JP2806347B2 - Magnetic disk drive - Google Patents

Magnetic disk drive

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JP2806347B2
JP2806347B2 JP8030323A JP3032396A JP2806347B2 JP 2806347 B2 JP2806347 B2 JP 2806347B2 JP 8030323 A JP8030323 A JP 8030323A JP 3032396 A JP3032396 A JP 3032396A JP 2806347 B2 JP2806347 B2 JP 2806347B2
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magnetic
recording
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pits
tracking
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クラウス・キンステッタ
慶二 片岡
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドをトラッキン
グ制御しながら、情報を磁気的に記録再生する磁気的記
録もしくは再生技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording or reproducing technique for recording and reproducing information magnetically while controlling tracking of a magnetic head.

【0002】[0002]

【従来の技術】ディジタル情報を磁気ヘッドで記録する
従来の磁気記録媒体においては、磁気記録媒体の偏心を
充分小さくし、トラットク幅を充分広くし、さらに磁気
記録装置機構部の精度を高めて、磁気記録媒体と磁気ヘ
ッドの相対的位置誤差を小さくさせる方法をとっている
ため、精密なトラッキング制御をする必要はなかった。
また、ディジタル情報を記録する磁気記録媒体において
は、ディスク基盤例えばアルミ基盤に磁性膜をスパッタ
リングし、初期磁化させた後、サーボライターあるいは
磁気記録装置で磁気ディスクを1枚ずつ磁気ヘッドでイ
ニシアライズしている。
2. Description of the Related Art In a conventional magnetic recording medium for recording digital information with a magnetic head, the eccentricity of the magnetic recording medium is made sufficiently small, the track width is made sufficiently large, and the accuracy of the magnetic recording device mechanism is increased. Since a method of reducing the relative position error between the magnetic recording medium and the magnetic head was employed, it was not necessary to perform precise tracking control.
In the case of a magnetic recording medium for recording digital information, a magnetic film is sputtered on a disk substrate, for example, an aluminum substrate, and after initial magnetization, the magnetic disks are initialized one by one by a magnetic head using a servo writer or a magnetic recording device. ing.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来技術は次の点で配
慮がなされていなかった。すなわち、現状の磁気記録媒
体の記録トラック幅をもっと狭くしディスクの高密度化
をはかるためには、磁気記録媒体及び磁気記録装置の機
構部の加工精度をもっと高くする必要があるが、それに
よってディスクの生産性は低下し、さらに磁気記録装置
の機構部に超精密さが要求され、安定性、価格などの点
で、磁気記録装置として非常に大がかりになってしま
う。
The prior art does not take the following points into consideration. In other words, in order to further reduce the recording track width of the current magnetic recording medium and increase the density of the disk, it is necessary to further increase the processing accuracy of the magnetic recording medium and the mechanism of the magnetic recording device. The productivity of the disk is reduced, and furthermore, ultra-precision is required for the mechanism of the magnetic recording device, and the magnetic recording device becomes very large in terms of stability, cost, and the like.

【0004】また、磁気記録媒体の高密度化をはかるた
めには、記録トラック幅をもっと狭くしてサーボライト
する必要があり、そのため磁気記録媒体及び磁気記録装
置の機構部の加工精度を高くする必要があり、それによ
ってディスクの生産性は低下し、さらに磁気記録装置の
機構部に超精密さが要求され安定性、要格などの点で磁
気記録装置として非常に大がかりになってしまう欠点が
ある。
Further, in order to increase the density of a magnetic recording medium, it is necessary to make the recording track width narrower and perform servo writing. Therefore, the processing accuracy of the magnetic recording medium and the mechanical section of the magnetic recording apparatus is increased. This has the disadvantage that the productivity of the disk is reduced, and the mechanism of the magnetic recording device is required to be ultra-precise, resulting in a very large magnetic recording device in terms of stability and specification. is there.

【0005】従来、凹凸ピットを用いて何らかの信号を
磁気ディスク上に記録しようとするものとして、以下の
ようなものがあった。
[0005] Conventionally, there have been the following attempts to record a certain signal on a magnetic disk by using uneven pits.

【0006】特開昭53−001507号には、凹凸パ
タン上に被着した記録膜から信号を検出する概念が記載
されている。しかし、このものでは凹凸パタン上の記録
膜中で磁束が連続していた。このために、リング状の磁
気ヘッドで信号を検出しようとした場合、記録膜から漏
れる磁束の量が少なく、再生信号出力が小さいという問
題があった。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-001507 describes a concept of detecting a signal from a recording film adhered on an uneven pattern. However, in this case, the magnetic flux was continuous in the recording film on the uneven pattern. For this reason, when trying to detect a signal with a ring-shaped magnetic head, there has been a problem that the amount of magnetic flux leaking from the recording film is small and the output of a reproduced signal is small.

