JP2826206B2 - Printed wiring board - Google Patents

Printed wiring board

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JP2826206B2
JP2826206B2 JP14899991A JP14899991A JP2826206B2 JP 2826206 B2 JP2826206 B2 JP 2826206B2 JP 14899991 A JP14899991 A JP 14899991A JP 14899991 A JP14899991 A JP 14899991A JP 2826206 B2 JP2826206 B2 JP 2826206B2
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adhesive
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は絶縁基板上に金属によっ
て導体回路が形成されるプリント配線板に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed wiring board in which a conductive circuit is formed by a metal on an insulating substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種のプリント配線板を形成する方法
の一つとして、従来よりアディティブ法が提案されてい
る。この形成方法によると、ガラスエポキシ等の絶縁基
板に無電解メッキ用の接着剤を塗布することにより接着
剤層を形成し、その接着剤層の表面を粗化した後にその
上にメッキレジストを形成し、更に無電解メッキによっ
て導体回路となる金属を付着させている。
2. Description of the Related Art As one of the methods for forming this type of printed wiring board, an additive method has been conventionally proposed. According to this forming method, an adhesive layer for electroless plating is applied to an insulating substrate such as a glass epoxy to form an adhesive layer, and after the surface of the adhesive layer is roughened, a plating resist is formed thereon. Further, a metal to be a conductor circuit is attached by electroless plating.

【0003】この方法によると導体回路は基本的に無電
解メッキによって形成されるため、少ない製造工程によ
って容易かつ確実に微細パターンを形成できるという利
点がある。また、粗化された接着剤層に対して導体回路
を付着することにより、両者間に優れた接合性が確保さ
れているため、導体回路が接着層から剥離しにくいとい
う特徴も有している。
According to this method, since the conductor circuit is basically formed by electroless plating, there is an advantage that a fine pattern can be easily and reliably formed by a small number of manufacturing steps. In addition, since the conductor circuit is adhered to the roughened adhesive layer, excellent bonding between the two is ensured, so that the conductor circuit is less likely to peel off from the adhesive layer. .

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
に導体回路と接着剤層との間の接合性が改善されたとし
ても、粗面を有しない絶縁基板上に前記接着剤層を形成
するような場合には、接着剤層と絶縁基板との間に充分
な接合性が確保されず、その結果両者の界面にて剥離が
生じてしまう虞れがある。このような事情から、導体回
路の剥離強度をより向上させるためには、導体回路と接
着剤層との間の接合性のみならず、絶縁基板と接着剤層
との間の接合性も同時に向上させることが望まれてい
る。
However, even if the bonding property between the conductor circuit and the adhesive layer is improved as described above, the adhesive layer is formed on an insulating substrate having no rough surface. In such a case, sufficient bonding between the adhesive layer and the insulating substrate is not ensured, and as a result, there is a possibility that separation occurs at the interface between the two. Under these circumstances, in order to further improve the peel strength of the conductor circuit, not only the joint property between the conductor circuit and the adhesive layer but also the joint property between the insulating substrate and the adhesive layer are simultaneously improved. It is hoped that it will.

【0005】本発明は上記の事情に鑑みて成されたもの
であり、その目的は、絶縁基板とその絶縁基板上に塗布
形成される接着剤層との間の接合性をより向上させるこ
とにより、剥離が生じにくい導体回路を備えたプリント
配線板を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to improve the bonding between an insulating substrate and an adhesive layer formed on the insulating substrate. It is another object of the present invention to provide a printed wiring board provided with a conductor circuit in which peeling does not easily occur.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段及び作用】上記の課題を解
決するために、本発明は絶縁基板上に塗布された接着剤
層上に無電解メッキによって導体回路を形成したプリン
ト配線板において、前記絶縁基板の表面が粗化されてい
ることを特徴とする。このように絶縁基板表面が粗面化
されている本発明の構成によれば、粗面を有しない絶縁
基板と比較した場合、接着剤層と絶縁基板との間に大き
な接触面積を確保することができる。そのため、接着剤
が基板表面に塗布された場合に、両者間に充分な接合力
を付与することが可能になる。従って、従来のプリント
配線板のように絶縁基板と接着剤層との界面に剥離が生
じることがない。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention relates to a printed wiring board in which a conductive circuit is formed by electroless plating on an adhesive layer applied on an insulating substrate. The surface of the insulating substrate is roughened. According to the configuration of the present invention in which the surface of the insulating substrate is roughened, it is possible to ensure a large contact area between the adhesive layer and the insulating substrate as compared with an insulating substrate having no roughened surface. Can be. Therefore, when the adhesive is applied to the substrate surface, it is possible to provide a sufficient bonding force between the two. Accordingly, there is no occurrence of separation at the interface between the insulating substrate and the adhesive layer unlike the conventional printed wiring board.

【0007】以下に、上述したようなプリント配線板を
製造する方法について詳しく説明する。前記絶縁基板に
は、例えば、紫外線遮蔽材入りのガラスエポキシ樹脂基
板を用いることが好適である。このような樹脂材料を使
用することによって、メッキレジスト形成時に紫外線で
露光した場合、基板を透過した紫外線により基板裏側に
もレジスト層が形成されてしまうといった、いわゆるメ
ッキレジストの裏かぶり現象の防止が図られている。
Hereinafter, a method for manufacturing a printed wiring board as described above will be described in detail. As the insulating substrate, for example, a glass epoxy resin substrate containing an ultraviolet shielding material is preferably used. By using such a resin material, it is possible to prevent a so-called back fogging phenomenon of a plating resist, in which when a plating resist is exposed to ultraviolet rays at the time of forming the resist, the resist layer is also formed on the back side of the substrate due to the ultraviolet rays transmitted through the substrate. It is planned.

