JPH02267730A - Formation of magnetic recording medium - Google Patents

Formation of magnetic recording medium

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JPH02267730A
JPH02267730A JP8791889A JP8791889A JPH02267730A JP H02267730 A JPH02267730 A JP H02267730A JP 8791889 A JP8791889 A JP 8791889A JP 8791889 A JP8791889 A JP 8791889A JP H02267730 A JPH02267730 A JP H02267730A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic recording
recording medium
pits
mask
Prior art date
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Pending
Application number
JP8791889A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Seiji Yonezawa
米沢 成二
Sho Ito
捷 伊藤
Keiji Kataoka
慶二 片岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To make mass production of the magnetic recording medium which allows tracking with high accuracy by forming a resist mask of desired patterns and forming the magnetic recording medium having no magnetic thin films in desired parts. CONSTITUTION:There are tracks 2 on the magnetic recording thin-film medium 5 on a substrate 1. Many servo regions and data regions are alternately provided on one round of the tracks. Tracking marks are provided in the respective servo regions and a pair of rectangular pits 3, 4 which are long in the radial direction of the disk are formed on the right and left of the center line of the tracks 2. The magnetic recording thin film 5 of the pits 3, 4 is selectively etched via the resist mask. The initial magnetization direction 6 of the thin film 5 is circumferential direction. Magnetic poles 7, 8 of N and S are formed on both end walls of the respective pits and magnetic fields are generated in the pits 3, 4, according to this constitution. Magnetic fluxes 9 generated in a magnetic head 10 are detected by a coil 12 at the time of the passage in the pits 3, 4, by which a tracking signal 11 is obtd. The mass production of the recording medium which can track the magnetic head with the high accuracy is enabled by this constitution.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【産業上の利用分野1 本発明は、磁気記録媒体の作成方法に係り、特に磁気ヘ
ッドをトラッキング制御しながら、ディジタル情報を磁
気的に記録再生するのに好適なトラッキング情報を有す
る磁気記録媒体の作成方法に関する。 【従来の技術】 ディジタル情報を記録する磁気記録媒体においては、デ
ィスク基盤例えばアルミ基盤に磁性筒をスパッタリング
し、初期磁化させた後、サーボライターあるいは磁気記
録媒体で1枚ずつ磁気ヘッドでイニシアライズさせてい
る。 [発明が解決しようとする3厘] 従来技術は次の点で配慮がなされていなかった。 すなわち、現状の磁気記録媒体の高密度化を図るために
は、記a1−ラック幅をもっと狭くしてサーポライドす
る必要があり、そのため磁気記録媒体及び磁気記録装置
の機構部の加工精度を高くする必要がある。しかいなが
ら、それによって磁気記録媒体の生産性は低下し、さら
に磁気記録装置の機構部に超精密さが要求され、安定性
、価格などの点で磁気記録装置として非常に大がかりに
なってしまう欠点がある。 本発明の第1の目的は、磁気的に検出可能で、かつ磁性
膜が居所的に除去された部分を有する磁気記録媒体を容
易に作成し得る作成方法を提供することにある。 本発明の第2の目的は、磁気ヘッドの高精度なトラッキ
ング電子制御を可能にし、信頼性の高い高密度記録を可
能とする磁気的に検出可能なトラッキング用のピットを
有する磁気記録媒体を容易に作成し得る作成方法を提供
することにある。
[Industrial Application Field 1] The present invention relates to a method for producing a magnetic recording medium, and in particular to a method for producing a magnetic recording medium having tracking information suitable for magnetically recording and reproducing digital information while controlling tracking of a magnetic head. Regarding the creation method. [Prior Art] In magnetic recording media for recording digital information, a magnetic cylinder is sputtered onto a disk substrate, such as an aluminum substrate, and after initial magnetization, the disks are initialized one by one with a magnetic head using a servo writer or magnetic recording medium. ing. [Three Problems to be Solved by the Invention] The following points have not been considered in the prior art. In other words, in order to increase the density of the current magnetic recording media, it is necessary to make the rack width narrower and use saporide, which increases the processing precision of the mechanical parts of magnetic recording media and magnetic recording devices. There is a need. However, this reduces the productivity of magnetic recording media, requires ultra-precise mechanical parts of magnetic recording devices, and makes magnetic recording devices extremely large in terms of stability, cost, etc. There are drawbacks. A first object of the present invention is to provide a method for easily producing a magnetic recording medium that is magnetically detectable and has portions in which the magnetic film is removed in places. A second object of the present invention is to easily produce a magnetic recording medium having magnetically detectable tracking pits that enables highly accurate tracking electronic control of a magnetic head and enables highly reliable high-density recording. The purpose is to provide a method for creating new products.

