JP2815926B2 - Magnetic core - Google Patents

Magnetic core

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JP2815926B2
JP2815926B2 JP1253073A JP25307389A JP2815926B2 JP 2815926 B2 JP2815926 B2 JP 2815926B2 JP 1253073 A JP1253073 A JP 1253073A JP 25307389 A JP25307389 A JP 25307389A JP 2815926 B2 JP2815926 B2 JP 2815926B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、ノイズフィルター、可飽和リアクトル、ス
パイクノイズ低減用超小形インダクタンス素子、各種ト
ランス、チョークコイル、零相変流器、磁気ヘッド等に
用いられる高周波で高透磁率が要求される用途に適した
極薄の軟磁性合金薄帯を用いた磁性コアに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial application field) The present invention relates to a noise filter, a saturable reactor, an ultra-small inductance element for reducing spike noise, various transformers, a choke coil, and a zero-phase current transformer. The present invention relates to a magnetic core using an ultra-thin soft magnetic alloy ribbon suitable for applications requiring high frequency and high magnetic permeability used in magnetic heads and the like.

(従来の技術) 近年、電子機器の小型軽量化、高性能化の要求に伴
い、重要な機能部分として用いられている磁性部品にも
高性能化が必要となってきている。
(Prior Art) In recent years, with the demand for smaller and lighter electronic devices and higher performance, magnetic components used as important functional parts also need to have higher performance.

たとえば磁気増幅器を組込んだスイッチング電源が広
く用いられるようになってきているが、この磁気増幅器
を構成する主要部は可飽和リアクトルであり、角形磁化
特性に優れた磁心材料が必要とされている。また、上述
したように近年の電子機器の小型軽量化、高性能化の要
求が高まるにつれて、スイッチング電源にも小型軽量化
が強く要望されており、これを実現するためにスイッチ
ング周波数をより高周波化することが求められている。
そこで、可飽和リアクトルを構成する磁心には、高周波
域において損失が少ないことが強く望まれている。
For example, a switching power supply incorporating a magnetic amplifier has been widely used, but a main part of the magnetic amplifier is a saturable reactor, and a magnetic core material having excellent square magnetization characteristics is required. . Also, as described above, as the demand for smaller and lighter electronic devices and higher performance in recent years has increased, there has been a strong demand for smaller and lighter switching power supplies, and in order to achieve this, the switching frequency has been increased to higher frequencies. Is required.
Therefore, it is strongly desired that the core constituting the saturable reactor has a low loss in a high frequency range.

しかし、従来から磁心材料として使用されているFe−
Ni結晶質合金からなるセンデルタ(商品名)等は、20kH
z以上の高周波域においてはうず電流損が著しく増大
し、高周波域での使用に適合するものではない。また、
高周波域で低鉄損、高角形比が得られるアモルファス合
金を用いたものにおいても、MHz域では鉄損が増大する
ため、実用的には200〜500kHz程度に限られている。
However, Fe-
Sendah (trade name) made of Ni crystalline alloy is 20kH
The eddy current loss significantly increases in a high frequency range of z or more, and is not suitable for use in a high frequency range. Also,
Even in the case of using an amorphous alloy capable of obtaining a low iron loss and a high squareness ratio in a high frequency range, the iron loss increases in a MHz range, so that it is practically limited to about 200 to 500 kHz.

これに対して、一般に金属材料では板厚を薄くするこ
とにより鉄損を抑え、高周波特性を改善できることが知
られており、アモルファス合金においても厚さを低減す
ることが検討されており、スイッチング周波数をMHzに
した電源を実現するために、さらに板厚を薄くすること
が試みられている。
On the other hand, it is generally known that by reducing the thickness of a metal material, the iron loss can be suppressed and the high-frequency characteristics can be improved by reducing the plate thickness. In order to realize a power supply with a frequency of MHz, attempts have been made to further reduce the thickness.

一方、最近、Co基アモルファス合金とほぼ同等の軟磁
気特性をもつFe基超微細結晶合金が報告されている(EP
O Publication No 0271657、特開昭63−320504号公報等
参照)。この合金は、Fe−Si−B系合金等にCuとNb、
W、Ta、Zr、Hf、Ti、Mo等の1種とを添加し、一旦アモ
ルファス合金と同様の薄帯として形成した後、その結晶
化温度以上の温度域で熱処理することによって、微細な
結晶粒を析出させたものである。
On the other hand, recently, an Fe-based ultrafine crystal alloy having soft magnetic properties almost equivalent to that of a Co-based amorphous alloy has been reported (EP
O Publication No. 0271657, JP-A-63-320504, etc.). This alloy is made of Cu and Nb in Fe-Si-B alloy, etc.
One kind of W, Ta, Zr, Hf, Ti, Mo, etc. is added and once formed as a ribbon similar to an amorphous alloy, and then heat-treated in a temperature range not lower than its crystallization temperature to obtain fine crystals. The grains are deposited.

このようなFe基超微細結晶合金においても、高周波特
性を改善するために板厚を低減することが試みられてい
る。
Even in such Fe-based ultrafine crystal alloys, attempts have been made to reduce the thickness of the sheet in order to improve high-frequency characteristics.