【0007】特開昭63−191316号には、凹凸パ
タン上に被着した記録膜から信号を検出する概念が記載
されている。しかし、このものは垂直記録膜を用い、磁
気抵抗効果型ヘッドで記録膜からの磁束を検出し、凹凸
構造によって生じる記録膜とヘッドの距離の変化に応じ
て再生信号が変化することによって信号を検知するもの
である。この技術では、やはり再生信号出力が小さいと
いう問題があった。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-191316 describes a concept of detecting a signal from a recording film adhered on an uneven pattern. However, this method uses a perpendicular recording film, detects magnetic flux from the recording film with a magnetoresistive head, and changes the reproduction signal according to the change in the distance between the recording film and the head caused by the uneven structure. It is to detect. This technique also has a problem that the output of the reproduced signal is small.

【0008】米国特許4746580号では、基板上の
記録膜を局所的に除去して凹凸を形成し、これによって
信号を得るものが記載されるが、エッチングなどにより
記録膜を除去する工程が複雑であり、磁気ディスクの量
産性という点に問題が有るといわざるを得なかった。
US Pat. No. 4,746,580 describes a method in which a recording film on a substrate is locally removed to form concavities and convexities, thereby obtaining a signal. However, the process of removing the recording film by etching or the like is complicated. Therefore, it must be said that there is a problem in mass productivity of the magnetic disk.

【0009】本発明の目的は、磁気ヘッドの高精度なト
ラッキング電子制御を可能にし、信頼性の高い高密度記
録を可能とする、磁気記録媒体及び磁気記録装置を提供
するとともに、磁気ディスクの製造工程においても複雑
な工程を排除し、量産性に優れた磁気ディスクを用いた
磁気記録再生技術を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium and a magnetic recording apparatus which enable high-accuracy tracking electronic control of a magnetic head and enable highly reliable high-density recording, and manufacture of a magnetic disk. Another object of the present invention is to provide a magnetic recording / reproducing technique using a magnetic disk which is excellent in mass productivity by eliminating complicated steps.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明では、磁気記録媒
体上に磁気的に読み取りうる蛇行した凹凸ピットが設け
てあって、磁気ヘッドがこの凹凸ピット端に発生する磁
極によって形成される磁束分布からトラッキング信号を
磁気的に検出し、磁気ヘッドの記録位置をサーボ技術制
御して、情報を磁気的に記録することを特徴とする。
According to the present invention, a magnetic recording medium is provided with meandering uneven pits which can be read magnetically, and a magnetic head is provided with a magnetic flux distribution formed by magnetic poles generated at the ends of the uneven pits. , A tracking signal is detected magnetically, and the recording position of the magnetic head is servo-controlled to record information magnetically.

【0011】本発明で用いる記録媒体は、磁気記録媒体
上に磁気的に読み取りうる蛇行したピットが設けてあ
る。
The recording medium used in the present invention has magnetically readable meandering pits on a magnetic recording medium.

【0012】具体的には、トラックに沿って磁気的に情
報を記録再生する磁気ディスクを記録または再生する磁
気ディスク装置において、磁気ディスクの基板上にトラ
ックに沿ってトラック方向と直角の方向にウォブリング
した凹凸ピットが形成されており、基板表面には凹凸ピ
ットの形にならって磁気記録膜が形成されており、磁気
ディスク装置は、凹凸ピットの側面に被着した磁気記録
膜から漏洩する磁束を検知して電気信号を得る磁気ヘッ
ドと、電気信号に基づいてトラッキング信号を得るトラ
ッキング回路と、トラッキング信号に基づいて磁気ヘッ
ドの位置を制御しながら記録または再生を行うサーボ回
路を有する。あるいは、凹凸ピットの端部に形成された
磁極から漏洩する磁束を検知して電気信号を得る磁気ヘ
ッドと、その電気信号に基づいてトラッキング信号を得
るトラッキング回路と、そのトラッキング信号に基づい
て磁気ヘッドの位置を制御しながら記録または再生を行
うサーボ回路を有する。
More specifically, in a magnetic disk drive for recording or reproducing a magnetic disk for magnetically recording and reproducing information along a track, a wobbling is performed on a substrate of the magnetic disk along a track in a direction perpendicular to the track direction. Pits are formed on the surface of the substrate, and a magnetic recording film is formed on the surface of the substrate in the shape of the pits.The magnetic disk drive uses the magnetic flux leaking from the magnetic recording film attached to the side surfaces of the pits. It has a magnetic head that detects and obtains an electric signal, a tracking circuit that obtains a tracking signal based on the electric signal, and a servo circuit that performs recording or reproduction while controlling the position of the magnetic head based on the tracking signal. Alternatively, a magnetic head that obtains an electric signal by detecting a magnetic flux leaking from a magnetic pole formed at an end of the concave and convex pit, a tracking circuit that obtains a tracking signal based on the electric signal, and a magnetic head based on the tracking signal And a servo circuit that performs recording or reproduction while controlling the position of.

