JP2827483B2 - パウダービームエッチングとデポジションの方法及びその装置 - Google Patents
パウダービームエッチングとデポジションの方法及びその装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、パウダービームエッチングとデポジション
の方法及びその装置に係わり、特に、パウダーをスパイ
ラル状に回転させ、高圧気体と混合させる事により、強
力なパウダービームを発生させて、被加工物のエッチン
グとデポジションを行うようにした方法及びその装置に
関する。
の方法及びその装置に係わり、特に、パウダーをスパイ
ラル状に回転させ、高圧気体と混合させる事により、強
力なパウダービームを発生させて、被加工物のエッチン
グとデポジションを行うようにした方法及びその装置に
関する。
流れる高圧気体に対して斜めに、即ち回転噴射ノズル
の円筒状回転混合室の内壁に斜めにパウダーを噴射し
て、スパイラル状のパウダーの流れとし、更にこの流れ
を円筒状回転混合室からテーパ状回転混合室に導く事に
より、パウダーと高圧気体を混合し、絞り込み、固気２
相ビームとして、ノズル噴射孔より被加工物に噴射し
て、加工する方法及びその装置であり、固気２相ビーム
が求心性、即ち集束性を持つため、加工効率を向上する
事が出来る。
の円筒状回転混合室の内壁に斜めにパウダーを噴射し
て、スパイラル状のパウダーの流れとし、更にこの流れ
を円筒状回転混合室からテーパ状回転混合室に導く事に
より、パウダーと高圧気体を混合し、絞り込み、固気２
相ビームとして、ノズル噴射孔より被加工物に噴射し
て、加工する方法及びその装置であり、固気２相ビーム
が求心性、即ち集束性を持つため、加工効率を向上する
事が出来る。
本発明の発明者は、既に特願平２−119791号（特開平
４−19070号）にて、パウダービームエッチングとデポ
ジションの方法及びその装置に関し提案している。従っ
て、ここでは一般的な材料表面の加工技術についての説
明は省略する。
４−19070号）にて、パウダービームエッチングとデポ
ジションの方法及びその装置に関し提案している。従っ
て、ここでは一般的な材料表面の加工技術についての説
明は省略する。
コアンダ効果（Coanda effect）を利用した従来のブ
ラスト方法及びその装置が、特開昭62−251075に示され
ている。
ラスト方法及びその装置が、特開昭62−251075に示され
ている。
即ち、この方法及びその装置は第４図（Ａ）及び
（Ｂ）に示すように、高圧の空気71（第１の空気とす
る）の高速流入によって生成された負圧域に、第２の空
気72と共にブラスト粒子を流入させ、このブラスト粒子
を含む第２の空気72を、高圧の第１の空気71によるコア
ンダフローによって、スリット状のノズル73に移送し、
このノズル73によりブラスト粒子を高速で射出してブラ
スト処理する事を特徴としたもので、ノズル73に至る管
路74の方向に流れるブラスト粒子を含む第２の空気72
に、その横方向から高圧の第１の空気71を加えると、管
路内壁74aに近い部分の高圧の第１の空気71と管路74中
央部分を流れるブラスト粒子を含む第２の空気72との間
に境界層が形成され、管路の中央部分の第２の空気72に
含まれるブラスト粒子は加速され、しかも、管路内壁74
aに近い部分には、高圧の第１の空気71があるために、
ブラスト粒子が管路内壁74aと接触しにくいため、管路
内壁74aの摩耗をも防止した方法及びその装置である。
（Ｂ）に示すように、高圧の空気71（第１の空気とす
る）の高速流入によって生成された負圧域に、第２の空
気72と共にブラスト粒子を流入させ、このブラスト粒子
を含む第２の空気72を、高圧の第１の空気71によるコア
ンダフローによって、スリット状のノズル73に移送し、
このノズル73によりブラスト粒子を高速で射出してブラ
スト処理する事を特徴としたもので、ノズル73に至る管
路74の方向に流れるブラスト粒子を含む第２の空気72
に、その横方向から高圧の第１の空気71を加えると、管
路内壁74aに近い部分の高圧の第１の空気71と管路74中
央部分を流れるブラスト粒子を含む第２の空気72との間