(発明が解決しようとする課題) 上述したように、各種磁性コアには低鉄損が高周波域
(〜MHz域)まで要求されており、これらは機器の高効
率、小形軽量化、また磁性コアの小形化、高性能化など
につながる。そして、このような要求を満足するため
に、磁性コアを構成する軟磁性合金薄帯を極めて薄くす
ることが試みられている。
(Problems to be Solved by the Invention) As described above, various magnetic cores are required to have a low iron loss up to a high frequency range (up to a MHz range). It leads to downsizing and higher performance. In order to satisfy such requirements, attempts have been made to make the soft magnetic alloy ribbon constituting the magnetic core extremely thin.

ところで、通常、磁性コアは上記Co基アモルファス合
金薄帯やFe基超微細合金薄帯等の軟磁性合金薄帯を巻回
することによって構成しているが、従来から使用してい
るような厚さ20μm程度の軟磁性合金薄帯と同様に巻回
体を構成すると、新たな問題が発生することが本発明者
らの実験によって始めて明らかとなった。
By the way, the magnetic core is usually formed by winding a soft magnetic alloy ribbon such as the Co-based amorphous alloy ribbon or the Fe-based ultrafine alloy ribbon described above. It has been found for the first time by the inventors of the present invention that a new problem occurs when a wound body is formed in the same manner as a soft magnetic alloy ribbon having a thickness of about 20 μm.

すなわち、厚さ20μm程度の軟磁性合金薄帯を用いた
磁性コアは、一般にパッキングファクタが75%〜85%程
度となるように巻回したものを用いているが、これと同
等の巻回体を例えば厚さ10μm以下と言ったような極薄
の軟磁性合金薄帯で形成すると、応力が上昇して極薄の
軟磁性合金薄帯の低損失を充分に生かすことができなく
なってしまう。
In other words, a magnetic core using a soft magnetic alloy ribbon having a thickness of about 20 μm is generally wound so that the packing factor is about 75% to 85%. Is formed of an ultrathin soft magnetic alloy ribbon having a thickness of, for example, 10 μm or less, the stress increases, and the low loss of the ultrathin soft magnetic alloy ribbon cannot be sufficiently utilized.

本発明は、このような知見に基づいてなされたもの
で、極薄の軟磁性合金薄帯の低損失という特性を充分に
生かし、かつ小型化および高周波域への実用的な対応を
可能にした磁性コアを提供することを目的とするもので
ある。
The present invention has been made based on such knowledge, and has made full use of the characteristic of low loss of an ultrathin soft magnetic alloy ribbon, and has enabled downsizing and practical application to a high frequency range. It is an object to provide a magnetic core.

[発明の構成] (課題を解決するための手段と作用) すなわち本発明は、板厚10μm以下の軟磁性合金薄帯
の巻回体からなる磁性コアであって、前記巻回体のパッ
キングファクタが10%〜65%の範囲にあることを特徴と
するものである。
[Structure of the Invention] (Means and Actions for Solving the Problems) That is, the present invention relates to a magnetic core comprising a winding of a soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 10 μm or less, and a packing factor of the winding. Is in the range of 10% to 65%.

ここで、本発明で言うパッキングファクタ(Pf)と
は、巻回体を構成する軟磁性合金薄帯の実体積と巻回体
のかさ体積との比率を示すものであり、次式で表される
ものである。
Here, the packing factor (Pf) referred to in the present invention indicates a ratio between the actual volume of the soft magnetic alloy ribbon constituting the wound body and the bulk volume of the wound body, and is expressed by the following equation. Things.

本発明の磁性コアに用いる軟磁性合金薄帯としては、
例えばCo基アモルファス合金薄帯やFe基超微細結晶合金
薄帯等が例示される。
As the soft magnetic alloy ribbon used for the magnetic core of the present invention,
For example, a Co-based amorphous alloy ribbon, an Fe-based ultrafine crystal alloy ribbon, and the like are exemplified.

上記Co基アモルファス合金は、例えば下記の一般式で
表されるものである。
The Co-based amorphous alloy is, for example, one represented by the following general formula.

一般式: [(Co1-aFea1-b-cMbM′100-x-ySixBy ……(I) (式中、MはCr、Mo、W、Cr+Mo、Cr+W、Cr+Mo+W
から選ばれた少なくとも1種を、M′はNbおよびTaから
選ばれた少なくとも1種を表し、a、b、c、xおよび
yは下記の式を満足する数である。
General formula: [(Co 1-a Fe a) 1-bc M b M 'b] in 100-xy Si x B y ...... (I) ( wherein, M represents Cr, Mo, W, Cr + Mo, Cr + W, Cr + Mo + W
And M 'represents at least one selected from Nb and Ta, and a, b, c, x and y are numbers satisfying the following formula.

0.03≦a≦0.08 0.02≦b≦0.06 0≦c≦0.03 0.02≦b+c≦0.08 10≦x≦15(at%) 10≦y≦15(at%) 23≦x+y≦28(at%)) ここで、上記(I)式におけるFeは磁歪を制御する元
素であり、Fe量を規定するaの値が0.03〜0.08の範囲で
行われる。より好ましくは0.04〜0.07の範囲である。
0.03≤a≤0.08 0.02≤b≤0.06 0≤c≤0.03 0.02≤b + c≤0.08 10≤x≤15 (at%) 10≤y≤15 (at%) 23≤x + y≤28 (at%) In the above formula (I), Fe is an element for controlling magnetostriction, and the value of a defining the amount of Fe is set in a range of 0.03 to 0.08. More preferably, it is in the range of 0.04 to 0.07.