【0013】[0013]

【作用】本発明は、トラッキング信号を検出するための
マークとして蛇行した凹凸ピットを用い、この凹凸ピッ
ト部に形成される局所的磁界から、磁気記録媒体上を浮
上する磁気ヘッドで、トラッキング信号を検出する原理
を用いているので小型であり、しかも高S/Nでトラッ
キング信号を検出できる。さらに、磁気記録媒体は凹凸
でトラッキング情報が形成されるため、光ディスクと同
様にディスクを容易に大量作成することが可能である。
According to the present invention, meandering uneven pits are used as marks for detecting tracking signals, and a tracking signal is generated by a magnetic head floating on a magnetic recording medium from a local magnetic field formed in the uneven pits. Since it uses the principle of detection, it is small and can detect a tracking signal with high S / N. Further, since the tracking information is formed on the magnetic recording medium by irregularities, it is possible to easily produce a large number of disks in the same manner as an optical disk.

【0014】[0014]

【実施例】図1は、本発明の1実施例の磁気記録媒体を
示し、この磁気記録媒体に形成した記録トラックに設け
られたトラッキング用ピットを示している。
FIG. 1 shows a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention, and shows tracking pits provided on recording tracks formed on the magnetic recording medium.

【0015】図1(a)において、磁気記録媒体基盤1
は、ガラス,樹脂、あるいはアルミからなり、図1
(b)に示すようにトラック2,2′に設けられた凹凸
のトラッキング用ピット3,3′、4,4′は、エッチ
ングあるいはインジェクション整形で作成される。トラ
ッキング用ピットは、図1(c)に示すように隣接トラ
ック2,2′間で共用することもできる。また、図1
(d)に示すように、トラッキング用ピットは、円周方
向に見たとき、一部重複するように幅広く形成してもよ
い。この媒体基盤1上に磁気記録薄膜媒体5がスパッタ
リングされる。スパッタリング後、この磁気記録媒体は
回転させながら、マグネットで全面一様に初期磁化され
る。磁化の方向6はディスク円周方向、すなわちデータ
記録方向と一致する。
In FIG. 1A, a magnetic recording medium substrate 1
Is made of glass, resin, or aluminum.
As shown in (b), the uneven tracking pits 3, 3 ', 4, 4' provided on the tracks 2, 2 'are formed by etching or injection shaping. The tracking pit can be shared between adjacent tracks 2 and 2 'as shown in FIG. FIG.
As shown in (d), the tracking pits may be formed wide so as to partially overlap when viewed in the circumferential direction. A magnetic recording thin film medium 5 is sputtered on the medium base 1. After sputtering, this magnetic recording medium is initially magnetized uniformly by a magnet while being rotated. The magnetization direction 6 coincides with the circumferential direction of the disk, that is, the data recording direction.

【0016】図2は、本発明の凹凸ピット3,3′、
4,4′をディスク円周方向、すなわちデータ記録方向
に沿っての断面図を示す。
FIG. 2 shows the uneven pits 3 and 3 'of the present invention.
4 and 4 'are sectional views taken along the disk circumferential direction, that is, along the data recording direction.

【0017】図2(a)に本願発明の実施例を示す。磁
気薄膜媒体5は初期磁化によって一方向6に磁化されて
おり、凹凸ピットから離れた場所では、漏れ磁界はな
い。しかし、凹凸ピット部3,3′、4,4′ではピッ
トの両壁にプラスとマイナスの磁極7,8が形成され、
その結果ピット部に磁界9,11が発生する。この磁界
の強さは、ピット中心が一番大きく左右対称で中心から
はずれるにつれて小さくなる。
FIG. 2A shows an embodiment of the present invention. The magnetic thin film medium 5 is magnetized in one direction 6 by the initial magnetization, and there is no leakage magnetic field at a position apart from the concave and convex pits. However, in the uneven pit portions 3, 3 ', 4, 4', plus and minus magnetic poles 7, 8 are formed on both walls of the pit,
As a result, magnetic fields 9 and 11 are generated in the pit portion. The strength of this magnetic field decreases as the pit center is the largest and symmetrical and deviates from the center.

