JP2844667B2 - Transfer device - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明の転写装置を以下の項目に従って詳細に説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The transfer device of the present invention will be described in detail according to the following items.
A.産業上の利用分野 B.発明の概要 C.従来技術［第８図乃至第11図］ D.発明が解決しようとする課題［第９図乃至第11図］ E.課題を解決するための手段 F.実施例［第１図乃至第７図］ a.スライドテーブル b.電磁石板 c.上部プレート d.ディスクスタンパ e.上部プレートのスライドテーブルへの固定 f.ディスク基板と転写動作 g.センターピンの変形例［第７図］ G.発明の効果 （A.産業上の利用分野） 本発明は新規な転写装置に関する。詳しくは、スタン
パに基板を液状の合成樹脂を介して対接させ、上記合成
樹脂を硬化させた後基板を合成樹脂と共にスタンパから
剥離する転写装置において、簡単な構造でもって、スタ
ンパや基板の位置決め精度が向上すると共に、スタンパ
の摩耗やそれに基づく微細金属埃の発生及びスタンパの
変形を防止し、更に、基板を剥離するときのスタンパの
保持台からの浮き上がりを防止した新規な転写装置を提
供しようとするものである。A. Industrial application fields B. Summary of the invention C. Prior art [FIGS. 8 to 11] D. Problems to be solved by the invention [FIGS. 9 to 11] E. To solve the problems F. Embodiments [FIGS. 1 to 7] a. Slide table b. Electromagnetic plate c. Upper plate d. Disk stamper e. Fixing upper plate to slide table f. Disk substrate and transfer operation g. Modified example of center pin [Fig. 7] G. Effects of the invention (A. Industrial application field) The present invention relates to a novel transfer device. More specifically, in a transfer device in which a substrate is brought into contact with a stamper via a liquid synthetic resin, and after the above-described synthetic resin is cured, the substrate is peeled off from the stamper together with the synthetic resin. To provide a novel transfer device that improves accuracy, prevents wear of the stamper, generation of fine metal dust based on the stamper, deformation of the stamper, and prevents the stamper from floating from the holding base when the substrate is peeled off. It is assumed that.
（B.発明の概要） 本発明転写装置は、スタンパの中心孔と該スタンパを
保持する保持台の取付孔とに挿通され、かつ、保持台に
固定されると共に、スタンパの中心孔と略同径の管状部
の上端から外方へ張り出したフランジ部がスタンパの中
心孔の周縁部を保持台に押え付ける固定リングと、固定
リングの管状部の内側に挿通される軸部と該軸部の上端
に設けられた円形状の頭部とから成り、該頭部の周縁部
が外方へフランジ状に張り出し、かつ、該周縁部の上面
が下方へ行くに従って外方へ変位する傾斜面になってい
るセンターピンとを備え、センターピンが下降した状態
で基板の中心孔がセンターピンの頭部に外嵌されて基板
のスタンパに対する位置決めが為され、センターピンが
上動することによりセンターピンの頭部に載置された基
板がスタンパから剥離されるとともに、センターピンが
上動しても固定リングによりスタンパが保持台から浮き
上がらないようにして、簡単な構造でもって、スタンパ
や基板の位置決めや精度を向上させ、スタンパの摩耗や
それに基づく微細粉の発生を防止し、更に、基板を剥離
するときのスタンパの保持台からの浮き上がりを防止す
ることができる。(B. Summary of the Invention) The transfer device of the present invention is inserted into a center hole of a stamper and a mounting hole of a holder for holding the stamper, is fixed to the holder, and is substantially the same as the center hole of the stamper. A fixing ring in which a flange protruding outward from the upper end of the tubular portion having a diameter presses the peripheral portion of the center hole of the stamper to a holding table, a shaft portion inserted inside the tubular portion of the fixing ring, and a shaft portion of the shaft portion. A circular head provided at the upper end, the peripheral portion of the head protruding outward in a flange shape, and the upper surface of the peripheral portion is an inclined surface that is displaced outward as it goes downward. The center hole of the board is fitted to the head of the center pin in a state where the center pin is lowered, the board is positioned relative to the stamper, and the center pin is moved upward by moving the center pin upward. Substrate placed on the part In addition to being peeled off from the stamper, the fixing ring prevents the stamper from rising from the holding table even if the center pin moves up. Generation of fine powder based thereon can be prevented, and furthermore, floating of the stamper from the holding table when the substrate is peeled can be prevented.
（C.従来の技術）［第８図乃至第11図］ コンパクトオーディオディスク（CD）やレーザーディ
スク（LD、LVD）等の光学ディスクの製造方法には種々
のものが提案されているが、その中に2P法（光重合法）
と称されるものがある。(C. Prior Art) [FIGS. 8 to 11] Various methods have been proposed for manufacturing optical discs such as compact audio discs (CD) and laser discs (LD, LVD). Inside 2P method (photopolymerization method)
There is something called.
この2P法というのは、紫外線硬化樹脂を用いて光学デ
ィスクを複製するもので、第８図に示すように、スクリ
ーン印刷の手法を用いてディスク基板ａの片方の面に液
状の紫外線硬化樹脂ｂを供給し（第８図（Ｂ）参照）、
紫外線硬化樹脂ｂがディスクスタンパｃと密着するよう
にディスク基板ａをディスクスタンパｃ上に載置し（第
８図（Ｃ）参照）、加圧ローラｄでディスク基板ａをデ
ィスクスタンパｃに対して押圧する（第８図（Ｄ）参
照）。その結果、ディスク基板ａとディスクスタンパｃ
との間に紫外線硬化樹脂ｂが隙間なく充填される。In the 2P method, an optical disk is duplicated using an ultraviolet curable resin. As shown in FIG. 8, a liquid ultraviolet curable resin b is applied to one surface of a disk substrate a using a screen printing method. (See FIG. 8 (B)),
The disk substrate a is placed on the disk stamper c so that the ultraviolet curable resin b is in close contact with the disk stamper c (see FIG. 8C), and the disk substrate a is pressed against the disk stamper c by the pressing roller d. Press (see FIG. 8 (D)). As a result, the disk substrate a and the disk stamper c
Is filled with the ultraviolet curable resin b without any gap.