Mは合金溶融時の粘性を下げ、ロールとの濡れ性を改
善し、合金の表面性改善およびピンホールの低減に有効
な元素であり、その量があまり少ないと添加の効果が得
られず、ピンホール等の少ない良好な極薄薄帯は得られ
難く、逆にあまり多いとキュリー温度が低くなると共
に、添加による効果向上が見られなくなるため、M量を
規定するbの値は0.02〜0.06の範囲が好ましい。M′は
結晶化温度向上による熱処理温度範囲の拡大と磁気特性
の向上および熱安定性の改善に有効な元素であり、M′
量を規定するcの値は0.03以下をすることが好ましい。
また、MとM′との合計量を規定するb+cの値として
は0.02〜0.08の範囲が好ましい。0.02未満では上記効果
が小さく、0.08を超えるとキュリー温度が低くなりすぎ
実用的でない。
M is an effective element for lowering the viscosity at the time of melting the alloy, improving the wettability with the roll, improving the surface properties of the alloy and reducing pinholes. If the amount is too small, the effect of addition cannot be obtained, A good ultra-thin ribbon with few pinholes or the like is difficult to obtain. Conversely, if the amount is too large, the Curie temperature decreases and the effect of addition cannot be improved, so the value of b that defines the amount of M is 0.02 to 0.06. Is preferable. M ′ is an element effective for expanding the heat treatment temperature range by improving the crystallization temperature, improving the magnetic properties, and improving the thermal stability.
The value of c defining the quantity is preferably less than or equal to 0.03.
The value of b + c defining the total amount of M and M 'is preferably in the range of 0.02 to 0.08. If it is less than 0.02, the above effect is small, and if it exceeds 0.08, the Curie temperature becomes too low and is not practical.

また、上記Fe基軟磁性合金薄帯は、例えば下記の一般
式で合金組成が表され、かつ粒径1000Å以下と言った超
微細結晶を面積比で例えば25%〜95%程度有しているも
のである。
Further, the Fe-based soft magnetic alloy ribbon has an alloy composition represented by, for example, the following general formula, and has, for example, about 25% to 95% in terms of area ratio of ultrafine crystals having a grain size of 1000 ° or less. Things.

一般式: Fe100-d-e-f-g-h-iDdEeGfSigBhZi ……(II) (式中、DはCuおよびAuから選ばれた少なくとも1種の
元素を、EはIV a族元素、V a族元素、VI a族元素およ
び希土類元素からなる群から選ばれた少なくとも1種の
元素をGはMn、Al、Ga、Ge、In、Snおよび白金族元素か
らなる群から選ばれた少なくとも1種の元素を、Zは
C、NおよびPからなる群から選ばれた少なくとも1種
の元素を表し、d、e、f、g、hおよびiは、下記の
式を満足する数である。ただし、下記式中の全ての数字
はat%を示す。
General formula: Fe 100-defghi D d E e G f Si g B h Z i (II) (wherein, D is at least one element selected from Cu and Au, and E is an element of group IVa. G is at least one element selected from the group consisting of Group Va elements, Group VIa elements and rare earth elements, and G is selected from the group consisting of Mn, Al, Ga, Ge, In, Sn and platinum group elements. Z represents at least one element selected from the group consisting of C, N, and P, and d, e, f, g, h, and i are numbers satisfying the following formulas. However, all numbers in the following formula represent at%.

0.1≦d≦ 8 0.1≦e≦10 0≦f≦10 12≦g≦25 3≦h≦12 0≦i≦10 15≦g+h+i≦30。) ここで、上記(II)式のD(CuまたはAu)は、耐食性
を高め、結晶粒の粗大化を防ぐと共に、鉄損や透磁率な
どの軟磁気特性を改善するのに有効な元素である。特に
bcc相の低温での析出に有効である。この量があまり少
ないと上記したような効果が得られず、また、あまり多
いと逆に磁気特性の劣化を生じる。そのため、Dの含有
量は0.1〜8原子%の範囲が適している。好ましい範囲
は0.1〜5原子%である。
0.1 ≦ d ≦ 8 0.1 ≦ e ≦ 100 0 ≦ f ≦ 10 12 ≦ g ≦ 25 3 ≦ h ≦ 120 0 ≦ i ≦ 10 15 ≦ g + h + i ≦ 30. Here, D (Cu or Au) in the above formula (II) is an element effective for improving corrosion resistance, preventing coarsening of crystal grains, and improving soft magnetic properties such as iron loss and magnetic permeability. is there. Especially
It is effective for low temperature precipitation of bcc phase. If the amount is too small, the above-described effects cannot be obtained, and if the amount is too large, the magnetic properties deteriorate. Therefore, the content of D is suitably in the range of 0.1 to 8 atomic%. A preferred range is from 0.1 to 5 atomic%.

E(IV a族元素、V a族元素、VI a族元素および希土
類元素から選ばれた少なくとも1種の元素)は、結晶粒
径の均一化に有効であると共に、磁歪および磁気異方性
を低減させ、軟磁気特性の改善および温度変化に対する
磁気特性の改善に有効な元素であり、D(例えばCu)と
の複合添加によりbcc相をより広い温度範囲で安定化さ
せることができる。この量があまり少ないと上記効果が
得られず、また、あまり多いと製造過程において非結晶
質化がなされず、さらに飽和磁束密度が低くなる。その
ため、Eの含有量は0.1〜10原子%の範囲が適してい
る。さらに好ましい範囲は1〜8原子%である。
E (at least one element selected from group IVa, group Va, group VIa, and rare earth elements) is effective in making the crystal grain size uniform, and has magnetostriction and magnetic anisotropy. It is an element that is effective for improving soft magnetic properties and improving magnetic properties against temperature change, and can stabilize the bcc phase in a wider temperature range by adding D (for example, Cu) in combination. If the amount is too small, the above effect cannot be obtained. If the amount is too large, non-crystallinity will not be achieved in the manufacturing process, and the saturation magnetic flux density will be further reduced. Therefore, the content of E is preferably in the range of 0.1 to 10 atomic%. A more preferred range is 1 to 8 atomic%.