【課題を解決するための手段】[Means to solve the problem]

本発明の作成方法は、磁気的に検出可能で、かつ磁性膜
が局所的に除去された部分を有する磁気記録媒体を作成
することを特徴とする特に、磁気記録媒体上に磁気的に
読み取り得るディスク半径方向に長いピットをそれぞれ
トラック中心線に対して左右に振り分けて形成したトラ
ッキング用マークをトラックに沿って周期的に多数に設
け。 そのピット部には磁性膜のない磁気記録媒体を作成する
ことを特徴とする。 本発明は、まず所望のパターン、例えば、トラック中心
線に対して左右に振り分けたディスク半径方向に長い一
対のピットからなるトラッキング用マークを)・ラック
に沿って周期的に多数設けたパターンを有するマスクを
準備し、磁気7F股上に設けたレジストを上記マスクを
介して露光し、上記ピットに対応する上記レジストを除
去し、そのレジストをマスクとして上記ピットに対応す
る上記磁気薄膜を除去することにより、所望の部分に磁
気河膜がない磁気記録媒体を作成することを特徴とする
。上記所望のパターンを有するマスクは、該マスクに光
スポットを照射する光学系の送りピッチを光スポツト径
より小さくしてほぼ一様な光量を照射して形成されたパ
ターンを有する。
The production method of the present invention is characterized by producing a magnetic recording medium that is magnetically detectable and has a portion in which a magnetic film is locally removed. A large number of tracking marks are periodically provided along the track, each of which is formed by long pits in the radial direction of the disk, distributed left and right with respect to the track center line. A feature of this method is to create a magnetic recording medium without a magnetic film in the pit portion. The present invention first has a desired pattern, for example, a pattern in which a large number of tracking marks consisting of a pair of long pits in the radial direction of the disk distributed left and right with respect to the track center line are provided periodically along the rack. By preparing a mask, exposing a resist provided on the magnetic 7F crotch through the mask, removing the resist corresponding to the pit, and using the resist as a mask, removing the magnetic thin film corresponding to the pit. The present invention is characterized in that a magnetic recording medium having no magnetic film in a desired portion is produced. The above-mentioned mask having the desired pattern has a pattern formed by irradiating the mask with a substantially uniform amount of light by making the feed pitch of the optical system smaller than the diameter of the light spot.

【作用1 本発明によれば、磁気記録媒体上に所望のパターン、例
えば、トラック中心線に対して左右に振り分けたディス
ク半径方向に長い一対のピットからなるトラッキング用
マークをトラックに沿って周期的に多数設けたパターン
を形成し、その所望部分のみの磁性薄膜を精度よく除去
するでき、磁気的に検出可能で、かつ磁性膜が局所的に
除去された部分を有する磁気記録媒体を容易に作成する
ことが可能である。また、上記所望のパターンを有する
マスクは複数回使用できるので、同じパターンを有する
磁気記録媒体を精度良く容易に作成できる。 【実施例1 第1図は5本発明による磁気記録媒体の一実施例を示し
、この磁気記録媒体の記録トラックに設けられたトラッ
キング用マークを拡大して示す。 磁気記録媒体基盤1は、ガラス、樹脂、あるいはアルミ
からなる。この媒体基盤1上には磁気記録薄膜媒体5が
形成されている。記録媒体上にはその円周方向に沿って
同心円状あるいはスパイラル状にトラック2が設けられ
ており、トラック2の一周は多数のサーボ領域とデータ
領域とからなる。 これらサーボ領域とデータ領域は第2図(b)に示され
るように交互に設けられている。各サーボ領域にはトラ
ッキング用マークが設けられ、トラック2の中心線に対
して左右に振り分けられたディスク半径方向に長い一対
の長方形ピット3.4が形成されている。これらピット
3.4には磁気記録薄膜5はない。磁気記録薄膜5の初
期磁化の方向6はディスク円周方向、すなわちデータの
記録方向に一様に向いている。 第2図は、第1図に示した本発明による磁気記録媒体か
ら磁気ヘッドでトラッキング信号を検出する動作を説明
するための図で、第1図の磁気記録媒体をその円周方向
、すなわちデータの記録方向に沿っての断面図を示す。 ピット3.40部分は平坦で、その部分で磁気記録薄膜
5がない。こうすると、各ピットの両端壁にNとSの磁
極7.8が形成され、その結果各ピット3.4に磁界が
発生する。このようなピット3.4の部分を磁気ヘッド
10で走査し、ピット3.4の部分を通過する際に磁気
ヘッド10内に形成される磁束9をコイル12で検出す
ることによって、第3図に示す様なトラッキング信号1
1を得ることが出来る。 第4図および第5図を用いて、第1図に示した磁気記録
媒体の作成方法を説明する。第4図は、本発明の一実施
例で用いるホトマスクの記録装置を示す。この記録装置
はクロムホトマスク13上に紫外レーザ光で所望のピッ
トパターンを記録するものである。第4図において、ク
ロムホトマスク13は回転軸受けに固定されて回転する
ようになっている。一方、レーザ光たとえばアルゴンレ
ーザ(I11=0.45ミクロン)は、光変調器で強度
変調され、高NA(例えばNA=0.93)のレンズで
集光すると、回転マスク上に直径0.4ミクロン程度の
円形スポットが形成される。今、第1図に示したピット
3.4は、その寸法がディスク半径方向に長く、例えば
5ミクロンとすると、0.4ミクロンの円形スポットで
は第1図に示した縦長のピット3.4は作れない。第4
図(b)は縦長のピットを形成するための原理を示す。 第4図(a)において光学系は移動台に乗ってホトマス
ク13のディスク半径方向に直線移動するが、その移動
速度はホトマスク13が1回転する時間に光スポツト径
より小さい距離1例えばほぼ光スポットの半径に相当す
る量だけ動くようように制御するとよい。そうすると第
4図(b)に示す様に、ホトマスク13の所望の部分に
照射される光量の積分値は一様な矩形になる。いま光ス
ポツト径を0.4ミクロンとし、5ミクロンの縦長ピッ
トを形成するためには、光学系の移動量を0.2ミクロ
ン/回転とし、510.2=25、すなわちホトマスク
13が255回転てる間所望のタイミングで光を照射す
ればよい。 第4図の装置によって第1図に示したピッ1へパターン
が記録されたマスク13は現像され、本発明の一実施例
である第5図に示すプロセスで磁気記録媒体が作成され
る。第5図(a)では、アルミあるいはガラス等からな
るディスク基盤1上に強磁性膜5を形成し、その上にポ
ジレジスト14を塗布し、ホトマスク13を密着露光す
