JP2827131B2 - 研磨パッド - Google Patents
研磨パッドInfo
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- JP2827131B2 JP2827131B2 JP11037690A JP11037690A JP2827131B2 JP 2827131 B2 JP2827131 B2 JP 2827131B2 JP 11037690 A JP11037690 A JP 11037690A JP 11037690 A JP11037690 A JP 11037690A JP 2827131 B2 JP2827131 B2 JP 2827131B2
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- Japan
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- polishing
- polishing pad
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- abrasive
- adhesive
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、物品の研磨に用いる研磨パッドに関し、特
に合成樹脂成形品例えばプラスチックレンズ、風防ガラ
ス、医療用品、食器、ラジオ部品、機械部品、ボタン、
キャップ、キャビネット、化粧板、眼鏡枠、プラスチッ
ク製安全ガラス等及び金属、ガラス、半導体材料等の研
磨に有用な研磨パッドに関するものである。
に合成樹脂成形品例えばプラスチックレンズ、風防ガラ
ス、医療用品、食器、ラジオ部品、機械部品、ボタン、
キャップ、キャビネット、化粧板、眼鏡枠、プラスチッ
ク製安全ガラス等及び金属、ガラス、半導体材料等の研
磨に有用な研磨パッドに関するものである。
［従来の技術］ 従来、プラスチック製品や金属等を研磨する方法及び
研磨用組成物としては、特開昭49−100689号公報及び特
開昭61−278587号公報に開示されている。
研磨用組成物としては、特開昭49−100689号公報及び特
開昭61−278587号公報に開示されている。
特開昭49−100689号公報には、水、研磨材及び酸性化
合物からなる研磨用組成物を用いることを特徴とする合
成樹脂成形品の研磨法及び研磨用組成物が開示されてい
る。
合物からなる研磨用組成物を用いることを特徴とする合
成樹脂成形品の研磨法及び研磨用組成物が開示されてい
る。
この方法は、従来、水と酸化セリウム、酸化アルミニ
ウム等の研磨材をスラリー化し用いていたのに対し、前
記研磨材にポリ塩化アルミニウム、硝酸セリウム、硝酸
アルミニウム、臭化アルミニウム等の酸化性化合物を添
加してなる研磨用組成物を用いるものである。
ウム等の研磨材をスラリー化し用いていたのに対し、前
記研磨材にポリ塩化アルミニウム、硝酸セリウム、硝酸
アルミニウム、臭化アルミニウム等の酸化性化合物を添
加してなる研磨用組成物を用いるものである。
この水と研磨材と酸化性化合物からなる研磨用組成物
を用いて物品を研磨する方法は、特にプラスチックを高
能率かつ高品質に研磨することが出来るが、しかし、こ
のスラリーは強酸性スラリーであり、pH値が４〜２位で
低い。
を用いて物品を研磨する方法は、特にプラスチックを高
能率かつ高品質に研磨することが出来るが、しかし、こ
のスラリーは強酸性スラリーであり、pH値が４〜２位で
低い。
従って、このプラスチック用研磨スラリーを用いる方
法は、強酸性のスラリーを用いるので、研磨機や治具が
腐蝕し易く、また作業者の手が荒れ易く、安全衛生上の
問題がある。
法は、強酸性のスラリーを用いるので、研磨機や治具が
腐蝕し易く、また作業者の手が荒れ易く、安全衛生上の
問題がある。
又、出願人は、上記の問題を解決するために、特開昭
61−278587号公報に、水と、酸化アルミニウムの研磨材
及び硫酸ニッケルの研磨促進剤からなり、中性ないし弱
酸性であることを特徴とする研磨用組成物を開示した。
61−278587号公報に、水と、酸化アルミニウムの研磨材
及び硫酸ニッケルの研磨促進剤からなり、中性ないし弱