そこで、紫外線ランプｅによりディスク基板ａを通し
て紫外線硬化樹脂ｂに紫外光を照射する（第８図（Ｅ）
参照）と、液状だった紫外線硬化樹脂ｂが硬化するの
で、ディスク基板ａをディスクスタンパｃから剥離する
（第８図（Ｆ）参照）。これにより、ディスクスタンパ
ｃの表面に形成された微細な凹凸がディスク基板ａ上に
転写される。Then, ultraviolet light is applied to the ultraviolet curing resin b through the disk substrate a by the ultraviolet lamp e (FIG. 8 (E)).
(See FIG. 8 (F)), since the liquid ultraviolet curing resin b is cured, and the disk substrate a is separated from the disk stamper c. As a result, fine irregularities formed on the surface of the disk stamper c are transferred onto the disk substrate a.
そこで、ディスク基板ａの転写された凹凸面に金属膜
を蒸着した後、保護膜を被覆することにより、ディスク
スタンパｃの凹凸に応じたビットが形成された光学ディ
スクＦを得ることができる（第８図（Ｇ）参照）。Therefore, by depositing a metal film on the transferred uneven surface of the disk substrate a and then coating the metal film with a protective film, it is possible to obtain the optical disk F on which bits according to the unevenness of the disk stamper c are formed (No. 8 (G)).
上記したような2P法によるとディスクスタンパｃのパ
ターンが微細であっても紫外線硬化樹脂が液状であるた
めにこの紫外線硬化樹脂がパターンに十分に充填される
ので、信号の転写性が格段に優れている、という利点を
有する。According to the 2P method as described above, even if the pattern of the disk stamper c is fine, since the ultraviolet-curable resin is in a liquid state, the pattern is sufficiently filled with the ultraviolet-curable resin. Has the advantage that
そして、上記したように信号面を転写するには、加圧
ローラｄによる加圧力を受けて紫外線硬化樹脂層にディ
スクスタンパｃの凹凸が確実に転写されるようにするた
めに、しっかりとした台にディスクスタンパｃを保持す
る必要があり、また、ディスクスタンパｃとディスク基
板ａとが精度良く位置合わせされた状態で重ね合わされ
る必要がある。In order to transfer the signal surface as described above, in order to reliably transfer the irregularities of the disk stamper c to the ultraviolet curable resin layer under the pressing force of the pressing roller d, a firm support is required. It is necessary to hold the disk stamper c, and it is necessary to overlap the disk stamper c and the disk substrate a in a state where they are accurately aligned.
ｇはスタンパ保持台であり、ベース台ｈ上に固定され
ている。g denotes a stamper holding stand, which is fixed on a base stand h.
スタンパ保持台ｇにはその中心部に挿通孔ｉが形成さ
れている。An insertion hole i is formed in the center of the stamper holder g.
そして、ディスクスタンパｃはその中心孔ｊが挿通孔
ｉと一致する状態でスタンパ保持台ｇ上に載置され、か
つ、スタンパ保持台ｇに吸着される。Then, the disk stamper c is placed on the stamper holder g with the center hole j coincident with the insertion hole i, and is attracted to the stamper holder g.
ｋはセンターピンであり、スタンパ保持台ｇの上記挿
通孔ｉに挿通される軸部ｌと該軸部ｌの上端に設けられ
た頭部ｍとが一体に形成されて成り、頭部ｍは略円板状
を為し、その外周面は中間に位置し軸と略平行な環状面
を為す位置決め面ｎと該位置決め面ｎの下端に連続し外
開きの傾斜面とされた係合面ｏと位置決め面ｎの上端に
連続し上方に行くに従って内側へ傾斜した導入面ｐとか
ら成る。そして、かかるセンターピンｋの軸部ｌがディ
スクスタンパｃの中心孔ｊ及びスタンパ保持台ｇの挿通
孔ｉに挿通され、図示しない移動機構によって下方へ移
動されることによって、頭部ｍの下面でディスクスタン
パｃの中心孔ｊの開口縁部をスタンパ保持台ｇの上面に
押え付けることになる。k is a center pin, which is formed by integrally forming a shaft l inserted into the insertion hole i of the stamper holding base g and a head m provided at an upper end of the shaft l. A substantially disc-shaped outer peripheral surface is positioned at an intermediate position and forms an annular surface substantially parallel to the axis. A positioning surface n and an engaging surface o which is continuous with the lower end of the positioning surface n and is formed as an open slope. And an introduction surface p which is continuous with the upper end of the positioning surface n and is inclined inward as going upward. Then, the shaft portion l of the center pin k is inserted into the center hole j of the disk stamper c and the insertion hole i of the stamper holding table g, and is moved downward by a moving mechanism (not shown). The opening edge of the center hole j of the disc stamper c is pressed against the upper surface of the stamper holding table g.
ディスク基板ａの中心孔ｑはその開口縁の上下が面取
りされてテーパー面ｒ、ｒ′が形成され、これら２つの
テーパー面ｒとｒ′との間の部分が位置決め面ｓとなっ
ている。The center hole q of the disk substrate a is chamfered at its upper and lower edges to form tapered surfaces r and r '. A portion between these two tapered surfaces r and r' is a positioning surface s.
このようなディスク基板ａの一方の面ｔに液状の紫外
線硬化樹脂ｂが供給され、該紫外線硬化樹脂ｂが供給さ
れた側の面ｔを下向きにしてディスクスタンパｃの上に
重ね合わせる。このとき、ディスク基板ａの位置決め面
ｓがセンターピンｋの位置決め面ｎに外嵌されてディス
ク基板ａの位置出しが為される（第10図参照）。尚、デ
ィスクスタンパｃはその中心孔ｊがセンターピンｋの軸
部ｌに外嵌状になっていることによってディスクスタン
パｇとセンターピンｋとの間の位置出しが為されている
ため、これらによって、ディスク基板ａがディスクスタ
ンパｃに対して位置出しされることになる。A liquid ultraviolet curable resin b is supplied to one surface t of the disk substrate a, and the disk substrate a is superposed on the disk stamper c with the surface t on which the ultraviolet curable resin b is supplied facing downward. At this time, the positioning surface s of the disk substrate a is externally fitted to the positioning surface n of the center pin k, thereby positioning the disk substrate a (see FIG. 10). The position of the disc stamper c between the disc stamper g and the center pin k is determined by the fact that the center hole j is fitted around the shaft 1 of the center pin k. And the disk substrate a is positioned relative to the disk stamper c.
