JP2835868B2 - Ingot transportation method - Google Patents
Ingot transportation methodInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、シリコンインゴットなどを運搬するため
のインゴット運搬方法に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an ingot carrying method for carrying a silicon ingot or the like.
従来技術 単結晶引上機から垂直に引上げられたインゴット、た
とえばシリコンインゴットは、クリーンルーム内におい
て処理台へ載せて種々の処理をする。このために、垂直
に吊り下げられたインゴットを作業者が手で持って運搬
して作業台に水平に載せていた。2. Description of the Related Art An ingot vertically pulled from a single crystal pulling machine, for example, a silicon ingot, is placed on a processing table in a clean room to perform various processes. For this reason, an ingot suspended vertically is transported by a worker by hand and placed horizontally on a worktable.
発明が解決しようとする課題 しかし、近年半導体ウェーハの大口径化に伴いシリコ
ンインゴットがたとえば30kgから60kgへと重くなり、長
さもたとえば約600mmから約1500mmとなった。しかも引
上げ直後のインゴットは約300℃くらいの高温となって
いる。このため、インゴットを安全かつ確実に作業員の
力により垂直状態から水平に運搬するのが不可能となっ
てきた。Problems to be Solved by the Invention However, in recent years, as semiconductor wafers have become larger in diameter, silicon ingots have become heavier, for example, from 30 kg to 60 kg, and their length has also increased, for example, from about 600 mm to about 1500 mm. Moreover, the ingot immediately after being pulled up has a high temperature of about 300 ° C. For this reason, it has become impossible to transport the ingot safely and reliably from a vertical state to a horizontal state by the force of a worker.
発明の目的 この発明は、引上げ直後のインゴットを簡単かつ安全
に次の工程へ運搬できるインゴット運搬方法を提供する
ことを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method for transporting an ingot immediately after being pulled up to the next step easily and safely.
発明の要旨 この発明は特許請求の範囲に記載のインゴット運搬方
法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an ingot conveying method described in the claims.
課題を解決するための手段 第３図〜第６図を参照して説明する。Means for Solving the Problems A description will be given with reference to FIGS. 3 to 6.
第３図に示すように、インゴット製造装置60により製
造されたインゴット30を支持手段であるワイヤ67やシー
ドチャック68などにより引上げて垂直につり下げる。As shown in FIG. 3, the ingot 30 manufactured by the ingot manufacturing apparatus 60 is pulled up by a supporting means such as a wire 67 or a seed chuck 68 and suspended vertically.
第５図のように、インゴット製造装置60からインゴッ
ト30をつり下げて支持したまま、第１の位置である収容
部78に対応する位置に移す。As shown in FIG. 5, the ingot 30 is moved from the ingot manufacturing apparatus 60 to a position corresponding to the accommodation portion 78, which is the first position, while being suspended and supported.
垂直に支持されたインゴット30を第５図のようにイン
ゴット運搬装置１によりつかんでしっかりと保持する。The vertically supported ingot 30 is gripped and securely held by the ingot carrier 1 as shown in FIG.
このあとインゴット30と、ワイヤ67などとを、たとえ
ば第４図のＬ−Ｌ線で切断することにより分離する。Thereafter, the ingot 30 and the wire 67 are separated by, for example, cutting along the line LL in FIG.
インゴット運搬装置１により第６図のインゴット30を
第１の位置から第２の位置である処理台50に運搬する。The ingot 30 shown in FIG. 6 is transported by the ingot transport device 1 from the first position to the processing table 50 at the second position.
実 施 例 まず、第１図と第２図を参照して、インゴット運搬装
置１を説明する。Embodiment First, an ingot transport device 1 will be described with reference to FIG. 1 and FIG.