【0008】尚、前記の紫外線遮蔽材入りのガラスエポ
キシ樹脂基板以外のものとして、例えば、ガラスポリイ
ミド樹脂基板も勿論適用が可能であるほか、窒化アルミ
ニウム、アルミナ等のセラミックス製の基板、及びアル
ミニウム、鉄等の金属製の基板を用いてもよい。さら
に、実施例3に示すように、絶縁基板上には内層回路が
形成されていてもよい。この絶縁基板の表面を粗化する
方法としては、例えば、砥粒を噴射することにより研磨
を行うサンドブラストや、表面に砥粒が保持された回転
バフによって研磨を行うバフ研磨等が好適である。これ
ら以外の従来の研磨方法であっても、絶縁基板上に所望
の粗面を形成することが可能であれば、充分適用するこ
とが可能である。
As a material other than the glass epoxy resin substrate containing the ultraviolet shielding material, for example, a glass polyimide resin substrate can of course be applied, as well as a ceramic substrate such as aluminum nitride and alumina, and aluminum, A metal substrate such as iron may be used. Further
In addition, as shown in Embodiment 3, an inner layer circuit is provided on an insulating substrate.
It may be formed. As a method of roughening the surface of the insulating substrate, for example, sandblasting in which polishing is performed by spraying abrasive grains, buff polishing in which polishing is performed by a rotary buff having abrasive grains held on the surface, and the like are preferable. Other conventional polishing methods can be applied sufficiently as long as a desired rough surface can be formed on the insulating substrate.

【0009】このような研磨方法を用いて前記絶縁基板
の粗化を行ったとき、その表面粗度(Rmax)はJI
S−B−0601(触針式表面粗さ測定器による表面粗
度測定試験)に従って測定される。この場合、前記表面
粗度は0.5μm〜10μmの範囲内になることが望ま
しく、より好ましくは1.0μm〜5.0μmの範囲内
である。
When the insulating substrate is roughened by using such a polishing method, its surface roughness (Rmax) is determined by JI
It is measured according to SB-0601 (surface roughness measurement test using a stylus type surface roughness measuring instrument). In this case, the surface roughness is preferably in the range of 0.5 μm to 10 μm, and more preferably in the range of 1.0 μm to 5.0 μm.

【0010】この表面粗度の値が0.5μm未満である
と絶縁基板と接着剤層との間に大きな接触面積を確保す
ることができず、よって、両者間に充分な接合力を付与
することができない。また、この表面粗度の値が10μ
mを越えると絶縁基板上の凹凸が大きくなるため、接着
剤層を形成したとしても層表面の平滑性に悪影響を及ぼ
す虞れがある。このように平滑でない接着剤層に導体回
路を形成しても剥離が生じる原因となるばかりでなく、
電子部品を載置したときに実装不良になり易いため好ま
しくない。
If the value of the surface roughness is less than 0.5 μm, it is not possible to secure a large contact area between the insulating substrate and the adhesive layer, so that a sufficient bonding force is provided between the two. Can not do. Further, the value of the surface roughness is 10 μm.
If it exceeds m, the unevenness on the insulating substrate becomes large, so that even if an adhesive layer is formed, there is a possibility that the smoothness of the layer surface may be adversely affected. Even if a conductor circuit is formed on an adhesive layer that is not smooth in this way, not only will peeling occur,
It is not preferable because mounting failure is likely to occur when electronic components are placed.

【0011】次に、前記絶縁基板と金属製の導体回路と
の接着性を改善するために、絶縁基板上に塗布される接
着剤の組成について詳細に説明する。接着剤層を形成す
るための接着剤は、酸あるいは酸化剤に対して可溶性で
ありかつ予め硬化処理された耐熱性樹脂微粒子(フィラ
ー樹脂)と、硬化処理することにより酸あるいは酸化剤
に対して難溶性になる耐熱性樹脂液(マトリクス樹脂)
とからなり、前記微粒子が前記樹脂液中に分散されてい
ると共に、硬化処理によって前記樹脂液が硬化されるも
のであることが望ましい。また、前記マトリクス樹脂は
感光性樹脂であってもよい。
Next, the composition of the adhesive applied on the insulating substrate to improve the adhesion between the insulating substrate and the metal conductive circuit will be described in detail. The adhesive for forming the adhesive layer is soluble in an acid or an oxidizing agent and is cured with a heat-resistant resin fine particle (filler resin) in advance. Heat-resistant resin liquid (matrix resin) that becomes hardly soluble
Preferably, the fine particles are dispersed in the resin liquid, and the resin liquid is cured by a curing treatment. Further, the matrix resin may be a photosensitive resin.

【0012】前記耐熱性樹脂微粒子としては、例えば、
平均粒径が2μm以下の耐熱性樹脂粉末を凝縮させて平
均粒径2μm〜10μmの大きさとした凝集粒子、平均
粒径2μm〜10μmの耐熱性樹脂粉末と平均粒径が2
μm以下の耐熱性樹脂粉末との粒子混合物、または平均
粒径2μm〜10μmの耐熱性樹脂粉末の表面に平均粒
径が2μm以下の耐熱性樹脂粉末もしくは無機微粉末の
何れか少なくとも1種を付着させてなる疑似粒子の中か
ら選択されることが望ましい。
The heat-resistant resin fine particles include, for example,
Aggregated particles obtained by condensing heat-resistant resin powder having an average particle diameter of 2 μm or less to have a size of 2 μm to 10 μm, heat-resistant resin powder having an average particle diameter of 2 μm to 10 μm, and having an average particle diameter of 2 μm.
At least one of a heat-resistant resin powder having an average particle diameter of 2 μm or less or an inorganic fine powder is adhered to a particle mixture with a heat-resistant resin powder having a particle diameter of 2 μm or less, or a heat-resistant resin powder having an average particle diameter of 2 μm to 10 μm. Desirably, the particles are selected from pseudo particles formed.