に境界層が形成され、管路の中央部分の第２の空気72に
含まれるブラスト粒子は加速され、しかも、管路内壁74
aに近い部分には、高圧の第１の空気71があるために、
ブラスト粒子が管路内壁74aと接触しにくいため、管路
内壁74aの摩耗をも防止した方法及びその装置である。
しかし、コアンダ効果とは次のような効果をいう。即
ち、気体（第４図では、第１の空気71）の噴流が、噴流
軸の方向と湾曲した壁（第４図では管路内壁74a）の方
向と離れていても、壁の曲面に沿った方向の近くを流れ
ようとする傾向をいう。この事は、即ち、第１の空気71
と同時に、ブラスト粒子を含む第２の空気72も、混じり
合い、管路内壁74aに沿って流れる可能性がある。従っ
て、ブラスト粒子が管路内壁74aの近くを流れる可能性
を示し、管路内壁74aを傷つける問題点が発生する可能
性がある。
ち、気体（第４図では、第１の空気71）の噴流が、噴流
軸の方向と湾曲した壁（第４図では管路内壁74a）の方
向と離れていても、壁の曲面に沿った方向の近くを流れ
ようとする傾向をいう。この事は、即ち、第１の空気71
と同時に、ブラスト粒子を含む第２の空気72も、混じり
合い、管路内壁74aに沿って流れる可能性がある。従っ
て、ブラスト粒子が管路内壁74aの近くを流れる可能性
を示し、管路内壁74aを傷つける問題点が発生する可能
性がある。
本発明は、従来のこのような可能性の高い問題点を積
極的に解決するためになされたものであって、 高圧気体に対し斜めに、即ち回転噴射ノズルの円筒状
回転混合室の内壁に斜めに、パウダーを噴射して、スパ
イラル状のパウダーの流れとし、更にこの流れを円筒状
回転混合室からテーパ状混合室に導く事により、パウダ
ーと高圧気体とを混合し、絞り込み、固気２相ビームと
して、ノズル噴射孔より被加工物に噴射し、被加工物を
加工する方法とその装置であり、固気２相ビームの求心
性、即ち集束性を向上し、被加工物の加工効率を向上す
る事を課題とする。
極的に解決するためになされたものであって、 高圧気体に対し斜めに、即ち回転噴射ノズルの円筒状
回転混合室の内壁に斜めに、パウダーを噴射して、スパ
イラル状のパウダーの流れとし、更にこの流れを円筒状
回転混合室からテーパ状混合室に導く事により、パウダ
ーと高圧気体とを混合し、絞り込み、固気２相ビームと
して、ノズル噴射孔より被加工物に噴射し、被加工物を
加工する方法とその装置であり、固気２相ビームの求心
性、即ち集束性を向上し、被加工物の加工効率を向上す
る事を課題とする。
本発明は、パウダーと高圧気体の固気２相ビームを被
加工物に噴射して加工するパウダービームエッチングと
デポジションの方法及びその装置において、 その方法は、それぞれ供給管を介して高圧気体とパウ
ダーとを円筒状固定混合室を空間的に隣接する円筒状回
転混合室に噴射し、該円筒状回転混合室内にて、軸芯方
向に流れる高圧気体の周囲をパウダーがスパイラル状に
回転するようにすると共に、 前記円筒状回転混合室と空間的に隣接し該円筒状回転
混合室より離れる程小径となるテーパ状回転混合室によ
り、前記高圧気体の周囲をスパイラル状に回転するパウ
ダーの回転を回転方向と軸芯方向に加速し、絞り込み、 該絞り込まれたパウダーを含む高圧気体を前記テーパ
状回転混合室の小径側に隣接して配されたノズル噴射孔
から被加工物に固気２相ビームとして噴射し、被加工物
を加工する。
加工物に噴射して加工するパウダービームエッチングと
デポジションの方法及びその装置において、 その方法は、それぞれ供給管を介して高圧気体とパウ
ダーとを円筒状固定混合室を空間的に隣接する円筒状回
転混合室に噴射し、該円筒状回転混合室内にて、軸芯方
向に流れる高圧気体の周囲をパウダーがスパイラル状に
回転するようにすると共に、 前記円筒状回転混合室と空間的に隣接し該円筒状回転
混合室より離れる程小径となるテーパ状回転混合室によ
り、前記高圧気体の周囲をスパイラル状に回転するパウ
ダーの回転を回転方向と軸芯方向に加速し、絞り込み、 該絞り込まれたパウダーを含む高圧気体を前記テーパ
状回転混合室の小径側に隣接して配されたノズル噴射孔
から被加工物に固気２相ビームとして噴射し、被加工物