【0018】図2(a)では、凹凸のトラッキング用ピ
ットを形成した媒体基盤1の全面に磁気記録薄膜媒体5
を設けた。
In FIG. 2A, the magnetic recording thin film medium 5 is formed on the entire surface of the medium substrate 1 on which uneven tracking pits are formed.
Was provided.

【0019】ここで、図2(b)〜(d)に示す比較例
のように、ピット部の磁気薄膜を除去してもよいが、量
産性において劣るという問題がある。すなわち、図2
(b)〜(d)において磁気記録媒体基盤1は、ガラ
ス,樹脂あるいはアルミであり、トラック2,2′に設
けられたピット3,3′、4,4′部が設けられてい
る。媒体基盤1上には磁気記録薄膜媒体5が形成されて
いるが、ピット3,3′、4,4′部に磁気薄膜はな
く、初期磁化の方向6はディスク円周方向、すなわちデ
ータ記録方向に一様に向いている。
Here, as in the comparative example shown in FIGS. 2B to 2D, the magnetic thin film in the pit portion may be removed, but there is a problem that the mass productivity is poor. That is, FIG.
In (b) to (d), the magnetic recording medium substrate 1 is made of glass, resin or aluminum, and has pits 3, 3 ', 4, 4' provided on tracks 2, 2 '. A magnetic recording thin film medium 5 is formed on the medium base 1, but no magnetic thin film exists in the pits 3, 3 ', 4, 4', and the initial magnetization direction 6 is the disk circumferential direction, that is, the data recording direction. Suitable for all.

【0020】図2(b),(c),(d)は比較例である
が、工程が煩雑である点を除くと、検出原理は図2
(a)ほぼ同様である。ピット3,3′、4,4′のデ
ィスク円周方向、すなわちデータ記録方向に沿っての断
面図を示す。図2図(b)はピット部3,3′、4,
4′ピット部分が平坦で、その部分での磁性膜がない例
である。こうすると、ピットの両端壁にNとSの磁極
7,8が形成され、その結果ピット部に磁界が発生す
る。図2(c)はピット3,3′、4,4′が凸の場合
で、凸ピット部には磁性膜5はない。図2(d)はピッ
ト3,3′、4,4′が凹の場合で、凹ピット部には同
様に磁性膜5はない。ピット深さはデータ記録方向のピ
ット幅と同程度位が望ましく、たとえば磁性膜5の厚さ
を0.1ミクロンとすると、ピット深さを0.1−0.5
ミクロン、データ記録方向のピット幅を0.5ミクロ
ン、ディスク半径方向のピット幅を1から20ミクロン
程度にすればよい。
FIGS. 2B, 2C and 2D are comparative examples, except that the process is complicated, and the principle of detection is shown in FIG.
(A) It is almost the same. FIG. 3 is a cross-sectional view of the pits 3, 3 ', 4, 4' along the disk circumferential direction, that is, along the data recording direction. FIG. 2B shows pit portions 3, 3 ', 4,
This is an example in which the 4 'pit portion is flat and there is no magnetic film in that portion. As a result, N and S magnetic poles 7 and 8 are formed on both end walls of the pit, and as a result, a magnetic field is generated in the pit portion. FIG. 2C shows a case where the pits 3, 3 'and 4, 4' are convex, and the magnetic film 5 is not provided in the convex pit portion. FIG. 2D shows a case where the pits 3, 3 'and 4, 4' are concave. Similarly, the magnetic film 5 does not exist in the concave pit portion. The pit depth is desirably about the same as the pit width in the data recording direction. For example, when the thickness of the magnetic film 5 is 0.1 μm, the pit depth is 0.1 to 0.5.
Micron, the pit width in the data recording direction may be about 0.5 micron, and the pit width in the disk radial direction may be about 1 to 20 microns.

【0021】図2(a),(b),(c),(d)のいずれの
場合でも、ピット3,3′、4,4′両端壁にNとSの
磁性7,8が形成され、その結果ピット部に磁界9が発
生する。このようにピット部3,3′、4,4′で形成
される磁束9を磁気ヘッド10で検出することによって
トラッキング信号を得ることが出来る。しかしながら、
図2(a)のように凹凸ピットを有する基板面に均一に
記録膜を形成し、凸部を一方向に磁化することによっ
て、簡易な工程で強い磁気再生信号を得ることができ
る。凸部のみを一方向に初期磁化するには、初期磁化用
の磁気ヘッドと磁性膜5の間隔の差を利用して、凸部は
磁化できるが、凹部は磁化できない程度の磁束を磁気ヘ
ッドから印加すれば良い。
2A, 2B, 2C, and 2D, N and S magnets 7, 8 are formed on both end walls of the pits 3, 3 ', 4, 4'. As a result, a magnetic field 9 is generated in the pit portion. By detecting the magnetic flux 9 formed by the pit portions 3, 3 ', 4, 4' with the magnetic head 10, a tracking signal can be obtained. However,
As shown in FIG. 2A, by forming a recording film uniformly on the substrate surface having uneven pits and magnetizing the protrusions in one direction, a strong magnetic reproduction signal can be obtained in a simple process. In order to initially magnetize only the convex portion in one direction, the difference in the distance between the magnetic head for initial magnetization and the magnetic film 5 is used to magnetize the convex portion, but generate a magnetic flux from the magnetic head such that the concave portion cannot be magnetized. What is necessary is just to apply.