そして、加圧ローラｄによる加圧、次いで、紫外線ラ
ンプｅによる紫外光の照射が為されて紫外線硬化樹脂ｂ
が硬化されると、センターピンｋが上昇され、その係合
面ｏが係合しているディスク基板ａのテーパー面ｒ′を
上方へ突き上げるので、ディスク基板ａがその内周より
ディスクスタンパｃから引き剥がされることになる（第
11図参照）。Then, pressure is applied by a pressure roller d, and then ultraviolet light irradiation is performed by an ultraviolet lamp e.
Is hardened, the center pin k is raised, and the engagement surface o pushes up the tapered surface r 'of the disk substrate a with which the disk pin a is engaged. Will be peeled off (No.
(See Figure 11).
そして、このディスクスタンパｃより引き剥がされた
ディスク基板ａを図示しない搬送手段で次の工程へ搬送
する。Then, the disk substrate a peeled off from the disk stamper c is transported to the next step by transport means (not shown).
（D.発明が解決しようとする課題）［第９図乃至第11
図］ ところが、上記した従来の転写装置にあっては、セン
ターピンｋの軸部ｌとディスクスタンパｃの中心孔ｊと
の嵌合により、センターピンｋとディスクスタンパｃと
の間の位置出しが為されているため、センターピンｋが
上下動するとその軸部ｌの外周面がディスクスタンパｃ
の中心孔ｊの内周縁と擦れ合い、金属埃が発生するとい
う問題がある。このような金属埃はディスクスタンパｃ
の微細な凹凸内入り込み、精確な転写の妨げとなる。ま
た、ディスクスタンパｃの中心孔ｊの内周縁がセンター
ピンｋの軸部ｌの外周面でこすられるということは、デ
ィスクスタンパｃの中心部が多少上下に動かされること
になり、ディスクスタンパｃの変形を招く惧れがある。(D. Problems to be Solved by the Invention) [FIGS. 9 to 11
However, in the above-described conventional transfer device, the position between the center pin k and the disk stamper c is determined by fitting the shaft portion l of the center pin k and the center hole j of the disk stamper c. When the center pin k moves up and down, the outer peripheral surface of the shaft l
Rubs against the inner peripheral edge of the center hole j, and metal dust is generated. Such a metal dust is generated by a disc stamper c.
In the fine irregularities, which hinders accurate transfer. In addition, the fact that the inner peripheral edge of the center hole j of the disk stamper c is rubbed by the outer peripheral surface of the shaft portion l of the center pin k means that the central portion of the disk stamper c is slightly moved up and down. There is a risk of causing deformation.
また、ディスク基板ａをディスクスタンパｃから剥離
するときに、ディスクスタンパｃの中心部を押えている
センターピンｋが上方へ移動してディスクスタンパｃを
押えない状態となってしまうことになるため、ディスク
スタンパｃがディスク基板ａの上方への移動につられて
スタンパ保持台ｇから浮き上がってしまうこともある等
の不具合がある。Further, when the disk substrate a is peeled from the disk stamper c, the center pin k pressing the center of the disk stamper c moves upward, and the disk stamper c cannot be pressed. There is a problem that the disk stamper c may float up from the stamper holding table g as the disk substrate a moves upward.
（E.課題を解決するための手段） 本発明転写装置は、上記した課題を解決するために、
スタンパの中心孔と該スタンパを保持する保持台の取付
孔とに挿通され、かつ、保持台に固定されると共に、ス
タンパの中心孔と略同径の管状部の上端から外方へ張り
出したフランジ部がスタンパの中心孔の周縁部を保持台
に押え付ける固定リングと、固定リングの管状部の内側
に挿通される軸部とを該軸部の上端に設けられた円形状
の頭部とから成り、該頭部の周縁部が外方へフランジ状
に張り出し、かつ、該周縁部の上面が下方へ行くに従っ
て外方へ変位する傾斜面になっているセンターピンとを
備え、センターピンが下降した状態で基板の中心孔がセ
ンターピンの頭部に外嵌されて基板のスタンパに対する
位置決めが為され、センターピンが上動することにより
センターピンの頭部に載置された基板がスタンパから剥
離されるとともに、センターピンが上動しても固定リン
グによりスタンパが保持台から浮き上がらないようにし
たものである。(E. Means for Solving the Problems) The transfer apparatus of the present invention has the following features to solve the problems described above.
A flange that is inserted through the center hole of the stamper and the mounting hole of the holder that holds the stamper, is fixed to the holder, and protrudes outward from the upper end of the tubular portion having substantially the same diameter as the center hole of the stamper. A fixing ring that presses the peripheral portion of the center hole of the stamper to the holding table, and a shaft portion inserted inside the tubular portion of the fixing ring from a circular head provided at the upper end of the shaft portion A center pin having a sloped surface in which a peripheral portion of the head projects outward in a flange shape and an upper surface of the peripheral portion is displaced outward as it goes downward. In this state, the center hole of the substrate is externally fitted to the center pin head, the substrate is positioned with respect to the stamper, and the substrate mounted on the center pin head is separated from the stamper by moving the center pin upward. Together with The center pin is what stamper by fixing ring also moves upward was prevented float from holder.
従って、本発明転写装置によれば、センターピンが上
下動しても、センターピンとディスクスタンパとが擦れ
合うことは無く、金属粉の発生やディスクスタンパの摩
耗や変形を防止することができる。また、センターピン
が上動してディスク基板がディスクスタンパから剥離さ
れるとき、センターピンが上方へ移動してもディスクス
タンパの中心部は固定リングによって押えられているた
め、ディスクスタンパが浮き上がってしまうことが無
い。Therefore, according to the transfer device of the present invention, even if the center pin moves up and down, the center pin and the disk stamper do not rub against each other, and the generation of metal powder and the wear and deformation of the disk stamper can be prevented. Also, when the center pin moves upward and the disk substrate is peeled off from the disk stamper, the disk stamper rises because the center of the disk stamper is pressed by the fixing ring even if the center pin moves upward. There is nothing.