を加工する。
また、その装置は、高圧気体とパウダーとをそれぞれ
供給する供給管と、該それぞれの供給管が接続される円
筒状固定混合室とを備えると共に、 前記円筒状固定混合室と空間的に隣接するように配設
され、前記それぞれの供給管を介して噴射される高圧気
体とパウダーのうち、軸芯方向に流れる高圧気体の周囲
をスパイラル状に回転するパウダーに回転を与える円筒
状回転混合室と、該円筒状回転混合室と空間的に隣接し
該円筒状回転混合室より離れる程小径となるテーパ状回
転混合室と、該テーパ状回転混合室の小径側に隣接して
配されたノズル噴射孔とにより構成される回転噴射ノズ
ルを備え、 該回転噴射ノズルの回転により、前記円筒状及びテー
パ状回転混合室が回転し、前記軸芯方向に流れる高圧気
体の周囲をスパイラル状に回転するパウダーの回転を更
に加速し、パウダーと高圧気体を混合し、絞り込み、固
気２相ビームとして前記ノズル噴射孔より被加工物に噴
射するようにする。
供給する供給管と、該それぞれの供給管が接続される円
筒状固定混合室とを備えると共に、 前記円筒状固定混合室と空間的に隣接するように配設
され、前記それぞれの供給管を介して噴射される高圧気
体とパウダーのうち、軸芯方向に流れる高圧気体の周囲
をスパイラル状に回転するパウダーに回転を与える円筒
状回転混合室と、該円筒状回転混合室と空間的に隣接し
該円筒状回転混合室より離れる程小径となるテーパ状回
転混合室と、該テーパ状回転混合室の小径側に隣接して
配されたノズル噴射孔とにより構成される回転噴射ノズ
ルを備え、 該回転噴射ノズルの回転により、前記円筒状及びテー
パ状回転混合室が回転し、前記軸芯方向に流れる高圧気
体の周囲をスパイラル状に回転するパウダーの回転を更
に加速し、パウダーと高圧気体を混合し、絞り込み、固
気２相ビームとして前記ノズル噴射孔より被加工物に噴
射するようにする。
更に上述の装置において、それぞれ高圧気体とパウダ
ーを供給する供給管及び前記円筒状固定混合室との間
に、高圧吸引ノズルとパウダー供給ノズルを配すると共
に、 高圧吸引ノズルとパウダー供給ノズルの軸芯は交叉せ
ず、しかも、高圧吸引ノズル及び円筒状固定混合室、円
筒状回転混合室、テーパ状回転混合室のそれぞれの軸芯
は一致するようにする。
ーを供給する供給管及び前記円筒状固定混合室との間
に、高圧吸引ノズルとパウダー供給ノズルを配すると共
に、 高圧吸引ノズルとパウダー供給ノズルの軸芯は交叉せ
ず、しかも、高圧吸引ノズル及び円筒状固定混合室、円
筒状回転混合室、テーパ状回転混合室のそれぞれの軸芯
は一致するようにする。
以上のように、本発明の方法では、軸芯方向に流れる
高圧気体に対し斜めに、即ち回転噴射ノズルの円筒状回
転混合室の内壁に斜めにパウダーを噴射して、スパイラ
ル状のパウダーの流れとし、更にこの流れを円筒状回転
混合室からテーパ状回転混合室に導く事により、パウダ
ーと高圧気体を混合し、絞り込み、固気２相ビームとし
て、ノズル噴射孔より被加工物に噴射して、加工する方
法であり、固気２相ビームの求心性、即ち集束性を向上
する事が出来る。
高圧気体に対し斜めに、即ち回転噴射ノズルの円筒状回
転混合室の内壁に斜めにパウダーを噴射して、スパイラ
ル状のパウダーの流れとし、更にこの流れを円筒状回転
混合室からテーパ状回転混合室に導く事により、パウダ
ーと高圧気体を混合し、絞り込み、固気２相ビームとし
て、ノズル噴射孔より被加工物に噴射して、加工する方
法であり、固気２相ビームの求心性、即ち集束性を向上
する事が出来る。
また、本発明の装置では、回転噴射ノズルの回転によ
り、この回転噴射ノズルを構成する円筒状及びテーパ状
回転混合室を回転させ、軸芯方向に流れる高圧気体の周
囲をスパイラル状に回転するパウダーの回転を更に加速
し、パウダーと高圧気体を混合し、絞り込み、固気２相
ビームとして、ノズル噴射孔より被加工物に噴射して、
被加工物を加工する装置であり、固気２相ビームの求心
性、即ち集束性を向上する。
り、この回転噴射ノズルを構成する円筒状及びテーパ状
回転混合室を回転させ、軸芯方向に流れる高圧気体の周
囲をスパイラル状に回転するパウダーの回転を更に加速