酸性であることを特徴とする研磨用組成物を開示した。
以上の研磨用組成物は全てスラリー化して用いられる
ので、研磨スラリーを供給するためのポンプ、撹拌機、
温度コントロール、配管設備等の複雑な装置が必要で、
必ずしも作業性が良いとは言いがたい。
ので、研磨スラリーを供給するためのポンプ、撹拌機、
温度コントロール、配管設備等の複雑な装置が必要で、
必ずしも作業性が良いとは言いがたい。
また、従来、シート状研磨材として用いられるものの
代表的なものとしては、紙または、布等の基材の上面
に、古くは、ゼラチン、ポリビニルアルコールなどの天
然又は合成水溶性高分子物質で研磨砥粒を接着させたも
のや、近年では、フェノール系、エポキシ系、ウレタン
系、酢酸ビニル系、アクリル系などの耐水性合成樹脂接
着材で砥粒を接着させた主に、粗仕上用に使用されてい
るいわゆるサンドペーパー又は研磨テープと称するもの
がある。
代表的なものとしては、紙または、布等の基材の上面
に、古くは、ゼラチン、ポリビニルアルコールなどの天
然又は合成水溶性高分子物質で研磨砥粒を接着させたも
のや、近年では、フェノール系、エポキシ系、ウレタン
系、酢酸ビニル系、アクリル系などの耐水性合成樹脂接
着材で砥粒を接着させた主に、粗仕上用に使用されてい
るいわゆるサンドペーパー又は研磨テープと称するもの
がある。
しかし、これら水溶性接着材を使用したものは、耐水
性がなく、接着力が弱いので砥粒の脱落が速く、また耐
水性のある合成樹脂接着材では、接着力が強すぎて、砥
粒の脱落が起こりにくいため、いわゆる目詰まり現象を
起こして、いずれも寿命が短いという欠点を有してい
る。しかも、これらは、いわゆる鏡面仕上（ポリシン
グ）分野に使用される10μ以下の砥粒のように、砥粒径
が細かいほど、その傾向が大きく、十分なる研磨成果が
現れない。
性がなく、接着力が弱いので砥粒の脱落が速く、また耐
水性のある合成樹脂接着材では、接着力が強すぎて、砥
粒の脱落が起こりにくいため、いわゆる目詰まり現象を
起こして、いずれも寿命が短いという欠点を有してい
る。しかも、これらは、いわゆる鏡面仕上（ポリシン
グ）分野に使用される10μ以下の砥粒のように、砥粒径
が細かいほど、その傾向が大きく、十分なる研磨成果が
現れない。
そのため、プラスチック、金属、ガラス等の鏡面仕上
には、従来の砥粒をスラリー化した研磨用組成物が用い
られているのが現状である。
には、従来の砥粒をスラリー化した研磨用組成物が用い
られているのが現状である。
［発明が解決しようとする課題］ 以上の従来の研磨用組成物においては、いずれも前述
のような問題点がある。
のような問題点がある。
出願人は、先に、物品を研磨するに当たって、前述の
安全衛生上の問題を解消し、作業性の良好な研磨パッド
として、研磨材と水溶性セルロースエーテル及び硬化剤
からなる混合物を基材上に塗布したものから成ることを
特徴とする研磨パッドを開発し出願した。（特願平２−
71894号） 上記研磨パッドは、簡便でかつ研磨性能は良く従来の
研磨用組成物の欠点を解消するものであるが、この研磨
パッドの製造に当たっては、被研磨物品に合わせて、所
要の形状に成形したり、例えば、Ｒが付いた研磨皿のよ
うな場合には、研磨パッドの密着性を保持する為に、基
材の裏面に感圧接着材を付けたりする加工工程が必要で
ある。またそれらの工程に加えるにさらに、包装、運搬
作業中に、表面の被覆層の一部を欠けたり、剥がれたり
又汚れたりする等の問題が生じ改良が望まれていた。
安全衛生上の問題を解消し、作業性の良好な研磨パッド
として、研磨材と水溶性セルロースエーテル及び硬化剤
からなる混合物を基材上に塗布したものから成ることを
特徴とする研磨パッドを開発し出願した。（特願平２−
71894号） 上記研磨パッドは、簡便でかつ研磨性能は良く従来の
研磨用組成物の欠点を解消するものであるが、この研磨
パッドの製造に当たっては、被研磨物品に合わせて、所
要の形状に成形したり、例えば、Ｒが付いた研磨皿のよ
うな場合には、研磨パッドの密着性を保持する為に、基
材の裏面に感圧接着材を付けたりする加工工程が必要で
ある。またそれらの工程に加えるにさらに、包装、運搬
作業中に、表面の被覆層の一部を欠けたり、剥がれたり
又汚れたりする等の問題が生じ改良が望まれていた。