（F.実施例）［第１図乃至第７図］ 以下に、本発明転写装置の詳細を図示した実施例に従
って説明する。(F. Embodiment) [FIGS. 1 to 7] Hereinafter, details of the transfer apparatus of the present invention will be described with reference to the illustrated embodiments.
（a.スライドテーブル） １はスライドテーブルであり、レール２、２によって
案内されて所定の系路を移動されるようになっている。(A. Slide Table) Reference numeral 1 denotes a slide table, which is guided by rails 2 and 2 to move on a predetermined system route.
３はスライドテーブル１の基台であり、その下面に脚
片４、４が固定されていて、該脚片４、４が上記レール
２、２に各別に摺動自在に係合している。Reference numeral 3 denotes a base of the slide table 1, and leg pieces 4, 4 are fixed to the lower surface thereof, and the leg pieces 4, 4 are slidably engaged with the rails 2, 2, respectively.
５は取付台であり、上記基台３の４隅部に立設された
支柱3a、3a、・・・を介して基台３に固定されている。Reference numeral 5 denotes a mounting base, which is fixed to the base 3 via columns 3a, 3a,... Erected at four corners of the base 3.
６は基台３上面の中央部に固定されたエアリシンダで
あり、その上下動するピストンロッド6aの上端にはタッ
プアダプター７が固定されている。タップアダプター７
は既知のものであり、上端に開口した孔7aに棒状の物が
挿入されると、これを挿入方向には移動させ得るが抜き
出す方向への移動を阻止するようになっており、図示し
ない解除部を押圧することによって上記孔7aに挿入した
ものを抜き出すことができるようになっている。上記取
付台５の中央部には孔5aが形成されており、該孔5aを通
してタップアダプター７の孔7aが上方に臨まされてい
る。Reference numeral 6 denotes an air cylinder fixed to the center of the upper surface of the base 3, and a tap adapter 7 is fixed to the upper end of a piston rod 6a that moves up and down. Tap adapter 7
Is known, when a rod-shaped object is inserted into the hole 7a opened at the upper end, it can be moved in the insertion direction, but is prevented from moving in the extraction direction. By pressing the part, the one inserted into the hole 7a can be extracted. A hole 5a is formed in the center of the mounting table 5, and a hole 7a of the tap adapter 7 faces upward through the hole 5a.
（b.電磁石板） ８は平板状をした電磁石板であり、支持台９を介して
スライドテーブル１の取付台５上に固定されている。(B. Electromagnet Plate) Reference numeral 8 denotes a plate-shaped electromagnet plate, which is fixed on the mount 5 of the slide table 1 via the support 9.
電磁石板８は互いに同じ方向に延びる強磁性体10、1
0、・・・と磁性率の低い材料から成るセパレータ11、1
1、・・・とが交互に配列一体化された構造を有してお
り、これに付設された図示しない磁力線発生部に通電さ
れることによって強力な電磁吸引力を発生するようにな
っている。The electromagnet plate 8 is composed of ferromagnetic materials 10, 1 extending in the same direction as each other.
Separators 11, 1 made of a material having a low magnetic susceptibility
1, ... are arranged alternately and integrated, and a strong electromagnetic attraction force is generated by energizing a magnetic field line generator (not shown) attached thereto. .
該電磁石板８の中心部には取付孔8aが形成されてお
り、該取付孔8aに合成樹脂製の案内スリーブ12が圧入固
定されており、該案内スリーブ12の下端は上記タップア
ダプター７の孔7aに上方から対向している。A mounting hole 8a is formed in the center of the electromagnet plate 8, and a guide sleeve 12 made of synthetic resin is press-fitted and fixed in the mounting hole 8a. It faces 7a from above.
（c.上部プレート） 13は平板状をした上部プレートであり、この上部プレ
ート13も同じ方向に延びる強磁性体14、14、・・・と透
磁率の低い材料から成るセパレータ15、15、・・・とが
交互に配列一体化された構造を有している。(C. Upper plate) 13 is a flat upper plate, and the upper plate 13 also includes ferromagnetic substances 14, 14,... Extending in the same direction and separators 15, 15,. Has a structure in which and are alternately arranged and integrated.
そして、電磁石板８の強磁性体10、10、・・・と上部
プレート13の強磁性体14、14、・・・とは、また、電磁
石板８のセパレータ11、11、・・・と上部プレート13の
セパレータ15、15、・・・とは、同じ幅を有しており、
従って、電磁石板８と上部プレート13とは、それぞれの
強磁性体10、10、・・・と14、14、・・・とが、また、
セパレータ11、11、・・・と15、15、・・・とが、ぴっ
たりと重なり合うように、重ね合わすことができる。The ferromagnetic bodies 10, 10,... Of the electromagnet plate 8 and the ferromagnetic bodies 14, 14,. The separators 15, 15, ... of the plate 13 have the same width,
Therefore, the electromagnet plate 8 and the upper plate 13 are respectively composed of the ferromagnetic substances 10, 10,... And 14, 14,.
The separators 11, 11,... And 15, 15,... Can be overlapped so that they overlap exactly.
上記上部プレート13の中心部には位置決孔16が形成さ
れており、また、上部プレート13の下面のうち位置決孔
16を囲む位置に凹部17が形成されている。従って、位置
決孔16の下端は該凹部17内に開口している。A positioning hole 16 is formed at the center of the upper plate 13, and a positioning hole 16 is formed on the lower surface of the upper plate 13.
A recess 17 is formed at a position surrounding the recess 16. Therefore, the lower end of the positioning hole 16 opens into the concave portion 17.
（d.ディスクスタンパ） 18はニッケル製のディスクスタンパであり、その上面
18aには信号ピットの形をした図示しない微細な凹凸が
形成されている。そして、下面18bは平面に形成されて
いる。(D. Disk stamper) 18 is a nickel disk stamper,
Fine unevenness (not shown) in the shape of a signal pit is formed on 18a. And the lower surface 18b is formed in a plane.