【0022】図3は、磁気ヘッド10を凹凸ピット部を
データ記録方向と直角の方向に走行した場合の磁気コイ
ル12を通る磁束11を表わしたものである。この磁束
11は磁気ヘッド10のデータ記録方向と直角の方向の
寸法は凹凸ピットのデータ記録方向と直角の方向幅とほ
ぼ同じにすると望ましい出力信号が得られる。図3にお
いて、磁束11はピット中心に対称であり、これからは
トラックズレの大きさはわかるが、トラックズレの方向
は検出できない。
FIG. 3 shows the magnetic flux 11 passing through the magnetic coil 12 when the magnetic head 10 travels in the uneven pit portion in a direction perpendicular to the data recording direction. A desirable output signal is obtained when the magnetic flux 11 has a dimension in the direction perpendicular to the data recording direction of the magnetic head 10 substantially equal to the width of the concave / convex pits in the direction perpendicular to the data recording direction. In FIG. 3, the magnetic flux 11 is symmetric with respect to the center of the pit. From this, the magnitude of the track shift can be known, but the direction of the track shift cannot be detected.

【0023】図4は本発明の一実施例のトラックズレの
大きさと方向を検出するための磁気記録媒体上のトラッ
ク中心に対して蛇行した凹凸ピットを示す。図4は、1
個の磁気ヘッド10でデータの記録再生及びトラッキン
グ信号の検出の両方をできる場合を示す。トラックは、
トラッキング信号を検出するサーボ領域とデータを記録
するデータ領域に分離されており、1個の磁気ヘッドで
時分割に信号を検出する。
FIG. 4 shows a concave / convex pit meandering with respect to the center of a track on a magnetic recording medium for detecting the magnitude and direction of a track deviation according to an embodiment of the present invention. FIG.
A case where both the recording and reproduction of data and the detection of a tracking signal can be performed by one magnetic head 10 will be described. The truck is
It is separated into a servo area for detecting a tracking signal and a data area for recording data, and detects a signal in a time-division manner with one magnetic head.

【0024】図5,6を用いて図4に示した蛇行ピット
3,4からトラッキング信号を検出する動作を説明す
る。図5において、磁気ヘッド10の中心が、A,B,
Cのそれぞれに沿って通過する場合を考える。磁気ヘッ
ドがAに沿って通過する場合、磁気ヘッドの中心付近を
ピット3が通過するので磁気ヘッドが検出するピット3
の信号が大きく、一方、ピット4の信号は小さくなる。
したがって、図6Aに示した検出信号が得られる。図6
Bは磁気ヘッド10が図5のBに沿って通過する場合、
図6Cは磁気ヘッドが図5のCに沿って通過する場合の
検出波形を示す。磁気ヘッド10の位置がトラック中心
に来るように制御するには検出波形Bが常にえられるよ
うに、波形Aの場合は+X、波形Cの場合は−Xに磁気
ヘッド10の位置を動かせばよい。
The operation of detecting a tracking signal from the meandering pits 3 and 4 shown in FIG. 4 will be described with reference to FIGS. In FIG. 5, the center of the magnetic head 10 is A, B,
Consider the case of passing along each of C. When the magnetic head passes along A, the pit 3 passes near the center of the magnetic head, so that the pit 3 detected by the magnetic head
Is large, while the signal of pit 4 is small.
Therefore, the detection signal shown in FIG. 6A is obtained. FIG.
B indicates that when the magnetic head 10 passes along B in FIG.
FIG. 6C shows a detected waveform when the magnetic head passes along C in FIG. To control the position of the magnetic head 10 to be at the center of the track, the position of the magnetic head 10 may be moved to + X for the waveform A and to -X for the waveform C so that the detected waveform B is always obtained. .

