JP2821841B2 - 運動システム - Google Patents
運動システムInfo
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- JP2821841B2 JP2821841B2 JP5166309A JP16630993A JP2821841B2 JP 2821841 B2 JP2821841 B2 JP 2821841B2 JP 5166309 A JP5166309 A JP 5166309A JP 16630993 A JP16630993 A JP 16630993A JP 2821841 B2 JP2821841 B2 JP 2821841B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q39/00—Metal-working machines incorporating a plurality of sub-assemblies, each capable of performing a metal-working operation
- B23Q39/02—Metal-working machines incorporating a plurality of sub-assemblies, each capable of performing a metal-working operation the sub-assemblies being capable of being brought to act at a single operating station
- B23Q39/021—Metal-working machines incorporating a plurality of sub-assemblies, each capable of performing a metal-working operation the sub-assemblies being capable of being brought to act at a single operating station with a plurality of toolheads per workholder, whereby the toolhead is a main spindle, a multispindle, a revolver or the like
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- B23Q39/026—Metal-working machines incorporating a plurality of sub-assemblies, each capable of performing a metal-working operation the sub-assemblies being capable of being brought to act at a single operating station with a plurality of toolheads per workholder, whereby the toolhead is a main spindle, a multispindle, a revolver or the like with different working directions of toolheads on same workholder simultaneous working of toolheads
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- B23Q2210/006—Curved guiding rails
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
作業対象物の回りに運動可能に配置する運動システムに
関する。
える世界が次々と小さい方向に広がっている。特にトン
ネル顕微鏡(STM)の発明は直接に原子の姿を観察す
る手段を人間に与え、その技術の周辺から原子間力顕微
鏡などの観察手段や原子・分子操作など多くの技術を生
み出している。
加工対象の精度と加工対象の大きさなどの大略の値を図
14に示す。実用されている機械加工の精度はおおよそ
1[μm],マスクを用いた集積回路では、0.1[μ
m]程度である。ちなみに積層基板の穴あけの大きさは
機械的なパンチやドリルで約0.1[mm],レーザを
用いたもので0.1〜0.02[mm]が最小である。
最近、世の中で関心を集めているマイクロマシンでは、
おもにマスクによる加工を用いるので、精度で0.1
[μm],大きさで約1[mm]である。また、原子間
に種々の力を作用させて原子の位置を操作する原子操作
では数A(オングストローム)の位置決めが実現してい
る。
手法である原子・分子の操作の世界と工学的な手法であ
るミクロンまたはサブミクロンの世界との間に10の2
乗〜10の3乗の桁数の違いがあり、今後この分野が大
きく発展すると思われる。そこでは大きい方から小さい