また、ディスクスタンパ18の中心にはセンター孔19が
形成され、該センター孔19は上記上部プレート13の位置
決孔16と同じ径に形成されている。A center hole 19 is formed at the center of the disc stamper 18, and the center hole 19 is formed to have the same diameter as the positioning hole 16 of the upper plate 13.
20は固定リングであり、外径が上部プレート13の位置
決孔16やディスクスタンパ18のセンター孔19と略同径の
管状をした管状部21と該管状部21の上端から僅かに外方
に張り出したフランジ部22とが一体に形成されて成り、
管状部21の下端部外面にはねじ溝が形成されてねじ部23
とされている。A fixing ring 20 has a tubular portion 21 whose outer diameter is substantially the same as the diameter of the positioning hole 16 of the upper plate 13 and the center hole 19 of the disc stamper 18, and is slightly outward from the upper end of the tubular portion 21. The overhanging flange portion 22 is integrally formed,
A thread groove is formed on the outer surface of the lower end of the tubular portion 21 so that the thread portion 23 is formed.
It has been.
24は固定リング20のねじ部23に螺合されるナットであ
る。Reference numeral 24 denotes a nut that is screwed into the screw portion 23 of the fixing ring 20.
しかして、ディスクスタンパ18の上部プレート13への
装着は次に示すようにして為される。The mounting of the disc stamper 18 on the upper plate 13 is performed as follows.
まず、ディスクスタンパ18をその下面18bが上部プレ
ート13の上面に接するように重ね合わせ、ディスクスタ
ンパ18のセンター孔19と上部プレート13の位置決孔16と
を一致させる。First, the disk stamper 18 is overlapped so that its lower surface 18b is in contact with the upper surface of the upper plate 13, and the center hole 19 of the disk stamper 18 is aligned with the positioning hole 16 of the upper plate 13.
それから、固定リング20の管状部21を上方からディス
クスタンパ18のセンター孔19、上部プレート13の位置決
孔16の順に挿通し、上部プレート13の凹部17内に突出し
た固定リング20のねじ部23にナット24を螺着する。これ
によって、ディスクスタンパ18のセンター孔19の開口縁
部が固定リング20のフランジ部22と上部プレート13の上
面とで挾持されることになる。Then, the tubular portion 21 of the fixing ring 20 is inserted from above in the order of the center hole 19 of the disc stamper 18 and the positioning hole 16 of the upper plate 13, and the screw portion 23 of the fixing ring 20 protruding into the concave portion 17 of the upper plate 13. The nut 24 is screwed on. As a result, the opening edge of the center hole 19 of the disk stamper 18 is sandwiched between the flange portion 22 of the fixing ring 20 and the upper surface of the upper plate 13.
（e.上部プレートのスライドテーブルへの固定） 25はセンターピンであり、管状をした主部26と該主部
26の上端に固定された円板状の頭部27とから成り、頭部
27の周縁部28は外方へフランジ状に張り出している。ま
た、該周縁部28の下面には内端が主部26の外周面で限定
された管状の凹部28aが形成されている。そして、該凹
部28aはその中に上記固定リング20のフランジ部22が僅
かに余裕を有して嵌り込む大きさになっている。(E. Fixation of the upper plate to the slide table) 25 is a center pin, which is a tubular main part 26 and the main part.
And a disk-shaped head 27 fixed to the upper end of 26
The peripheral portion 28 of 27 protrudes outward in a flange shape. In addition, a tubular concave portion 28a whose inner end is limited by the outer peripheral surface of the main portion 26 is formed on the lower surface of the peripheral portion 28. The concave portion 28a has a size such that the flange portion 22 of the fixing ring 20 fits therein with a margin.
頭部27の外周面は中間に位置し主部26の軸と平行な環
状面を成す位置決め面27aと該位置決め面27aの下端に連
続し下方へ行くに従って外方へ変位する傾斜面とされた
係合面27bと位置決め面27aの上端に連続し上方に行くに
従って内側へ変位する傾斜面とされた導入面27cとから
成る。The outer peripheral surface of the head 27 is a middle surface, a positioning surface 27a forming an annular surface parallel to the axis of the main part 26, and an inclined surface which is continuous with the lower end of the positioning surface 27a and is displaced outward as going downward. It comprises an engaging surface 27b and an introduction surface 27c which is continuous with the upper end of the positioning surface 27a and is inclined so as to be displaced inward as going upward.
そこで、先ず、以上のようにディスクスタンパ18を保
持した上部プレート13を電磁石板８の上面に載置する。Therefore, first, the upper plate 13 holding the disk stamper 18 is placed on the upper surface of the electromagnet plate 8 as described above.
そして、上記センターピン25の主部26を上方から、固
定リング20、案内スリーブ12の順に挿通して行き、その
下端部をタップアダプター７の孔7a内に挿入する。Then, the main part 26 of the center pin 25 is inserted from above in the order of the fixing ring 20 and the guide sleeve 12, and the lower end thereof is inserted into the hole 7 a of the tap adapter 7.
そこで、エアシリンダ６を駆動してそのピストンロッ
ド6aを下降させると、これに引張られてセンターピン25
が下降され、その頭部27で固定リング20の上端部及びフ
ランジ部22を覆った状態となる。Then, when the air cylinder 6 is driven to lower the piston rod 6a, the piston pin 6a is pulled by this and the center pin 25 is pulled.
Is lowered, and the head 27 covers the upper end of the fixing ring 20 and the flange 22.
そして、電磁石板８に通電すると、上部プレート13が
電磁石板８に磁気吸着されると共に、ディスクスタンパ
18も上部プレート13に磁気吸着され、その平面18bが上
部プレート13の上面の平面に倣い、高い平面性が実現さ
れることとなる。When the electromagnet plate 8 is energized, the upper plate 13 is magnetically attracted to the electromagnet plate 8 and the disk stamper
The upper plate 13 is also magnetically attracted to the upper plate 13, and its plane 18b follows the plane of the upper surface of the upper plate 13, thereby realizing high flatness.
そして、上部プレート13をスライドテーブル１から外
す場合は、電磁石板８への通電をオフし、タップアダプ
ター７によるセンターピン25の下端部の喰い付きを解除
し、センターピン25を案内スリーブ12及び固定リング20
から引き抜いて、上部プレート13を電磁石板８上から移
動すれば良い。When removing the upper plate 13 from the slide table 1, the power supply to the electromagnet plate 8 is turned off, the biting of the lower end of the center pin 25 by the tap adapter 7 is released, and the center pin 25 is fixed to the guide sleeve 12 and the guide sleeve 12. Ring 20
, The upper plate 13 may be moved from above the electromagnet plate 8.
