JP2842498B2 - Surface generation type ion generator - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、イオン加速器に使用す
る表面生成型イオン発生装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface generating type ion generator used for an ion accelerator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のこの種の表面生成型イオン発生装
置としては、例えば「The 6th Symposium on Accelerat
or Science and Technology 」（IONICS PUBLISHING CO
MPANY、1987年発行、p.70−p.71）に記載された、図４
に示すようなものが知られている。同図において、１は
中央にイオンビームが取り出される穴を持つリペラ、２
はリペラ１にフランジ取り付けされているバレル、３は
バレル２にフランジ取り付けされているエンドプレート
である。2. Description of the Related Art As a conventional surface generating type ion generator of this kind, for example, "The 6th Symposium on Accelerat"
or Science and Technology ”(IONICS PUBLISHING CO
FIG. 4 described in MPANY, 1987, p.70-p.71).
The following are known. In the figure, reference numeral 1 denotes a repeller having a hole at the center for extracting an ion beam;
Reference numeral 3 denotes a barrel mounted on the repeller 1 by flange, and 3 denotes an end plate mounted on the barrel 2 by flange.
【０００３】４はリペラ１とバレル２とエンドプレート
３で構成される真空容器内に設置されたモリブデンから
なる荷電変換用電極、５はバレル２の円周上に極性を交
互に変えて設置された永久磁石、６は永久磁石５を格納
するベッセル、７はリペラ１とバレル２とエンドプレー
ト３で構成される真空容器内に設置されたフィラメン
ト、８は荷電変換用電極４を支持する支持棒、９はリペ
ラ１とバレル２とエンドプレート３で構成される真空容
器内にセシウム蒸気を導入するためのセシウム導入管、
１０はリペラ１とバレル２とエンドプレート３で構成さ
れる真空容器内に、生成すべきイオン核種から成るガス
を導入するためのガス導入管である。[0003] Reference numeral 4 denotes a charge conversion electrode made of molybdenum, which is installed in a vacuum vessel comprising a repeller 1, a barrel 2, and an end plate 3, and 5 is installed on the circumference of the barrel 2 with alternating polarities. 6, a vessel for storing the permanent magnet 5, a filament 7 installed in a vacuum vessel composed of a repeller 1, a barrel 2, and an end plate 3, and a support rod 8 for supporting the charge conversion electrode 4. , 9 is a cesium introduction pipe for introducing cesium vapor into a vacuum vessel composed of a repeller 1, a barrel 2, and an end plate 3,
Reference numeral 10 denotes a gas introduction pipe for introducing a gas composed of ionic nuclides to be generated into a vacuum vessel including the repeller 1, the barrel 2, and the end plate 3.
【０００４】１１はエンドプレート３に取り付けられた
電極取付ポート、１２は電極取付ポート１１に取り付け
られた絶縁フランジ、１３は絶縁フランジ１２を挟んで
電極取付ポートに固定され、支持棒８に電気的に接合さ
れている電極支持フランジ、１４は荷電変換用電極４と
支持棒８の回りを囲むスパッタ保護カバー、１５はリペ
ラ１とバレル２とエンドプレート３で構成される真空容
器と電極支持フランジ１３の間に電圧を印加する高圧電
源である。[0004] Reference numeral 11 denotes an electrode mounting port mounted on the end plate 3, 12 denotes an insulating flange mounted on the electrode mounting port 11, 13 is fixed to the electrode mounting port with the insulating flange 12 interposed therebetween, and is electrically connected to the support rod 8. , A sputter protection cover surrounding the charge conversion electrode 4 and the support rod 8, 15 a vacuum vessel comprising the repeller 1, the barrel 2 and the end plate 3, and the electrode support flange 13. This is a high-voltage power supply that applies a voltage during the period.
【０００５】図５は上記図４の表面生成型イオン発生装
置の荷電変換用電極４と支持棒８部分の詳細図であり、
１６は支持棒８の一部を成すフランジと荷電変換用電極
を締め込むリングナット、１７は冷却水をシールするＯ
リング、１８は支持棒８に内蔵され、冷却水の流路を成
す支持棒内管である。FIG. 5 is a detailed view of the charge conversion electrode 4 and the support rod 8 of the surface generation type ion generator of FIG.