本発明は、従来技術の問題点、特に上記研磨パッドの
製造工程における問題点を解決するために改良されたも
のである。
製造工程における問題点を解決するために改良されたも
のである。
本発明は、物品を研磨するに当たって、前述の安全衛
生上の問題を解消し、作業性の良好でさらに加工工程に
おいて、表面の被覆層の一部が欠けたり、剥がれたり又
汚れたりしない研磨パッドを提供することを目的とする
ものである。
生上の問題を解消し、作業性の良好でさらに加工工程に
おいて、表面の被覆層の一部が欠けたり、剥がれたり又
汚れたりしない研磨パッドを提供することを目的とする
ものである。
［課題を解決するための手段］ 本発明の研磨パッドは、基材上に、研磨材と水溶性セ
ルロースエーテル及び硬化剤からなる研磨材混合物をシ
ート状に塗布し、さらに該乾燥研磨材混合物上にポリビ
ニルアルコール（PVA）フィルムを、水貼りまたは水溶
性粘着材を介して貼り付けて成ることを特徴とするもの
である。
ルロースエーテル及び硬化剤からなる研磨材混合物をシ
ート状に塗布し、さらに該乾燥研磨材混合物上にポリビ
ニルアルコール（PVA）フィルムを、水貼りまたは水溶
性粘着材を介して貼り付けて成ることを特徴とするもの
である。
また、前記PVAフィルムの厚みが10〜40μ、鹸化度80
〜90であり、前記粘着材厚みが５〜30μであり、 さらに、必要な場合には、前記研磨パッドを感圧接着
材層上に接着して成ることを特徴とする上記の研磨パッ
ドである。
〜90であり、前記粘着材厚みが５〜30μであり、 さらに、必要な場合には、前記研磨パッドを感圧接着
材層上に接着して成ることを特徴とする上記の研磨パッ
ドである。
［作用］ 本発明の研磨パッドは、乾燥研磨材混合物上面に水貼
りまたは水溶性のアクリル系粘着材でPVAフィルムを貼
付けることによって、研磨性能を低下せずに、加工工程
中の表面の被覆層の一部が欠けたり、剥がれたり又汚れ
たりする問題点を防止することが出来るものである。
りまたは水溶性のアクリル系粘着材でPVAフィルムを貼
付けることによって、研磨性能を低下せずに、加工工程
中の表面の被覆層の一部が欠けたり、剥がれたり又汚れ
たりする問題点を防止することが出来るものである。
PVAフィルムは、水に対する溶解性が非常に良く、薄
いので、研磨初期に水をかけることによって、溶解し、
流されるので、研磨作業、研磨性能に影響を与えること
なく、研磨出来るものである。
いので、研磨初期に水をかけることによって、溶解し、
流されるので、研磨作業、研磨性能に影響を与えること
なく、研磨出来るものである。
また、前記PVAフィルム及び粘着材の厚みが10μ及び
５μ未満の場合は、コーティング強度，粘着効果が不十
分であり、40μ及び30μを越えると、使用時、残存し研
磨能力に多少影響を与えるので、10〜40μ及び５〜30μ
が望ましい。
５μ未満の場合は、コーティング強度，粘着効果が不十
分であり、40μ及び30μを越えると、使用時、残存し研
磨能力に多少影響を与えるので、10〜40μ及び５〜30μ
が望ましい。
さらに、PVAフィルムは使用時に水によく溶けること
が必要であり、その為には鹸化度が80〜90程度のものが
望ましい。
が必要であり、その為には鹸化度が80〜90程度のものが
望ましい。
一方、乾燥被覆物を構成する研磨材と水溶性セルロー
スエーテル及び硬化剤について、以下に述べる。
スエーテル及び硬化剤について、以下に述べる。
研磨材は酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化
錫及び酸化セリウムから選ばれた１種であり、その平均
粒子径が0.5〜10μが望ましい。
錫及び酸化セリウムから選ばれた１種であり、その平均
粒子径が0.5〜10μが望ましい。
前記水溶性セルロースエーテルの研磨材に対する重量
割合は１〜８％であり、ヒドロキシプロピルメチルセル
ロース、メチルセルロース及びヒドロキシエチルメチル
セルロースから選ばれた１種であることが望ましい。
割合は１〜８％であり、ヒドロキシプロピルメチルセル
ロース、メチルセルロース及びヒドロキシエチルメチル
セルロースから選ばれた１種であることが望ましい。
さらに、硬化剤の研磨材に対する重量割合は0.2〜1.5
％であり、グリオキザール、クエン酸、タンニン酸、尿