（f.ディスク基板と転写動作） 29はディスク基板であり、該ディスク基板29は透明な
ガラス板、透明な合成樹脂等により円板状に形成され、
その中心にセンター孔30が形成されている。(F. Disc substrate and transfer operation) 29 is a disc substrate, and the disc substrate 29 is formed of a transparent glass plate, a transparent synthetic resin or the like into a disc shape,
A center hole 30 is formed at the center.
ディスク基板29の上記センター孔30はその開口内周面
の上下が面取りされてテーパー面30a、30bが形成され、
これら２つのテーパー面30aと30bとの間の部分がディス
ク基板29の回転軸と平行な位置決め面30cとされてい
る。The center hole 30 of the disc substrate 29 is tapered at the top and bottom of the opening inner peripheral surface to form tapered surfaces 30a and 30b,
A portion between these two tapered surfaces 30a and 30b is a positioning surface 30c parallel to the rotation axis of the disk substrate 29.
そして、このようなディスク基板29の一方の面29a
に、例えば、スクリーン印刷の手法により所望のパター
ンに液状の紫外線硬化樹脂31が供給され、次いで、該デ
ィスク基板29は紫外線硬化樹脂31が供給された面29aを
下向きにして、即ち、上記一方の面29aが紫外線硬化樹
脂31を介してディスクスタンパ18の上面18aと対向する
ようにしてディスクスタンパ18上に重ね合わされる。そ
して、このとき、ディスク基板29はその下側のテーパー
面30bがセンターピン25の導入面27cによって案内される
ことによって、その位置決め面30cがセンターピン25の
位置決め面27aに外嵌され、これによって、ディスク基
板29がディスクスタンパ18に対して精確に位置決めされ
る。また、ディスク基板29の下側のテーパー面30bはセ
ンターピン25の係合面27bに上方から係合した状態とな
る。Then, one surface 29a of such a disk substrate 29
For example, the liquid ultraviolet curable resin 31 is supplied in a desired pattern by a screen printing method, and then the disk substrate 29 faces down the surface 29a to which the ultraviolet curable resin 31 is supplied, that is, the one of the above-mentioned ones. The surface 29a is superposed on the disk stamper 18 so as to face the upper surface 18a of the disk stamper 18 via the ultraviolet curing resin 31. Then, at this time, the disk substrate 29 has its lower tapered surface 30b guided by the introduction surface 27c of the center pin 25, whereby the positioning surface 30c is fitted onto the positioning surface 27a of the center pin 25, thereby Thus, the disk substrate 29 is accurately positioned with respect to the disk stamper 18. The lower tapered surface 30b of the disk substrate 29 is engaged with the engaging surface 27b of the center pin 25 from above.
そこで、図示しない加圧ローラによって、ディスク基
板29がディスクスタンパ18の方へ向けて押圧され、ディ
スク基板29とディスクスタンパ18との間に介在された液
状の紫外線硬化樹脂31が両者18、29の間に均等に行き亘
ってディスクスタンパ18の上面に形成された微細な凹凸
（図示していない。）に完全に充填される。Therefore, the disk substrate 29 is pressed toward the disk stamper 18 by a pressure roller (not shown), and the liquid ultraviolet curable resin 31 interposed between the disk substrate 29 and the disk stamper 18 is applied to both of the two. The fine irregularities (not shown) formed on the upper surface of the disk stamper 18 are completely filled evenly over the gap.
それから、図示しない紫外線ランプによりディスク基
板29の他方の面29b側からディスク基板29を通して上記
紫外線硬化樹脂31に紫外光が照射され、これによって、
紫外線硬化樹脂31が硬化せしめられる。Then, the ultraviolet curing resin 31 is irradiated with ultraviolet light from the other surface 29b side of the disk substrate 29 through the disk substrate 29 by an ultraviolet lamp (not shown).
The ultraviolet curable resin 31 is cured.
紫外線硬化樹脂31が硬化せしめられると、上記エアシ
リンダ６が駆動されてそのピストンロッド6aが上昇さ
れ、これによってセンターピン25が上昇せしめられる。When the ultraviolet curable resin 31 is cured, the air cylinder 6 is driven to raise the piston rod 6a, and thereby the center pin 25 is raised.
センターピン25が上昇されると、その係合面27bによ
ってディスク基板29の下側になっているテーパー面30b
がセンターピン25の係合面27cによって上方へ向けて持
ち上げられるため、ディスク基板29は硬化した紫外線硬
化樹脂層と共にその中心よりディスクスタンパ18から剥
離されることになる。When the center pin 25 is raised, the tapered surface 30b located below the disc substrate 29 by the engagement surface 27b
Is lifted upward by the engagement surface 27c of the center pin 25, so that the disk substrate 29 is separated from the disk stamper 18 from the center thereof together with the hardened ultraviolet curable resin layer.
そして、ディスクスタンパ18から剥離されたディスク
基板29は図示しない搬出手段によって搬出され、ピスト
ンロッド6aが下降してセンターピン25が元の位置に戻さ
れ、次の新たなディスク基板29がディスクスタンパ18上
に重ね合わされる。Then, the disc substrate 29 peeled off from the disc stamper 18 is carried out by carrying-out means (not shown), the piston rod 6a is lowered, the center pin 25 is returned to the original position, and the next new disc substrate 29 is Overlaid on top.
このような転写装置にあっては、ディスクスタンパ
（スタンパ）18のセンター孔（中心孔）19は上部プレー
ト（スタンパ保持台）13に対して固定リング20で保持さ
れており、センターピン25は上下動するときに、この固
定リング20に対して摺接し、軟質の材料であるニッケル
から成るディスクスタンパ18には摺接することがないの
で、ディスクスタンパ18のセンター孔19がセンターピン
25によって擦られて金属埃が発生することが無く、ま
た、ディスクスタンパ18が変形を受けるようなことも無
い。In such a transfer device, a center hole (center hole) 19 of a disk stamper (stamper) 18 is held by a fixing ring 20 with respect to an upper plate (stamper holder) 13, and a center pin 25 is When the disk stamper 18 moves, it slides against the fixing ring 20 and does not slide against the disk stamper 18 made of a soft material such as nickel.