［カート２］ カート２は車体３と上下案内部材４および車輪５を有
している。車体３の後端に上下案内部材４が垂直に立て
て設けられている。４つの車輪５が車体３の４隅に配置
されている。この車輪５は好ましくは走行中の振動を吸
収するために、ゴムなどの弾性材料で作られている。上
下案内部材４には作業者が手で押す把手６が設けられて
いる。[Cart 2] The cart 2 has a vehicle body 3, a vertical guide member 4, and wheels 5. A vertical guide member 4 is provided upright at the rear end of the vehicle body 3. Four wheels 5 are arranged at four corners of the vehicle body 3. The wheels 5 are preferably made of an elastic material such as rubber to absorb vibration during traveling. The vertical guide member 4 is provided with a handle 6 which is manually pushed by an operator.
［上下高さ調整機構７］ 上下案内部材４には、上下高さ調整機構７の台８がか
み合っている。台８は油圧ポンプ９の駆動力により、上
下案内部材４に沿って矢印Ａ方向に上下動可能である。
油圧ポンプ９は台８に固定されている。[Vertical Height Adjusting Mechanism 7] The vertical guide member 4 is engaged with a base 8 of the vertical height adjusting mechanism 7. The table 8 can be moved up and down in the direction of arrow A along the vertical guide member 4 by the driving force of the hydraulic pump 9.
The hydraulic pump 9 is fixed to the base 8.
［インゴットの回転機構部10］ 台８には、回転機構部10の軸受部11が固定されてい
る。軸受部11には第２図に示すように水平軸12がＳ方向
に回転可能に支持されていて、ハンドル13を矢印Ｂ方向
（第１図）に回すことにより、この水平軸12を回転でき
る。[Rotation mechanism 10 of ingot] The bearing 8 of the rotation mechanism 10 is fixed to the base 8. As shown in FIG. 2, a horizontal shaft 12 is rotatably supported in the bearing portion 11 in the S direction. By turning the handle 13 in the direction of arrow B (FIG. 1), the horizontal shaft 12 can be rotated. .
［インゴットハンドリング部14］ 水平軸12の一端には、インゴットハンドリング部14が
固定されている。ガイド部材15には爪部16,17が相反す
る方向に移動できるようになっている。爪部16,17はた
とえばアルミニウムやステンレスなどで作られている。
爪部16,17の内側には、たとえばテフロンゴムやフッソ
ゴム等で作られた押圧部材18,19がそれぞれ固定されて
いる。ハンドル20を一方の方向に回すことにより爪部1
6,17は近ずき、他方向に回すことにより遠ざかる。[Ingot Handling Unit 14] At one end of the horizontal shaft 12, the ingot handling unit 14 is fixed. The claw portions 16 and 17 can move in opposite directions in the guide member 15. The claws 16, 17 are made of, for example, aluminum or stainless steel.
Pressing members 18, 19 made of, for example, Teflon rubber or fluorine rubber are fixed to the insides of the claws 16, 17, respectively. By turning the handle 20 in one direction, the claw 1
6,17 approach and turn away in the other direction.
爪部16,17の間にはインゴット30が保持されている。
このインゴット30は、たとえば大型の８インチのシリコ
ンウェーハを作るためのものである。An ingot 30 is held between the claws 16 and 17.
The ingot 30 is for producing a large 8-inch silicon wafer, for example.
なお、爪部16,17の間に挟む際には、水平軸12の回転
中心Ｒとインゴット30の重心位置Ｃを一致又は近似させ
る。When sandwiched between the claw portions 16 and 17, the center of rotation R of the horizontal shaft 12 and the position of the center of gravity C of the ingot 30 are matched or approximated.
また第２図においては処理台50が配置されている。 In FIG. 2, a processing table 50 is provided.
［シリコン単結晶引上げ用のインゴット製造装置60］ 次にインゴット製造装置60を第３図と第４図により説
明する。[Ingot Manufacturing Apparatus 60 for Pulling Silicon Single Crystal] Next, the ingot manufacturing apparatus 60 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG.
