JPH04368907A - Optical scanner - Google Patents
Optical scannerInfo
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- JPH04368907A JPH04368907A JP3173237A JP17323791A JPH04368907A JP H04368907 A JPH04368907 A JP H04368907A JP 3173237 A JP3173237 A JP 3173237A JP 17323791 A JP17323791 A JP 17323791A JP H04368907 A JPH04368907 A JP H04368907A
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Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は、例えばレ−ザビームプ
リンタやバーコードリーダ等において光ビームを線状に
走査させる光スキャナに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical scanner that linearly scans a light beam in, for example, a laser beam printer or a bar code reader.
【0002】0002
【従来の技術】図5は従来例による光スキャナの構造を
示す。これは、ポリゴンミラー31を用いた光スキャナ
であり、正多角形状をしたポリゴンミラー31の外周面
にはミラー面31a,31a,…が形成されており、ポ
リゴンミラー31はドライバ回路35で制御された直流
サーボモータ32によって一定角速度で回転させられて
いる。そして、半導体レーザ装置36から出射されたレ
ーザビームαは結像レンズ33によって集光され、ポリ
ゴンミラー31のミラー面31aに照射される。そして
、ポリゴンミラー31のミラー面31aで反射されたレ
ーザビームαは、ビームスキャンレンズ34を透過し、
例えば感光ドラム37の表面に照射される。ここでポリ
ゴンミラー31が一定角速度で回転していると、レーザ
ビームαを照射されているミラー面31aの角度が変化
するので、ポリゴンミラー31で反射されたレーザビー
ムαの出射方向が変化し、レーザビームαが例えば感光
ドラム37の表面を走査される。2. Description of the Related Art FIG. 5 shows the structure of a conventional optical scanner. This is an optical scanner using a polygon mirror 31. Mirror surfaces 31a, 31a, . . . are formed on the outer peripheral surface of the polygon mirror 31 having a regular polygonal shape. It is rotated at a constant angular velocity by a DC servo motor 32. The laser beam α emitted from the semiconductor laser device 36 is focused by the imaging lens 33 and irradiated onto the mirror surface 31a of the polygon mirror 31. Then, the laser beam α reflected by the mirror surface 31a of the polygon mirror 31 passes through the beam scan lens 34,
For example, the surface of the photosensitive drum 37 is irradiated with light. Here, when the polygon mirror 31 is rotating at a constant angular velocity, the angle of the mirror surface 31a that is irradiated with the laser beam α changes, so the emission direction of the laser beam α reflected by the polygon mirror 31 changes, For example, the surface of the photosensitive drum 37 is scanned with the laser beam α.
【0003】0003
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなタイプの光スキャナにあっては、ポリゴンミラーと
回転駆動用の直流サーボモータが必要不可欠であるため
、光スキャナの小型化を図るのが困難で、その小型化に
も限界があった。また、光スキャナによる走査幅や走査
速度等を精度良く得ようとすれば、ポリゴンミラーの各
ミラー面の寸法や各ミラー面間の角度等の精度が厳しく
要求され、加工コスト及び組み立て調整コストが高価と
なり、低コスト化が困難であった。また、レーザビーム
のスキャン角は、ポリゴンミラーの面数で決定されるた
め、各光スキャナのスキャン角は一定であり、そのスキ
ャン角を変更することは不可能であった。[Problem to be solved by the invention] However, this type of optical scanner requires a polygon mirror and a DC servo motor for rotational drive, so it is difficult to miniaturize the optical scanner. However, there were limits to its miniaturization. In addition, in order to accurately obtain the scanning width and scanning speed of an optical scanner, the precision of the dimensions of each mirror surface of the polygon mirror and the angle between each mirror surface is strictly required, which increases processing costs and assembly adjustment costs. It was expensive, and it was difficult to reduce the cost. Furthermore, since the scan angle of the laser beam is determined by the number of faces of the polygon mirror, the scan angle of each optical scanner is constant, and it has been impossible to change the scan angle.
【0004】さらに、従来の光スキャナでは、レーザビ
ームのスキャン方向は1方向のみであり、1台の光スキ
ャナによってスキャン方向を切り換えたり、2方向で同
時にスキャンさせたりすることはできなかった。Furthermore, in conventional optical scanners, the scanning direction of the laser beam is only one direction, and it is not possible to switch the scanning direction or scan in two directions simultaneously with one optical scanner.