16 is a ring nut for tightening a flange and a charge conversion electrode which form a part of the support rod 8, and 17 is an O for sealing cooling water.
The ring 18 is a support rod inner tube which is built in the support rod 8 and forms a flow path of the cooling water.
【０００６】上記表面生成型イオン発生装置の動作につ
いて説明する。バレル２の円周上に極性を交互にして配
置された永久磁石５は、リペラ１とバレル２とエンドプ
レート３で構成される真空容器内にカスプ磁場を発生す
る。また、荷電変換用電極４は、高圧電源１５によっ
て、真空容器に対して負の電位になっている。この状態
で、ガス導入管１０から、生成すべきイオンから成るガ
スを真空容器内に導入する。The operation of the above-described surface generation type ion generator will be described. Permanent magnets 5 arranged alternately on the circumference of the barrel 2 generate a cusp magnetic field in a vacuum vessel composed of the repeller 1, the barrel 2 and the end plate 3. The charge conversion electrode 4 has a negative potential with respect to the vacuum vessel by the high-voltage power supply 15. In this state, a gas composed of ions to be generated is introduced from the gas introduction pipe 10 into the vacuum vessel.
【０００７】そして、フィラメント７に通電加熱のう
え、フィラメント７と真空容器の間に電圧をかけると、
フィラメント７から熱電子が放出される。真空容器内の
ガスはこの熱電子によって励起され、正イオンのプラズ
マとなる。このプラズマは永久磁石５が発生するカスプ
磁場によって閉じ込められているので、電位の低い荷電
変換用電極４に正イオンが集まり、電極面に衝突する。
このイオン衝突によって電極面が荒れにくいように、荷
電変換用電極４はモリブデンからできている。When a voltage is applied between the filament 7 and the vacuum vessel after heating the filament 7 with electric current,
Thermions are emitted from the filament 7. The gas in the vacuum vessel is excited by the thermoelectrons and becomes positive ion plasma. Since this plasma is confined by the cusp magnetic field generated by the permanent magnet 5, positive ions collect on the charge conversion electrode 4 having a low potential and collide with the electrode surface.
The charge conversion electrode 4 is made of molybdenum so that the electrode surface is unlikely to be roughened by the ion collision.
【０００８】一方、セシウム導入管９からは、セシウム
蒸気が真空容器内に導入されている。このセシウムが電
子のドナー物質となり、荷電変換用電極４に集まった正
イオンは荷電変換する。この荷電変換によって生成され
た負イオンは、電位の高いリペラ１へ向かって飛び出し
ていき、リペラ１の中央に開けた穴を通り抜け、イオン
発生装置の外へ取り出される。On the other hand, cesium vapor is introduced from a cesium introduction pipe 9 into a vacuum vessel. The cesium becomes an electron donor material, and positive ions collected at the charge conversion electrode 4 undergo charge conversion. The negative ions generated by the charge conversion fly out toward the repeller 1 having a higher potential, pass through a hole formed in the center of the repeller 1, and are taken out of the ion generator.
【０００９】前記動作時、荷電変換用電極４には、イオ
ンが集まって電極に衝突する際に放出される熱とフィラ
メント７に通電加熱する際に放射される熱の一部が流入
する。このため、そのままでは荷電変換用電極４が高温
となってしまうため、冷却水によって冷却している。す
なわち、図５において、水冷用の冷却水は、支持棒内管
１８の内側を通って荷電変換用電極４の背面に送給さ
れ、電極を直接冷却した後、支持棒内管１８と支持棒８
との間に形成された排水路を通って外部へ排出される。
なお、荷電変換用電極４を囲んで配置されたスパッタ保
護カバー１４は、イオンが荷電変換用電極４以外の部分
に集まらないよう保護するものである。In the above operation, a part of the heat emitted when the ions gather and collide with the electrode and the part of the heat radiated when the filament 7 is electrically heated are introduced into the charge conversion electrode 4. For this reason, since the charge conversion electrode 4 becomes high temperature as it is, it is cooled by the cooling water. That is, in FIG. 5, the cooling water for water cooling is supplied to the back surface of the charge conversion electrode 4 through the inside of the support rod inner tube 18 and directly cools the electrode. 8
And is discharged to the outside through a drainage channel formed between them.