No metal dust is generated by being rubbed by 25, and the disk stamper 18 is not deformed.
更に、ディスクスタンパ18の中心部は上下動するセン
ターピン25によってではなく固定リング20で押さえられ
ているので、センターピン25を突き上げてディスク基板
29を剥離するときにディスクスタンパ18がディスク基板
29につられて上部プレート13から浮き上がってしまうよ
うなことが無い。Further, since the center of the disk stamper 18 is not held by the centering pin 25 which moves up and down but by the fixing ring 20, the center pin 25 is pushed up and the disk
When peeling 29, the disc stamper 18
There is no such thing as to be lifted from the upper plate 13 by being stuck by 29.
また、上記したように、スタンパ保持台を２重構造と
し（電磁石板８と上部プレート13）た場合には、上部プ
レート13を複数用意しておくことによって、段取り替え
やメンテナンス等の作業性が向上し、かつ、センターピ
ン25により電磁石板８と上部プレート13との間の位置合
わせが精確に為されるので、２重構造にしたことによる
精度の低下を招く惧れがない。特に、この場合、電磁石
板８に合成樹脂製の案内スリーブ12を圧入しておき、こ
れにセンターピン25を嵌挿するようにすることによっっ
て精度を更に向上させることができる。In addition, as described above, when the stamper holding base has a double structure (the electromagnet plate 8 and the upper plate 13), by preparing a plurality of upper plates 13, workability such as setup change and maintenance can be improved. In addition, since the alignment between the electromagnet plate 8 and the upper plate 13 is accurately performed by the center pin 25, there is no possibility that the accuracy is reduced due to the double structure. In particular, in this case, the precision can be further improved by press-fitting the guide sleeve 12 made of synthetic resin into the electromagnet plate 8 and fitting the center pin 25 into this.
（g.センターピンの変形例）［第７図］ 第７図はセンターピンの変形例を示すものである。(G. Modified Example of Center Pin) [FIG. 7] FIG. 7 shows a modified example of the center pin.
センターピン25の頭部27から僅か下方に中心孔32と外
周面との間を連通する通孔33、33を形成する。Through holes 33, 33 are formed slightly below the head 27 of the center pin 25 to communicate between the center hole 32 and the outer peripheral surface.
そして、ディスク基板29をディスクスタンパ18から剥
離するときは、センターピン25とエアシリンダ６との間
の結合を解き、センターピン25の中心孔32にエアー、例
えば、N2ガスを圧送する。すると、N2ガスの送圧により
センターピン25は上記通孔33、33が固定リング20の上端
より上方に位置したところまで上昇せしめられることに
なる（第７図の２点鎖線参照）。Then, when the disk substrate 29 is peeled off from the disk stamper 18, the connection between the center pin 25 and the air cylinder 6 is broken, and air, for example, N 2 gas is pumped into the center hole 32 of the center pin 25. Then, the center pin 25 is raised by the pressure of the N 2 gas to a position where the through holes 33 are located above the upper end of the fixing ring 20 (see a two-dot chain line in FIG. 7).
このように、センターピン25の上昇をエアーによって
行なうこともできる。Thus, the center pin 25 can be raised by air.
（G.発明の効果） 以上に記載したところから明らかなように、本発明転
写装置は、スタンパに基板を液状の合成樹脂を介して対
接させ、合成樹脂を硬化させた後基板を合成樹脂と共に
スタンパから剥離する転写装置において、スタンパの中
心孔と該スタンパを保持する保持台の取付孔とに挿通さ
れ、かつ、保持台に固定されると共に、スタンパの中心
孔と略同径の管状部の上端から外方へ張り出したフラン
ジ部がスタンパの中心孔の周縁部を保持台に押え付ける
固定リングと、固定リングの管状部の内側に挿通される
軸部とを該軸部の上端に設けられた円形状の頭部とから
成り、該頭部の周縁部が外方へフランジ状に張り出し、
かつ、該周縁部の上面が下方へ行くに従って外方へ変位
する傾斜面になっているセンターピンとを備え、センタ
ーピンが下降した状態で基板の中心孔がセンターピンの
頭部に外嵌されて基板のスタンパに対する位置決めが為
され、センターピンが上動することによりセンターピン
の頭部に載置された基板がスタンパから剥離されるとと
もに、センターピンが上動しても上記固定リングにより
スタンパが上記保持台から浮き上がらないようにしたこ
とを特徴とする。(G. Effects of the Invention) As is apparent from the above description, the transfer device of the present invention is configured such that the substrate is brought into contact with the stamper via the liquid synthetic resin, and after the synthetic resin is cured, the substrate is formed of the synthetic resin. In the transfer device that separates from the stamper, the tubular portion is inserted into the center hole of the stamper and the mounting hole of the holding stand that holds the stamper, and is fixed to the holding stand, and has the same diameter as the center hole of the stamper. At the upper end of the shaft, there is provided a fixing ring in which a flange protruding outward from the upper end of the stamper presses the peripheral edge of the center hole of the stamper to the holding table, and a shaft inserted through the inside of the tubular portion of the fixing ring. A circular head that is formed, and the periphery of the head protrudes outward in a flange shape,
A center pin having an inclined surface in which the upper surface of the peripheral portion is displaced outwardly as it goes downward, and the center hole of the substrate is fitted to the head of the center pin in a state where the center pin is lowered. The substrate is positioned with respect to the stamper, and the center pin moves upward, whereby the substrate placed on the head of the center pin is peeled off from the stamper. It is characterized in that it does not float from the holding table.