なお、Eにおける各元素の効果は、上記効果と共にそ
れぞれ、IV a族元素は最適磁気特性を得るための熱処理
条件の拡大、V a族元素は耐脆化性の向上および切断等
の加工性の向上、VI a族元素は耐食性の向上および表面
性の向上に有効である。この名で特に、Ta、Nb、W、Mo
は軟磁気特性の改善、Vは耐脆化性と共に表面性の向上
の効果が顕著であり、好ましいものである。
The effect of each element in E, together with the above-mentioned effects, is as follows: the group IVa element expands the heat treatment conditions for obtaining the optimum magnetic properties, and the group Va element improves the embrittlement resistance and the workability such as cutting. The group VIa element is effective in improving corrosion resistance and surface properties. In particular, Ta, Nb, W, Mo
Is preferable because V has a remarkable effect of improving soft magnetic properties and V has a remarkable effect of improving surface properties as well as embrittlement resistance.

G(Mn、Al、Ga、Ge、In、Snおよび白金族元素から選
ばれた少なくとも1種の元素)は、軟磁気特性の改善あ
るいは耐食性の改善に有効な元素である。しかし、その
量が余り多いと飽和磁束密度が低下するため、10原子%
以下とする。この中で、特にAlは結晶粒の微細化、磁気
特性の改善およびbcc相の安定、Geはbcc相の安定、白金
族元素は耐食性の改善に有効な元素である。
G (at least one element selected from the group consisting of Mn, Al, Ga, Ge, In, Sn, and platinum group elements) is an element effective for improving soft magnetic properties or corrosion resistance. However, if the amount is too large, the saturation magnetic flux density will decrease.
The following is assumed. In particular, Al is an element effective for refining crystal grains, improving magnetic properties and stabilizing the bcc phase, Ge is effective for stabilizing the bcc phase, and a platinum group element is effective for improving corrosion resistance.

SiおよびBは、製造時における合金の非結晶化を助成
する元素であり、結晶化温度の改善ができ、磁気特性向
上のための熱処理に対して有効な元素である。特にSiは
微細結晶粒の主成分であるFeに固溶し、磁歪、磁気異方
性の低減に寄与する。その量が12原子%未満では軟磁気
特性の改善が顕著でなく、25原子%を超えると超急冷効
果が小さく、μmレベルの比較的粗大な結晶粒が析出
し、良好な軟磁気特性は得られない。さらに、Siは規則
格子を構成する必須元素であり、この規則格子の出現の
ために12〜22原子%が特に好ましい。またBは、3原子
%未満で比較的粗大な結晶粒が析出して良好な特性が得
られず、12原子%を超えると熱処理によりB化合物が析
出しやすくなり、軟磁気特性を劣化させるため好ましく
ない。
Si and B are elements that assist in non-crystallization of the alloy during production, can improve the crystallization temperature, and are effective elements for heat treatment for improving magnetic properties. In particular, Si forms a solid solution with Fe, which is a main component of fine crystal grains, and contributes to reduction of magnetostriction and magnetic anisotropy. If the amount is less than 12 atomic%, the improvement of soft magnetic properties is not remarkable, and if it exceeds 25 atomic%, the super-quenching effect is small, and relatively coarse crystal grains of μm level are precipitated, and good soft magnetic characteristics are obtained. I can't. Further, Si is an essential element constituting the ordered lattice, and for the appearance of the ordered lattice, 12 to 22 atomic% is particularly preferred. If B is less than 3 atomic%, relatively coarse crystal grains precipitate and good characteristics cannot be obtained, and if it exceeds 12 atomic%, the B compound tends to precipitate due to heat treatment, deteriorating soft magnetic characteristics. Not preferred.

また、他の非晶質化元素としてZ(C、N、P)を10
原子%以下の範囲で含んでいても良い。
Further, Z (C, N, P) is used as another amorphizing element.
It may be contained in a range of at most atomic%.

なお、SiとBおよび他の非晶質化元素との合計量は15
〜30原子%の範囲が好ましく、またSi/B≧1が優れた軟
磁気特性を得るのに好ましい。
The total amount of Si, B and other amorphizing elements is 15
Is preferably in the range of 30 to 30 atomic%, and Si / B ≧ 1 is preferable for obtaining excellent soft magnetic properties.

特に、Si量を13〜21原子%にすることにより磁歪λs
0が得られ、樹脂モールドによる磁気特性の劣化がな
くなり、所期の優れた軟磁気特性を有効に発揮させるこ
とが可能となる。
In particular, by setting the Si content to 13 to 21 atomic%, the magnetostriction λs
0 is obtained, and the magnetic characteristics do not deteriorate due to the resin mold, and the desired excellent soft magnetic characteristics can be effectively exhibited.

なお、上記Fe基軟磁性合金において、0、S等の通常
のFe系合金にも含まれているような不可避的な不純物を
微量含んでいてもよい。
The Fe-based soft magnetic alloy may contain trace amounts of unavoidable impurities, such as 0 and S, which are also contained in ordinary Fe-based alloys.