【0025】図7は本発明のもう1つの実施例を示すも
ので、ラトック中心から−X方向にわずかに変位した位
置に周波数f1、+X方向に変位した位置に周波数f2
ピット列12,13が形成されている。
FIG. 7 shows another embodiment of the present invention. The pit train 12 has a frequency f 1 at a position slightly displaced in the −X direction from the center of the ratchet and a frequency f 2 at a position displaced in the + X direction. , 13 are formed.

【0026】図8で図7の実施例で用いられるトラッキ
ング回路の概略を説明する。検出信号は周波数弁別器で
周波数f1,f2の成分に分けられる。おのおのの成分は
差動増幅器で増幅され、磁気ヘッドの位置補正に用いら
れる。
The outline of the tracking circuit used in the embodiment of FIG. 7 will be described with reference to FIG. The detection signal is divided into frequency f 1 and f 2 components by a frequency discriminator. Each component is amplified by a differential amplifier and used for position correction of the magnetic head.

【0027】図9は本発明の比較例である図2に示した
ピット部に磁気薄膜のない磁気媒体の作成方法を示す。
FIG. 9 shows a method of producing a magnetic medium having no magnetic thin film in the pit portion shown in FIG. 2 which is a comparative example of the present invention.

【0028】図9において、たとえば、クロムホトマス
ク上に紫外レーザ光で図1に示した蛇行ピットパターン
を記録させ、その後現像し、露光部のレジストを溶解し
たあと、金属膜をエッチングさせると、図1に示す様な
形状のクロムマスク21が得られる。図9(a)ではア
ルミ,ガラスディスク基盤1上にネガレジスト22を塗
布し、このホトレジスト塗布ディスク基盤1に、金属マ
スク21を密着して露光する。図9(b)では、ネガレ
ジスト22は露光後、ピット部以外のレジストは現像に
より溶解してしまうが、ピット部だけにはレジスト23
が残る。ピット部だけにレジスト23を残すための本発
明のもう一つの実施例は、図9(a)のネガレジストの
代わりに、ポジレジストを反転現像することによっても
実現することができる。図9(c)ではレジスト23が
残ったディスイ基盤1の全面に磁気膜5を、たとえばス
ピンナーで塗布し、その後加熱して磁気膜5を硬化させ
る。図9(d)では、ピット部に盛り上がって塗布され
ている磁性膜5′を除去する。例えばディスク表面を薄
く研磨すると、盛り上がって塗布されているピット部の
磁性膜が除去される。以上説明したように、図9に示す
磁気媒体の作成方法によって、図2(b)に示すピット
部だけに磁性膜のない磁気記録媒体を容易に作成するこ
とが出来る。図9の方法は、マスク21にピット以外の
任意のパターンを形成することも可能で、例えば直線溝
を作っておけば磁気記録媒体上には磁気薄膜のない直接
溝を形成することが可能である。
In FIG. 9, for example, the meandering pit pattern shown in FIG. 1 is recorded on a chromium photomask with an ultraviolet laser beam, developed, and then the resist in the exposed portion is dissolved, and then the metal film is etched. A chrome mask 21 having the shape as shown in FIG. 1 is obtained. In FIG. 9A, a negative resist 22 is applied on an aluminum or glass disk substrate 1, and a metal mask 21 is adhered to the photoresist-coated disk substrate 1 and exposed. In FIG. 9B, after the exposure of the negative resist 22, the resist other than the pits is dissolved by development, but the resist 23 is left only in the pits.
Remains. Another embodiment of the present invention for leaving the resist 23 only in the pit portion can be realized by reversal development of a positive resist instead of the negative resist of FIG. In FIG. 9C, the magnetic film 5 is applied to the entire surface of the display substrate 1 where the resist 23 remains, for example, by a spinner, and then heated to harden the magnetic film 5. In FIG. 9D, the magnetic film 5 'applied to the pit portion by being raised is removed. For example, when the surface of the disk is polished thinly, the magnetic film in the pit portion which has been raised and applied is removed. As described above, a magnetic recording medium having no magnetic film only in the pit portion shown in FIG. 2B can be easily produced by the method for producing a magnetic medium shown in FIG. In the method of FIG. 9, an arbitrary pattern other than pits can be formed on the mask 21. For example, if a linear groove is formed, a direct groove without a magnetic thin film can be formed on a magnetic recording medium. is there.