し、パウダーと高圧気体を混合し、絞り込み、固気２相
ビームとして、ノズル噴射孔より被加工物に噴射して、
被加工物を加工する装置であり、固気２相ビームの求心
性、即ち集束性を向上する。
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照し
て説明する。
て説明する。
第１図は本発明のパウダービームエッチングとデポジ
ションの方法及びその装置の一実施例の説明図、第２図
は第１図の一実施例の底部平面図である。第３図は第１
図の実施例の動作原理図を示す。
ションの方法及びその装置の一実施例の説明図、第２図
は第１図の一実施例の底部平面図である。第３図は第１
図の実施例の動作原理図を示す。
本発明のパウダービームエッチングとデポジションの
方法及びその装置は、第１図の説明図及び、第２図の底
部平面図に示すように、高圧気体１とパウダー２の固気
２相ビーム３を被加工物４に噴射して、この被加工物４
を加工、即ちエッチングとデポジションする方法及びそ
の装置に関してである。エッチングとは除去加工の事で
あり、デポジションとは付加加工の事である。この事に
ついては、特願平２−119791（特開平４−19070）にお
いて、既に説明した通りである。
方法及びその装置は、第１図の説明図及び、第２図の底
部平面図に示すように、高圧気体１とパウダー２の固気
２相ビーム３を被加工物４に噴射して、この被加工物４
を加工、即ちエッチングとデポジションする方法及びそ
の装置に関してである。エッチングとは除去加工の事で
あり、デポジションとは付加加工の事である。この事に
ついては、特願平２−119791（特開平４−19070）にお
いて、既に説明した通りである。
まず、本発明の方法では、高圧気体１とパウダー２と
をそれぞれ供給管11、21を介して円筒状固定混合室13と
空間的に隣接する円筒状回転混合室51に噴射し、この円
筒状回転混合室51内にて、軸芯方向に流れる高圧気体１
の周囲をパウダー２がスパイラル状に回転するようにす
る。尚、高圧気体とは、空気やドライ窒素等で、その圧
力は１〜10kg/cm2程度のものを用いる。一方、パウダー
２は、詳しい点については後述するが、低い圧力の気体
に含まれて供給される。
をそれぞれ供給管11、21を介して円筒状固定混合室13と
空間的に隣接する円筒状回転混合室51に噴射し、この円
筒状回転混合室51内にて、軸芯方向に流れる高圧気体１
の周囲をパウダー２がスパイラル状に回転するようにす
る。尚、高圧気体とは、空気やドライ窒素等で、その圧
力は１〜10kg/cm2程度のものを用いる。一方、パウダー
２は、詳しい点については後述するが、低い圧力の気体
に含まれて供給される。
円筒状回転混合室51と空間的に隣接しこの円筒状回転
混合室51より離れる程小径となるテーパ状回転混合室52
により、高圧気体１の周囲をスパイラル状に回転するパ
ウダー２の回転を回転方向と軸芯方向に加速し、絞り込
む。
混合室51より離れる程小径となるテーパ状回転混合室52
により、高圧気体１の周囲をスパイラル状に回転するパ
ウダー２の回転を回転方向と軸芯方向に加速し、絞り込
む。
この絞り込まれたパウダー２を含む高圧気体１をテー
パ状回転混合室52の小径側に隣接して配されたノズル噴
射孔53から被加工物４に固気２相ビーム３として噴射
し、この被加工物４を加工する。
パ状回転混合室52の小径側に隣接して配されたノズル噴
射孔53から被加工物４に固気２相ビーム３として噴射
し、この被加工物４を加工する。
また、その装置であるが、高圧気体１とパウダー２と
をぞれぞれ供給する供給管11、21と、それぞれの供給管
11、21が接続される円筒状固定混合室13とを備えてい
る。
をぞれぞれ供給する供給管11、21と、それぞれの供給管
11、21が接続される円筒状固定混合室13とを備えてい
る。
円筒状固定混合室13と空間的に隣接するように配設さ
れ、それぞれの供給管11、21を介して噴射される高圧気
体１とパウダー２のうち、軸芯方向に流れる高圧気体１
の周囲をスパイラル状に回転するパウダー２に回転を与
える円筒状回転混合室51と、この円筒状回転混合室51と