本発明に用いる軟磁性合金薄帯は、上述したCo基アモ
ルファス合金薄帯やFe基超微細結晶合金薄帯等を厚さ10
μm以下としたものである。軟磁性合金薄帯の厚さが10
μmを超えると、高周波域における鉄損が増大し、高周
波化への対応が不十分となる。より好ましくは8μm以
下である。
The soft magnetic alloy ribbon used in the present invention has a thickness of 10 mm from the above-mentioned Co-based amorphous alloy ribbon or Fe-based ultrafine crystalline alloy ribbon.
μm or less. The thickness of the soft magnetic alloy ribbon is 10
If it exceeds μm, iron loss in a high frequency range increases, and the response to a high frequency becomes insufficient. More preferably, it is 8 μm or less.

ここで、本発明で言う軟磁性合金薄帯の板厚とは平均
板厚tであり、下記の式によって求められるものであ
る。
Here, the plate thickness of the soft magnetic alloy ribbon referred to in the present invention is an average plate thickness t, which is obtained by the following equation.

なお、平均板厚測定時の長さは1m以上が好ましいもの
とする。
The length at the time of measuring the average thickness is preferably 1 m or more.

本発明の磁性コアは、上述したような極めて薄いの軟
磁性合金薄帯をパッキングファクターが10%〜65%の範
囲、さらに好ましくは15%〜60%となるように巻回した
巻回体によって構成されているものである。パッキング
ファクターの値を上記範囲に限定したのは以下の理由に
よる。
The magnetic core of the present invention is formed by winding a very thin soft magnetic alloy ribbon as described above so that the packing factor is in the range of 10% to 65%, and more preferably 15% to 60%. It is configured. The reason for limiting the value of the packing factor to the above range is as follows.

すなわち、パッキングファクターが10%未満である
と、磁性コア断面積に対する総磁束量が小さくなりす
ぎ、要求される総磁束量を満足するためにはコアの大型
化を招き、結果として小型化に繋がらなくなってしま
う。また、パッキングファクターが65%を超えると、磁
性コアとしての鉄損が増大し、極薄の軟磁性合金薄帯が
有する低鉄損を発揮することができなくなってしまう。
これは、パッキングファクターが65%を超える場合、巻
回した層間に応力が加わりやすく、特に板厚10μm以下
の極薄薄帯では薄帯の断面積が小さいため、その応力の
影響が大きくなるためと考えられる。
That is, if the packing factor is less than 10%, the total magnetic flux with respect to the magnetic core cross-sectional area becomes too small, and in order to satisfy the required total magnetic flux, the core is increased in size, and as a result, the size is reduced. Will be gone. On the other hand, if the packing factor exceeds 65%, the iron loss as the magnetic core increases, and the low iron loss of the ultrathin soft magnetic alloy ribbon cannot be exhibited.
This is because when the packing factor exceeds 65%, stress is likely to be applied between the wound layers. Particularly, in the case of an ultra-thin ribbon having a thickness of 10 μm or less, the cross-sectional area of the ribbon is small, so the influence of the stress increases. it is conceivable that.

このように、パッキングファクターの値を10%〜65%
の範囲に設定することによって、極薄の軟磁性合金薄帯
が有する低鉄損を充分に発揮することが可能となり、高
周波域における低損失を確保した高周波化に対応した磁
性コア、例えば可飽和リアクトル、スパイクノイズ低減
用超小形インダクタンス素子、零相変流器等に適した磁
性コアが得られる。また、このような磁性コアを使用し
た磁気部品と他の電子部品とを組合せることによって、
スイッチング電源のような電子装置が得られる。
Thus, the value of the packing factor is 10% to 65%
By setting the range, it is possible to sufficiently exhibit the low iron loss of the ultra-thin soft magnetic alloy ribbon, and a magnetic core corresponding to a high frequency with a low loss in a high frequency range, such as a saturable A magnetic core suitable for a reactor, a microminiature inductance element for reducing spike noise, a zero-phase current transformer, and the like can be obtained. Also, by combining a magnetic component using such a magnetic core with other electronic components,
An electronic device such as a switching power supply is obtained.

本発明の磁性コアは、例えば以下のようにして製造さ
れる。
The magnetic core of the present invention is manufactured, for example, as follows.

まず、板厚10μm以下の軟磁性合金薄帯を作製する。
Co基アモルファス合金薄帯を適用する際には単ロール法
等を用いて薄帯を作製し、またFe基超微細結晶合金薄帯
を適用する場合においても、一旦アモルファス状態の薄
帯を作製する。このようなアモルファス状の極薄薄帯を
作製する際に、ピンホール等が少ない良好な薄帯を得る
ためには、以下に示すような方法を採用することが好ま
しい。
First, a soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 10 μm or less is manufactured.
When applying a Co-based amorphous alloy ribbon, a ribbon is produced using a single roll method, and when an Fe-based ultrafine crystal alloy ribbon is applied, an amorphous ribbon is produced once. . When producing such an amorphous ultrathin ribbon, it is preferable to adopt the following method in order to obtain a favorable ribbon having few pinholes.