引上炉61は上部62と下部63から成る。上部62は支柱64
のアーム65により支持されている。The lifting furnace 61 includes an upper part 62 and a lower part 63. The upper part 62 is a support 64
Are supported by the arm 65.
上部62は、支柱64を中心にしてＦ方向に回転すること
ができる。上部62の中は中空であり下端がラッパ状に拡
がって開口している。上部62の中にはすでに引上げたシ
リコン単結晶の大形のインゴット30がつり下げられてい
る。上部62の上端にはインゴット30の回転機構66が設け
られている。The upper portion 62 can rotate in the F direction about the column 64. The upper part 62 is hollow, and the lower end is open like a trumpet. In the upper part 62, a large ingot 30 of a silicon single crystal which has already been pulled is suspended. At the upper end of the upper part 62, a rotation mechanism 66 of the ingot 30 is provided.
インゴット30の支持手段は、第４図のワイヤ67、シー
ドチャック68、ピン70を有している。The support means for the ingot 30 includes the wire 67, the seed chuck 68, and the pin 70 shown in FIG.
インゴット30はワイヤ67とシードチャック68を用いて
つり下げられている。ワイヤ67は回転機構66に支持さ
れ、しかも図示しない装置により巻上げることができ
る。第４図に示すように、ワイヤ67にはシードチャック
68が連結されている。このシードチャック68の穴69には
インゴット30の種結晶部30aが挿入されピン70により固
定されている。The ingot 30 is suspended using a wire 67 and a seed chuck 68. The wire 67 is supported by a rotating mechanism 66, and can be wound by a device (not shown). As shown in FIG. 4, the wire 67 has a seed chuck.
68 are connected. The seed crystal part 30 a of the ingot 30 is inserted into the hole 69 of the seed chuck 68 and fixed by the pin 70.
一方、第３図の引上炉61の下部63は、ベース71の上に
固定され、保温筒72、石英ルツボ73、カーボンルツボ7
4、ヒータ75を収容している。石英ルツボ73の中には残
留シリコン76がある。カーボンルツボ74は回転機構77に
より回転可能である。On the other hand, the lower portion 63 of the pulling furnace 61 shown in FIG. 3 is fixed on a base 71, and a heat retaining cylinder 72, a quartz crucible 73, and a carbon crucible 7 are provided.
4. The heater 75 is housed. In the quartz crucible 73, there is residual silicon 76. The carbon crucible 74 can be rotated by a rotation mechanism 77.
第５図に示すように、インゴット製造装置60の付近の
フロア79には、シリコンインゴット30を降ろしたときに
収容するための収容部78が設けられている。またすでに
述べたインゴット運搬装置１はこのフロア79の上を走行
するようになっている。As shown in FIG. 5, an accommodation portion 78 for accommodating the silicon ingot 30 when it is lowered is provided on the floor 79 near the ingot manufacturing apparatus 60. The ingot transport device 1 already described runs on this floor 79.
インゴット運搬操作 次にインゴット30の運搬操作を説明する。Next, the operation of transporting the ingot 30 will be described.
まず第３図を参照する。 First, refer to FIG.
インゴット運搬装置１のインゴットハンドリング部14
は、インゴットを支持していない状態である。しかもイ
ンゴットハンドリング部14のガイド部材15は水平になっ
ている。また収容部78にはインゴット30が収容されてい
ない。Ingot handling unit 14 of ingot transport device 1
Is a state in which the ingot is not supported. Moreover, the guide member 15 of the ingot handling section 14 is horizontal. Further, the ingot 30 is not accommodated in the accommodation section 78.