方に進んできた機械的加工およびビーム加工と、小さい
方から大きい方に進んできた原子または原子・分子の集
団としての加工がドッキングし、新たな複合加工法とし
て発展すると考えられる。
ている作業環境の例を図15に示す。被加工物(たとえ
ば超ミクロな立体配線基板)は3軸の粗微動機構上の固
定具で固定され、3次元的に位置決めされる。回路の作
成は、マスクを用いたり用いなかったりするが、主にビ
ーム加工機で行われる。機械加工・原子操作工具などに
よって局所的な加工が行われ、切り屑の除去や他部品の
付加などがハンドリング装置で行われる。外部の機械へ
の被加工物の搬出入は搬送具で行われる。これらの操作
は電子式と光式の立体拡大視装置でモニタされる。もち
ろん必要に応じて原子贈も原子間力顕微鏡などで観察さ
れ、さらに必要に応じて局所的な分析が行われる。これ
らのすべては真空容器中に格納され、電子線の安定と塵
の防除が行われる。
えで、電子顕微鏡で立体視をしながらナノメータオーダ
の位置決め精度で人間の思った通りの作業ができるシス
テムの開発を試みてきたが、そのシステムとしては、同
所性、同時性を保障するものでなければできないことが
経験的にわかってきた。
場所と調べている場所が本当に同じかどうかということ
で、同時性とは、見ている時にその作業をやっているか
どうかということである。
とが現在のやり方では不可能であり、新たな作業用の運
動システムの構築が要請されている。
それから加工するという手段、それからそこの成分を調
べたりする分析をするという手段、一個づつのものが、
一つづつの単能機で、別の場所で、別の時間でやられて
いるにすぎない。そのため、本当に起こっている現象、
すなわち、正しくそこの場所の現象を本当に見ながらそ
この性質を測っているのか、あるいはそこを調べている
のかということ、そういうことが全然確認できない。
うとする場合に、通常の大きさの世界では、ワークの全
部を見るという動作をやっているから、A点とB点の区
別ができるのであって、局所的に拡大装置を使って見て
いるときは、A点なのかB点なのか区別できない。
ら、A点にだけ作業用の装置類全部が集まってくるもの
で作業しなければ不可能である。なぜかというと、見て
るところでしか作業ができないのに、その同時性や同所
性を保障するものが無いと作業できない。A点を見たつ
もりでやっているのに、B点のところを見ているという
不安があればもう作業はできないからである。
満足させ得る新たな作業用の運動システムを構築するこ
とを目的としている。
に、本発明にあっては、曲率中心が作業対象物を通る軸
上に位置する円弧状部を備えた形状または円形状の第1
のレールと、該第1のレール上を自走する複数の第1の
ブロックと、該各第1のブロック上に支持される曲率中
心が作業対象物を通る軸上に位置する円弧状部を備えた
複数の第2のレールと、前記作業対象物の観察,分析,
加工等の作業に必要な装置類が取り付けられ前記第2の
レール上を自走する第2のブロックと、を備えたことを
特徴とする。また、曲率中心が作業対象物を通る軸上に
位置する円弧状部を備えた形状または円形状の第1のレ
ールと、該第1のレール上を自走する1つ以上の第1の
ブロックと、該各第1のブロック上に支持される曲率中
心が作業対象物を通る軸上に位置する円弧状部を備えた
第2のレールと、前記作業対象物の観察,分析,加工等
の作業に必要な装置類が取付けられ前記第2のレール上
を自走する第2のブロックと、を一組の構成単位とし、
該構成単位を作業対象物の周囲に複数組設けたことを特
徴とする。
のレールの円弧状部の曲率中心を通る軸上に位置させた
ことを特徴とする。
を水平移動してもよいし、第1および第2のレールが全
体として、Z軸上を上下、X−Y軸上を水平移動するよ
うにしてもよい。
する第1のブロックの運動面を含む平面座標系であり、
Z軸はこの平面に対して直交する軸である。
のレールに転動体を介して支持されるブロック本体と、
該ブロック本体を駆動する駆動機構とから構成される。
機構とを備えていることを特徴とする。
で行うことを特徴とする。
を分けて多段構成となっていることを特徴とする。
ータ,歩行形式のアクチュエータ,レールに摩擦接触す
る摩擦輪と摩擦輪を回転駆動するモータとによって構成
されるフリクションドライブ,リニアモータによって構
成してもよい。
トと、ブロック本体に設けられたベルトプーリと、ベル
トプーリを駆動するモータとによって構成してもよい。
と、ブロック本体に設けられたピニオンと、該ピニオン
を駆動するモータとによって構成してもよい。
の位置を検出する位置検出手段を備えていることを特徴
とする。
に基づいて第1および第2の各ブロックの位置を制御す
ることを特徴とする。
出手段を備えていることを特徴とする。
づいて第1および第2の各ブロックの1を制御すること
を特徴とする。
は第2のブロックに支持したことを特徴とする。この第
1または第2ブロックは、該第1または第2ブロックに
支持されたアームを回転するための回転機構を備えてい
ることが好適である。
ていること好適である。
る複数の第2のブロックは第1のレールの円弧状部の曲
率中心を中心とする円周上であって、かつ各第2のレー