すなわち、減圧下あるいは不活性ガス雰囲気で下記の
条件を満足させつつ冷却ロールに溶融金属を射出し、溶
融金属を超急冷させる。上記製造条件とは、合金溶湯を
射出するノズル形状、ノズルと冷却ロールとの距離、射
出圧、冷却ロールの材質および周速等であり、それぞれ
好ましい範囲は次の通りである。ノズル形状は矩形状と
し、短辺を0.2mm以下とする。ノズルと冷却ロールとの
距離は、0.2mm以下が好ましく、射出時の圧力は0.03kg/
cm2以下が好ましい。冷却ロールの材質はCu基合金やFe
基合金が、また周速は20m/sec以上が好ましい。また、
合金溶湯を射出する際の雰囲気は10-2Torr以下の減圧下
や60Torr以下の不活性雰囲気下が好ましい。
That is, the molten metal is injected into a cooling roll under reduced pressure or in an inert gas atmosphere while satisfying the following conditions, and the molten metal is rapidly cooled. The above manufacturing conditions include the shape of the nozzle for injecting the molten alloy, the distance between the nozzle and the cooling roll, the injection pressure, the material of the cooling roll, the peripheral speed, and the like. The nozzle shape is rectangular and the short side is 0.2 mm or less. The distance between the nozzle and the cooling roll is preferably 0.2 mm or less, and the pressure during injection is 0.03 kg /
cm 2 or less is preferred. The material of the cooling roll is Cu-based alloy or Fe
Preferably, the base alloy has a peripheral speed of 20 m / sec or more. Also,
The atmosphere for injecting the molten alloy is preferably under a reduced pressure of 10 −2 Torr or less or under an inert atmosphere of 60 Torr or less.

このようにしてピンホール等が少ない良好な薄帯を作
製した後、Co基アモルファス合金を適用した場合には、
所定のパッキングファクタ内で巻回した後、結晶化温度
以下でキュリー温度以上の温度範囲による歪取り熱処理
を行い、冷却することによって、所望の高周波化に対応
した磁性コアが得られる。
After producing a good ribbon with few pinholes in this way, when a Co-based amorphous alloy is applied,
After being wound within a predetermined packing factor, heat treatment is performed in a temperature range of not higher than the crystallization temperature and not lower than the Curie temperature, and the resultant is cooled to obtain a magnetic core corresponding to a desired high frequency.

また、Fe基超微細結晶合金を適用した場合には、アモ
ルファス状の薄帯を所定のパッキングファクタ内で巻回
した後、このアモルファス合金の結晶化温度以上の適当
な温度で、30分〜15時間熱処理することにより、粒径10
00Å以下の超微細結晶粒が析出させ、所望の高周波化に
対応した磁性コアが得られる。なお、Fe基超微細結晶合
金薄帯中の粒径1000Å以下の微細結晶粒は、面積比で25
〜95%の範囲で存在させることが好ましい。微細結晶粒
の面積比があまり少ないと、すなわち非晶質相があまり
多いと、鉄損が大きく、透磁率が低く、磁歪が大きくな
る。また、逆にその量があまり多いと、磁気特性を劣化
させる。合金中の微細結晶粒のより好ましい存在比とし
ては、面積比で40〜90%の範囲であり、この範囲におい
て特に安定して軟磁気特性を得ることができる。
When an Fe-based ultrafine crystal alloy is applied, after winding an amorphous ribbon within a predetermined packing factor, at an appropriate temperature equal to or higher than the crystallization temperature of the amorphous alloy, 30 minutes to 15 minutes Heat treatment for 10
Ultra-fine crystal grains of 00 ° or less are precipitated, and a magnetic core corresponding to a desired high frequency is obtained. The fine crystal grains having a grain size of 1000 mm or less in the Fe-based ultrafine crystal alloy ribbon have an area ratio of 25% or less.
It is preferred to be present in the range of ~ 95%. If the area ratio of fine crystal grains is too small, that is, if the amorphous phase is too large, iron loss is large, magnetic permeability is low, and magnetostriction is large. On the other hand, if the amount is too large, the magnetic properties deteriorate. A more preferable abundance ratio of the fine crystal grains in the alloy is in a range of 40 to 90% in terms of an area ratio. In this range, soft magnetic characteristics can be obtained particularly stably.

またさらに熱処理として、無磁場中あるいは磁場中熱
処理(薄帯軸方向、幅方向、板厚方向、回転磁場熱処
理)を追加してもよい。
Further, as a heat treatment, heat treatment in a non-magnetic field or in a magnetic field (a thin film axial direction, a width direction, a thickness direction, a rotating magnetic field heat treatment) may be added.

なお、軟磁性合金薄帯を巻回する際には、予め絶縁層
を薄帯の少なくとも一方の面に形成しておくことが好ま
しい。
When winding the soft magnetic alloy ribbon, it is preferable to form an insulating layer on at least one surface of the ribbon in advance.

(実施例) 以下、実施例を参照して本発明をさらに詳細に説明す
る。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.

実施例1 [(Co0.94Fe0.060.95Mo0.0574(Si0.50.526 で示される合金組成物を調合、溶解し、アモルファス
合金作製用母合金とし、以下に示す条件下での単ロール
法によってアモルファス合金薄帯を作製した。
Example 1 [(Co 0.94 Fe 0.06 ) 0.95 Mo 0.05 ] An alloy composition represented by 74 (Si 0.5 B 0.5 ) 26 was prepared and melted to obtain a master alloy for producing an amorphous alloy. An amorphous alloy ribbon was produced by a roll method.