素ホルマリン樹脂及びメチルロールメラミン樹脂から選
ばれた１種であることが望ましい。
％であり、グリオキザール、クエン酸、タンニン酸、尿
素ホルマリン樹脂及びメチルロールメラミン樹脂から選
ばれた１種であることが望ましい。
基材としては、植毛布、不織布、合成紙、人口皮革、
織布、合成樹脂フィルム、スポンジ等から１種選んで用
いることが出来る。
織布、合成樹脂フィルム、スポンジ等から１種選んで用
いることが出来る。
また本発明の研磨パッドは、研磨時は、一般の市水等
の水を供給するだけで、研磨が行なえるので、研磨機や
治具が腐蝕せず、作業者の手荒れの問題が全然ない。さ
らに水の供給であるので、研磨材のスラリー化の必要は
なく、その設備も必要なく、供給装置が簡単で少なくて
すみ、作業性が大巾に向上するものである。
の水を供給するだけで、研磨が行なえるので、研磨機や
治具が腐蝕せず、作業者の手荒れの問題が全然ない。さ
らに水の供給であるので、研磨材のスラリー化の必要は
なく、その設備も必要なく、供給装置が簡単で少なくて
すみ、作業性が大巾に向上するものである。
次に本発明の実施例について述べる。
［実施例］ 第１図は本発明の研磨パッドの断面説明図、第２図は
研磨パッドのパターンの模式図、第３図は本発明の研磨
パッドの製造工程説明図である。
研磨パッドのパターンの模式図、第３図は本発明の研磨
パッドの製造工程説明図である。
図において、１は基材、２は研磨材混合物、３は水溶
性粘着材、４はPVAフィルム、５は感圧接着材、６は乾
燥被覆物である。
性粘着材、４はPVAフィルム、５は感圧接着材、６は乾
燥被覆物である。
第３図の本発明の研磨パッドの製造工程に従って本発
明について述べる。
明について述べる。
平均粒径が３μのα型酸化アルミニウムの研磨材を40
重量部と水60重量部を混合し、これに水溶性セルロース
エーテルとして、ヒドロキシプロピルメチルセルロース
をＡ重量部（研磨材に対する重量％換算Ｂ）を次に示す
如く添加する。
重量部と水60重量部を混合し、これに水溶性セルロース
エーテルとして、ヒドロキシプロピルメチルセルロース
をＡ重量部（研磨材に対する重量％換算Ｂ）を次に示す
如く添加する。
さらに硬化剤として、グリオキザール（CHOCHO）の40
％水溶液をそれぞれ0.5重量部（研磨材に対する重量％
換算:0.75％）加え、よく混合し、ペースト状の研磨材
混合物２を作る。
％水溶液をそれぞれ0.5重量部（研磨材に対する重量％
換算:0.75％）加え、よく混合し、ペースト状の研磨材
混合物２を作る。
基材１として、従来のプラスチックレンズ研磨用に使
用されるレーヨン製植毛布を用い、この植毛布1m2当り1
200gの割合で表面に均一に、この研磨材混合物ペースト
２を塗布し、熱風乾燥機で約120℃,60分間乾燥し、1m2
当り約500g（厚さ0.4mm）の乾燥被覆物６が得られた。
用されるレーヨン製植毛布を用い、この植毛布1m2当り1
200gの割合で表面に均一に、この研磨材混合物ペースト
２を塗布し、熱風乾燥機で約120℃,60分間乾燥し、1m2
当り約500g（厚さ0.4mm）の乾燥被覆物６が得られた。
この乾燥被覆物６の基材１である植毛布の裏面に両面
接着テープ等の感圧接着剤５を付け、次いで、第１図に
示すように、全面に、厚み20μ，鹸涸度87のPVAフイル
ム４を水貼りまたはアクリル系の水溶性粘着材３で貼付
ける。
接着テープ等の感圧接着剤５を付け、次いで、第１図に
示すように、全面に、厚み20μ，鹸涸度87のPVAフイル
ム４を水貼りまたはアクリル系の水溶性粘着材３で貼付
ける。
次に、第２図に示すような、研磨パッドの種々の形状
の中から所要の形状を選び、選ばれた型に打抜し裁断
し、研磨パッドを作成したが、PVAフイルム４を貼付け
表面をコーティングしたので、型抜き、裁断、運搬工程
において、表面の被覆層（研磨材混合物２）の一部が欠
けたり、剥がれたり又汚れたりすることがなく、商品価
値や歩留まりが向上した。
の中から所要の形状を選び、選ばれた型に打抜し裁断
し、研磨パッドを作成したが、PVAフイルム４を貼付け
表面をコーティングしたので、型抜き、裁断、運搬工程
において、表面の被覆層（研磨材混合物２）の一部が欠
けたり、剥がれたり又汚れたりすることがなく、商品価
値や歩留まりが向上した。