一方、インゴット30は引上炉61の上部62の中につり下
げられている。上部62がインゴット30とともに図示しな
い駆動源により支柱64を中心として矢印方向Ｆに180゜
回転される。そうすると、上部62は第５図の状態にな
る。つまり、上部62は第１の位置である収容部78に対応
する位置にくる。図示しない装置によりインゴット30が
降ろされ、インゴット30の下部30bが収容部78内に入
る。On the other hand, the ingot 30 is suspended in the upper part 62 of the lifting furnace 61. The upper part 62 is rotated by 180 degrees in the arrow direction F about the support 64 by a driving source (not shown) together with the ingot 30. Then, the upper part 62 is in the state shown in FIG. That is, the upper portion 62 comes to a position corresponding to the accommodation portion 78 which is the first position. The ingot 30 is lowered by a device (not shown), and the lower portion 30b of the ingot 30 enters the accommodation portion 78.
この状態で、インゴット運搬装置１をインゴット30に
近づけて、すでに第１図に示したようにインゴット30の
重心位置Ｃを水平軸11の回転中心Ｒに一致又は近似する
ところで爪部16,17によりインゴット30をしっかりと挾
む。そして第４図に示すこのインゴット30の種結晶部30
aのＬ−Ｌ線のところでペンチ等でインゴット30とシー
ルドチャック68とを切り離す。In this state, the ingot transport device 1 is brought closer to the ingot 30, and the claw portions 16 and 17 are used when the position C of the center of gravity of the ingot 30 matches or approximates the center of rotation R of the horizontal shaft 11 as already shown in FIG. Hold the ingot 30 firmly. And the seed crystal part 30 of this ingot 30 shown in FIG.
The ingot 30 and the shield chuck 68 are separated with pliers or the like at the line LL of a.
次に第６図のように引上炉61の上部が180゜回転して
もとの位置にもどされ次の単結晶引上げ操作にかかる。Next, as shown in FIG. 6, the upper portion of the pulling furnace 61 is rotated by 180 ° and returned to the original position, and the next single crystal pulling operation is performed.
一方、第１図の油圧ポンプ９を差動してインゴット30
を上下案内部材４に沿って所定高さ持上げて、インゴッ
ト30を収容部78から出す。そのあと、オペレータが第１
図のハンドル13を回転して、インゴット30を第２図のよ
うに水平にする。そしてオペレータは把手６を持ってカ
ート２を押して処理台50に移動し、爪部16,17からイン
ゴット30を放しインゴット30を処理台50の上にしずかに
置く。On the other hand, the hydraulic pump 9 shown in FIG.
Is lifted at a predetermined height along the vertical guide member 4, and the ingot 30 is taken out of the accommodation portion 78. After that, the operator
By turning the handle 13 shown in the figure, the ingot 30 is leveled as shown in FIG. Then, the operator pushes the cart 2 with the handle 6 and moves to the processing table 50, releases the ingot 30 from the claws 16 and 17, and places the ingot 30 on the processing table 50.
このようにして、製造されたまだ高温のインゴット30
をオペレータが直接さわらずに処理台50へ安全かつ確実
に運搬できるのである。In this way, the still hot ingot 30 produced
Can be safely and reliably transported to the processing table 50 without the operator directly.
ところで、この発明を実施するためのインゴット運搬
装置やインゴット製造装置は上述の実施例に限定される
ものではない。たとえば、カート２はリモートコントロ
ール式の自走式カートとしてもよい。また、手動式ハン
ドル13や20に代えてモータなどの駆動手段を設けて自動
化してもよい。By the way, the ingot transport device and the ingot manufacturing device for carrying out the present invention are not limited to the above-described embodiments. For example, the cart 2 may be a self-propelled cart of a remote control type. Further, a driving means such as a motor may be provided in place of the manual handles 13 and 20, and automation may be performed.
