JPH02249154A - Optical master disk - Google Patents
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- JPH02249154A JPH02249154A JP1072115A JP7211589A JPH02249154A JP H02249154 A JPH02249154 A JP H02249154A JP 1072115 A JP1072115 A JP 1072115A JP 7211589 A JP7211589 A JP 7211589A JP H02249154 A JPH02249154 A JP H02249154A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は情報の記録再生に用いる光ディスク基板用の光
ディスク原盤に関し、特に、Ｐｈｏｔ。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an optical disc master for an optical disc substrate used for recording and reproducing information, and in particular, to a Phot disc.
Ｐｏ ｌ ｙｍｅ ｒ法により製造する光ディスク基板
の光ディスク原盤に関する。The present invention relates to an optical disc master of an optical disc substrate manufactured by the Polymer method.
第４図は従来の一例を示すディスク原盤の断面図である
。一般に、光ディスク原盤の製作されるマスタリング工
程は、例えば、第４図に示すように、ベース２２である
研磨されたガラス板あるいは金属板の全面にレジスト膜
を形成し、この膜に外部信号によりレーザ光をＯＮ−〇
Ｆ ’Ｆさせて露光パターニングンする。次に、不要な
レジスト膜をエツチング除去し、凹凸のあるレジスト膜
上の全面にニッケル等の金属膜２１を形成させ、導電性
を持たせる。次に、この光ディスク原板を電鋳槽に入れ
てニッケル製のスタンパとして光ディスク原盤を作製す
る。FIG. 4 is a sectional view of a disk master showing an example of the conventional technique. Generally, in the mastering process for producing an optical disk master, a resist film is formed on the entire surface of a polished glass plate or metal plate, which is the base 22, and a laser beam is applied to this film using an external signal, as shown in FIG. Turn on the light to perform exposure patterning. Next, unnecessary resist film is removed by etching, and a metal film 21 such as nickel is formed on the entire surface of the uneven resist film to make it conductive. Next, this optical disk master is placed in an electroforming tank and used as a nickel stamper to produce an optical disk master.
第５図（ａ）〜（Ｃ）は光ディスク基板を製作する順序
を示した光ディスク基板の断面図である。FIGS. 5A to 5C are cross-sectional views of an optical disc substrate showing the order in which the optical disc substrate is manufactured.
光ディスク原盤を使用して光ディスク基板の製作工程、
すなわち、レプリケーション工程は前述のスタンパであ
る光ディスク原盤を使用して大量の光ディスク基板を作
る工程である。Manufacturing process of optical disc substrate using optical disc master disc,
That is, the replication process is a process of producing a large number of optical disc substrates using the optical disc master disk, which is the stamper described above.
まず、第５図（ａ）に示すように、光ティスフ原盤２３
上の全面に紫外線硬化用の樹脂１５を塗布する。次に、
第５図（ｂ）に示すように、カラスまたは透明なプラス
チックのサブストレート１６を樹脂１５の上に乗せ、押
圧する。このことにより、樹脂１５は均一に押し広げら
れる。次に、紫外線ランプで、紫外線を樹脂１５に照射
し硬化させるこのことにより、光ディスク原盤２３のプ
リグルーブ１４は樹脂１５に転写される。次に、第５図
（Ｃ）に示すように、剥離治具１８により硬化した樹脂
１５をサブストレート１６とともに取り外し光ディスク
基板を製作する。First, as shown in FIG. 5(a), the optical tisf master 23
An ultraviolet curing resin 15 is applied to the entire surface. next,
As shown in FIG. 5(b), a glass or transparent plastic substrate 16 is placed on the resin 15 and pressed. This allows the resin 15 to be uniformly spread. Next, the resin 15 is irradiated with ultraviolet light using an ultraviolet lamp and cured, thereby transferring the pregroove 14 of the optical disc master 23 onto the resin 15. Next, as shown in FIG. 5(C), the cured resin 15 is removed together with the substrate 16 using a peeling jig 18 to produce an optical disk substrate.
ここで、ガラス製あるいはプラスチックのサブストレー
トは樹脂との付着力が弱いため、あらかじめ、このサブ
ストレートの表面をブライマーで処理を行なう。Here, since glass or plastic substrates have weak adhesion to resin, the surface of this substrate is treated with a brimer in advance.
以上説明したように、この光ディスク基板を製作する工
程は長く、特に、光ディスク原盤から光ディスク基板を
剥す剥離工程が時間がかかるという問題がある。すなわ
ち、樹脂硬化後、急激に剥離を行なうと、サブストレー
トが破壊することがある。従って、この剥離作業はゆっ
くりと剥離しなければならず時間がかかるという問題か
ある。As explained above, there is a problem in that the process of manufacturing this optical disc substrate is long, and in particular, the peeling process of peeling off the optical disc substrate from the master optical disc takes time. That is, if the resin is suddenly peeled off after it has hardened, the substrate may be destroyed. Therefore, this peeling operation has to be done slowly and takes time.
