JP2842018B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータInfo
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- JP2842018B2 JP2842018B2 JP4049082A JP4908292A JP2842018B2 JP 2842018 B2 JP2842018 B2 JP 2842018B2 JP 4049082 A JP4049082 A JP 4049082A JP 4908292 A JP4908292 A JP 4908292A JP 2842018 B2 JP2842018 B2 JP 2842018B2
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- Japan
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- piezoelectric actuator
- metal member
- electrostrictive
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Links
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電アクチュエータに関
し、特にリードレスタイプの圧電アクチュエータの構造
に関する。
し、特にリードレスタイプの圧電アクチュエータの構造
に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電アクチュエータは電歪効果を有する
セラミックを用いて電気エネルギーを機械エネルギーに
変換するものであり、変位は微少ながら、小形で応答性
にすぐれ、高速駆動が可能なため、インパクト形プリン
タヘッドをはじめ様々な分野で機械的駆動素子として実
用化されつつある。図３に従来のリードレスタイプの圧
電アクチュエータの縦断面図を示す。
セラミックを用いて電気エネルギーを機械エネルギーに
変換するものであり、変位は微少ながら、小形で応答性
にすぐれ、高速駆動が可能なため、インパクト形プリン
タヘッドをはじめ様々な分野で機械的駆動素子として実
用化されつつある。図３に従来のリードレスタイプの圧
電アクチュエータの縦断面図を示す。
【０００３】従来の圧電アクチュエータは図３に示され
るように、圧電セラミック部材１，内部電極導体層２お
よび前記内部電極導体層２を一層おきに交互に接続する
一対の外部電極３とからなる電歪効果素子５の変位発生
面を除く側面に外装材４を有している。また、一対の外
部電極はそれぞれ変位発生面にまでのびて、全体として
リードレスタイプとなっており、被接着面が電圧を供給
する電極を兼ねている場合に有効である。
るように、圧電セラミック部材１，内部電極導体層２お
よび前記内部電極導体層２を一層おきに交互に接続する
一対の外部電極３とからなる電歪効果素子５の変位発生
面を除く側面に外装材４を有している。また、一対の外
部電極はそれぞれ変位発生面にまでのびて、全体として
リードレスタイプとなっており、被接着面が電圧を供給
する電極を兼ねている場合に有効である。
【０００４】図４には従来の金属ケース気密型の圧電ア
クチュエータの縦断面図を示す。
クチュエータの縦断面図を示す。
【０００５】圧電セラミック部材１，内部電極導体層
２，および外部電極３からなる電歪効果素子５は金属ケ
ース１０，金属部材８およびガラス部材７により気密構
造となっており、リード線１１は一方の変位発生面より
外部へ導出されている。
２，および外部電極３からなる電歪効果素子５は金属ケ
ース１０，金属部材８およびガラス部材７により気密構
造となっており、リード線１１は一方の変位発生面より
外部へ導出されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図３に示されるこの従
来の圧電アクチュエータは、内部電極材料として銀系の
材料が使用されており、かつ内部電極間隔も約１００μ
ｍと極めて狭いため、高湿度の雰囲気で電圧を印加した
場合、銀のマイグレーションが生じやすく、素子の絶縁
を急激に低下せしめるという問題点があった。
来の圧電アクチュエータは、内部電極材料として銀系の
材料が使用されており、かつ内部電極間隔も約１００μ
ｍと極めて狭いため、高湿度の雰囲気で電圧を印加した
場合、銀のマイグレーションが生じやすく、素子の絶縁
を急激に低下せしめるという問題点があった。
【０００７】また、図４に示される金属ケース気密型の
圧電アクチュエータにしてもリード線が変位発生面から
出ており、端面自身も複雑な形状をしている為に素子の
被接着面が電極を兼ねている場合にはその取り付けが非
常に困難であった。
圧電アクチュエータにしてもリード線が変位発生面から
出ており、端面自身も複雑な形状をしている為に素子の
被接着面が電極を兼ねている場合にはその取り付けが非
常に困難であった。
【０００８】本発明の目的は、高湿度の雰囲気で電圧を
印加しても、外気の影響を受けず長寿命が得られ、素子
の被接着面が電極を兼ねた場合でも取り付けが容易に行
える圧電アクチュエータを提供することにある。
印加しても、外気の影響を受けず長寿命が得られ、素子
の被接着面が電極を兼ねた場合でも取り付けが容易に行
える圧電アクチュエータを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のリードレスタイ
プの圧電アクチュエータは、圧電セラミック部材と内部
電極導体層とを交互に積層した積層焼結体からなる電歪
効果素子において、前記電歪効果素子の一対の変位発生
面に、第１の金属部材，ガラス部材および第１の金属部
材との間を前記ガラス部材により電気的に絶縁され内部
電極導体層と電気的に接続された第２の金属部材からな
る電極端子を有し、前記電歪効果素子の側面全体を電歪
効果素子から離間しておおうように金属ケースを設け、
金属ケースと電極端子の第１の金属部材とを溶接し内部
を気密状態にしている。
プの圧電アクチュエータは、圧電セラミック部材と内部
電極導体層とを交互に積層した積層焼結体からなる電歪
効果素子において、前記電歪効果素子の一対の変位発生
面に、第１の金属部材，ガラス部材および第１の金属部
材との間を前記ガラス部材により電気的に絶縁され内部
電極導体層と電気的に接続された第２の金属部材からな
る電極端子を有し、前記電歪効果素子の側面全体を電歪
効果素子から離間しておおうように金属ケースを設け、
金属ケースと電極端子の第１の金属部材とを溶接し内部
を気密状態にしている。
【００１０】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の圧電アクチュエータの縦
断面図である。圧電セラミック部材１および内部電極導
体層２を交互に積層し、焼結して得られる積層焼結体の
一対の側面に、内部電極導体層２を一層おきに交互に接