また、表面コーティングの防湿効果により、研磨材混
合物被覆層の変色や変質がなく、経時変化が起こらず品
質が安定した。
合物被覆層の変色や変質がなく、経時変化が起こらず品
質が安定した。
次に、この製品研磨パッドを性能試験に用いた。
また、比較例として、従来の研磨用組成物として、水
に本発明と同等の平均粒径が３μのα型酸化アルミニウ
ムの研磨材を20重量％懸濁し、これに硫酸ニッケル（Ni
SO4・6H2O）の研磨促進剤を５重量％添加したスラリー
を用いた。
に本発明と同等の平均粒径が３μのα型酸化アルミニウ
ムの研磨材を20重量％懸濁し、これに硫酸ニッケル（Ni
SO4・6H2O）の研磨促進剤を５重量％添加したスラリー
を用いた。
被研磨物のプラスチック製品には、アリルジグリコー
ルカーボネート樹脂の70mm径の眼鏡用レンズを用いる。
このレンズを、非球面用レンズ研磨機に装填し、レンズ
の表面に、本発明の研磨パッド又は従来法による植毛布
を当接し、レンズと研磨パッド又は植毛布を相対的に摺
動して、５分間研磨する。
ルカーボネート樹脂の70mm径の眼鏡用レンズを用いる。
このレンズを、非球面用レンズ研磨機に装填し、レンズ
の表面に、本発明の研磨パッド又は従来法による植毛布
を当接し、レンズと研磨パッド又は植毛布を相対的に摺
動して、５分間研磨する。
研磨の間、レンズと研磨パッドの間に水のみ２／分
の割合で供給し、従来法では、研磨用スラリーを循環方
式により同じく２／分の割合で供給する。なお、研磨
圧力は、両者とも240g/cm2である。
の割合で供給し、従来法では、研磨用スラリーを循環方
式により同じく２／分の割合で供給する。なお、研磨
圧力は、両者とも240g/cm2である。
研磨後、レンズの研磨表面を検査して、オレンジピー
ルやスクラッチのような表面欠陥の有無を調べた。
ルやスクラッチのような表面欠陥の有無を調べた。
次に、レンズの重量を計測し、研磨による重量損失を
算出して研磨量を求める。
算出して研磨量を求める。
これらの結果を第１表に示す。
この第１表から明らかなように、本発明の研磨用パッ
ドは、水を供給するだけで、従来の研磨用スラリーを用
いた場合と同様に研磨量が多くて、研磨能率は非常に高
く、また表面欠陥が認められず、研磨表面の品質が高
い。
ドは、水を供給するだけで、従来の研磨用スラリーを用
いた場合と同様に研磨量が多くて、研磨能率は非常に高
く、また表面欠陥が認められず、研磨表面の品質が高
い。
以上の実施例では、感圧接着材５を接着してから、PV
Aフイルム４を貼付する工程の順にしたが、この順序は
逆でもよい。
Aフイルム４を貼付する工程の順にしたが、この順序は
逆でもよい。
本発明の研磨パッドにおいては、以上に述べた実施例
に限定されるものではない。
に限定されるものではない。
［発明の効果］ 本発明の研磨パッドは、PVAフィルムを研磨材と水溶
性セルロースエーテル及び硬化剤からなる研磨材混合物
と基材との乾燥被覆物の上面に貼付することにより、型
抜き、接着材貼付、裁断、包装の製造加工工程中に、被
覆層（研磨層）の剥がれ、欠け、汚れ等が付かないの
で、商品価値や歩留まりが向上し、また、防湿効果によ
り被覆層の変色や変質がなく、経時変化が起こらず品質
が安定する。
性セルロースエーテル及び硬化剤からなる研磨材混合物
と基材との乾燥被覆物の上面に貼付することにより、型
抜き、接着材貼付、裁断、包装の製造加工工程中に、被
覆層（研磨層）の剥がれ、欠け、汚れ等が付かないの
で、商品価値や歩留まりが向上し、また、防湿効果によ
り被覆層の変色や変質がなく、経時変化が起こらず品質
が安定する。
また従来の研磨組成物と同様に、高能率かつ高品質に
研磨することが出来る上に、従来の研磨用スラリーと異
なり、水のみを供給するため、腐蝕の問題もなく、作業
者の手荒れの問題もない。
研磨することが出来る上に、従来の研磨用スラリーと異
なり、水のみを供給するため、腐蝕の問題もなく、作業
者の手荒れの問題もない。
又複雑な研磨関連装置も不要であり、作業性を大巾に
改善することが出来る等の効果を奏するものである。
改善することが出来る等の効果を奏するものである。
第１図は本発明の研磨パッドの断面説明図、第２図は研
磨パッドのパターンの模式図、第３図は本発明の研磨パ