【0013】特に、前記粒子混合物を耐熱性樹脂微粒子
として用いることが好適であり、この樹脂によって形成
されるアンカーによれば、より確実なアンカー効果を確
保することができる。従って、その上に形成される導体
回路等に充分な剥離強度を付与することができる。前記
接着剤の硬化は、例えば、加熱処理あるいは触媒添加等
によって行われる。接着剤層はこの処理によって、酸化
剤等に対して難溶性のマトリクス樹脂中に酸化剤等に対
して可溶性のフィラー樹脂が分散された状態になる。こ
の状態で、例えばクロム酸、クロム酸塩、過マンガン酸
塩、オゾン等によって酸化処理を行うと、フィラー樹脂
部分のみが選択的に溶解され、マトリクス樹脂表面には
アンカーとしての無数の微細孔が形成される。その結
果、接着剤層の表面が粗化される。
In particular, it is preferable to use the particle mixture as heat-resistant resin fine particles. According to the anchor formed of this resin, a more reliable anchor effect can be secured. Therefore, a sufficient peel strength can be imparted to the conductor circuit and the like formed thereon. The curing of the adhesive is performed by, for example, heat treatment or addition of a catalyst. By this treatment, the adhesive layer becomes a state in which a filler resin soluble in the oxidizing agent or the like is dispersed in a matrix resin hardly soluble in the oxidizing agent or the like. In this state, when an oxidation treatment is performed with, for example, chromate, chromate, permanganate, ozone, or the like, only the filler resin portion is selectively dissolved, and a myriad of micropores serving as anchors are formed on the matrix resin surface. It is formed. As a result, the surface of the adhesive layer is roughened.

【0014】この微細孔を有する接着剤層表面に対して
メッキレジスト若くは導体回路を形成すれば、いわゆる
アンカー効果が得られ、この効果によりメッキレジスト
及び導体回路が接着剤層から剥離しにくくなる。前記の
粗化処理の後に、JIS−B−0601に従って測定さ
れる接着剤層表面の表面粗度(Rmax)が1μm〜2
0μmの範囲内になることが望ましい。
If a plating resist or a conductor circuit is formed on the surface of the adhesive layer having the fine holes, a so-called anchor effect is obtained, and this effect makes it difficult for the plating resist and the conductor circuit to peel off from the adhesive layer. . After the above-mentioned roughening treatment, the surface roughness (Rmax) of the adhesive layer surface measured according to JIS-B-0601 is 1 μm to 2 μm.
It is desirable to be within the range of 0 μm.

【0015】この表面粗度の値が1μm未満であると、
導体回路と接着剤層との間に大きな接触面積を確保する
ことができず、この場合、両者間に所望の剥離強度を確
保することができない。また、この表面粗度の値が20
μmを越えると、アンカーが大きくなりすぎて充分なア
ンカー効果が得られないため、所望の接着強度を確保す
ることができない。上記理由より表面粗度(Rmax)
が2μm〜15μmの範囲内であることがより好まし
い。
When the value of the surface roughness is less than 1 μm,
A large contact area cannot be secured between the conductor circuit and the adhesive layer, and in this case, a desired peel strength cannot be secured between the two. The value of the surface roughness is 20
If it exceeds μm, the anchor becomes too large and a sufficient anchor effect cannot be obtained, so that a desired adhesive strength cannot be secured. Surface roughness (Rmax) for the above reasons
Is more preferably in the range of 2 μm to 15 μm.

【0016】前記フィラー樹脂となる耐熱性樹脂微粒子
としては、例えば、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、
ビスマレイミド−トリアジン樹脂等の粉末を使用するこ
とが好適であり、そのような樹脂微粒子の大きさとして
は0.1μm〜10μmの範囲内であることが望まし
い。この微粒子の大きさが0.1μm未満であると、溶
解除去によって形成されるアンカーの大きさが充分でな
く、所望のアンカー効果を確保することができない。従
って、その上に形成される導体回路等に、充分な剥離強
度を付与することが難しくなる。
As the heat-resistant resin fine particles serving as the filler resin, for example, epoxy resin, polyester resin,
It is preferable to use a powder such as a bismaleimide-triazine resin, and the size of such resin fine particles is preferably in the range of 0.1 μm to 10 μm. If the size of the fine particles is less than 0.1 μm, the size of the anchor formed by dissolution and removal is not sufficient, and a desired anchor effect cannot be secured. Therefore, it is difficult to provide a sufficient peel strength to the conductor circuit and the like formed thereon.

【0017】また、この微粒子の大きさ10μmを越え
る場合には、微粒子を溶解除去したときに形成されるア
ンカーが低密度かつ不均一になり易く、また、アンカー
が大きくなりすぎるため充分なアンカー効果が得られ
ず、導体回路に充分な剥離強度を付与することが困難と
なる。前記マトリクス樹脂となる耐熱性樹脂としては、
エポキシ樹脂、エポキシ変成ポリイミド樹脂、ポリイミ
ド樹脂及びフェノール樹脂等が使用可能である。また、
これらの樹脂に対して感光性を付与させてもよい。この
樹脂液に対して上記の樹脂微粒子を所定量配合した後
に、ブチルセルソルブ等の溶剤を加えて攪拌することに
よって、前記樹脂微粒子が均一に分散された接着剤のワ
ニスとすることができる。
If the size of the fine particles exceeds 10 μm, the anchor formed when the fine particles are dissolved and removed tends to be low-density and non-uniform, and the anchor is too large to provide a sufficient anchor effect. And it becomes difficult to impart sufficient peel strength to the conductor circuit. As the heat-resistant resin serving as the matrix resin,
Epoxy resins, epoxy-modified polyimide resins, polyimide resins, phenol resins, and the like can be used. Also,
Photosensitivity may be imparted to these resins. After blending a predetermined amount of the above resin fine particles with the resin liquid, a solvent such as butyl cellosolve is added and stirred, whereby a varnish of an adhesive in which the resin fine particles are uniformly dispersed can be obtained.

【0018】前記接着剤ワニスを絶縁基材の表面上に塗
布する方法としては、ロールコータを用いて塗布するこ
とが好適であり、このロールコータを用いた方法によれ
ば前記ワニスを所定の均一性を保ち、かつ所定の厚さに
塗布することが可能である。また、このような塗布方法
以外にも、例えば、ディップコート法、スプレーコート
法、スピナーコート法、カーテンコート法及びスクリー
ン印刷法等の各種の手段を用いることができる。
As a method of applying the adhesive varnish on the surface of the insulating base material, it is preferable to apply the adhesive varnish using a roll coater. It is possible to maintain the property and to apply it to a predetermined thickness. In addition to these coating methods, various means such as a dip coating method, a spray coating method, a spinner coating method, a curtain coating method, and a screen printing method can be used.