ルの円弧状部に沿って運動するので、第2のブロックは
作業対象物の周囲を作業対象物を中心に見ながら上下左
右に立体的に運動させることができ、取付台の装置類の
動きを作業対象物に集中させることが可能となる。
所に作業装置類が集中しているので、作業対象物にワー
クを取り付けたまま外すことなく、分析装置でそこの場
所を取出したり、組立装置によって他の部材を組立てた
り、各種作業を行うことができる。
システムに限らず、通常の大きさのすべての作業にも使
用可能である。
する。
ムを用いた作業システムを示している。
業に必要な装置類1,2,3,4の取付台5,6,7,
8が作業対象物9の回りを回転面を含む立体面上を運動
するように、取付台5,6,7,8の運動を案内する軌
道部材10,11,12,13,14,15と、中央の
作業空間16を確保しつつ取付台5,6,7,8を駆動
する不図示の駆動手段と、を備えた構成となっている。
分析装置,各種作業工具等が取り付けられ、これらがす
べて中央の作業対象物9に集中している。
る作業ステージ17によってZ軸上を上下、XーY軸上
を水平移動してもよいし、各軌道部材10〜15が全体
として、Z軸上を上下、X−Y軸上を水平移動するよう
にしてもよい。
とする軌道部材14,15を含む平面座標系であり、Z
軸はこの平面に対して直交する軸である。
せ得る密閉空間を構成するチャンバ18内に格納するこ
とが好ましい。雰囲気としては、真空にしたり、温度を
変えたり、不活性ガスを封入したり、種々の雰囲気での
作業を実現する。
17を案内装置19を介してチャンバ18内に出し入れ
自在としてもよい。たとえば、チャンバ18外部で作業
ステージ17に作業対象物9をセットし、案内装置19
を介して作業対象物を9作業空間16下方まで搬送し、
その後作業位置まで作業ステージ17を上昇させる。チ
ャンバ18には、図1に示すようなビーム加工機20や
図2に示すような、SEM等の観察手段21が取り付け
られる。
軌道レール22と、軌道レール22に沿って移動自在に
設けられるブロック23と、ブロック23と軌道レール
22間に介装される転動体(図示せず)と、から構成さ
れる転がり案内装置を使用して、作業対象物9の支持剛
性を大きくしておく。
要素を示したものである。
4を中心として第1の運動を案内する第1のレール25
と、この第1のレール上25を自走する一つ以上の第1
のブロック26と、各第1のブロック26上に支持さ
れ、前記作業対象物9を通る第1の軸24とは異なる第
2の軸27を中心として第2の運動を案内する第2のレ
ール28と、この第2のレール28上を自走する第2の
ブロック29と、を備え、第2のブロック29を、前記
作業対象物9を貫通する軸を中心とする仮想回転面を含
む立体面30上を移動可能としている。そして、この第
2のブロック29が装置類を取付る取付台となる。
のレール28が一つの場合には、第1のレール25と第
1のブロック26の構成の代わり、回転ベアリングを用
いることもできる。ただ、第1のブロック26を複数の
使用する場合には、それぞれ独立して移動させる必要か
ら、回転ベアリングよりも、本実施例のような自走式の
ブロックを用いることが好適である。
作業対象物9の中心を通る第1の軸(Z軸)を曲率中心
とする円弧状のレールであり、基台上に固定される。一
方、第2のレール28は、作業対象物9の中心を通り、
前記第1の軸24と直交する第2の軸を曲率中心とする
円弧状レールによって構成されている。したがって、第
2のブロック29は、図3(c)に示すように、作業対象
物9の中心Oから所定距離だけ離れた球面上の任意位置
に移動自在となっている。
5,28を円弧状としているが、第2のレール28Aを
第1のブロック26上に垂直に立設すれば、図4(b)に
示すように、第2のブロック29は立体面として円筒面
30A上を移動する。また、図4(a)に示すように、第
2のレール28Bを斜めに傾けて固定すれば、第2のブ
ロック29は立体面として円錐面30B上を移動する。
さらに、図4(c)に示すように、第1のレール25をト
ラック形状とし、第2のレール28Cを直線で垂直に立
設すれば、第2のブロック29はトラック状の立体面3
0C上を移動することになる。
3(d)に示すように、軌道レール31と、この駆動レー
ル31に沿って移動するブロック32と、軌道レール3
1とブロック32間に介装される転動体33と、ブロッ
ク32を駆動する駆動手段34と、から構成される。
手段の構成例を示している。
り、同図(a)は進行波タイプのリニア型モータ35であ
り、同図(b)は定在波タイプのリニア型モータ36の構
成を模式的に示したものである。
7を示している。
あり、軌道レール31に摩擦接触する摩擦輪38と摩擦
輪38を回転駆動するモータ39とによって構成され
る。
例で、軌道レール31に沿って設けられたタイミングベ
ルト40と、ブロック32に設けられたベルトプーリ4
1と、ベルトプーリ41を駆動するモータ42とによっ
て構成される。
用いた例で、軌道レール31に沿って設けられたラック
43と、ブロック32に設けられたピニオン44と、ピ