また、この剥離速度によっては、光ティスクＪｇ盤側に
樹脂が残り、次回以降に製作された光ティスフ基板に重
大な品質欠陥をもたらすという問題もある。Furthermore, depending on the peeling speed, there is a problem in that resin remains on the optical disk Jg board side, causing serious quality defects in optical disk substrates manufactured from the next time onwards.
本発明の目的は、かかる問題を解消し、剥離工程に要す
る時間を短縮出来る光ディスク原盤を提供することであ
る。An object of the present invention is to provide an optical disc master that can solve this problem and shorten the time required for the peeling process.
本発明の光ディスク原盤は、研磨ガラスに成膜された金
属薄膜にプリグルーブを有する光ディスク原盤において
、前記プリグルーブ形成領域にのみ前記金属薄膜が成膜
されていることを含んで構成される。The optical disk master of the present invention is an optical disk master having a pregroove formed on a metal thin film formed on polished glass, and includes the metal thin film being formed only in the pregroove formation area.
次に、本発明について図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
第１図は本発明の一実施例を示す光ディスク原盤の断面
図、第２図は第１図に示す光ディスク原盤の製作方法を
説明するための光ディスク原盤の断面図、第３図（ａ）
〜（ｄ）は第１図に示す光ディスク原盤を用いて光ディ
スク基板を製作した場合の製作順序に示した光ディスク
基板の断面図である。Fig. 1 is a sectional view of an optical disc master showing an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a sectional view of the optical disc master for explaining the method of manufacturing the optical disc master shown in Fig. 1, and Fig. 3(a).
-(d) are cross-sectional views of the optical disc substrate shown in the manufacturing order when the optical disc substrate is manufactured using the optical disc master shown in FIG. 1.
この光ディスク原盤は、第１図に示すように、研磨され
たカラス基板１１に、プリグルーブが形成される領域の
みスパッタリング法により形成された二層の金属膜か設
けられていることである。As shown in FIG. 1, this optical disk master disc has a polished glass substrate 11 with a two-layer metal film formed by sputtering only in the area where the pregroove is to be formed.
この金属膜は、例えば、Ｃｒ金属膜１２とＡｕ金属膜１
３であり、このＡｕ金属膜１３上にプリグルーブ１４を
形成したものである。This metal film includes, for example, a Cr metal film 12 and an Au metal film 1.
3, and a pregroove 14 is formed on this Au metal film 13.
次に、この光ディスク原盤を理解し易いようにその製作
方法を説明する。まず、第２図に示すように、例えば、
直径１４０ｍｍ、内径１８ｍｍ、板厚６ｍｍの研磨され
たガラス板１１にプリグルーブが形成される範囲、例え
ば、半径２５ｍｍから半径６２ｍｍの範囲に、Ｃｒをス
パッタリングしてＣｒ金属膜１２を下地金属膜として形
成する。Next, the manufacturing method of this optical disc master will be explained to make it easier to understand. First, as shown in Figure 2, for example,
A polished glass plate 11 with a diameter of 140 mm, an inner diameter of 18 mm, and a plate thickness of 6 mm is sputtered with Cr to form a Cr metal film 12 as a base metal film in an area where a pregroove is to be formed, for example, in a radius of 25 mm to a radius of 62 mm. Form.
次に、スパッタリングにより下地金属膜の上にＡｕ金属
膜１３を形成する。Next, an Au metal film 13 is formed on the underlying metal film by sputtering.
次に、従来例と異なるプリグルーブ形成法として、例え
は、超精密旋盤２０を用い、タ゛イヤモンド工具１９て
Ａｕ金属膜に溝幅１μｎ］、深さ８０ｎｍのプリグルー
ブ１４をピッチ１６μｍでスパイラル状に形成する。こ
のようにして、第１図に示すような光ディスク原盤を製
作した。Next, as a pregroove forming method different from the conventional example, for example, using an ultra-precision lathe 20, a diamond tool 19 is used to form a pregroove 14 with a groove width of 1 μm and a depth of 80 nm into an Au metal film in a spiral shape with a pitch of 16 μm. Form. In this way, an optical disk master as shown in FIG. 1 was manufactured.