In addition, the sputter protection cover 14 arranged so as to surround the charge conversion electrode 4 protects ions from collecting at a portion other than the charge conversion electrode 4.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】上記した表面生成型イ
オン発生装置では、荷電変換用電極４にイオンが衝突し
て電極面が荒れるため、荷電変換用電極４に、イオンに
衝突されても電極面が荒れにくいモリブデンが採用され
ている。一方、イオンのビーム電流を大きくすると、荷
電変換用電極４の温度が上昇し、電極面にセシウムが付
着しなくなる。したがって、イオンのビーム電流を大き
くするには電極面の冷却効率を上げる必要があり、前述
したように荷電変換用電極４を直接水冷していた。In the above-described surface-generating type ion generator, since the ions collide with the charge conversion electrode 4 and the electrode surface is roughened, even if the charge conversion electrode 4 collides with the ions, the electrode is not affected. Molybdenum with a rough surface is used. On the other hand, when the ion beam current is increased, the temperature of the charge conversion electrode 4 increases, and cesium does not adhere to the electrode surface. Therefore, in order to increase the ion beam current, it is necessary to increase the cooling efficiency of the electrode surface. As described above, the charge conversion electrode 4 is directly cooled with water.
【００１１】しかしながら、荷電変換用電極４を構成す
るモリブデンは酸化しやすく、直接水冷することにより
腐食するので、長期間使用していると、Ｏリングのシー
ル面が荒れ、冷却水をシールできなくなってしまう。こ
のため、従来の表面生成型イオン発生装置では、荷電変
換用電極の寿命が短いなどの問題があった。However, molybdenum constituting the charge conversion electrode 4 is easily oxidized and corrodes when directly cooled with water. Therefore, if used for a long period of time, the sealing surface of the O-ring becomes rough and the cooling water cannot be sealed. Would. For this reason, the conventional surface generation type ion generator has a problem that the life of the charge conversion electrode is short.
【００１２】本発明は上記課題を解決するために成され
たもので、荷電変換用電極の冷却水による腐食を低減
し、荷電変換用電極の寿命の長い表面生成型イオン発生
装置を得ることを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a surface-generating type ion generator in which the charge conversion electrode is less corroded by cooling water and the charge conversion electrode has a longer life. The purpose is.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明に係る表面生成型
イオン発生装置は、荷電変換用電極を冷却水によって間
接冷却するように構成された表面生成型イオン発生装置
において、モリブデンからなる荷電変換用電極と接触す
る間接冷却用の支持棒として良熱伝導材を用い、該支持
棒と荷電変換用電極との接触面に柔軟性に富んだ金属製
の伝熱シートを挟んだことを特徴とする表面生成型イオ
ン発生装置であります。 According to the present invention, there is provided a surface-generating type according to the present invention.
In the ion generator, the charge conversion electrodes are separated by cooling water.
Surface-generating ion generator configured to be in contact with cooling
Contact with the charge conversion electrode made of molybdenum
A good heat conductive material is used as a support rod for indirect cooling.
The contact surface between the rod and the charge conversion electrode is made of highly flexible metal
Surface-forming ion, characterized by sandwiching a heat transfer sheet
It is a device that generates noise.
【００１４】[0014]
【００１５】[0015]
【作用】本発明に係る表面生成型イオン発生装置の場
合、冷却用の支持棒として銅またはアルミニウムなどの
良熱伝導材を用い、該支持棒と荷電変換用電極の接触面
との間に、アルミニウムまたはインジウムなどの柔軟性
に富んだ金属製の伝熱シートを挟んだので、支持棒と荷
電変換用電極間の熱抵抗を小さくすることができ、間接
冷却方式にもかかわらず、電極面の冷却効率を落とさず
に済む。また、荷電変換用電極に直接冷却水が触れない
ので、荷電変換用電極は冷却水による腐食がなくなる。
このため、荷電変換用電極の寿命を長くできる。また、
間接冷却方式のため、冷却水のシートを破らずに荷電変
換用電極を取り替えることができ、メンテナンス性が向
上する。 また、イオンを生成するため電極外面部は従来
と同じモリブデンで構成し、冷却水と接する電極背面部
を腐食性と熱伝導性に優れた銅で構成したので、冷却水
による耐食性が向上するとともに、電極面の冷却効率が
良くなる。このため、荷電変換用電極の寿命が長くな
り、イオンのビーム電流も大きくすることができる。 According to the present invention, a surface generating type ion generator according to the present invention is provided.