ニオン44を駆動するモータ45とによって構成され
る。
ブロック29と作業対象物9との相対位置を位置調整可
能とする場合を示している。この内、図6(a)は、第
1,第2のレール25,28側は固定し、作業ステージ
17をXYZの三軸方向に調整可能とした例である。ま
た、図6(b)は、第1のブロック26に固定される第2
のレール28をXYZ方向に移動可能としたものであ
る。
形例を示している。
曲率半径R1を第2のレール28Dの曲率半径R2より
も小さくして第1のレール25Dの上下方向の中途位置
に作業対象物9が位置するようにしたものである。この
例では、第2のレール28Dの下端を第1のブロック2
6に固定している。
介して第2のレール28Eを第1のブロック26Eに固
定した例である。
28の組を複数組設けた例である。
9が運動する球面の中心が作業対象物9の中心Oに集中
する例である。
9の運動する球面中心が、作業対象物9の2点O,0′
に集中する例である。
29Fが運動する球面の半径R2,R2fが異なる例を
示している。
とした場合と、全周タイプとした場合を例示している。
レール26を共に分割タイプとした例である。
イプとし、第2のレール28を分割タイプとしたもので
ある。
2のレール28,28Hの曲率半径が異なる場合を示し
たもので、第1のレール25,25Hが同心円上に配置
される。
に配置し、その直径線に沿って対向するように配置され
る第1のブロック26間に、半円周状の第2のレール2
8Iを架け渡した例である。
ック形状とした例である。トラック形状は円弧状部と直
線部を組み合わせた例であり、このように円弧状部と直
線部を組合わせると、円弧状部において装置類を作業対
象物に集中させることができると同時に、直線部におい
て作業対象物を直線的にトラバースして観察することが
できる。また、図10(b)は第1のレール25Kを楕
円形状とした例である。楕円形状は両端の円弧状部と曲
線部を組み合わせた例である。
あるいは第2のブロック26,29を固定して第1,第
2のレール25,28を移動する場合の変形例を示して
いる。
を固定して第1のレール25を移動させ、この第1のレ
ール25に対して第2のレール28の一端を固定し、こ
の第2のレール28に沿って第2のブロック29を移動
させるようにしたものである。
に第2のレール28が固定されているが、第1のレール
25に別途自走式のブロックを設け、この自走式のブロ
ックに第2のレール25を取付け、第1のレール25の
移動に対して自走式のブロックの移動を重畳させれば、
その和と差を利用して第2のレール28の微動速送りが
可能となる。
固定して第1のブロック26を可動とし、この第1のブ
ロック26に第2のブロック29を固定し、第2のレー
ル28を可動としたものである。
置に各種装置類の取付部が設けられる。この取付部とし
ては、第2のレール28に対して固定したものでもよい
し、第2のレール28に、さらに取付部として自走式の
ブロックを設けてもよい。そして、第2のレール28の
移動に対して取付部としての自走式のブロックの移動を
重畳させれば、その和と差を利用して微動速送りが可能
となる。
を固定して第1のレール25を可動とし、さらにこの第
1のレール25に第2のブロック29を固定して第2の
レール28を可動としたものである。
1のレール25に対して自走する別のブロックに第2の
ブロック29を固定し、この第2ブロック29に対して
可動の第2のレール28に対してさらに自走式のブロッ
クを設ければ、あらゆる回転方向に対して微動及び速送
り可能となる。
9をアーム46を介して第1のブロックに26に支持し
たものである。
を第2のブロック27に対してアーム47を介して連結
したものである。
円弧状レールの構成を組み合わせたもので、第1のレー
ル25は全周的に円環状に成形し、その上に複数の自走
式の第1のブロック26が設けられ、各第1のブロック
26に第2のレール28がそれぞれ取り付けられてい
る。この第1レール25は、XYテーブル47上に組み
付けられ、チャンバ18に固定される観察手段21に対
して位置決めされる。
る第2のブロック29に、各種作業装置1,2等が取り
付けられるが、特に、この例では、第2のブロック29
に対してアーム47を介して作業対象物9が支持されて
おり、作業対象物9の姿勢が調整可能となっている。
ム47は、第2のブロック29に対して回転可能になっ
ており、作業対象物9を別の作業場所に移送可能として
いる。別の作業場所では、たとえば、図13(b)に示
すように、作業対象物9を交換したり、また、ビーム加
工,スパッタリングあるいはマスク加工等の別の作業を
行ってもよい。アーム47の回転は、図13(a)に示
すように、第1のブロック26に回転機構を設けて第2
のレール28を介してアーム47を回転させるようにし
てもよい。
バ等の閉塞した容器内に格納されるが、上記したように
外部から抜き出し可能に構成される。
もので、各種装置類が取り付けられる複数の第2のブロ
ックは第1のレールの円弧状部の曲率中心を中心とする
円周上であって、かつ第2のレールの円弧状部に沿って
運動するので、第2のブロックは作業対象物の周囲を作