従って、本発明転写装置によれば、センターピンが上
下動しても、センターピンとディスクスタンパとが擦れ
合うことは無く、金属粉の発生やディスクスタンパの摩
耗や変形を防止することができる。また、センターピン
が上動してディスク基板がディスクスタンパから剥離さ
れるとき、センターピンが上方へ移動してもディスクス
タンパの中心部は固定リングによって押えられているた
め、ディスクスタンパが浮き上がってしまうことが無
い。Therefore, according to the transfer device of the present invention, even if the center pin moves up and down, the center pin and the disk stamper do not rub against each other, and the generation of metal powder and the wear and deformation of the disk stamper can be prevented. Also, when the center pin moves upward and the disk substrate is peeled off from the disk stamper, the disk stamper rises because the center of the disk stamper is pressed by the fixing ring even if the center pin moves upward. There is nothing.
尚、上記実施例には、本発明を光ディスクの信号面転
写装置に適用したものを示したが、本発明の適用範囲が
このようなものに限定されることを意味するものではな
い。In the above embodiment, the present invention is applied to a signal transfer apparatus for an optical disk, but this does not mean that the scope of the present invention is limited to this.
また、上記実施例では、スタンパの保持を電磁チャッ
ク方式により行ない、かつ、その電磁チャックを２重構
造にしたものを示したが、これも電磁チャック方式や２
重構造のものに限定されるものではない。Further, in the above embodiment, the stamper is held by the electromagnetic chuck system and the electromagnetic chuck has a double structure.
It is not limited to a double structure.
その他、上記実施例において示した構造は、何れも、
本発明の具体化に当ってのほんの一例を示したものにす
ぎず、これらによって、本発明の技術的範囲が限定的に
解釈されるものではなく、本発明の趣旨に適合する範囲
において、種々の変更を加えて実施することが可能であ
る。In addition, any of the structures shown in the above embodiments are
It is merely an example of embodying the present invention, and the technical scope of the present invention is not to be construed as being limited thereto, and various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. It is possible to carry out the present invention with modifications.
第１図乃至第７図は本発明転写装置の実施の一例を示す
もので、第１図は分解斜視図、第２図は平面図、第３図
は第２図のIII−III線に沿う断面図、第４図は要部の分
解断面図、第５図は要部の拡大断面図、第６図は作用を
（Ａ）、（Ｂ）に分けて示す要部の拡大断面図、第７図
はセンターピンの変形例を示す要部の拡大断面図、第８
図は転写方法の一例を（Ａ）から（Ｇ）へ順を追って示
す概略斜視図、第９図乃至第11図は従来の転写装置の一
例を示すもので、第９図は概略斜視図、第10図及び第11
図はそれぞれ異なる工程を示す拡大断面図である。 符号の説明 13……保持台、16……取付孔、18……スタンパ、19……
（スタンパの）中心孔、20……固定リング、21……環状
部、22……フランジ部、25……センターピン、26……軸
部、27……頭部、27b、27c……傾斜部、28……周縁部、
29……基板、30……（基板の）中心孔、31……合成樹脂1 to 7 show an embodiment of the transfer apparatus of the present invention. FIG. 1 is an exploded perspective view, FIG. 2 is a plan view, and FIG. 3 is along the line III-III in FIG. FIG. 4 is an exploded cross-sectional view of the main part, FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the main part, FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of the main part, showing the operation divided into (A) and (B). FIG. 7 is an enlarged sectional view of a main part showing a modification of the center pin, and FIG.
9 is a schematic perspective view showing an example of a transfer method in order from (A) to (G). FIGS. 9 to 11 show an example of a conventional transfer apparatus. FIG. 9 is a schematic perspective view. Figures 10 and 11
The figures are enlarged sectional views showing different steps. Description of symbols 13… holding table, 16… mounting hole, 18… stamper, 19…
Center hole (of the stamper), 20 ... fixed ring, 21 ... annular part, 22 ... flange part, 25 ... center pin, 26 ... ... shaft part, 27 ... head, 27b, 27c ... inclined part , 28 ... Perimeter,
29 ... board, 30 ... center hole (of board), 31 ... synthetic resin
Claims (1)
対接させ、上記合成樹脂を硬化させた後基板を合成樹脂
と共にスタンパから剥離する転写装置において、 上記スタンパの中心孔と該スタンパを保持する保持台の
取付孔とに挿通され、かつ、保持台に固定されると共
に、スタンパの中心孔と略同径の管状部の上端から外方
へ張り出したフランジ部がスタンパの中心孔の周縁部を
保持台に押え付ける固定リングと、 上記固定リングの管状部の内側に挿通される軸部と該軸
部の上端に設けられた円形状の頭部とから成り、該頭部
の周縁部が外方へフランジ状に張り出し、かつ、該周縁
部の上面が下方へ行くに従って外方へ変位する傾斜面に
なっているセンターピンとを備え、 上記センターピンが下降した状態で基板の中心孔がセン
ターピンの頭部に外嵌されて基板のスタンパに対する位
置決めが為され、センターピンが上動することによりセ
ンターピンの頭部に載置された基板がスタンパから剥離
されるとともに、センターピンが上動しても上記固定リ
ングによりスタンパが上記保持台から浮き上がらないよ
うにした ことを特徴とする転写装置1. A transfer device in which a substrate is brought into contact with a stamper via a liquid synthetic resin, and after the synthetic resin is cured, the substrate is peeled off from the stamper together with the synthetic resin. The flange part which is inserted into the mounting hole of the holding stand to be held and is fixed to the holding stand, and which protrudes outward from the upper end of the tubular portion having substantially the same diameter as the center hole of the stamper is formed on the periphery of the center hole of the stamper. A fixing ring for pressing the part against the holding table, a shaft part inserted inside the tubular part of the fixing ring, and a circular head provided at the upper end of the shaft part, and a peripheral part of the head part And a center pin, which protrudes outward in a flange shape, and has an inclined surface that is displaced outward as the upper surface of the peripheral portion goes downward, wherein the center hole of the substrate is formed in a state where the center pin is lowered. Center pin The substrate mounted on the head is positioned externally on the stamper, and the center pin is moved upward, whereby the substrate placed on the head of the center pin is separated from the stamper and the center pin is moved upward. Wherein the stamper is prevented from floating from the holding table by the fixing ring.
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|---|---|---|---|
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| JPH01101126A (en) * | 1987-10-15 | 1989-04-19 | Pioneer Electron Corp | Device for production of optical disc |
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1989
- 1989-05-17 JP JP1123679A patent/JP2844667B2/en not_active Expired - Lifetime
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