【0005】本発明は、叙上の従来例の欠点に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、新規な原
理に基づく小型で安価な光スキャナを提供することにあ
る。The present invention has been made in view of the drawbacks of the conventional examples described above, and its object is to provide a small and inexpensive optical scanner based on a novel principle.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の光スキャナは、
少なくとも2つの弾性変形モードを有する弾性変形部と
、弾性変形部の一端に設けられた加振部と、加振部に変
位出力部を接続された変位拡大機構と、前記弾性変形部
の各弾性変形モードに対する共振周波数の振動を変位拡
大機構の入力部に付与するための駆動源と、弾性変形部
の他端に設けられ、加振部に振動が印加された時に少な
くともいずれかの弾性変形モードで弾性変形部を弾性振
動させるように配置され、弾性変形部の弾性振動によっ
て少なくとも2方向に回動できるようになったスキャン
部と、スキャン部に設けられたミラー面とからなること
を特徴としている。[Means for Solving the Problems] The optical scanner of the present invention includes:
an elastic deformation section having at least two elastic deformation modes; an excitation section provided at one end of the elastic deformation section; a displacement amplification mechanism having a displacement output section connected to the excitation section; and each elastic deformation section of the elastic deformation section. A drive source for applying vibrations at a resonance frequency corresponding to the deformation mode to the input section of the displacement magnification mechanism, and a drive source provided at the other end of the elastic deformation section to apply vibrations at a resonance frequency to the input section of the displacement magnification mechanism, and at least one of the elastic deformation modes when vibration is applied to the vibrating section. The scan unit is arranged to cause the elastically deformable part to vibrate elastically, and is configured to consist of a scanning part that is rotatable in at least two directions by the elastic vibration of the elastically deforming part, and a mirror surface provided on the scanning part. There is.
【0007】[0007]
【作用】弾性変形部の特定の弾性変形モードに対する共
振周波数の振動を加振部に加えると、弾性変形部が当該
弾性変形モードで弾性振動し、スキャン部が特定の方向
で回動する。このため、スキャン部のミラー面に光ビー
ムを照射させていると、ミラー面で反射された光ビーム
がスキャン部の回転によってスキャンされる。[Operation] When vibration at a resonance frequency corresponding to a specific elastic deformation mode of the elastic deformation section is applied to the vibrating section, the elastic deformation section vibrates elastically in the elastic deformation mode, and the scanning section rotates in a specific direction. Therefore, when the mirror surface of the scanning section is irradiated with a light beam, the light beam reflected by the mirror surface is scanned by the rotation of the scanning section.
【0008】しかも、弾性変形部は、少なくとも2つの
弾性変形モードを有しているので、駆動源の駆動周波数
を変化させて励起モードを変えると、スキャン部の回動
方向が変化し、光ビームのスキャン方向を変更すること
ができる。したがって、1つの光スキャナで少なくとも
2つのスキャン方向を達成できる。Moreover, since the elastic deformation section has at least two elastic deformation modes, when the excitation mode is changed by changing the drive frequency of the drive source, the rotation direction of the scanning section changes, and the light beam The scan direction can be changed. Therefore, at least two scanning directions can be achieved with one optical scanner.
【0009】さらに、スキャン部、弾性変形部及び加振
部は、プレート状に形成することができ、駆動源として
は圧電振動子のような小型のアクチュエータを使用する
ことができるので、光スキャナを超小形化することがで
きる。しかも、構造も簡略であるので、製作コストや組
立て調整コスト等も安価となり、低コストの光スキャナ
を提供できる。Furthermore, the scanning section, the elastic deformation section, and the excitation section can be formed into plate shapes, and a small actuator such as a piezoelectric vibrator can be used as the drive source, so the optical scanner can be Can be made ultra-small. Moreover, since the structure is simple, manufacturing costs, assembly and adjustment costs, etc. are also low, making it possible to provide a low-cost optical scanner.
【0010】また、駆動源によって加振部の振幅を変化
させれば、弾性変形部における弾性振動の振幅(スキャ
ン部の回動角)を変化させることができ、光ビームのス
キャン角の調整も可能である。[0010] Furthermore, by changing the amplitude of the vibrating section using the drive source, the amplitude of the elastic vibration in the elastically deforming section (rotation angle of the scanning section) can be changed, and the scanning angle of the light beam can also be adjusted. It is possible.