業対象物を中心に見ながら上下左右に立体的に運動させ
ることができ、取付台の装置類の動きを作業対象物に集
中させることが可能となる。したがって、作業対象物に
ワークを取り付けたまま外すことなく、分析装置でそこ
の場所を取出したり、組立装置によって他の部材を組立
てたり、各種作業を同時に行うことができ、同所性,同
時性を保障し得るシステムを実現することができる。
ステムの一例を示す概念構成図である。
た構成例を示す図である。
示す正面図、図3(b)は同図(a)の平面図、同図(c)は
同図(a)の斜視図、同図(d)は同図(a)のブロックの構
成例を示す図である。
を示す斜視図である。
を示す図である。
を示す図である。
レールの取付変形例を示す図である。
組み合わせた構成例を示す図である。
の変形例を示す図である。
ラック形状あるいは楕円形状とした場合の平面図であ
る。
み合わせの変形例を示す図である。
は第2のブロックに取り付けた構成例を示す図である。
例を示すもので、同図(a)は概略斜視図、同図(b)は平
面図である。
を表す説明図である。
境を示す概念図である。
Claims (17)
- 【請求項1】曲率中心が作業対象物を通る軸上に位置す
る円弧状部を備えた形状または円形状の第1のレール
と、 該第1のレール上を自走する複数の第1のブロックと、 該各第1のブロック上に支持される曲率中心が作業対象
物を通る軸上に位置する円弧状部を備えた複数の第2の
レールと、 前記作業対象物の観察,分析,加工等の作業に必要な装
置類が取付けられ前記第2のレール上を自走する第2の
ブロックと、を備えたことを特徴とする運動システム。 - 【請求項2】曲率中心が作業対象物を通る軸上に位置す
る円弧状部を備えた形状または円形状の第1のレール
と、 該第1のレール上を自走する1つ以上の第1のブロック
と、 該各第1のブロック上に支持される曲率中心が作業対象
物を通る軸上に位置する円弧状部を備えた第2のレール
と、 前記作業対象物の観察,分析,加工等の作業に必要な装
置類が取付けられ前記第2のレール上を自走する第2の
ブロックと、を一組の構成単位とし、 該構成単位を作業対象物の周囲に複数組設けたことを特
徴とする運動システム。 - 【請求項3】第2のレールの円弧状部の曲率中心を第1
のレールの円弧状部の曲率中心を通る軸上に位置させた
ことを特徴とする請求項1または2に記載の運動システ
ム。 - 【請求項4】作業対象物は、Z軸上を上下、X−Y軸上
を水平移動する請求項1または2に記載の運動システ
ム。 - 【請求項5】第1および第2のレールが全体として、Z
軸上を上下、X−Y軸上を水平移動する請求項1または
2に記載の運動システム。 - 【請求項6】第1および第2のブロックは、第1,第2
のレールに転動体を介して支持されるブロック本体と、
該ブロック本体を駆動する駆動機構とから構成される請
求項1,2,3,4または5に記載の運動システム。 - 【請求項7】駆動機構として、粗動送り機構と微動送り
機構とを備えている請求項6に記載の運動システム。 - 【請求項8】粗動送り機構と微動送り機構が一つの機構
で行うことを特徴とする請求項7に記載の運動システ
ム。 - 【請求項9】駆動機構が、粗動送り機構と微動送り機構
を分けて多段構成となっている請求項6に記載の運動シ
ステム。 - 【請求項10】駆動機構は、インチワーム機構,超音波
モータ,歩行形式のアクチュエータ,レールに摩擦接触
する摩擦輪と該摩擦輪を回転駆動するモータとによって
構成されるフリクションドライブ,リニアモータ,レー
ルに沿って設けられたタイミングベルトと、ブロック本
体に設けられたベルトプーリと、該ベルトプーリを駆動
するモータとによって構成される機構,レールに沿って
設けられたラックと、ブロック本体に設けられたピニオ
ンと、該ピニオンを駆動するモータとによって構成され
る機構の群から選ばれることを特徴とする請求項6,
7,8または9に記載の運動システム。 - 【請求項11】 第1および第2のブロックは、自分の
位置を検出する位置検出手段を備えている請求項1また
は2に記載の運動システム。 - 【請求項12】 位置検出手段によって検出された位置
情報に基づいて第1および第2の各ブロックの位置を制
御する請求項11に記載の運動システム。 - 【請求項13】 第1,第2のブロックは力検出手段を
備えている請求項1または2に記載の運動システム。 - 【請求項14】 力検出手段によって検出された力情報
に基づいて第1,第2の各ブロックの位置を制御する請
求項13に記載の運動システム。 - 【請求項15】 作業対象物を、アームを介して第1ま
たは第2のブロックに支持した請求項1または2に記載
の運動システム。 - 【請求項16】第1または第2ブロックは、該第1また
は第2ブロックに支持されたアームを回転するための回
転機構を備えている請求項15に記載の運動システム。 - 【請求項17】 運動システムが密閉された空間に格納
されている請求項1乃至16のいずれかの項に記載の運
動システム。
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