次に、この光ディスク原盤を使用して光ティスフ基板の
製作方法を説明する。まず、第３図（ａ）に示すように
、光ディスク原盤２３ａに紫外線硬化用の樹脂１５ｆ、
塗布する。次に、第３図（ｂ）に示すように、プライマ
処理を行なったガラス製のサブストレート１６を垂直荷
重１０Ｋｇで押圧し、樹脂１５をサブストレート１６と
光ディスク原盤２３ａとの間に全面押し広げる。Next, a method of manufacturing an optical disk substrate using this optical disk master will be explained. First, as shown in FIG. 3(a), an ultraviolet curing resin 15f is placed on the optical disc master 23a.
Apply. Next, as shown in FIG. 3(b), the primer-treated glass substrate 16 is pressed with a vertical load of 10 kg to spread the resin 15 over the entire surface between the substrate 16 and the optical disc master 23a. .
次に、サブストレート１６の上方から紫外線ランプ１７
により紫外光を樹脂１５に照射させて硬化させる。次に
、第３図（Ｃ）に示すように、剥離治具１８を用いてサ
ブストレート１６を光ディスク原盤より剥して第３図（
ｄ）に示す光ディスク基板を製作する。Next, the ultraviolet lamp 17 is placed from above the substrate 16.
The resin 15 is irradiated with ultraviolet light and cured. Next, as shown in FIG. 3(C), the substrate 16 is peeled off from the optical disc master using the peeling jig 18.
Fabricate the optical disc substrate shown in d).
このように光ディスク原盤を、プリグルーブが形成され
る領域のみ金属膜を形成し、プリグルーブが形成されな
い領域をガラス板が露出するように製作させたので、カ
ラス板と樹脂との接着力が弱く、容易に剥離することが
出来た。In this way, the optical disc master was manufactured so that the metal film was formed only in the area where the pregroove was formed, and the glass plate was exposed in the area where the pregroove was not formed, so the adhesive force between the glass plate and the resin was weak. , could be easily peeled off.
以上述べたように本発明の光ディスク原盤は、プリグル
ーブが形成される領域のみ金属膜を形成し、それ以外は
ガラス基板が露出した状態にさせたので、光ディスク基
板の製作に際して、金属膜と紫外線硬化用の樹脂との接
着面積が小さくなるので、剥離作業が短時間で出来ると
ともに光ディスク基板の品質を損なうことなく生産出来
るという効果がある。As described above, in the optical disk master disc of the present invention, a metal film is formed only in the region where the pregroove is formed, and the glass substrate is exposed in other areas. Since the adhesive area with the curing resin is reduced, the peeling work can be done in a short time, and the optical disk substrate can be produced without deteriorating its quality.
場合の製作順序に示した光ディスク基板の断面図、第４
図は従来の一例を示すディスク原盤の断面図、第５図（
ａ）〜（ｃ）は光ディスク基板を製作する順序を示した
光ディスク基板の断面図である。A cross-sectional view of the optical disk substrate shown in the manufacturing order of the case, No. 4
The figure is a cross-sectional view of a disk master showing an example of the conventional technique, and Figure 5 (
1A to 2C are cross-sectional views of an optical disc substrate showing the order in which the optical disc substrate is manufactured.
１１・・・ガラス基板、１２・・・Ｃｒ金属膜、１３・
・・Ａｕ金属膜、１４・・・プリグルーブ、１５・・樹
脂、１６・・・サブストレート、１７・・紫外線ランプ
、１８・・・剥離治具、１９・・・ダイヤモント工具、
２０・・超精密旋盤、２１・・・金属膜、２２・・・ベ
ース、２３．２３ａ・・光ディスク原盤。11...Glass substrate, 12...Cr metal film, 13.
...Au metal film, 14...Pregroove, 15...Resin, 16...Substrate, 17...Ultraviolet lamp, 18...Peeling jig, 19...Diamond tool,
20...Ultra precision lathe, 21...Metal film, 22...Base, 23.23a...Optical disc master.
Claims (1)
る光ディスク原盤において、前記プリグルーブ形成領域
にのみ前記金属薄膜が成膜されていることを特徴とする
光ディスク原盤。1. An optical disc master having a pregroove in a metal thin film formed on polished glass, wherein the metal thin film is formed only in the pregroove formation area.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1072115A JPH02249154A (en) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | Optical master disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1072115A JPH02249154A (en) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | Optical master disk |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02249154A true JPH02249154A (en) | 1990-10-04 |
Family
ID=13480042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1072115A Pending JPH02249154A (en) | 1989-03-23 | 1989-03-23 | Optical master disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02249154A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5217850A (en) * | 1991-02-07 | 1993-06-08 | Pioneer Electronic Corporation | Optical recording disk and manufacturing method thereof |
-
1989
- 1989-03-23 JP JP1072115A patent/JPH02249154A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5217850A (en) * | 1991-02-07 | 1993-06-08 | Pioneer Electronic Corporation | Optical recording disk and manufacturing method thereof |
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