発明の効果 この発明によれば、製造された高温状態の重いインゴ
ットを、人手を直接介さずに簡単かつ安全にインゴット
に損傷を与えずに次の段階に運搬できる。これによりイ
ンゴットの運搬と処理の時間短縮が図れる。また、イン
ゴットが直接人間の手に触れることがないため引上げ直
後の高温状態（約300℃）であっても容易にインゴット
を移すことができる。これにより次の単結晶引上げの準
備にすぐかかれるので、引上用の製造装置の稼働率を上
げることができる。Effects of the Invention According to the present invention, a manufactured heavy ingot in a high temperature state can be transported to the next stage easily and safely without direct intervention by humans without damaging the ingot. As a result, the time for transporting and processing the ingot can be reduced. Further, since the ingot does not directly touch human hands, the ingot can be easily transferred even in a high temperature state (approximately 300 ° C.) immediately after pulling. Thus, preparation for the next pulling of the single crystal can be made immediately, so that the operation rate of the manufacturing apparatus for pulling can be increased.
第１図はこの発明のインゴット運搬方法を実施するため
の好適なインゴット運搬装置の側面図であり、インゴッ
トを垂直に保持している状態を示す図、第２図は同運搬
装置の側面図であり、インゴットを水平に保持している
状態を示す図、第３図はインゴット製造装置とインゴッ
ト運搬装置を示す図、第４図はインゴットのつり下げ用
の連結部分を示す図、第５図はインゴットを下げてイン
ゴット運搬装置のハンドリング部に垂直に保持した状態
を示す図、第６図はインゴットを処理台へ移す作業を説
明するための図である。 １……インゴット運搬装置 ４……上下案内部材 ６……把手 ７……上下高さ調整機構 10……回転機構部 14……インゴットハンドリング部 16,17……爪部 30……インゴット 50……処理台（第２の位置） 60……インゴット製造装置 62……引上炉の上部 78……収容部（第１の位置）FIG. 1 is a side view of a preferred ingot carrying device for carrying out the ingot carrying method of the present invention, showing a state in which the ingot is held vertically, and FIG. 2 is a side view of the same ingot carrying device. There is a diagram showing a state in which the ingot is held horizontally, FIG. 3 is a diagram showing an ingot manufacturing device and an ingot transport device, FIG. 4 is a diagram showing a connecting portion for hanging the ingot, and FIG. FIG. 6 is a view showing a state in which the ingot is lowered and held vertically in a handling section of the ingot transporting apparatus. FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ingot conveyance apparatus 4 ... Vertical guide member 6 ... Handle 7 ... Vertical height adjustment mechanism 10 ... Rotation mechanism part 14 ... Ingot handling part 16, 17 ... Claw part 30 ... Ingot 50 ... Processing table (second position) 60 ... ingot manufacturing device 62 ... upper part of pulling furnace 78 ... accommodation part (first position)
Claims (1)
ゴットを支持手段により垂直に支持し、 インゴット製造装置からインゴットを垂直に支持したま
ま第１の位置に移し、 第１の位置で垂直に支持されたインゴットをインゴット
運搬装置により保持し、 インゴットと支持手段とを分離し、 インゴット運搬装置により第１の位置から第２の位置に
運搬することを特徴とするインゴット運搬方法。1. An ingot manufactured by an ingot manufacturing apparatus is vertically supported by a supporting means, moved to a first position while vertically supporting the ingot from the ingot manufacturing apparatus, and vertically supported at the first position. An ingot carrying method comprising: holding an ingot by an ingot carrying device; separating the ingot and the support means; and carrying the ingot from the first position to the second position by the ingot carrying device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14621390A JP2835868B2 (en) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | Ingot transportation method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14621390A JP2835868B2 (en) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | Ingot transportation method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442899A JPH0442899A (en) | 1992-02-13 |
| JP2835868B2 true JP2835868B2 (en) | 1998-12-14 |
Family
ID=15402672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14621390A Expired - Fee Related JP2835868B2 (en) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | Ingot transportation method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2835868B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100882884B1 (en) * | 2007-12-06 | 2009-02-09 | 주식회사 실트론 | Ingot processing system |
-
1990
- 1990-06-06 JP JP14621390A patent/JP2835868B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100882884B1 (en) * | 2007-12-06 | 2009-02-09 | 주식회사 실트론 | Ingot processing system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0442899A (en) | 1992-02-13 |
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