【0011】しかも、本発明にあっては、駆動源と加振
部との間に変位拡大機構を設けているので、駆動源から
変位拡大機構の入力部へ付与された変位が、変位拡大機
構の変位出力部で増幅されて加振部へ伝えられる。この
ため、駆動源で直接加振部を駆動する場合と比べ、スキ
ャン部を大きな回動角で回動させることが可能になり、
大きなスキャン角を得ることができる。また、スキャン
角の調整範囲もより広くすることができる。Moreover, in the present invention, since the displacement amplifying mechanism is provided between the drive source and the vibrating section, the displacement applied from the drive source to the input section of the displacement amplifying mechanism is It is amplified by the displacement output section and transmitted to the vibrating section. Therefore, compared to the case where the excitation unit is directly driven by the drive source, it is possible to rotate the scanning unit at a large rotation angle.
A large scan angle can be obtained. Furthermore, the adjustment range of the scan angle can also be made wider.
【0012】なお、本発明は、平成2年8月7日付けで
出願した特願平2−209804号の改良発明に関する
ものである。The present invention relates to an improved invention of Japanese Patent Application No. 2-209804 filed on August 7, 1990.
【0013】[0013]
【実施例】図1及び図2は本発明の一実施例による光ス
キャナの斜視図及び側面図を示す。この光スキャナ1は
、薄板状のプレート7と、変位拡大機構として働く変位
部材9と、圧電振動子や磁歪振動子等の微小振動を発生
する小形の駆動源6とから構成されている。1 and 2 show a perspective view and a side view of an optical scanner according to an embodiment of the present invention. The optical scanner 1 includes a thin plate 7, a displacement member 9 that functions as a displacement magnification mechanism, and a small drive source 6 such as a piezoelectric vibrator or a magnetostrictive vibrator that generates minute vibrations.
【0014】プレート7は、図3及び図4に示すような
形状をしており、長い細幅の弾性変形部2の下端に、振
動を印加させるための加振部5が一体に設けられ、弾性
変形部2の上端に、レーザビームαをスキャンさせるた
めのスキャン部3が一体に設けられている。ここで、弾
性変形部2は、図3に示すように軸心Pの回りにねじれ
変形するねじれ変形モードと、図4に示すように軸心P
に沿って曲げ変形する曲げ変形モードが可能になってお
り、ねじれ変形モードの弾性振動についてはfTの共振
周波数を有し、曲げ変形モードの弾性振動についてはf
Bの共振周波数を有している。スキャン部3は、弾性変
形部2の軸心Pに関してアンバランスな形状に形成され
ており、弾性変形部2の軸心Pから離れた部分にウエイ
ト部8が形成されている。したがって、スキャン部3の
重心は、弾性変形部2の軸心Pから外れた位置にあり、
さらに、弾性変形部2の上端よりも上方に位置している
。また、スキャン部3には、レーザビームαを反射させ
るためのミラー面4が形成されている。このミラー面4
は、スキャン部3の全体に形成してもよく、部分的に形
成してもよいが、本実施例では、軸心Pの近傍の部分に
設けてある。The plate 7 has a shape as shown in FIGS. 3 and 4, and a vibrating part 5 for applying vibration is integrally provided at the lower end of the long narrow elastic deforming part 2. A scanning section 3 for scanning the laser beam α is integrally provided at the upper end of the elastic deformation section 2. Here, the elastic deformation section 2 has a torsional deformation mode in which it deforms torsionally around the axis P as shown in FIG.
A bending deformation mode that bends and deforms along
It has a resonant frequency of B. The scan section 3 is formed in an unbalanced shape with respect to the axis P of the elastically deformable section 2, and the weight section 8 is formed in a portion away from the axis P of the elastically deformable section 2. Therefore, the center of gravity of the scanning section 3 is located away from the axis P of the elastic deformation section 2,
Furthermore, it is located above the upper end of the elastically deformable portion 2 . Further, a mirror surface 4 for reflecting the laser beam α is formed in the scanning section 3. This mirror surface 4
may be formed on the entire scan section 3 or may be formed partially, but in this embodiment, it is provided in a portion near the axis P.