る。第5図(b)では、ポジレジスト14を露光後、ピ
ット部のレジストをTM、像により溶解する。第5図(
c)では9例えばイオンミリング法によりポジレジスト
14をマスクとしてピット部の強磁性膜5をエツチング
してピット部の磁性膜5を除去する。その後、第5図(
d)に示すようにプラズマアッシャや有機溶媒などでレ
ジストを除去する。 以上説明したように、第4図および第5図に示した磁気
記録媒体の作成方法によって、第1図に示したピット部
だけに磁性膜のない磁気記録媒体を作成することが出来
る。第4図および第5図に示した方法は、マスク13に
ピット以外の任意のパターンを形成することも可能で、
例えば直線溝を作っておけば、磁気記録媒体上に磁気薄
膜のない直線溝を形成することも可能である。 【発明の効果】 本発明によれば、磁気ヘッドを高精度にトラッキングす
ることことが可能で、かつ磁気的に検出可能なトラッキ
ング用ピットを有する磁気記録媒体を大量に作成するこ
とが出来る。
[Operation 1] According to the present invention, a desired pattern, for example, a tracking mark consisting of a pair of long pits in the disk radial direction distributed left and right with respect to the track center line, is periodically placed on the magnetic recording medium along the track. It is possible to form a large number of patterns on the surface and remove the magnetic thin film only in desired areas with high precision, and easily create a magnetic recording medium that is magnetically detectable and has areas where the magnetic film is locally removed. It is possible to do so. Furthermore, since the mask having the desired pattern can be used multiple times, magnetic recording media having the same pattern can be easily produced with high precision. Embodiment 1 FIG. 1 shows an embodiment of a magnetic recording medium according to the present invention, and shows a tracking mark provided on a recording track of this magnetic recording medium in an enlarged manner. The magnetic recording medium base 1 is made of glass, resin, or aluminum. A magnetic recording thin film medium 5 is formed on this medium base 1. Tracks 2 are provided concentrically or spirally along the circumferential direction of the recording medium, and one circumference of the track 2 consists of a large number of servo areas and data areas. These servo areas and data areas are provided alternately as shown in FIG. 2(b). Each servo area is provided with a tracking mark, and a pair of long rectangular pits 3.4 are formed in the disk radial direction, distributed left and right with respect to the center line of the track 2. There is no magnetic recording thin film 5 in these pits 3.4. The initial magnetization direction 6 of the magnetic recording thin film 5 is uniformly oriented in the disk circumferential direction, that is, in the data recording direction. FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of detecting a tracking signal by a magnetic head from the magnetic recording medium according to the present invention shown in FIG. 1. A cross-sectional view along the recording direction is shown. The pit 3.40 portion is flat, and there is no magnetic recording thin film 5 in that portion. In this way, N and S magnetic poles 7.8 are formed on both end walls of each pit, and as a result a magnetic field is generated in each pit 3.4. By scanning the pit 3.4 part with the magnetic head 10 and detecting the magnetic flux 9 formed in the magnetic head 10 with the coil 12 when passing through the pit 3.4 part, the magnetic flux 9 shown in FIG. Tracking signal 1 as shown in
You can get 1. A method for producing the magnetic recording medium shown in FIG. 1 will be explained using FIGS. 4 and 5. FIG. 4 shows a photomask recording apparatus used in one embodiment of the present invention. This recording device records a desired pit pattern on a chrome photomask 13 using ultraviolet laser light. In FIG. 4, a chrome photomask 13 is fixed to a rotation bearing and rotated. On the other hand, laser light, such as an argon laser (I11 = 0.45 microns), is intensity-modulated by an optical modulator, and when focused by a lens with a high NA (for example, NA = 0.93), it is projected onto a rotating mask with a diameter of 0.4 microns. A circular spot of micron size is formed. Now, the pit 3.4 shown in FIG. 1 has a long dimension in the disk radial direction, for example, 5 microns, so in a circular spot of 0.4 micron, the vertically long pit 3.4 shown in FIG. I can't make it. Fourth