If the support rod for cooling, such as copper or aluminum
Using a good heat conductive material, the contact surface between the support rod and the charge conversion electrode
Flexible between aluminum or indium
Between the supporting rod and the metal heat transfer sheet
Thermal resistance between electrodes for electrical conversion can be reduced,
Despite the cooling method, the cooling efficiency of the electrode surface does not decrease
Only Also, the cooling water does not directly touch the charge conversion electrode
Therefore, the charge conversion electrode is not corroded by the cooling water.
Therefore, the life of the charge conversion electrode can be extended. Also,
Charge change without breaking the cooling water sheet due to the indirect cooling method
Replacement electrodes can be replaced, improving maintainability.
Up. In addition, the outer surface of the electrode is
The back of the electrode which is made of the same molybdenum
Is made of copper with excellent corrosiveness and thermal conductivity.
Corrosion resistance and cooling efficiency of the electrode surface
Get better. For this reason, the life of the charge conversion electrode is prolonged.
As a result, the ion beam current can be increased.
【００１６】[0016]
【００１７】[0017]
【実施例】第１の発明に係る表面生成型イオン発生装置
の第１の実施例を図１に基づいて説明する。図１は荷電
変換用電極と支持棒部分の断面図である。図において、
荷電変換用電極４は銅とモリブデンのクラッド材からな
り、電極外面部４ａがモリブデン、冷却水と直接接する
電極背面部４ｂが銅とされている。水冷用の冷却水は、
支持棒内管１８の内側を通って荷電変換用電極４の背面
に送給され、電極背面部４ｂを直接冷却した後、支持棒
内管１８と支持棒８の間に形成された排水路を通って外
部へ排出される。電極背面部４ｂを構成する銅は、冷却
水に対する耐食性が良く、冷却水によって簡単には腐食
されないので、Ｏリング１７のシール面が荒れにくい。
また、銅はモリブデンよりも熱伝導が良く、電極面の冷
却効率を向上することができる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the surface generation type ion generator according to the first invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a sectional view of a charge conversion electrode and a support rod portion. In the figure,
The charge conversion electrode 4 is made of a clad material of copper and molybdenum. The electrode outer surface 4a is made of molybdenum, and the electrode back surface 4b which is in direct contact with cooling water is made of copper. The cooling water for water cooling is
After being fed to the back of the charge conversion electrode 4 through the inside of the support rod inner tube 18 and directly cooling the electrode back part 4b, a drainage channel formed between the support rod inner tube 18 and the support rod 8 is formed. It is discharged to the outside. Copper constituting the electrode back surface portion 4b has good corrosion resistance to cooling water and is not easily corroded by cooling water, so that the sealing surface of the O-ring 17 is not easily roughened.
Further, copper has better heat conduction than molybdenum, and can improve the cooling efficiency of the electrode surface.
【００１８】第１の発明に係る表面生成型イオン発生装
置の第２の実施例を図２に基づいて説明する。図２は荷
電変換用電極と支持棒部分の断面図である。図におい
て、荷電変換用電極４の電極背面部４ｂとなる銅材の表
面に、メッキまたはイオンビーム蒸着などの方法でモリ
ブデンをコーティングすることにより、電極外面部４ａ
をモリブデン、電極背面部４ｂを銅としたものである。A second embodiment of the surface generation type ion generator according to the first invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a sectional view of the charge conversion electrode and the support rod. In the figure, the outer surface 4a of the electrode 4a is formed by coating the surface of a copper material to be the electrode back surface 4b of the charge conversion electrode 4 with molybdenum by plating or ion beam evaporation.
Is made of molybdenum, and the electrode back part 4b is made of copper.