溶融金属の射出時のノズルの形状は5mm×0.15mmのス
リット形状とし、ノズルと冷却ロールとの間隔は0.1mm
とした。また、冷却ロールの材質はFeを用いた。このよ
うな単ロール装置を真空チャンバ内に配置し、真空チャ
ンバ内を5×10-5Torrまで予備真空排気した後、Heガス
を30Torrまで封入し、周速57m/secに制御された冷却ロ
ールの周面上に圧力0.02kg/cm2で溶融金属を射出し、超
急冷して板厚5.2μm、幅4.8mmの長尺なCo基アモルファ
ス合金薄帯を得た。なお、得られた薄帯は、表面性に優
れかつピンホールなどの少ない良好なものであった。
The nozzle shape when injecting molten metal has a slit shape of 5 mm x 0.15 mm, and the distance between the nozzle and the cooling roll is 0.1 mm
And The material of the cooling roll was Fe. Such a single roll device is placed in a vacuum chamber, and the inside of the vacuum chamber is preliminarily evacuated to 5 × 10 −5 Torr, then He gas is sealed to 30 Torr, and a cooling roll controlled at a peripheral speed of 57 m / sec. A molten metal was injected at a pressure of 0.02 kg / cm 2 onto the peripheral surface of, and was rapidly quenched to obtain a long Co-based amorphous alloy ribbon having a thickness of 5.2 μm and a width of 4.8 mm. In addition, the obtained ribbon was excellent in surface property and few with pinholes.

次に、上記長尺極薄のCo基アモルファス薄帯を種々の
パッキングファクタで外径15mm×内径10mmのトロイダル
状に巻回し、これら巻回体に440℃、40分の条件で歪取
り熱処理を施した後、2℃/minの速度で冷却してそれぞ
れ磁性コアを得た。
Next, the long ultra-thin Co-based amorphous ribbon was wound into a toroidal shape having an outer diameter of 15 mm and an inner diameter of 10 mm with various packing factors, and these wound bodies were subjected to a strain relief heat treatment at 440 ° C. for 40 minutes. After the application, the cores were cooled at a rate of 2 ° C./min to obtain respective magnetic cores.

このようにして得た各磁性コアの高周波磁気特性とし
て、2MHzの鉄損を磁気特性評価装置・SY−8617(商品
名、岩通社製)を用いて測定した。また総磁束量も測定
した。これらの結果を第1図に示す。
As the high-frequency magnetic characteristics of each magnetic core thus obtained, the iron loss at 2 MHz was measured using a magnetic characteristic evaluation device SY-8617 (trade name, manufactured by Iwatsu Co., Ltd.). The total magnetic flux was also measured. These results are shown in FIG.

同図から明らかなように、本発明のパッキングファク
タ値内の磁性コアは、いずれも低い鉄損値を示してお
り、またパッキングファクタが65%を超えると急激に鉄
損値が上昇することが分る。なお、総磁束量はパッキン
グファクタと共に低下しており、10%未満では実用に耐
えないことが分る。
As is clear from the figure, all the magnetic cores within the packing factor value of the present invention show a low iron loss value, and when the packing factor exceeds 65%, the iron loss value increases rapidly. I understand. Note that the total magnetic flux decreases with the packing factor, and it can be seen that if the total magnetic flux is less than 10%, it is not practical.

実施例2 第1表に示す合金組成物を出発原料としてそれぞれ用
い、実施例1の同様な作製条件下でそれぞれCo基アモル
ファス合金薄帯を作製し、第1表に示すパッキングファ
クタの磁性コアを実施例1と同様にして作製した。な
お、巻回後の熱処理は、各アモルファス合金に対する最
適条件下で行った。
Example 2 Using the alloy compositions shown in Table 1 as starting materials, Co-based amorphous alloy ribbons were produced under the same production conditions as in Example 1, and a magnetic core having a packing factor shown in Table 1 was prepared. It was produced in the same manner as in Example 1. The heat treatment after the winding was performed under the optimum conditions for each amorphous alloy.

各磁性コアの鉄損を実施例1と同様にして測定した。
その結果を合せて第1表に示す。
The iron loss of each magnetic core was measured in the same manner as in Example 1.
The results are shown in Table 1.

第1表の結果から明らかなように、本発明範囲のパッ
キングファクタを有する磁性コアは、いずれも低鉄損が
得られることが分る。
As is clear from the results in Table 1, it is found that all the magnetic cores having the packing factor in the range of the present invention can obtain low iron loss.

実施例4 Fe72Cu1V6Si13B8 で示される合金組成物を調合、溶解し、Fe基超微細結
晶合金作製用母合金とし、以下に示す条件下での単ロー
ル法によって、まずアモルファス状の薄帯を作製した。
Example 4 An alloy composition represented by Fe 72 Cu 1 V 6 Si 13 B 8 was prepared and melted to obtain a mother alloy for producing an Fe-based ultrafine crystal alloy. First, a single roll method under the following conditions was used. An amorphous ribbon was produced.

溶融金属の射出時のノズルの形状は5.2mm×0.15mmの
スリット形状とし、ノズルと冷却ロールとの間隔は0.15
mmとした。また、冷却ロールの材質はCu合金を用いた。
このような単ロール装置を真空チャンバ内に配置し、真
空チャンバ内を5×10-5Torrまで真空排気した後、周速
42m/secに制御された冷却ロールの周面上に圧力0.025kg
/cm2で溶融金属を射出し、超急冷して板厚7.8μm、幅5
mmの長尺なアモルファス状薄帯を得た。なお、得られた
薄帯は表面性に優れかつピンホールなどの少ない良好な
ものであった。
The nozzle shape during injection of the molten metal was a slit shape of 5.2 mm x 0.15 mm, and the distance between the nozzle and the cooling roll was 0.15
mm. The material of the cooling roll was a Cu alloy.
Such a single roll device is placed in a vacuum chamber, and the inside of the vacuum chamber is evacuated to 5 × 10 −5 Torr, and then the peripheral speed is reduced.
0.025 kg pressure on the peripheral surface of the cooling roll controlled at 42 m / sec
Inject molten metal at / cm 2 , super-cooled, plate thickness 7.8 μm, width 5
A long amorphous ribbon of mm was obtained. In addition, the obtained ribbon was excellent in surface property and few with pinholes.