ッドの製造工程説明図である。 図において、1:基材、2:研磨材混合物、3:水溶性粘着
材、4:ポリビニルアルコールフィルム（PVA）、5:感圧
接着材、6:乾燥被覆物。
磨パッドのパターンの模式図、第３図は本発明の研磨パ
ッドの製造工程説明図である。 図において、1:基材、2:研磨材混合物、3:水溶性粘着
材、4:ポリビニルアルコールフィルム（PVA）、5:感圧
接着材、6:乾燥被覆物。
フロントページの続き (72)発明者 三浦 司朗 愛知県西春日井郡西枇杷島町地領２丁目 １番地の１ 不二見研磨材工業株式会社 内 (56)参考文献 特公 昭57−15779（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C09K 3/14 B24D 13/08 B23B 27/12 - 27/20 ＷＰＩ／Ｌ（ＱＵＥＳＴＥＬ)
Claims (4)
- 【請求項１】基材上に、研磨材と水溶性セルロースエー
テル及び硬化剤からなる研磨材混合物をシート状に塗布
し、さらに該乾燥研磨材混合物上にポリビニルアルコー
ルフィルムを、水貼りまたは水溶性粘着材を介して貼付
けて成ることを特徴とする研磨パッド。 - 【請求項２】前記ポリビニルアルコールフィルムの厚み
が10〜40μ、鹸化度80〜90であることを特徴とする請求
項１記載の研磨パッド。 - 【請求項３】前記粘着材厚みが５〜30μであることを特
徴とする請求項１又は２記載の研磨パッド。 - 【請求項４】前記研磨パッドを感圧接着材層上に接着し
て成ることを特徴とする請求項1,2又は３記載の研磨パ
ッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11037690A JP2827131B2 (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 研磨パッド |
| US90/002873A US5104421B1 (en) | 1990-03-23 | 1990-11-14 | Polishing method of goods and abrasive pad therefor |
| DE69104878T DE69104878T2 (de) | 1990-03-23 | 1991-03-07 | Palierverfahren für Güter und Schleifkissen dafür. |
| EP91103491A EP0447885B1 (en) | 1990-03-23 | 1991-03-07 | Polishing method of goods and abrasive pad therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11037690A JP2827131B2 (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 研磨パッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048791A JPH048791A (ja) | 1992-01-13 |
| JP2827131B2 true JP2827131B2 (ja) | 1998-11-18 |
Family
ID=14534239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11037690A Expired - Lifetime JP2827131B2 (ja) | 1990-03-23 | 1990-04-27 | 研磨パッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2827131B2 (ja) |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP11037690A patent/JP2827131B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH048791A (ja) | 1992-01-13 |
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