【0019】これらの方法のうち何れかの方法によって
接着剤ワニスの塗布を行った場合、前記接着剤層の厚さ
が10μm〜100μmの範囲内になることが望まし
い。接着剤層の厚さが10μm未満であると、絶縁基板
の粗面の状態に影響を受け易く、平滑な接着剤層を形成
することができない。また、接着剤層の厚さが100μ
mを越える場合には、配線板を高密度化できないばかり
でなく、厚塗りするため量産性の低下、コスト増を招い
てしまう。
When the adhesive varnish is applied by any of these methods, it is desirable that the thickness of the adhesive layer be in the range of 10 μm to 100 μm. If the thickness of the adhesive layer is less than 10 μm, it is easily affected by the state of the rough surface of the insulating substrate, and a smooth adhesive layer cannot be formed. The thickness of the adhesive layer is 100 μm.
If it exceeds m, not only the density of the wiring board cannot be increased, but also the thick coating results in a decrease in mass productivity and an increase in cost.

【0020】上述した方法によって接着剤ワニスの塗
布、硬化及び粗化処理が行われた後、前記接着剤層の粗
面にはパラジウム−スズコロイド等の触媒核が付与され
る。この処理によって接着剤の粗面が活性化され、無電
解メッキを行った際に金属を容易に析出させることがで
きる。そして、上記処理が行われた表面に対して所望の
導体回路パターンを形成するために、導体回路の非形成
部分に対応して無電解メッキ用のメッキレジストがラミ
ネートされる。
After applying, curing and roughening the adhesive varnish by the above-described method, a catalyst nucleus such as palladium-tin colloid is applied to the rough surface of the adhesive layer. This treatment activates the roughened surface of the adhesive, so that metal can be easily deposited when electroless plating is performed. Then, in order to form a desired conductor circuit pattern on the surface on which the above-described processing has been performed, a plating resist for electroless plating is laminated corresponding to a portion where the conductor circuit is not formed.

【0021】上記のメッキレジストとしては、例えば、
感光性のドライフィルム等が好適である。このようなド
ライフィルムによれば、接着剤層上に微細な導体回路を
確実かつ高精度に形成することが可能である。それ故、
高密度化、高集積化の要求に対して充分に対応すること
ができる。そして、接着剤層表面にラミネートされたメ
ッキレジストを露光した後に、現像を行うことにより、
導体回路非形成部分のみをマスクする。この状態で無電
解銅メッキ、無電解ニッケルメッキ、無電解スズメッ
キ、無電解金メッキ及び無電解銀メッキ等を行い、前記
触媒核が付与された接着剤層表面の導体回路形成部分に
金属を析出させる。この無電解メッキがなされた後に、
メッキレジストを除去することによって所望の導体回路
パターンが得られる。なお、この方法は、フルアディテ
ィブ法と呼ばれる。 また、いわゆるセミアディティブ法
を使用してもよい。即ち、接着剤表面全体に無電解メッ
キ膜を形成した後、メッキレジストを設け、電解メッキ
を行い、メッキレジストを除去してメッキレジスト下の
無電解メッキ膜をエッチングするものである。 いずれの
方法も、無電解メッキによって導体回路を形成する方法
である。
As the plating resist, for example,
A photosensitive dry film is suitable. According to such a dry film, a fine conductor circuit can be reliably and accurately formed on the adhesive layer. Therefore,
It is possible to sufficiently respond to demands for higher density and higher integration. Then, after exposing the plating resist laminated on the adhesive layer surface, by performing development,
Only the portion where the conductor circuit is not formed is masked. In this state, electroless copper plating, electroless nickel plating, electroless tin plating, electroless gold plating, electroless silver plating, etc. are performed to deposit metal on the conductor circuit forming portion on the surface of the adhesive layer provided with the catalyst nucleus. . After this electroless plating is done,
A desired conductor circuit pattern can be obtained by removing the plating resist. Note that this method is
It is called the live method. Also, the so-called semi-additive method
May be used. That is, the entire surface of the adhesive
After forming a film, a plating resist is provided and electrolytic plating is performed.
And remove the plating resist to remove the plating resist.
This is for etching the electroless plating film. Any
The method is also a method of forming a conductor circuit by electroless plating
It is.

【0022】以上のような方法によれば、基板両面の導
体回路がスルーホールによって連結されたプリント配線
板等が製造可能であるばかりでなく、スルーホール若く
はバイアホールによってより高集積化・高密度化された
ビルドアップ多層配線板、多層プリント配線板等も製造
できる。また、上記の方法によって得られるプリント配
線板では、その表面が粗化されているため、接着剤層と
の接合性が確保され、接着剤の剥離が生じることはな
い。
According to the above-described method, not only can a printed wiring board or the like in which conductor circuits on both sides of a substrate are connected by through holes be manufactured, but also higher integration and higher performance can be achieved by using through holes or via holes. Densified build-up multilayer wiring boards, multilayer printed wiring boards, and the like can also be manufactured. Further, the surface of the printed wiring board obtained by the above method is roughened, so that the bonding property with the adhesive layer is ensured and the peeling of the adhesive does not occur.

【0023】[0023]

【実施例及び比較例】以下、本発明を具体化した実施例
1、実施例2及び実施例3と、これらの実施例に対する
比較例1及び比較例2とについて図面に基づき詳細に説
明する。 〔実施例1〕実施例1はアディティブ法によって単層の
プリント配線板を製造するものである。以下に製造工程
(1)〜(5)について、図1(a)〜(f)に基づき
説明する。
Examples and Comparative Examples Examples 1, 2 and 3 embodying the present invention and Comparative Examples 1 and 2 for these examples will be described in detail with reference to the drawings. Embodiment 1 In Embodiment 1, a single-layer printed wiring board is manufactured by the additive method. Hereinafter, the manufacturing steps (1) to (5) will be described with reference to FIGS.