【0029】図10はホトマスク上にレーザで長方形の
ピット3,3′、4,4′を形成するための本発明によ
る光学系を示す実施例である。ピットの形状を例えば幅
0.5ミクロン、長さ10ミクロンの長方形にするため
には、ホトマスク上にレーザ光で幅0.5ミクロン、長
さ10ミクロンの長方形の形状をしたレーザスポットを
光学系で形成する必要がある。図10(a)において、
対物レンズL2は高開口数(NA),例えばNA=0.
936、回転対称系回折限界レンズである。レーザの波
長をw=0.45ミクロン、レーザ光束径をD=5m
m、焦点距離をf=2.67mmとすると、このレーザ
光が対物レンズL2によって形成されるスポットは、径
d=2Wf/D=0.48ミクロンの円形スポットが得
られる。図10(b)において、対物レンズL2のレー
ザ入射側にシリンドリカルL1を設置することによって
長方スポットが得られる。シリンドリカルレンズL1
x方向、y方向の焦点距離をおのおのfx,fyとする
と、fxは無限大、fyは有限で例えば1mである。
FIG. 10 shows an embodiment of an optical system according to the present invention for forming rectangular pits 3, 3 ', 4, 4' on a photomask by laser. In order to form a pit having a rectangular shape having a width of, for example, 0.5 μm and a length of 10 μm, a rectangular laser spot having a width of 0.5 μm and a length of 10 μm is formed on a photomask by a laser beam using an optical system. It is necessary to form with. In FIG. 10A,
The objective lens L2 has a high numerical aperture (NA), for example, NA = 0.
936, a rotationally symmetric diffraction limited lens. Laser wavelength w = 0.45 microns, laser beam diameter D = 5m
Assuming that m is m and the focal length is f = 2.67 mm, a circular spot having a diameter d = 2Wf / D = 0.48 microns is obtained as a spot formed by the objective lens L2 using the laser light. In FIG. 10 (b), a rectangular spot by placing the cylindrical L 1 on the laser incident side of the objective lens L 2 is obtained. X direction of the cylindrical lenses L 1, each f x the focal length in the y-direction, when f y, is f x infinity, f y is a finite, for example, 1 m.

【0030】いま、f1=fyと書くと、図10(a),
(b)の光学系間でのy軸方向の焦点ずれ量は z=(f1)2/(f2+f2−a) …(1) となり、図10(a),(b)の光学系間でのx軸方向の
焦点ずれ量Xは変化せず、X=0である。ここでaはレ
ンズL1とL2の間隔である。図10(b)の光学系より y/z=D/f2 …(2) なる関係式が成立し、上の2式より、 f1−a=D12/y …(3) が得られる。aはレンズL1,L2間の間隔である。
(3)式にレーザ光東径D=5mm,焦点距離をf2
2.67mm,y=10ミクロンを代入するとf1−a=
1335mmが得られる。(f1−a)が1.3mとレン
ズL1の焦点距離が非常に大きいため、シリンドリカル
レンズL1によって生じる収差の影響は小さく、x方向
のスポットサイズは0.48ミクロンと小さく、y方向
のスポットサイズのみが10ミクロンとなる。このよう
に対物レンズL2の前面に50cmから10mの焦点距
離を持つシリンドリカルレンズL1を設置することによ
って、幅0.5ミクロン、長さ5〜10ミクロンの長方
形の形状をしたレーザスポットを形成することが可能と
なる。
Now, if f 1 = f y is written, FIG.
The amount of defocus in the y-axis direction between the optical systems in FIG. 10B is z = (f 1 ) 2 / (f 2 + f 2 −a) (1). The defocus amount X in the x-axis direction between the systems does not change, and X = 0. Where a is the distance of the lens L 1 and L 2. From the optical system of FIG. 10B, a relational expression of y / z = D / f 2 ... (2) is established, and from the above two expressions, f 1 −a = D 1 f 2 / y. can get. a is the distance between the lenses L 1 and L 2 .
Equation (3) shows that the laser beam east diameter D = 5 mm and the focal length is f 2 =
Substituting 2.67 mm, y = 10 microns, f 1 −a =
1335 mm is obtained. Since (f 1 -a) is 1.3 m and the focal length of the lens L 1 is very large, the influence of aberration caused by the cylindrical lens L 1 is small, the spot size in the x direction is small at 0.48 μm, and the spot size in the y direction is small. Only the spot size is 10 microns. By thus installing a cylindrical lens L 1 having a focal distance of 10m from 50cm in front of the objective lens L 2, forming a laser spot and the width 0.5 microns, a rectangular shape of length 5-10 microns It is possible to do.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッドを高精度に
トラッキングすることにより、高密度記録が達成される
ばかりでなく、ディスクを大量に安価に作成することが
出来る。
According to the present invention, by tracking the magnetic head with high accuracy, not only high-density recording can be achieved, but also a large number of disks can be produced at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の磁気記録媒体の1実施例を示す平面
図。
FIG. 1 is a plan view showing one embodiment of a magnetic recording medium of the present invention.

