従って、電極板23と可動板
25とはそれぞれトーションバー22,24を中心に回
転し、2自由度のねじり振動系を形成している。
FIG. 3 shows the structure of the two-degree-of-freedom vibration type microactuator using a dynamic model, and the same reference numerals are assigned to parts corresponding to those in the above embodiment. In this dynamic model, the electrode plate 23 is elastically supported by the first torsion bar 22 with respect to the fixed portion 21, and the movable plate 25 is elastically connected to the electrode plate 23 by the second torsion bar 24. Therefore, the electrode plate 23 and the movable plate 25 rotate around the torsion bars 22 and 24, respectively, and form a two-degree-of-freedom torsional vibration system.

【0014】この力学モデルにおいて、I1 、θ1 をそ
れぞれ電極板23の慣性モーメント及び変位とし、I
2 、θ2 を可動板25の慣性モーメント及び変位とし、
さらにk1 、k2 を第1のトーションバー22及び第2
のトーションバー24のねじりばね定数とすると、電極
板23に周期的外力T・sinωtが働くときの運動方
程式は、次式で与えられる。
In this dynamic model, I 1 and θ 1 are the moment of inertia and displacement of the electrode plate 23, respectively.
2 , θ 2 are the moment of inertia and displacement of the movable plate 25,
Further, k 1 and k 2 are changed to the first torsion bar 22 and the second torsion bar 22.
Is the torsion spring constant of the torsion bar 24, the equation of motion when a periodic external force T · sinωt acts on the electrode plate 23 is given by the following equation.

【0015】[0015]

【数1】 (Equation 1)

【0016】また、電極板系の固有振動数ω1 及び可動
板系の固有振動数ω2 は、それぞれ、
Further, the natural frequency omega 2 of the natural frequency omega 1 and the movable plate type electrode plate system, respectively,

【数2】 によって与えられる。(Equation 2) Given by

【0017】ここで、θstを電極板の静的変位とすれ
ば、周期的外力による振幅は、電極板及び可動板のそれ
ぞれについて次式で与えられる。
Here, if θ st is the static displacement of the electrode plate, the amplitude due to the periodic external force is given by the following equation for each of the electrode plate and the movable plate.

【数3】 (Equation 3)

【0018】上式より、ω=ω1 において周期的外力に
よる電極板23の振幅は0となる。このとき、可動板2
5の振幅は(4)式で示される有限な値となる。可動板
25の振幅は、電極板23と可動板25及び2つのトー
ションバーを適当に設計することにより所定値に設定で
きる。
[0018] From the above equation, the amplitude of the electrode plate 23 by the periodic external force in omega = omega 1 becomes zero. At this time, the movable plate 2
The amplitude of 5 is a finite value represented by the equation (4). The amplitude of the movable plate 25 can be set to a predetermined value by appropriately designing the electrode plate 23, the movable plate 25, and the two torsion bars.

【0019】本発明者の試作においては、上記可動電極
板20を、厚さ0.3mmで、外形寸法が約20mm×
20mmの単結晶シリコンウエハから、異方性エッチン
グにより一体形成した。また、固定電極18と電極板2
3との間隔は8μm、可動板25とガラス基板10との
間隔は38μmとした。
In the prototype of the present inventor, the movable electrode plate 20 was formed to have a thickness of 0.3 mm and an outer dimension of about 20 mm ×
It was integrally formed from a 20 mm single crystal silicon wafer by anisotropic etching. The fixed electrode 18 and the electrode plate 2
3 was 8 μm, and the distance between the movable plate 25 and the glass substrate 10 was 38 μm.