【0024】工程(1):実施例1では絶縁基板1とし
てFR−4グレードの絶縁基板LE−67N,Wタイプ
(日立化成工業製)を使用した。この基板1に対して石
川表記製、高精度ジェットスクラブ研磨機IJS−60
0を用いて基板1の表面研磨を行い、表面粗度が7μm
の粗面2を得た。面粗度の測定は接針式の面粗度計(東
京精密サーフコム470A)を用い、JIS−B−06
01に従い測定した(図1(a) 参照)。このとき、研磨
剤の吐出圧を1.8kg/cm2に設定し、ラインスピード
(基板搬送速度)を2m/minに設定した。
Step (1): In Example 1, FR-4 grade insulating substrate LE-67N, W type (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was used as the insulating substrate 1. High precision jet scrub polisher IJS-60 manufactured by Ishikawa Notation for this substrate 1
The surface of the substrate 1 is polished by using 0, and the surface roughness is 7 μm.
Was obtained. The surface roughness was measured using a needle-type surface roughness meter (Tokyo Seimitsu Surfcom 470A) according to JIS-B-06.
01 (see FIG. 1 (a)). At this time, the discharge pressure of the abrasive was set to 1.8 kg / cm 2 , and the line speed (substrate transfer speed) was set to 2 m / min.

【0025】工程(2):フェノールノボラック型エポ
キシ樹脂(油化シェル製、商品名、E−154)60重
量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化シェル
製、商品名、E−1001)40重量部、イミダゾール
硬化剤(四国化成製、商品名、2P4MHZ)4重量
部、エポキシ樹脂微粉末(東レ製)粒径5.5μmのも
の10重量部、及び粒径0.5μmのもの25重量部を
配合し、三本ロールにて混練すると共にブチルセロソル
ブアセテートを適量添加して接着剤のワニスを作成し
た。
Step (2): 60 parts by weight of a phenol novolak type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell, trade name: E-154), 40 parts by weight of a bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell, trade name: E-1001) Parts, 4 parts by weight of an imidazole curing agent (trade name, 2P4MHZ, manufactured by Shikoku Chemicals), 10 parts by weight of an epoxy resin fine powder (manufactured by Toray) having a particle size of 5.5 μm, and 25 parts by weight having a particle size of 0.5 μm. The resulting mixture was kneaded with a three-roll mill, and an appropriate amount of butyl cellosolve acetate was added to prepare an adhesive varnish.

【0026】工程(3):前記絶縁基板1上に上記接着
剤のワニスをロールコータを用いて塗布した後に、10
0℃で1時間及び150℃で5時間乾燥硬化して、厚さ
50μmの接着剤層3を形成した(図1(b) 参照)。 工程(4):次に、クロム酸に10分間浸漬することに
よりエポキシ樹脂微粉末を溶解除去して、接着剤層3の
表面を粗面4とした(図1(c) 参照)。そして、中和後
に水洗してクロム酸を除去した。
Step (3): After applying the adhesive varnish on the insulating substrate 1 using a roll coater,
It was dried and cured at 0 ° C. for 1 hour and at 150 ° C. for 5 hours to form an adhesive layer 3 having a thickness of 50 μm (see FIG. 1B). Step (4): Next, the epoxy resin fine powder was dissolved and removed by immersion in chromic acid for 10 minutes to make the surface of the adhesive layer 3 rough (see FIG. 1 (c)). Then, after neutralization, chromic acid was removed by washing with water.

【0027】工程(5):市販のパラジウム−スズコロ
イド触媒に浸漬して前記粗面4を活性化し、触媒核層5
を形成した。続いて、120℃、30分の熱処理後、ド
ライフィルムフォトレジストをラミネートすると共に、
露光現像を行ってメッキレジスト層6を形成した(図1
(d) 参照)。そして、表1に示す無電解銅メッキ液に1
5時間浸漬して、厚さ約35μmの導体回路7を形成し
た(図1(e) 参照)。そして、メッキレジスト層6を除
去した後、基板1を酒石酸と塩酸との混合溶液(酒石酸
5〜100g/l 、35%塩酸200〜350ml/l)に浸
漬し、被導体形成部分の触媒を除去してプリント配線板
を製造した(図1(f) 参照)。 〔実施例2〕次に、ビルドアップ法による実施例2の多
層プリント配線板の製造工程(1)〜(5)について、
図2(a)〜(f)に基づき説明する。
Step (5): The rough surface 4 is activated by immersion in a commercially available palladium-tin colloidal catalyst, and the catalyst core layer 5
Was formed. Subsequently, after heat treatment at 120 ° C. for 30 minutes, while laminating a dry film photoresist,
Exposure and development were performed to form a plating resist layer 6 (FIG. 1).
(d)). Then, add 1 to the electroless copper plating solution shown in Table 1.
By immersing for 5 hours, a conductor circuit 7 having a thickness of about 35 μm was formed (see FIG. 1 (e)). After the plating resist layer 6 is removed, the substrate 1 is immersed in a mixed solution of tartaric acid and hydrochloric acid (tartaric acid 5 to 100 g / l, 35% hydrochloric acid 200 to 350 ml / l) to remove the catalyst in the portion where the conductor is to be formed. Thus, a printed wiring board was manufactured (see FIG. 1 (f)). [Embodiment 2] Next, the manufacturing steps (1) to (5) of the multilayer printed wiring board of Embodiment 2 by the build-up method will be described.
This will be described with reference to FIGS.