【0015】変位部材9は、変位増幅用のレバー10と
固定片11とを円弧状に切り欠かれた弾性支点12によ
って一体に連結されており、弾性支点12を弾性変形さ
せることによりレバー10が揺動する。レバー10の先
端部側面は変位出力部14となっており、この変位出力
部14には、図1に示すようにプレート7の加振部5が
接着もしくは接合されており、スキャン部3は自由に回
動できるよう弾性変形部2によってフリーに支持されて
いる。また、レバー10の中央部側面は入力部13とな
っており、この入力部13は駆動源6の一端に固定され
ている。In the displacement member 9, a lever 10 for displacement amplification and a fixed piece 11 are integrally connected by an elastic fulcrum 12 cut out in an arc shape, and by elastically deforming the elastic fulcrum 12, the lever 10 is moved. oscillate. The side surface of the tip of the lever 10 is a displacement output part 14, and the vibration part 5 of the plate 7 is glued or joined to this displacement output part 14, as shown in FIG. 1, and the scanning part 3 is free. It is freely supported by the elastic deformation part 2 so that it can rotate. Further, the central side surface of the lever 10 serves as an input section 13, and this input section 13 is fixed to one end of the drive source 6.
【0016】上記光スキャナ1は、駆動源6の他端及び
変位部材9の固定片11をベース(不動部材)15に固
定される。図2では、固定片11は変位部材支持ブロッ
ク16を介してベース15に固定されているが、直接ベ
ース15に固定しても差し支えない。In the optical scanner 1, the other end of the drive source 6 and the fixed piece 11 of the displacement member 9 are fixed to a base (immovable member) 15. In FIG. 2, the fixed piece 11 is fixed to the base 15 via the displacement member support block 16, but it may also be fixed directly to the base 15.
【0017】しかして、駆動源6は、スキャナ駆動回路
(図示せず)によって制御されており、スキャナ駆動回
路から駆動源6にねじれ変形モードの共振周波数fTと
等しい周波数の駆動信号(交流電圧)を印加すると、駆
動源6がfTの周波数で振動し、変位部材9を介して加
振部5に振動を伝える。加振部5にねじれ変形モードの
周波数fTが加えられると、弾性変形部2が共振により
ねじれ変形し、スキャン部3がP軸の回りに回動角θT
で回動する。従って、ミラー面4に光ビームαを照射し
ていると、レーザビームαは、スキャン部3の回動角θ
Tの2倍のスキャン角2θTで例えば左右にスキャンさ
れる。The drive source 6 is controlled by a scanner drive circuit (not shown), and a drive signal (AC voltage) having a frequency equal to the resonance frequency fT of the torsional deformation mode is sent from the scanner drive circuit to the drive source 6. When is applied, the drive source 6 vibrates at a frequency of fT, and transmits the vibration to the vibrator 5 via the displacement member 9. When the frequency fT of the torsional deformation mode is applied to the vibrating part 5, the elastic deformation part 2 is torsionally deformed due to resonance, and the scanning part 3 rotates around the P axis at a rotation angle θT.
Rotate with. Therefore, when the mirror surface 4 is irradiated with the light beam α, the laser beam α is rotated at the rotation angle θ of the scanning unit 3.
For example, it is scanned left and right at a scan angle 2θT that is twice T.
【0018】同様に、スキャナ駆動回路から駆動源6に
曲げ変形モードの共振周波数fBと等しい周波数の駆動
信号を印加すると、駆動源6がfBの周波数で振動し、
変位部材9を介して加振部5に振動を伝える。加振部5
に曲げ変形モードの周波数fBが加えられると、弾性変
形部2が共振により曲げ変形し、スキャン部3がQ方向
の回りに回動角θBで回動する。従って、ミラー面4に
レーザビームαを照射していると、レーザビームαは、
スキャン部3の回動角θBの2倍のスキャン角2θBで
例えば上下にスキャンされる。Similarly, when a drive signal with a frequency equal to the resonance frequency fB of the bending deformation mode is applied from the scanner drive circuit to the drive source 6, the drive source 6 vibrates at the frequency fB,
Vibrations are transmitted to the vibrating section 5 via the displacement member 9. Vibrating part 5
When the frequency fB of the bending deformation mode is applied to , the elastic deformation section 2 bends and deforms due to resonance, and the scanning section 3 rotates around the Q direction at a rotation angle θB. Therefore, when the mirror surface 4 is irradiated with the laser beam α, the laser beam α becomes
For example, it is scanned vertically at a scan angle 2θB that is twice the rotation angle θB of the scanning unit 3.