【0020】この試作した2自由度ねじり振動型アクチ
ュエータにおいて、電極板23と可動板25の変位(ね
じれ角)を光てこ法により測定した。はじめに、静的に
100Vの電圧を加えたところ、電極板23と可動板2
5の変位は一致し、θst=0.02°であった。つぎ
に、周期的に変動する電圧を加えて励振した。図4は、
正弦波状の電圧(100Vp-p )を加えたときの電極板
23と可動板25の共振曲線を示す。縦軸は変位を示
し、予め測定した静的変位θstで除している。
The displacement (torsion angle) of the electrode plate 23 and the movable plate 25 was measured by the optical lever method in the prototype two-degree-of-freedom torsional vibration type actuator. First, when a voltage of 100 V was applied statically, the electrode plate 23 and the movable plate 2
The displacements of No. 5 coincided with each other, and θ st = 0.02 °. Next, excitation was performed by applying a voltage that fluctuates periodically. FIG.
The resonance curve of the electrode plate 23 and the movable plate 25 when a sinusoidal voltage (100 Vp-p) is applied is shown. The vertical axis indicates the displacement, which is divided by the static displacement θ st measured in advance.

【0021】この共振曲線から、試作したねじり振動型
アクチュエータでは、241Hzと580Hzに共振点
を有しているが、二つの共振点の中間付近で電極板23
の変位が0となり、電極板23を殆んど変位させること
なく可動板25の大きい変位を得るという目的を達成で
きることがわかる。従って、電極板23、可動板25及
びトーションバー22,24を最適化することにより、
可動板25の変位のみを拡大することができる。その結
果、電極板23の変位が小さくなるため、電極板23と
固定電極18の間隔を狭くとり、電源電圧を従来のもの
より低くとっても、可動板25の変位を大きくした効率
のよいマイクロアクチュエータを得ることができる。
From this resonance curve, the prototype torsional vibration type actuator has resonance points at 241 Hz and 580 Hz.
Is zero, indicating that the object of obtaining a large displacement of the movable plate 25 without displacing the electrode plate 23 almost can be achieved. Therefore, by optimizing the electrode plate 23, the movable plate 25, and the torsion bars 22, 24,
Only the displacement of the movable plate 25 can be enlarged. As a result, since the displacement of the electrode plate 23 is reduced, an efficient microactuator in which the displacement of the movable plate 25 is increased even if the distance between the electrode plate 23 and the fixed electrode 18 is reduced and the power supply voltage is set lower than the conventional one. Obtainable.

【0022】図5は、2自由度振動型マイクロアクチュ
エータの他の実施例の構成を力学モデルによって示すも
ので、前記実施例ではトーションバーのねじり振動を利
用しているのに対し、この力学モデルにおいては、上記
トーションバーと実質的に同構造を有する弾性連結部材
の曲げ振動を利用している。即ち、電極板33を第1の
弾性連結部材32により固定部31に対して弾性支持さ
せ、可動板35を第2の弾性連結部材34により電極板
33と弾性的に結合している。従って、電極板33と可
動板35とはそれぞれ弾性連結部材32,34の曲がり
により傾動し、2自由度の曲げ振動系を形成している。
なお、この振動系における動作は、前記図3の力学モデ
ルの場合と実質的に変わるところがないため、その説明
を省略する。
FIG. 5 shows the configuration of another embodiment of the two-degree-of-freedom vibration type microactuator by using a dynamic model. Uses the bending vibration of an elastic connecting member having substantially the same structure as the torsion bar. That is, the electrode plate 33 is elastically supported by the first elastic connecting member 32 with respect to the fixed portion 31, and the movable plate 35 is elastically connected to the electrode plate 33 by the second elastic connecting member 34. Therefore, the electrode plate 33 and the movable plate 35 are tilted by the bending of the elastic connecting members 32 and 34, respectively, and form a bending vibration system having two degrees of freedom.
The operation in this vibration system is substantially the same as that in the case of the dynamic model shown in FIG. 3, and a description thereof will be omitted.