【0028】工程(1):実施例2では前記実施例1で
用いた絶縁基板11を使用した。この基板11に対して
石川表記製のオシュレーション研磨機IOP−600を
用いて表面研磨を行い、表面粗度が2μmの粗面12を
得た。このとき、回転数を2000r.p.m.に、ラインス
ピード(基板搬送速度)を2m/min.に、オシュレーショ
ン回数を575回/min.にそれぞれ設定した。
Step (1): In the second embodiment, the insulating substrate 11 used in the first embodiment is used. The surface of the substrate 11 was polished using an oscillation polishing machine IOP-600 manufactured by Ishikawa Notation, and a rough surface 12 having a surface roughness of 2 μm was obtained. At this time, the number of rotations was set to 2000 rpm, the line speed (substrate transfer speed) was set to 2 m / min, and the number of oscillations was set to 575 times / min.

【0029】そして、実施例1の工程(2)〜(5)に
従ってアディティブ法を基板11に適用し、絶縁基板1
1、接着剤層13、粗面12,14、触媒核層15及び
内層回路16を備える配線板10を形成した(図2(a)
参照)。 工程(2):クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(油
化シェル製、商品名、エピコート180S)の50%ア
クリル化物60重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹
脂(油化シェル製、商品名、E−1001)40重量
部、ジアリルテレフタレート15重量部、2−メチル−
1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリ
ノプロパノン−1(チバ・ガイギー製、イルガキュアー
907)4重量部、イミダゾール(四国化成製、商品
名、2P4MHZ)4重量部、エポキシ樹脂微粉末(東
レ製、粒径0.5μm)50重量部を配合し、ブチルセ
ロソルブを適量添加しながらホモディスパー攪拌機で攪
拌して接着剤のワニスを作成した。
Then, the additive method is applied to the substrate 11 according to the steps (2) to (5) of the first embodiment, and the insulating substrate 1
1. A wiring board 10 including an adhesive layer 13, rough surfaces 12, 14, a catalyst core layer 15, and an inner layer circuit 16 was formed (FIG. 2A).
reference). Step (2): 60 parts by weight of a 50% acrylate of cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell, trade name, Epicoat 180S), bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell, trade name, E-1001) 40 Parts by weight, 15 parts by weight of diallyl terephthalate, 2-methyl-
4 parts by weight of 1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1 (manufactured by Ciba-Geigy, Irgacure 907), 4 parts by weight of imidazole (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2P4MHZ), epoxy resin fine 50 parts by weight of a powder (manufactured by Toray, particle size: 0.5 μm) was blended, and the mixture was stirred with a homodisper stirrer while adding an appropriate amount of butyl cellosolve to prepare an adhesive varnish.

【0030】工程(3):内層回路16に対してロール
コータを用いて上記の接着剤ワニスを塗布し、100℃
で1時間乾燥硬化して、厚さ50μmの感光性接着剤層
17を形成した(図2(b) 参照)。 工程(4):次に、前記工程(3)の処理を施した配線
板10に直径100μmの黒円及び、打ち抜き切断部位
が黒く印刷されたフォトマスクフィルムを密着させ、超
高圧水銀灯により500mj/cm2 で露光した。これをク
ロロセン溶液で超音波現像処理することにより、配線板
10上に直径100μmのバイアホールとなる開口18
を形成した(図2(c) 参照)。
Step (3): Apply the above adhesive varnish to the inner layer circuit 16 using a roll coater,
For 1 hour to form a photosensitive adhesive layer 17 having a thickness of 50 μm (see FIG. 2B). Step (4): Next, a black circle having a diameter of 100 μm and a photomask film having a black cut-out portion printed thereon are brought into close contact with the wiring board 10 which has been subjected to the processing of the above step (3), and 500 mj / m is applied by an ultra-high pressure mercury lamp. Exposure was in cm 2 . This is subjected to an ultrasonic development process with a chlorocene solution, so that an opening 18 serving as a via hole having a diameter of 100 μm
Was formed (see FIG. 2 (c)).

【0031】次いで、前記配線板10を超高圧水銀灯に
より約3000mj/cm2 で露光し、更に100℃で1時
間、その後150℃で3時間加熱処理することによりフ
ォトマスクフィルムに相当する寸法精度に優れた開口1
8を有する層間絶縁層21を形成した。そして、クロム
酸に10分間浸漬することにより層間絶縁層21表面を
粗面19にかえ、中和後に水洗してクロム酸を除去した
(図2(d) 参照)。
Next, the wiring board 10 is exposed to an ultra-high pressure mercury lamp at about 3000 mj / cm 2 , and further subjected to heat treatment at 100 ° C. for 1 hour and then at 150 ° C. for 3 hours to obtain a dimensional accuracy equivalent to a photomask film. Excellent opening 1
8 was formed. Then, the surface of the interlayer insulating layer 21 was changed to the rough surface 19 by immersion in chromic acid for 10 minutes, and after neutralization, washed with water to remove chromic acid (see FIG. 2 (d)).

【0032】工程(5):市販のパラジウム−スズコロ
イド触媒に浸漬して触媒核層22を形成して、窒素雰囲
気下、120℃、30分で熱処理を行った。そして、ド
ライフィルムフォトレジスト20をラミネートした後に
露光現像を行った(図2(e)参照)。その後、以下に示
す表1の組成の無電解銅メッキ液に15時間浸漬し、外
層回路23として約35μmの銅メッキ層を形成した後
(図2(f) 参照)、メッキレジストを除去し、バイアホ
ールを備える多層プリント配線板を製造した。
Step (5): A catalyst core layer 22 was formed by dipping in a commercially available palladium-tin colloid catalyst, and heat-treated at 120 ° C. for 30 minutes in a nitrogen atmosphere. Then, exposure and development were performed after laminating the dry film photoresist 20 (see FIG. 2E). Thereafter, the resultant was immersed in an electroless copper plating solution having the composition shown in Table 1 below for 15 hours to form a copper plating layer of about 35 μm as the outer layer circuit 23 (see FIG. 2 (f)). A multilayer printed wiring board having via holes was manufactured.