【0019】さらには、ねじれ変形モードの共振周波数
fTをもつ振動と曲げ変形モードの共振周波数fBをも
つ振動とを重畳させた振動モードで加振部5を振動させ
ると、レーザビームαを面領域で走査させることも可能
である。Furthermore, when the excitation unit 5 is vibrated in a vibration mode in which the vibration with the resonant frequency fT of the torsional deformation mode and the vibration with the resonant frequency fB of the bending deformation mode are superimposed, the laser beam α is It is also possible to scan with
【0020】また、レーザビームαのスキャン角θT及
びθBは、駆動源6への印加電圧を大きくすることによ
り広くすることができるが、小形の駆動源6に印加でき
る電圧には限度があるため、スキャン角も制限される。
このため、本発明では、上記のような変位拡大機構を用
いることにより小型の駆動源6で大きなスキャン角を得
るようにしている。すなわち、例えば図2に示すように
、弾性支点12から入力部13までの距離をs、弾性支
点12から変位出力部14までの距離を2倍の2sとし
た場合を考えると、駆動源6に電圧を印加して駆動源6
をΔxの振幅で振動させたとき、変位部材9の入力部1
3はΔxの振幅で振動させられ、てこの原理により変位
出力部14は2Δxの振幅で変位ないし振動する。なお
、変位部材9による変位の拡大率は、2倍に限るもので
ないのはもちろんである。従って、変位部材9を介して
加振部5に大きな振幅の振動を加えることができ、小形
の駆動源6を用いて大きなスキャン角θT及びθBでス
キャン部3を回動させることができる。Furthermore, the scan angles θT and θB of the laser beam α can be widened by increasing the voltage applied to the drive source 6, but there is a limit to the voltage that can be applied to the small drive source 6. , the scan angle is also limited. Therefore, in the present invention, a large scan angle is obtained with the small drive source 6 by using the displacement magnification mechanism as described above. That is, for example, as shown in FIG. Drive source 6 by applying voltage
When the input section 1 of the displacement member 9 is vibrated with an amplitude of Δx,
3 is vibrated with an amplitude of Δx, and the displacement output section 14 is displaced or vibrated with an amplitude of 2Δx due to the lever principle. Note that, of course, the magnification rate of the displacement by the displacement member 9 is not limited to twice. Therefore, vibration with a large amplitude can be applied to the vibrating section 5 via the displacement member 9, and the scanning section 3 can be rotated at large scan angles θT and θB using the small drive source 6.
【0021】なお、上記実施例では、変位拡大機構とし
て好ましい例を示したが、これ以外の構造の変位拡大機
構を用いても差し支えない。[0021] In the above embodiment, a preferable example of the displacement magnification mechanism was shown, but a displacement magnification mechanism having a structure other than this may be used.
【0022】[0022]
【発明の効果】本発明によれば、少なくとも2つの弾性
変形モードのうち、いずれかのモードの共振周波数で加
振部を励振させれば、当該モードで弾性変形部を弾性振
動させることができ、1台の光スキャナで2方向以上に
光ビームをスキャンさせることができる。[Effects of the Invention] According to the present invention, by exciting the vibrating section at the resonance frequency of one of at least two elastic deformation modes, the elastic deformation section can be caused to vibrate elastically in that mode. , it is possible to scan a light beam in two or more directions with one optical scanner.
【0023】また、加振部の振幅制御によって光ビーム
のスキャン角を自由に調整することができる超小形の安
価な光スキャナを製作することができる。Furthermore, it is possible to manufacture an ultra-small and inexpensive optical scanner in which the scan angle of the light beam can be freely adjusted by controlling the amplitude of the vibrating section.
【0024】しかも、本発明にあっては、駆動源の振動
を増幅して加振部へ印加することができるので、駆動源
で直接加振部を駆動する場合と比べ、スキャン部を大き
な回動角で回動させることが可能になり、大きなスキャ
ン角を得ることができる。また、スキャン角の調整範囲
もより広くすることができる。Moreover, in the present invention, since the vibration of the drive source can be amplified and applied to the vibrating section, the scanning section can be rotated by a large number of times compared to the case where the vibrating section is directly driven by the drive source. It is now possible to rotate with a moving angle, and a large scan angle can be obtained. Furthermore, the adjustment range of the scan angle can also be made wider.