空間的に隣接しこの円筒状回転混合室51より離れる程小
径となるテーパ状回転混合室52と、このテーパ状回転混
合室52の小径側に隣接して配されたノズル噴射孔53とに
より構成される回転噴射ノズル５を備えている。
れ、それぞれの供給管11、21を介して噴射される高圧気
体１とパウダー２のうち、軸芯方向に流れる高圧気体１
の周囲をスパイラル状に回転するパウダー２に回転を与
える円筒状回転混合室51と、この円筒状回転混合室51と
空間的に隣接しこの円筒状回転混合室51より離れる程小
径となるテーパ状回転混合室52と、このテーパ状回転混
合室52の小径側に隣接して配されたノズル噴射孔53とに
より構成される回転噴射ノズル５を備えている。
この回転噴射ノズル５の回転により、円筒状及びテー
パ状回転混合室51、52が回転し、軸芯方向に流れる高圧
気体１の周囲をスパイラル状に回転するパウダー１の回
転を更に加速し、パウダー１と高圧気体２を混合し、絞
り込み、固気２相ビーム３として、ノズル噴射孔53より
被加工物４に噴射して、この被加工物４を加工する。
パ状回転混合室51、52が回転し、軸芯方向に流れる高圧
気体１の周囲をスパイラル状に回転するパウダー１の回
転を更に加速し、パウダー１と高圧気体２を混合し、絞
り込み、固気２相ビーム３として、ノズル噴射孔53より
被加工物４に噴射して、この被加工物４を加工する。
高圧気体１とパウダー２をそれぞれ供給する供給管1
1、21及び円筒状固定混合室13との間に、高圧吸引ノズ
ル12とパウダー供給ノズル22が配されている。高圧吸引
ノズル12とパウダー供給ノズル22、そして円筒状固定混
合部13、これら全体を固気２相ビーム混合部６と定義す
る。回転噴射ノズル５はこの固気２相ビーム混合部６に
ベアリングを介して回転可能に支持されている。７はパ
ルスモータであり、歯車8a、8bを介して、パルスモータ
７の回転力を回転噴射ノズル５に伝達する。
1、21及び円筒状固定混合室13との間に、高圧吸引ノズ
ル12とパウダー供給ノズル22が配されている。高圧吸引
ノズル12とパウダー供給ノズル22、そして円筒状固定混
合部13、これら全体を固気２相ビーム混合部６と定義す
る。回転噴射ノズル５はこの固気２相ビーム混合部６に
ベアリングを介して回転可能に支持されている。７はパ
ルスモータであり、歯車8a、8bを介して、パルスモータ
７の回転力を回転噴射ノズル５に伝達する。
高圧気体１の圧力は前述したように、１〜10kg/cm2程
度であるが、この高圧気体１を高圧吸引ノズル12から噴
射させる。そして、パウダー２はパウダー供給ノズル22
から噴射される。高圧気体１の高圧吸引ノズル12から噴
射される圧力を、例えば２〜5kg/cm2とすると、パウダ
ー２は低圧の気体に混入されていて、パウダー供給ノズ
ル22から噴射されるが、その圧力は１〜2kg/cm2と低く
てよい。
度であるが、この高圧気体１を高圧吸引ノズル12から噴
射させる。そして、パウダー２はパウダー供給ノズル22
から噴射される。高圧気体１の高圧吸引ノズル12から噴
射される圧力を、例えば２〜5kg/cm2とすると、パウダ
ー２は低圧の気体に混入されていて、パウダー供給ノズ
ル22から噴射されるが、その圧力は１〜2kg/cm2と低く
てよい。
前述の装置において、それぞれ高圧気体１とパウダー
２を供給する供給管11、21及び円筒状固定混合室13との
間に、高圧吸引ノズル12とパウダー供給ノズル22が配さ
れている事に関しては、既に説明した通りである。
２を供給する供給管11、21及び円筒状固定混合室13との
間に、高圧吸引ノズル12とパウダー供給ノズル22が配さ
れている事に関しては、既に説明した通りである。
更に、この装置は高圧吸引ノズル12とパウダー供給ノ
ズル22の軸芯は交叉しない。ここでいう軸芯とは、その
部材の中心線の事をいう。即ち、第３図の動作原理図に
示すように、高圧吸引ノズル12の軸芯（第３図は原理図
なので、円筒状回転混合室51とノズル噴射孔53を図示し
た。そして、それぞれの円の中心が高圧吸収ノズル12の
軸芯である）と、パウダー供給ノズル22の軸芯は交叉し
ていない。
ズル22の軸芯は交叉しない。ここでいう軸芯とは、その