続する一対の外部電極３を形成し、電歪効果素子５が得
られる。尚、本実施例では外部電極３が各々変位発生面
にまで延長形成されている。
る。図１は本発明の一実施例の圧電アクチュエータの縦
断面図である。圧電セラミック部材１および内部電極導
体層２を交互に積層し、焼結して得られる積層焼結体の
一対の側面に、内部電極導体層２を一層おきに交互に接
続する一対の外部電極３を形成し、電歪効果素子５が得
られる。尚、本実施例では外部電極３が各々変位発生面
にまで延長形成されている。
【００１１】この前記電歪効果素子５の一対の変位発生
面に、第１，第２の金属部材１８，９およびガラス部材
７からなる電極端子６を導電性接着剤を用いて接着す
る。次に前記電歪効果素子５の側面全体をおおう様に金
属ケース１０をかぶせ、その金属ケース１０の端部と第
１の金属部材１８の接合部をレーザ溶接等の方法により
封止することにより本実施例１の圧電アクチュエータが
得られる。
面に、第１，第２の金属部材１８，９およびガラス部材
７からなる電極端子６を導電性接着剤を用いて接着す
る。次に前記電歪効果素子５の側面全体をおおう様に金
属ケース１０をかぶせ、その金属ケース１０の端部と第
１の金属部材１８の接合部をレーザ溶接等の方法により
封止することにより本実施例１の圧電アクチュエータが
得られる。
【００１２】図２は本発明の他の実施例の圧電アクチュ
エータの縦断面図である。本実施例では金属ケース内に
収納されている電歪効果素子５にリード線１１付きの素
子を用いている。通常、リード線付きの電歪効果素子は
外部電極が変位発生面にまで形成されておらず、リード
線１１を通して電圧が印加されるために、リード線１１
を金属ケース内で電極端子６の第２の金属部材９に電気
的に接続した構造となっている。尚、本実施例では電歪
効果素子５と電極端子６との接着は導電性ではなく、通
常の接着剤でかまわない。
エータの縦断面図である。本実施例では金属ケース内に
収納されている電歪効果素子５にリード線１１付きの素
子を用いている。通常、リード線付きの電歪効果素子は
外部電極が変位発生面にまで形成されておらず、リード
線１１を通して電圧が印加されるために、リード線１１
を金属ケース内で電極端子６の第２の金属部材９に電気
的に接続した構造となっている。尚、本実施例では電歪
効果素子５と電極端子６との接着は導電性ではなく、通
常の接着剤でかまわない。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のリードレ
スタイプの圧電アクチュエータは、電歪効果素子を、金
属部材およびガラス部材からなる電極端子，ならびに金
属ケースを用いて完全気密構造にしたので、外気の影響
を受けず、高湿度の雰囲気で電圧を印加しても長寿命が
得られ、又、変位発生面に電極を備えたリードレスタイ
プなので被接着面が電極を兼ねた場合でも取り付けが容
易に行なえるという効果を有する。
スタイプの圧電アクチュエータは、電歪効果素子を、金
属部材およびガラス部材からなる電極端子，ならびに金
属ケースを用いて完全気密構造にしたので、外気の影響
を受けず、高湿度の雰囲気で電圧を印加しても長寿命が
得られ、又、変位発生面に電極を備えたリードレスタイ
プなので被接着面が電極を兼ねた場合でも取り付けが容
易に行なえるという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例の縦断面図である。
【図２】本発明の他の実施例の縦断面図である。
【図３】従来のリードレスタイプの圧電アクチュエータ
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図４】従来の金属ケース気密型の圧電アクチュエータ
の縦断面図である。
の縦断面図である。
１ 圧電セラミック部材 ２ 内部電極導体層 ３ 外部電極 ４ 外装材 ５ 電歪効果素子 ６ 電極端子 ７ ガラス部材８ 金属部材９ 第２の金属部材 １０ 金属ケース １１ リード線１８ 第１の金属部材
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電セラミック部材と内部電極導体層と
を交互に積層・焼結した積層焼結体からなる電歪効果素
子において、前記電歪効果素子の一対の変位発生面に接
着され第１の金属部材，ガラス部材および前記第１の金
属部材との間を前記ガラス部材により電気的に絶縁され
前記内部電極導体層と電気的に接続された第２の金属部
材を有する電極端子と、前記電歪効果素子の側面全体を
前記電歪効果素子と離間して覆いかつ前記電極端子の第
１の金属部材と接続された金属ケースとを有し、前記電
歪効果素子が気密封止されていることを特徴とする圧電
アクチュエータ。 - 【請求項２】 金属ケースと第１の金属部材との接続が
溶接によりなされた請求項１記載の圧電アクチュエー
タ。 - 【請求項３】 金属ケースと第１の金属部材とを接続す
る溶接方法がレーザ溶接である請求項１または２記載の
圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4049082A JP2842018B2 (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4049082A JP2842018B2 (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 圧電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251780A JPH05251780A (ja) | 1993-09-28 |
| JP2842018B2 true JP2842018B2 (ja) | 1998-12-24 |
Family
ID=12821177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4049082A Expired - Lifetime JP2842018B2 (ja) | 1992-03-06 | 1992-03-06 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2842018B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5377100B2 (ja) * | 2009-06-16 | 2013-12-25 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置および燃料噴射システム |
-
1992
- 1992-03-06 JP JP4049082A patent/JP2842018B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05251780A (ja) | 1993-09-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980922 |