【００１９】水冷用の冷却水は、支持棒内管１８の内側
を通って荷電変換用電極４の背面に送給され、電極背面
部４ｂを直接冷却した後、支持棒内管１８と支持棒８の
間に形成された排水路を通って外部へ排出される。前述
したように、銅は冷却水に対する耐食性が良く、冷却水
によって簡単には腐食されないので、Ｏリング１７のシ
ール面が荒れにくい。また、銅はモリブデンよりも熱伝
導が良く、電極面の冷却効率を向上することができる。
さらに、電極背面部４ｂを構成する銅の表面にモリブデ
ンをコーティングしたので、低コスト化を図ることがで
きる。The cooling water for water cooling is supplied to the back of the charge conversion electrode 4 through the inside of the support rod inner tube 18 and directly cools the electrode back part 4b. 8 to the outside through a drainage channel formed between the two. As described above, copper has good corrosion resistance to cooling water and is not easily corroded by cooling water, so that the sealing surface of the O-ring 17 is not easily roughened. Further, copper has better heat conduction than molybdenum, and can improve the cooling efficiency of the electrode surface.
Further, since the surface of the copper constituting the electrode back part 4b is coated with molybdenum, cost reduction can be achieved.
【００２０】第２の発明に係る表面生成型イオン発生装
置の実施例を図３に基づいて説明する。図３は荷電変換
用電極と支持棒部分の断面図である。図において、１９
は、モリブデンからなる荷電変換用電極４と支持棒８と
の間に挟まれた、アルミニウムまたはインジウムなどの
柔らかい金属箔でできた伝熱シートである。間接冷却用
の支持棒８は、銅またはアルミニウムなどの良熱伝導材
でできており、荷電変換用電極４との間に伝熱シート１
９を挟んだ状態でねじ込まれている。An embodiment of the surface generation type ion generator according to the second invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a sectional view of the charge conversion electrode and the support rod portion. In the figure, 19
Is a heat transfer sheet sandwiched between the charge conversion electrode 4 made of molybdenum and the support rod 8 and made of a soft metal foil such as aluminum or indium. The support rod 8 for indirect cooling is made of a good heat conductive material such as copper or aluminum.
9 is screwed.
【００２１】水冷用の冷却水は、支持棒内管１８の内側
を通って支持棒８の先端部に送給され、支持棒８の管壁
を通して荷電変換用電極４を間接冷却した後、支持棒内
管１８と支持棒８の間に形成された排水路を通って外部
へ排出される。The cooling water for water cooling is supplied to the tip of the support rod 8 through the inside of the support rod inner tube 18, indirectly cools the charge conversion electrode 4 through the tube wall of the support rod 8, and The water is discharged to the outside through a drainage passage formed between the rod inner pipe 18 and the support rod 8.
【００２２】支持棒８と荷電変換用電極４の間に挟まれ
た伝熱シート１９は、インジウム，銅またはアルミニウ
ムなどの柔らかい金属であるため、添着性が良く、支持
棒８および荷電変換用電極４との接触面積が大きくな
り、接触熱抵抗を小さくすることができるので、電極面
の冷却効率を落とさずに済む。また、電極面がイオンの
衝突により荒れてきて、荷電変換用電極４を交換しなけ
ればならない場合にも、冷却水のシールを破らずに荷電
変換用電極４の交換ができる。Since the heat transfer sheet 19 sandwiched between the support rod 8 and the charge conversion electrode 4 is made of a soft metal such as indium, copper or aluminum, the heat transfer sheet 19 has a good attachment property, and has a good attachment property. The contact area with the electrode 4 is increased and the contact thermal resistance can be reduced, so that the cooling efficiency of the electrode surface does not need to be reduced. In addition, even when the electrode surface becomes rough due to the collision of ions and the charge conversion electrode 4 must be replaced, the charge conversion electrode 4 can be replaced without breaking the seal of the cooling water.
【００２３】[0023]
【発明の効果】第１の発明によれば、荷電変換用電極の
電極外面部をモリブデンにより構成するとともに、冷却
水と接する電極背面部を銅により構成したので、荷電変
換用電極の腐食を低減することができるとともに、荷電
変換用電極の冷却効率を上げることができ、荷電変換用
電極の寿命が長く、かつビーム電流の大きい表面生成型
イオン発生装置を得ることができる。According to the first aspect of the present invention, the outer surface of the charge conversion electrode is made of molybdenum, and the back surface of the electrode in contact with the cooling water is made of copper, so that corrosion of the charge conversion electrode is reduced. In addition to this, the cooling efficiency of the charge conversion electrode can be increased, and the surface generation type ion generator having a long life of the charge conversion electrode and a large beam current can be obtained.