【図2】本発明の原理を示す媒体断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view of a medium illustrating the principle of the present invention.

【図3】本発明の原理を示す波形図。FIG. 3 is a waveform chart showing the principle of the present invention.

【図4】本発明で用いるトラッキング信号検出部の構成
及びその動作原理を説明する平面図。
FIG. 4 is a plan view illustrating a configuration of a tracking signal detection unit used in the present invention and an operation principle thereof.

【図5】本発明で用いるトラッキング信号検出部の構成
及びその動作原理を説明する平面図。
FIG. 5 is a plan view illustrating a configuration of a tracking signal detection unit used in the present invention and an operation principle thereof.

【図6】本発明で用いるトラッキング信号検出部の構成
及びその動作原理を説明する波形図。
FIG. 6 is a waveform chart for explaining the configuration of a tracking signal detection unit used in the present invention and the operation principle thereof.

【図7】本発明の他の実施例を説明するための平面図。FIG. 7 is a plan view for explaining another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の他の実施例を説明するための回路図。FIG. 8 is a circuit diagram for explaining another embodiment of the present invention.

【図9】本発明の磁気記録媒体の作成方法の例を示す断
面図。
FIG. 9 is a sectional view showing an example of a method for producing a magnetic recording medium according to the present invention.

【図10】本発明のホトマスク上にレーザ光でパターン
を記録する光学系の実施例を示す概念図。
FIG. 10 is a conceptual diagram showing an embodiment of an optical system for recording a pattern on a photomask with a laser beam according to the present invention.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 捷 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−232720(JP,A) 特開 昭63−234465(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 5/596────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page (72) Inventor Sho Ito 1-280 Higashi Koikekubo, Kokubunji-shi, Tokyo Inside Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (56) References JP-A-62-232720 (JP, A) JP-A-63 -234465 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 5/596

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】トラックに沿って磁気的に情報を記録再生
する磁気ディスクを記録または再生する磁気ディスク装
置において、上記磁気ディスクの基板上にトラックに沿
ってトラック方向と直角の方向にウォブリングした凹凸
ピットが形成されており、該基板表面には凹凸ピットの
形にならって磁気記録膜が形成されており、該磁気ディ
スク装置は、上記凹凸ピットの側面に被着した上記磁気
記録膜から漏洩する磁束を検知して電気信号を得る磁気
ヘッドと、該電気信号に基づいてトラッキング信号を得
るトラッキング回路と、該トラッキング信号に基づいて
磁気ヘッドの位置を制御しながら記録または再生を行う
サーボ回路を有する磁気ディスク装置。
1. A magnetic disk drive for recording or reproducing a magnetic disk for magnetically recording and reproducing information along a track, comprising: an uneven surface wobbled along a track in a direction perpendicular to the track direction on a substrate of the magnetic disk. Pits are formed, and a magnetic recording film is formed on the surface of the substrate in the form of uneven pits. The magnetic disk device leaks from the magnetic recording film adhered to the side surfaces of the uneven pits. It has a magnetic head that obtains an electric signal by detecting a magnetic flux, a tracking circuit that obtains a tracking signal based on the electric signal, and a servo circuit that performs recording or reproduction while controlling the position of the magnetic head based on the tracking signal. Magnetic disk drive.
【請求項2】トラックに沿って磁気的に情報を記録再生
する磁気ディスクを記録または再生する磁気ディスク装
置において、上記磁気ディスクの基板上にトラックに沿
ってトラック方向と直角の方向にウォブリングした凹凸
ピットが形成されており、該基板表面には凹凸ピットの
形にならって磁気記録膜が形成されており、該磁気ディ
スク装置は、上記凹凸ピットの端部に形成された磁極か
ら漏洩する磁束を検知して電気信号を得る磁気ヘッド
と、該電気信号に基づいてトラッキング信号を得るトラ
ッキング回路と、該トラッキング信号に基づいて磁気ヘ
ッドの位置を制御しながら記録または再生を行うサーボ
回路を有する磁気ディスク装置。
2. A magnetic disk device for recording or reproducing a magnetic disk for recording and reproducing information magnetically along a track, wherein the unevenness wobbled along the track in a direction perpendicular to the track direction on the substrate of the magnetic disk. Pits are formed, a magnetic recording film is formed on the surface of the substrate in the form of uneven pits, and the magnetic disk device controls a magnetic flux leaking from a magnetic pole formed at an end of the uneven pit. A magnetic disk having a magnetic head that detects and obtains an electric signal, a tracking circuit that obtains a tracking signal based on the electric signal, and a servo circuit that performs recording or reproduction while controlling the position of the magnetic head based on the tracking signal apparatus.
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