【図1】本発明の一実施例による光スキャナを示す斜視
図である。FIG. 1 is a perspective view of an optical scanner according to an embodiment of the present invention.
【図2】同上の光スキャナをベースに固定した状態を示
す側面図である。FIG. 2 is a side view showing the optical scanner fixed to the base.
【図3】同上の実施例におけるプレートのねじれ変形モ
ードを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a torsional deformation mode of the plate in the above embodiment.
【図4】同上の実施例におけるプレートの曲げ変形モー
ドを示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing the bending deformation mode of the plate in the above embodiment.
【図5】従来例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a conventional example.
2 弾性変形部 3 スキャン部 4 ミラー面 5 加振部 6 駆動源 9 変位部材 13 入力部 14 変位出力部 2 Elastic deformation part 3 Scan section 4 Mirror surface 5 Vibration part 6 Drive source 9 Displacement member 13 Input section 14 Displacement output section
Claims (1)
する弾性変形部と、弾性変形部の一端に設けられた加振
部と、加振部に変位出力部を接続された変位拡大機構と
、前記弾性変形部の各弾性変形モードに対する共振周波
数の振動を変位拡大機構の入力部に付与するための駆動
源と、弾性変形部の他端に設けられ、加振部に振動が印
加された時に少なくともいずれかの弾性変形モードで弾
性変形部を弾性振動させるように配置され、弾性変形部
の弾性振動によって少なくとも2方向に回動できるよう
になったスキャン部と、スキャン部に設けられたミラー
面とからなることを特徴とする光スキャナ。1. An elastic deformation section having at least two elastic deformation modes; an excitation section provided at one end of the elastic deformation section; a displacement amplification mechanism having a displacement output section connected to the excitation section; A drive source is provided at the other end of the elastic deformation section to apply vibrations at a resonant frequency for each elastic deformation mode of the deformation section to the input section of the displacement magnification mechanism, and a drive source is provided at the other end of the elastic deformation section to apply vibrations at a resonant frequency for each elastic deformation mode of the deformation section to the input section of the displacement magnification mechanism. A scanning section is arranged to cause the elastic deformation section to vibrate elastically in the elastic deformation mode, and is rotatable in at least two directions by the elastic vibration of the elastic deformation section, and a mirror surface provided on the scanning section. An optical scanner characterized by:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3173237A JPH04368907A (en) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | Optical scanner |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3173237A JPH04368907A (en) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | Optical scanner |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH04368907A true JPH04368907A (en) | 1992-12-21 |
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP3173237A Pending JPH04368907A (en) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | Optical scanner |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH04368907A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06269186A (en) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Agency Of Ind Science & Technol | Two degree of freedom oscillation type microactuator |
US5583331A (en) * | 1989-10-30 | 1996-12-10 | Symbol Technologies, Inc. | Arrangement for compensating for scan line curvature |
US5874720A (en) * | 1989-10-30 | 1999-02-23 | Symbol Technologies, Inc. | Electro-magnetically activated scanner with suspended scanner component |
JP2004102249A (en) * | 2002-07-19 | 2004-04-02 | Canon Inc | Micro-movable body |
JP2014123123A (en) * | 2012-12-12 | 2014-07-03 | Fraunhofer Ges | Micromechanical resonance device |
-
1991
- 1991-06-17 JP JP3173237A patent/JPH04368907A/en active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5583331A (en) * | 1989-10-30 | 1996-12-10 | Symbol Technologies, Inc. | Arrangement for compensating for scan line curvature |
US5874720A (en) * | 1989-10-30 | 1999-02-23 | Symbol Technologies, Inc. | Electro-magnetically activated scanner with suspended scanner component |
US5923025A (en) * | 1989-10-30 | 1999-07-13 | Symbol Technologies, Inc. | Electro-magnetically activated scanner with scanner component suspended by single flexural component |
US5945659A (en) * | 1989-10-30 | 1999-08-31 | Symbol Technologies, Inc. | Electromagnetically activated scanner with suspended scanner component and stop |
JPH06269186A (en) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Agency Of Ind Science & Technol | Two degree of freedom oscillation type microactuator |
JP2004102249A (en) * | 2002-07-19 | 2004-04-02 | Canon Inc | Micro-movable body |
JP2014123123A (en) * | 2012-12-12 | 2014-07-03 | Fraunhofer Ges | Micromechanical resonance device |
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