部材の中心線の事をいう。即ち、第３図の動作原理図に
示すように、高圧吸引ノズル12の軸芯（第３図は原理図
なので、円筒状回転混合室51とノズル噴射孔53を図示し
た。そして、それぞれの円の中心が高圧吸収ノズル12の
軸芯である）と、パウダー供給ノズル22の軸芯は交叉し
ていない。
しかも、第１図に示したように、高圧吸引ノズル12及
び円筒状固定混合室13、円筒状回転混合室51、テーパ状
回転混合室52のそれぞれの軸芯は一致するようになって
いる。なお、第１図に示した供給管11と21（高圧吸引ノ
ズル12とパウダー供給ノズル22）との軸芯の角度θ
Ｚは、45゜〜90゜の範囲にあり、第３図に示した角度θ
Ｔは90゜である。
び円筒状固定混合室13、円筒状回転混合室51、テーパ状
回転混合室52のそれぞれの軸芯は一致するようになって
いる。なお、第１図に示した供給管11と21（高圧吸引ノ
ズル12とパウダー供給ノズル22）との軸芯の角度θ
Ｚは、45゜〜90゜の範囲にあり、第３図に示した角度θ
Ｔは90゜である。
高圧吸引ノズル12より高圧気体１を、そしてパウダー
供給ノズル22からパウダー２を、単に固気２相流として
混合し、平均化、分散化するだけでなく、強力な固気２
相ビーム（パウダービーム）とするためには、前述の両
者の軸芯を交叉しないように配置する。このように配置
する事により、高圧気体１が軸芯方向に流れるのに対し
てパウダー２はこの高圧気体１の周囲を円筒状回転混合
室51及びテーパ状回転混合室52の壁面を沿うようにスパ
イラル状に回転し、テーパ状回転混合室52にて、パウダ
ー２はその回転方向と軸芯方向に加速され、絞り込まれ
る。そして、小径のノズル噴射孔53より、強力な固気２
相ビームとして、被加工物４に噴射される。
供給ノズル22からパウダー２を、単に固気２相流として
混合し、平均化、分散化するだけでなく、強力な固気２
相ビーム（パウダービーム）とするためには、前述の両
者の軸芯を交叉しないように配置する。このように配置
する事により、高圧気体１が軸芯方向に流れるのに対し
てパウダー２はこの高圧気体１の周囲を円筒状回転混合
室51及びテーパ状回転混合室52の壁面を沿うようにスパ
イラル状に回転し、テーパ状回転混合室52にて、パウダ
ー２はその回転方向と軸芯方向に加速され、絞り込まれ
る。そして、小径のノズル噴射孔53より、強力な固気２
相ビームとして、被加工物４に噴射される。
ここまで、流れる高圧気体に対して斜めに、即ち回転
噴射ノズルの円筒状回転混合室の内壁に斜めにパウダー
を噴射して、スパイラル状の流れとした例で説明した
が、高圧気体とパウダーとの関係を逆にする事の可能で
ある。流れるパウダー（気体に混合されている）に対し
て斜めに、即ち回転噴射ノズルの円筒状回転混合室の内
壁に斜めに高圧気体を噴射して、スパイラル状の流れと
する事もできる。
噴射ノズルの円筒状回転混合室の内壁に斜めにパウダー
を噴射して、スパイラル状の流れとした例で説明した
が、高圧気体とパウダーとの関係を逆にする事の可能で
ある。流れるパウダー（気体に混合されている）に対し
て斜めに、即ち回転噴射ノズルの円筒状回転混合室の内
壁に斜めに高圧気体を噴射して、スパイラル状の流れと
する事もできる。
以上のように、本発明は、パウダーと高圧気体の固気
２相ビームを被加工物に噴射して、被加工物の加工を行
うパウダービームエッチングとデポジションの方法及び
その装置であって、 本発明の方法としては、軸芯方向に流れる高圧気体に
対し斜めに、即ち回転噴射ノズルの円筒状混合室の内壁
に斜めに、パウダーを噴射して、スパイラル状のパウダ
ーの流れとし、更にこの流れを円筒状回転混合室からテ
ーパ状回転混合室に導く事により、パウダーと高圧気体
とを混合し、絞り込み、固気２相ビームとして、ノズル
噴射孔より被加工物に噴射して、被加工物を加工する方
法であり、 また、本発明の装置としては、回転噴射ノズルの回転
により、この回転噴射ノズルを構成する円筒状及びテー
パ状回転混合室を回転させ、軸芯方向に流れる高圧気体
の周囲をスパイラル状に回転するパウダーの回転を更に
加速し、パウダーと高圧気体を混合し、絞り込み、固気