【0033】[0033]

【表1】 [Table 1]

【0034】〔実施例3〕実施例3は前記実施例1及び
実施例2と異なる研磨方法が採用されるビルドアップ式
の多層プリント配線板であり、その製造方法について図
3(a)〜(d)に基づき説明する。 工程:実施例3では、基板31上に銅層32が形成され
たFR−4グレードの銅張積層板MCL−E−67(日
立化成工業製)を使用した(図3(a) 参照)。そして、
前記銅層32に対し常法によってエッチング処理を施
し、内層回路33を形成した(図3(b) 参照)。
[Embodiment 3] Embodiment 3 is a build-up type multilayer printed wiring board employing a polishing method different from those of Embodiments 1 and 2, and its manufacturing method is shown in FIGS. Explanation will be made based on d). Step: In Example 3, an FR-4 grade copper-clad laminate MCL-E-67 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) having a copper layer 32 formed on a substrate 31 was used (see FIG. 3A). And
The copper layer 32 was subjected to an etching process by a conventional method to form an inner layer circuit 33 (see FIG. 3B).

【0035】その後、高精度ジェットスクラブ研磨機を
用いて前記実施例1の工程(1)と同様の方法にて表面
研磨を行い、前記基板31表面を表面粗度が5μmの粗
面34に変えた(図3(c) 参照)。そして、内層回路3
3の表面を粗面35に変えるために、内層回路33表面
を酸化した後に再びその表面を還元する、いわゆる黒化
還元処理を行った(図3(d) 参照)。内層回路33の表
面粗度は3μm(1μm〜5μmが好適範囲)であっ
た。
Thereafter, the surface is polished by a high-precision jet scrub polisher in the same manner as in the step (1) of the first embodiment to change the surface of the substrate 31 into a rough surface 34 having a surface roughness of 5 μm. (See FIG. 3 (c)). And the inner layer circuit 3
In order to change the surface of No. 3 into a rough surface 35, a so-called blackening reduction process was performed in which the surface of the inner layer circuit 33 was oxidized and then reduced again (see FIG. 3 (d)). The surface roughness of the inner layer circuit 33 was 3 μm (1 μm to 5 μm is a preferable range).

【0036】この後、実施例2の工程(2)〜工程
(5)に従い、ビルドアップ法によってバイアホールを
備えた多層プリント配線板を製造した。前記実施例1〜
実施例3に対する比較例として、基板表面に粗化処理を
行わないプリント配線板を製造した。以下に、比較例1
及び比較例2の製造工程について説明する。 〔比較例1〕 前記実施例1で用いた絶縁基板に表面研磨を施さない状
態で、その表面粗度を測定したところ0.4μmであっ
た。その後、この基板を用い、前記実施例1の工程
(2)〜工程(5)の手順に従い、同様の方法にて単層
のプリント配線板を製造した。 〔比較例2〕 比較例2として、実施例3で使用したものと同じ銅張積
層板を使用した。そして、常法によりエッチング処理を
施し、内層回路を形成した。その後前記実施例1の表面
研磨を行うことなく前記の黒化還元処理行って、内層
回路を表面粗度が7μmの粗面35に変えた。この後、
実施例2の工程(2)〜工程(5)に従いビルドアップ
法によって、バイアホールを備えた多層プリント配線板
を製造した。
Thereafter, according to steps (2) to (5) of Example 2, a multilayer printed wiring board having via holes was manufactured by a build-up method. Example 1
As a comparative example with respect to Example 3, a printed wiring board in which the substrate surface was not subjected to the roughening treatment was manufactured. Hereinafter, Comparative Example 1
The manufacturing process of Comparative Example 2 will be described. Comparative Example 1 The surface roughness of the insulating substrate used in Example 1 was 0.4 μm when the surface was not polished. Thereafter, using this substrate, a single-layer printed wiring board was manufactured in the same manner according to the procedure of the steps (2) to (5) of Example 1 described above. Comparative Example 2 As Comparative Example 2, the same copper-clad laminate used in Example 3 was used. Then, an etching process was performed by a conventional method to form an inner layer circuit. Thereafter, the above-mentioned blackening reduction treatment was performed without performing the surface polishing of Example 1, thereby changing the inner layer circuit to a rough surface 35 having a surface roughness of 7 μm. After this,
According to steps (2) to (5) of Example 2, a multilayer printed wiring board having via holes was manufactured by a build-up method.

【0037】以上の方法によって製造された実施例1,
2,3及び比較例1,2の各プリント配線板における絶
縁基板と接着剤層との間の接合状態を比較評価するため
に、ハンダ耐熱性試験及び気相ヒートサイクル試験を行
った。ハンダ耐熱性試験では、各プリント配線板を26
0℃のハンダ中に15秒間浸漬することにより絶縁基板
と接着剤層との間の接合状態を調査した。表2に示すよ
うに、各実施例1,2,3では絶縁基板と接着剤層との
間に剥離が全く見られず、接着剤層の接合状態は良好で
あった。これに対して、比較例1では絶縁基板と接着剤
層との間に部分的に剥離が見られ、また、比較例2では
両者間に全体的に剥離が見られた。
Example 1 manufactured by the above method
A solder heat resistance test and a gas phase heat cycle test were performed to comparatively evaluate the bonding state between the insulating substrate and the adhesive layer in each of the printed wiring boards of Comparative Examples 2 and 3 and Comparative Examples 1 and 2. In the solder heat resistance test, each printed wiring board was
The state of bonding between the insulating substrate and the adhesive layer was investigated by immersing the substrate in the solder at 0 ° C. for 15 seconds. As shown in Table 2, in Examples 1, 2, and 3, no peeling was observed between the insulating substrate and the adhesive layer, and the bonding state of the adhesive layer was good. On the other hand, in Comparative Example 1, peeling was partially observed between the insulating substrate and the adhesive layer, and in Comparative Example 2, peeling was entirely observed therebetween.