【0023】上記両実施例では、電極板23,33と固
定電極との間に電圧を印加して電極板に静電力を作用さ
せる場合について説明したが、上記電極板側を磁性材料
からなる駆動板とし、ガラス基板10上の固定電極側を
コイルによって構成することにより、前記電極板に対応
する駆動板を電磁力で駆動するなどの手段を採用し、周
期的外力を与えるようにしてもよい。
In both of the above embodiments, a case has been described in which a voltage is applied between the electrode plates 23 and 33 and the fixed electrode to apply an electrostatic force to the electrode plates. By forming a fixed electrode side on the glass substrate 10 with a coil as a plate, a means such as driving a driving plate corresponding to the electrode plate with an electromagnetic force may be employed to apply a periodic external force. .

【0024】[0024]

【発明の効果】以上に詳述したように、本発明の2自由
度振動型マイクロアクチュエータによれば、電圧印加等
により駆動する駆動部分と可動部分を分離して、2自由
度の振動系を構成して2自由度振動系の反共振振動数で
駆動されるようにしているため、駆動板の変位を十分小
さくして低電圧駆動を可能にすると同時に、可動板の変
位を大きくすることができる。即ち、2自由度の振動系
においては、駆動部分によって可動部分の振幅変位の大
きさが制約されず、1自由度の振動系に比し、可動部分
の振幅変位を大きくすることができ、可動範囲の大きい
マイクロアクチュエータを得ることができる。
As described above in detail, according to the two-degree-of-freedom vibration type microactuator of the present invention, the driving part driven by voltage application and the movable part are separated to form a two-degree-of-freedom vibration system. With the anti-resonance frequency of the two-degree-of-freedom vibration system
Since the driving plate is driven, the displacement of the driving plate can be made sufficiently small to enable low-voltage driving, and at the same time, the displacement of the movable plate can be increased. That is, in a two-degree-of-freedom vibration system, the magnitude of the amplitude displacement of the movable part is not restricted by the driving part, and the amplitude displacement of the movable part can be increased as compared with the one-degree-of-freedom vibration system. A microactuator with a large range can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の2自由度振動型マイクロアクチュエー
タの実施例を示す分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of a two-degree-of-freedom vibration type microactuator according to the present invention.

【図2】同実施例の要部横断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the embodiment.

【図3】同実施例の力学モデルを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a dynamic model of the embodiment.

【図4】同実施例のものにおける電極板と可動板の共振
曲線を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing a resonance curve of an electrode plate and a movable plate in the same example.

【図5】本発明の他の実施例の力学モデルを示す斜視図
である。
FIG. 5 is a perspective view showing a dynamic model according to another embodiment of the present invention.

【図6】従来の1自由度のねじり振動子の構成を示す斜
視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a configuration of a conventional one-degree-of-freedom torsional vibrator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

18 固定電極、 21,31 固定部、 22,24 トーションバー、 23,33 電極板、 25,35 可動板、 32,34 弾性連結部材。 18 fixed electrode, 21, 31 fixed part, 22, 24 torsion bar, 23, 33 electrode plate, 25, 35 movable plate, 32, 34 elastic connecting member.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】周期的な静電力が外力として与えられる駆
動板を、第1の弾性連結部材を介して固定部で弾性支持
させ、上記駆動板に第2の弾性連結部材を介して可動板
を弾性的に結合し、上記駆動板と可動板にそれぞれの弾
性連結部材において弾性的に変位する2自由度の振動系
を形成し、上記外力による励振振動数を上記駆動板系
固有振動数に等しく設定して2自由度振動系の反共振振
動数で駆動される振動系を形成したことを特徴とする2
自由度振動型マイクロアクチュエータ。
The method according to claim 1] periodic electrostatic force is applied as an external force drive plate, it is elastically supported by the fixed portion through the first elastic coupling member, via a second elastic coupling member to the drive plate movable plate elastically coupled to, elastically displaced in each of the elastic coupling member to the drive plate and the movable plate 2 to form the freedom of the vibration system, the natural frequency of the drive plate system the number of excitation vibration by the external force Anti-resonance vibration of two-degree-of-freedom vibration system
2. A vibration system driven by the number of rotations is formed.
Freedom vibration type micro actuator.
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