２相ビームとして、ノズル噴射孔より被加工物に噴射し
て、被加工物を加工する装置であり、 このような方法及びその装置を用いる事により、固気
２相ビームが求心性、即ち集束性を持つ事が可能なた
め、加工効率を向上する事が出来る。
２相ビームを被加工物に噴射して、被加工物の加工を行
うパウダービームエッチングとデポジションの方法及び
その装置であって、 本発明の方法としては、軸芯方向に流れる高圧気体に
対し斜めに、即ち回転噴射ノズルの円筒状混合室の内壁
に斜めに、パウダーを噴射して、スパイラル状のパウダ
ーの流れとし、更にこの流れを円筒状回転混合室からテ
ーパ状回転混合室に導く事により、パウダーと高圧気体
とを混合し、絞り込み、固気２相ビームとして、ノズル
噴射孔より被加工物に噴射して、被加工物を加工する方
法であり、 また、本発明の装置としては、回転噴射ノズルの回転
により、この回転噴射ノズルを構成する円筒状及びテー
パ状回転混合室を回転させ、軸芯方向に流れる高圧気体
の周囲をスパイラル状に回転するパウダーの回転を更に
加速し、パウダーと高圧気体を混合し、絞り込み、固気
２相ビームとして、ノズル噴射孔より被加工物に噴射し
て、被加工物を加工する装置であり、 このような方法及びその装置を用いる事により、固気
２相ビームが求心性、即ち集束性を持つ事が可能なた
め、加工効率を向上する事が出来る。
第１図は本発明のパウダービームエッチングとデポジシ
ョンの方法及びその装置の一実施例の説明図、第２図は
第１図の一実施例の底部平面図、そして、第３図は第１
図の一実施例の動作原理図である。 第４図は従来のブラスト方法及びその装置の説明図であ
り、同図（Ａ）は側面断面図、そして、同図（Ｂ）は正
面断面図である。 １……高圧気体 ２……パウダー ３……固気２相ビーム ４……被加工物５ ……回転噴射ノズル６ ……固気２相ビーム混合部 11、21……供給管 12……高圧吸引ノズル 22……パウダー供給ノズル 51……円筒状回転混合室 52……テーパ状回転混合室 53……ノズル噴射孔
ョンの方法及びその装置の一実施例の説明図、第２図は
第１図の一実施例の底部平面図、そして、第３図は第１
図の一実施例の動作原理図である。 第４図は従来のブラスト方法及びその装置の説明図であ
り、同図（Ａ）は側面断面図、そして、同図（Ｂ）は正
面断面図である。 １……高圧気体 ２……パウダー ３……固気２相ビーム ４……被加工物５ ……回転噴射ノズル６ ……固気２相ビーム混合部 11、21……供給管 12……高圧吸引ノズル 22……パウダー供給ノズル 51……円筒状回転混合室 52……テーパ状回転混合室 53……ノズル噴射孔
Claims (3)
- 【請求項１】パウダーと高圧気体の固気２相ビームを被
加工物に噴射して加工するパウダービームエッチングと
デポジションの方法において、 それぞれ供給管を介して高圧気体とパウダーとを円筒状
固定混合室と空間的に隣接する円筒状回転混合室に噴射
し、該円筒状回転混合室内にて、軸芯方向に流れる高圧
気体の周囲をパウダーがスパイラル状に回転するように
すると共に、 前記円筒状回転混合室と空間的に隣接し該円筒状回転混
合室より離れる程小径となるテーパ状回転混合室によ
り、前記高圧気体の周囲をスパイラル状に回転するパウ
ダーの回転を回転方向と軸芯方向に加速し、絞り込み、 該絞り込まれたパウダーを含む高圧気体を前記テーパ状
回転混合室の小径側に隣接して配されたノズル噴射孔か
ら被加工物に固気２相ビームとして噴射し、被加工物を
加工するようにした事を特徴とするパウダービームエッ
チングとデポジションの方法。 - 【請求項２】パウダーと高圧気体の固気２相ビームを被
加工物に噴射して加工するパウダービームエッチングと
デポジションの装置において、 高圧気体とパウダーとをそれぞれ供給する供給管と、該
それぞれの供給管が接続される円筒状固定混合室とを備
えると共に、 前記円筒状固定混合室と空間的に隣接するように配設さ
れ、前記それぞれの供給管を介して噴射される高圧気体
とパウダーのうち、軸芯方向に流れる高圧気体の周囲を
スパイラル状に回転するパウダーに回転を与える円筒状
回転混合室と、該円筒状回転混合室と空間的に隣接し該