【0038】また、気相ヒートサイクル試験では、気相
における加熱・冷却のサイクル(−65℃から125℃
まで)を1000回繰り返した後に、絶縁基板と接着剤
層との間の接合状態を調査した。その結果も前記ハンダ
耐熱性試験と同様であり、各実施例1,2,3では表2
に示すように、絶縁基板と接着剤層との間に剥離が全く
見られなかった。それに対して、比較例1及び比較例2
では両者間に部分的、全体的に剥離が見られた。
In the gas phase heat cycle test, a cycle of heating and cooling in the gas phase (from −65 ° C. to 125 ° C.)
Was repeated 1000 times, and then the bonding state between the insulating substrate and the adhesive layer was examined. The results are the same as those in the solder heat resistance test.
As shown in FIG. 7, no peeling was observed between the insulating substrate and the adhesive layer. In contrast, Comparative Examples 1 and 2
In this case, peeling was partially and entirely observed between the two.

【0039】[0039]

【表2】 [Table 2]

【0040】尚、表中における○印は絶縁基板と接着剤
層との間に剥離が全く見られない状態を、△印は絶縁基
板と接着剤層との間に部分的に剥離が見られる状態を、
×印は絶縁基板と接着剤層との間に全体的に剥離が見ら
れる状態をそれぞれ示している。以上の結果によると、
前記実施例1,2,3のように基板表面に対して粗化処
理を行うことで、粗化処理を行わない場合よりも接着剤
層と絶縁基板との間に大きな接触面積を確保することが
できる。そのため、両者間の接合性が改善され、両者の
界面にて剥離が生じることが効果的に防止される。
In the table, the mark ○ indicates that no peeling was observed between the insulating substrate and the adhesive layer, and the mark △ indicates that partial peeling was observed between the insulating substrate and the adhesive layer. State
The crosses indicate the state where peeling is generally observed between the insulating substrate and the adhesive layer. According to the above results,
By performing the roughening process on the substrate surface as in the first, second, and third embodiments, a larger contact area can be secured between the adhesive layer and the insulating substrate than when the roughening process is not performed. Can be. Therefore, the bondability between the two is improved, and peeling off at the interface between the two is effectively prevented.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のプリント
配線板によれば、絶縁基板とその上に塗布形成される接
着剤層との間の接合性が向上することにより、導体回路
に剥離が生じにくくなるという優れた効果を奏する。
As described above in detail, according to the printed wiring board of the present invention, the bonding property between the insulating substrate and the adhesive layer formed thereon is improved, so that the printed circuit board can be used for the conductor circuit. It has an excellent effect that peeling is less likely to occur.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 (a)〜(f)は実施例1のプリント配線板
の製造工程を示す概略図である。
1 (a) to 1 (f) are schematic views showing steps of manufacturing a printed wiring board of Example 1. FIG.

【図2】 (a)〜(f)は実施例2のプリント配線板
の製造工程を示す概略図である。
2 (a) to 2 (f) are schematic views showing steps of manufacturing a printed wiring board of Example 2. FIG.

【図3】 (a)〜(d)は実施例3のプリント配線板
の製造工程を示す概略図である。
3 (a) to 3 (d) are schematic views showing steps of manufacturing a printed wiring board of Example 3. FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 絶縁基板、3 接着剤層、7 導体回路。 1. Insulating substrate, 3. Adhesive layer, 7. Conductor circuit.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H05K 3/38 H05K 3/18 H05K 3/46──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H05K 3/38 H05K 3/18 H05K 3/46

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 絶縁基板(1)上に塗布された接着剤層
(3)上に無電解メッキによって導体回路(7)を形成
したプリント配線板において、 前記絶縁基板(1)の表面が粗化されていることを特徴
とするプリント配線板。
1. A printed wiring board having a conductive circuit (7) formed by electroless plating on an adhesive layer (3) applied on an insulating substrate (1), wherein the surface of the insulating substrate (1) is rough. A printed wiring board characterized in that it is formed.
【請求項2】 前記接着剤層(3)の表面は酸あるいは
酸化剤処理によって粗化されることを特徴とする請求項
1記載のプリント配線板。
2. The printed wiring board according to claim 1, wherein the surface of the adhesive layer is roughened by an acid or oxidizing agent treatment.
【請求項3】 前記接着剤層(3)を形成するための接
着剤は、酸あるいは酸化剤に対して可溶性である予め硬
化処理された耐熱性樹脂微粒子と、硬化処理することに
より酸あるいは酸化剤に対して難溶性になる耐熱性樹脂
液とからなり、前記微粒子が前記樹脂液中に分散されて
いると共に、硬化処理によって前記樹脂液が硬化される
接着剤であることを特徴とする請求項1または2に記載
のプリント配線板。
3. An adhesive for forming the adhesive layer (3) is prepared by preliminarily curing heat-resistant resin fine particles which are soluble in an acid or an oxidizing agent, and an acid or an oxidizing agent by a curing treatment. An adhesive comprising a heat-resistant resin liquid that becomes hardly soluble in an agent, wherein the fine particles are dispersed in the resin liquid, and the resin liquid is cured by a curing treatment. Item 3. The printed wiring board according to item 1 or 2.
【請求項4】 前記絶縁基板(1)の表面粗度(Rma
x)は0.5μm〜10μmであることを特徴とする請
求項1乃至3の何れか一項に記載のプリント配線板。
4. The surface roughness (Rma) of the insulating substrate (1).
4. The printed wiring board according to claim 1, wherein x) is 0.5 μm to 10 μm.
【請求項5】 前記接着剤層(3)の厚さは10μm〜
100μmであることを特徴とする請求項1乃至4の何
れか一項に記載のプリント配線板。
5. The adhesive layer (3) has a thickness of 10 μm or less.
The printed wiring board according to claim 1, wherein the thickness is 100 μm.
【請求項6】 前記耐熱性微粒子の大きさは0.1μm
〜10μmであることを特徴とする請求項1乃至5の何
れか一項に記載のプリント配線板。
6. The size of the heat-resistant fine particles is 0.1 μm.
The printed wiring board according to claim 1, wherein the thickness is from 10 μm to 10 μm.
【請求項7】 前記絶縁基板上には、内層回路が形成さ7. An internal circuit is formed on the insulating substrate.
れてなる請求項1乃至6の何れか一項に記載のプリントThe print according to any one of claims 1 to 6, wherein the print is
配線板。Wiring board.
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