次に、上記長尺極薄のアモルファス状薄帯を種々のパ
ッキングファクタで外径12mm×内径8mmのトロイダル状
に巻回し、これら巻回体に対し570℃、2時間、N2雰囲
気中で微細結晶析出熱処理を施し、それぞれ磁性コアを
得た。
Next, the long ultra-thin amorphous ribbon was wound into a toroidal shape having an outer diameter of 12 mm and an inner diameter of 8 mm with various packing factors, and these wound bodies were finely ground at 570 ° C. for 2 hours in an N 2 atmosphere. Heat treatment for crystal precipitation was performed to obtain magnetic cores.

このようにして得た各磁性コアの2MHzの鉄損を実施例
1と同様にして測定した。その結果を、総磁束量と共に
第2図に示す。
The core loss at 2 MHz of each magnetic core thus obtained was measured in the same manner as in Example 1. FIG. 2 shows the results together with the total magnetic flux.

同図から明らかなように、Fe基超微細結晶合金薄帯を
用いた際においても、Co基アモルファス合金薄帯と同様
に、本発明のパッキングファクタ値内において低鉄損が
得られることが分る。
As is clear from the figure, even when the Fe-based ultrafine crystalline alloy ribbon was used, a low iron loss was obtained within the packing factor value of the present invention, similarly to the Co-based amorphous alloy ribbon. You.

実施例4 第2表に示す合金組成物を出発原料としてそれぞれ用
い、実施例3と同様な作製条件下でそれぞれアモルファ
ス状薄帯を作製し、第2表に示すパッキングファクタの
磁性コアを実施例1と同様にして作製した。なお、巻回
後の微細結晶析出のための熱処理は、各合金に対する最
適条件下で行った。
Example 4 Using the alloy compositions shown in Table 2 as starting materials, amorphous ribbons were produced under the same production conditions as in Example 3, and magnetic cores having the packing factors shown in Table 2 were produced. It was produced in the same manner as in Example 1. The heat treatment for the precipitation of fine crystals after winding was performed under the optimum conditions for each alloy.

各磁性コアの鉄損を実施例1と同様にして測定した。
その結果を合せて第2表に示す。
The iron loss of each magnetic core was measured in the same manner as in Example 1.
The results are shown in Table 2.

第2表の結果から明らかなように、本発明範囲のパッ
キングファクタを有する磁性コアは、いずれも低鉄損が
得られることが分る。
As is clear from the results in Table 2, it is found that all the magnetic cores having the packing factor within the range of the present invention can obtain low iron loss.

[発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、板厚10μm以下
の軟磁性合金薄帯を用い、パッキングファクタを10%〜
65%の範囲とした磁性コアは、極薄の軟磁性合金薄帯が
有する高周波領域での軟磁気特性、例えば低鉄損を充分
に発揮することが可能となる。これによって、例えばノ
イズフィルター、可飽和リアクトル、スパイクノイズ低
減用超小形インダクタンス素子、トランス、各種チョー
クコイル、零相変流器、磁気ヘッド等に用いられる高周
波域で優れた軟磁気特性が要求され、かつ小形化された
磁性コアを実用レベルで提供することが可能となる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 10 µm or less is used, and the packing factor is 10% to
The magnetic core in the range of 65% can sufficiently exhibit soft magnetic properties in a high-frequency region of an ultrathin soft magnetic alloy ribbon, for example, low iron loss. As a result, for example, excellent soft magnetic characteristics are required at high frequencies used for noise filters, saturable reactors, ultra-small inductance elements for reducing spike noise, transformers, various choke coils, zero-phase current transformers, magnetic heads, and the like. In addition, it is possible to provide a downsized magnetic core at a practical level.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例のCo基アモルファス合金薄帯
を用いた磁性コアの鉄損および総磁束量を従来例と比較
して示すグラフ、第2図は本発明の他の実施例のFe基超
微細結晶合金薄帯を用いた磁性コアの鉄損および総磁束
量を従来例と比較して示すグラフである。
FIG. 1 is a graph showing the iron loss and total magnetic flux of a magnetic core using a Co-based amorphous alloy ribbon according to one embodiment of the present invention in comparison with a conventional example, and FIG. 2 is another embodiment of the present invention. 4 is a graph showing the iron loss and total magnetic flux of a magnetic core using a Fe-based ultrafine crystal alloy ribbon in comparison with a conventional example.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−228601(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01F 3/00 - 3/04 H01F 27/24 - 27/25,41/02────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-63-228601 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) H01F 3/00-3/04 H01F 27 / 24-27 / 25,41 / 02

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】板厚10μm以下の軟磁性合金薄帯の巻回体
からなる磁性コアであって、 前記巻回体のパッキングファクタが10%〜65%の範囲に
あることを特徴とする磁性コア。
1. A magnetic core comprising a winding of a soft magnetic alloy ribbon having a thickness of 10 μm or less, wherein a packing factor of the winding is in a range of 10% to 65%. core.
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