【００２４】第２の発明によれば、モリブデンからなる
荷電変換用電極と接触する間接冷却用の支持棒として良
熱伝導材を用い、該支持棒と荷電変換用電極との接触面
に柔軟性に富んだ金属製の伝熱シートを挟んだので、荷
電変換用電極を電極面の冷却効率を下げずに冷却するこ
とができ、荷電変換用電極の腐食がなく、また、冷却水
のシールを破らずに荷電変換用電極を取り替えることが
でき、荷電変換用電極の寿命が長く、かつメンテナンス
性の良い表面生成型イオン発生装置を得ることができ
る。According to the second aspect of the present invention, a good heat conducting material is used as a support rod for indirect cooling, which is in contact with the charge conversion electrode made of molybdenum, and the contact surface between the support rod and the charge conversion electrode is flexible. Because the metal heat transfer sheet rich in metal is sandwiched, the charge conversion electrode can be cooled without lowering the cooling efficiency of the electrode surface, there is no corrosion of the charge conversion electrode, and the cooling water seal The charge conversion electrode can be replaced without breaking, and the surface generation type ion generator having a long life of the charge conversion electrode and good maintainability can be obtained.
【図１】第１の発明の第１の実施例による表面生成型イ
オン発生装置の荷電変換用電極と支持棒部分の断面図で
ある。FIG. 1 is a cross-sectional view of a charge conversion electrode and a support rod portion of a surface generation type ion generator according to a first embodiment of the first invention.
【図２】第１の発明の第２の実施例による表面生成型イ
オン発生装置の荷電変換用電極と支持棒部分の断面図で
ある。FIG. 2 is a sectional view of a charge conversion electrode and a support rod portion of a surface generation type ion generator according to a second embodiment of the first invention.
【図３】第２の発明の一実施例による表面生成型イオン
発生装置の荷電変換用電極と支持棒部分の断面図であ
る。FIG. 3 is a sectional view of a charge conversion electrode and a support rod portion of the surface generation type ion generator according to one embodiment of the second invention.
【図４】従来の表面生成型イオン発生装置の構造図であ
る。FIG. 4 is a structural view of a conventional surface generation type ion generator.
【図５】図４中の荷電変換用電極と支持棒部分の断面図
である。5 is a cross-sectional view of a charge conversion electrode and a support rod portion in FIG.
４ 荷電変換用電極 ４ａ 電極外面部 ４ｂ 電極背面部 ８ 支持棒 １４ スパッタ保護カバー １６ リングナット １７ Ｏリング １８ 支持棒内管 １９ 金属製の伝熱シート DESCRIPTION OF SYMBOLS 4 Charge conversion electrode 4a Electrode outer surface part 4b Electrode back part 8 Support rod 14 Sputter protection cover 16 Ring nut 17 O-ring 18 Support rod inner tube 19 Metal heat transfer sheet
Claims (1)
却するように構成された表面生成型イオン発生装置にお
いて、 モリブデンからなる荷電変換用電極と接触する間接冷却
用の支持棒として良熱伝導材を用い、該支持棒と荷電変
換用電極との接触面に柔軟性に富んだ金属製の伝熱シー
トを挟んだ ことを特徴とする表面生成型イオン発生装
置。An indirect cooling of the charge conversion electrode with cooling water.
Surface-generating ion generator configured to
And indirect cooling in contact with a molybdenum charge conversion electrode
Using a good heat conductive material as a support rod for
Flexible metal heat transfer sheet on the contact surface with the replacement electrode
A surface-generating type ion generator characterized by sandwiching the same .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4346455A JP2842498B2 (en) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | Surface generation type ion generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4346455A JP2842498B2 (en) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | Surface generation type ion generator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06196115A JPH06196115A (en) | 1994-07-15 |
| JP2842498B2 true JP2842498B2 (en) | 1999-01-06 |
Family
ID=18383553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4346455A Expired - Fee Related JP2842498B2 (en) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | Surface generation type ion generator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2842498B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9053895B2 (en) * | 2011-11-30 | 2015-06-09 | Fei Company | System for attachment of an electrode into a plasma source |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0374041A (en) * | 1989-08-14 | 1991-03-28 | Nissin High Voltage Co Ltd | Plasma sputter type negative ion source |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP4346455A patent/JP2842498B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06196115A (en) | 1994-07-15 |
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