円筒状回転混合室より離れる程小径となるテーパ状回転
混合室と、該テーパ状回転混合室の小径側に隣接して配
されたノズル噴射孔とにより構成される回転噴射ノズル
を備え、 該回転噴射ノズルの回転により、前記円筒状及びテーパ
状回転混合室が回転し、前記軸芯方向に流れる高圧気体
の周囲をスパイラル状に回転するパウダーの回転を更に
加速し、パウダーと高圧気体を混合し、絞り込み、固気
２相ビームとして、前記ノズル噴射孔より被加工物に噴
射するようにした事を特徴とするパウダービームエッチ
ングとデポジションの装置。 - 【請求項３】特許請求の範囲第２項記載のパウダービー
ムエッチングとデポジションの装置において、 それぞれ高圧気体とパウダーを供給する供給管及び前記
円筒状固定混合室との間に、高圧吸引ノズルとパウダー
供給ノズルを配すると共に、 高圧吸引ノズルとパウダー供給ノズルの軸芯は交叉せ
ず、しかも、高圧吸引ノズル及び円筒状固定混合室、円
筒状回転混合室、テーパ状回転混合室のそれぞれの軸芯
は一致している事を特徴とするパウダービームエッチン
グとデポジションの装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23259390A JP2827483B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | パウダービームエッチングとデポジションの方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23259390A JP2827483B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | パウダービームエッチングとデポジションの方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04115869A JPH04115869A (ja) | 1992-04-16 |
| JP2827483B2 true JP2827483B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=16941790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23259390A Expired - Fee Related JP2827483B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | パウダービームエッチングとデポジションの方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2827483B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2541102B2 (ja) * | 1993-06-23 | 1996-10-09 | 日本電気株式会社 | 同軸フリップチップ接続構造の形成方法 |
| KR101220608B1 (ko) | 2010-06-09 | 2013-01-10 | 주식회사 포스코 | 스케일 제거장치 |
| JP2012076186A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Nisshin Kiko Kk | 液体噴射加工装置 |
| KR101322042B1 (ko) * | 2011-12-08 | 2013-10-28 | 주식회사 포스코 | 광폭형 스케일 제거장치 |
-
1990
- 1990-09-04 JP JP23259390A patent/JP2827483B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04115869A (ja) | 1992-04-16 |
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|---|---|---|---|
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