Figure (b) shows the principle for forming vertically long pits. In FIG. 4(a), the optical system is moved linearly in the radial direction of the disk of the photomask 13 on a moving table, but the moving speed is such that the distance 1, which is smaller than the diameter of the light spot in the time it takes for the photomask 13 to rotate once, is approximately the same as the light spot. It is best to control it so that it moves by an amount corresponding to the radius of . Then, as shown in FIG. 4(b), the integral value of the amount of light irradiated onto a desired portion of the photomask 13 becomes a uniform rectangle. Now, in order to form a vertical pit of 5 microns with a light spot diameter of 0.4 microns, the amount of movement of the optical system is 0.2 microns/rotation, and 510.2=25, that is, the photomask 13 must rotate 255 times. Light may be irradiated at desired timing. The mask 13 with the pattern recorded on the pins 1 shown in FIG. 1 is developed by the apparatus shown in FIG. 4, and a magnetic recording medium is produced by the process shown in FIG. 5, which is an embodiment of the present invention. In FIG. 5(a), a ferromagnetic film 5 is formed on a disk substrate 1 made of aluminum or glass, a positive resist 14 is applied thereon, and a photomask 13 is used for contact exposure. In FIG. 5(b), after exposing the positive resist 14, the resist in the pit portions is dissolved by TM and the image. Figure 5 (
In c), for example, the ferromagnetic film 5 in the pit portions is etched using the positive resist 14 as a mask by ion milling to remove the magnetic film 5 in the pit portions. After that, see Figure 5 (
As shown in d), the resist is removed using a plasma asher or an organic solvent. As explained above, by the method of manufacturing a magnetic recording medium shown in FIGS. 4 and 5, it is possible to create a magnetic recording medium that does not have a magnetic film only in the pit portion shown in FIG. 1. The method shown in FIGS. 4 and 5 can also form any pattern other than pits on the mask 13,
For example, if a straight groove is formed in advance, it is also possible to form a straight groove without a magnetic thin film on a magnetic recording medium. Effects of the Invention According to the present invention, it is possible to produce a large number of magnetic recording media that can track a magnetic head with high precision and have magnetically detectable tracking pits.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明による磁気記録媒体の一例を示す図、第
2図及び第3図は第1図の磁気記録媒体から磁気ヘッド
でトラッキング信号を検出する動作を説明するための図
、第4図及び第5図は本発明による磁気記録媒体作成方
法の一実施例を説明するための図である。 第1図 第4図 ディスク半径方向 レーザ 第5図 篤2T2
FIG. 1 is a diagram showing an example of a magnetic recording medium according to the present invention, FIGS. 2 and 3 are diagrams for explaining the operation of detecting a tracking signal from the magnetic recording medium of FIG. 1 with a magnetic head, and FIG. 5 and 5 are diagrams for explaining an embodiment of the method for producing a magnetic recording medium according to the present invention. Figure 1 Figure 4 Disk radial laser Figure 5 Atsushi 2T2

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、所望のパターンを有するマスクを準備し、磁気薄膜
上に設けたレジストを上記マスクを介して露光し、上記
ピットに対応する上記レジストを除去し、そのレジスト
をマスクとして上記ピットに対応する上記磁気薄膜を除
去することにより、所望の部分に磁気薄膜がない磁気記
録媒体を作成することを特徴とする磁気記録媒体の作成
方法。 2、上記所望のパターンは、上記マスクに光スポットを
照射する光学系の送りピッチを上記光スポットの径より
小さくしてほぼ一様な光量を照射して形成されたパター
ンであることを特徴とする請求項1記載の作成方法。 3、上記所望のパターンは、トラック中心線に対して左
右に振り分けたディスク半径方向に長い一対のピットか
らなるトラッキング用マークをトラックに沿って周期的
に多数設けたパターンであることを特徴とする請求項1
または2に記載の作成方法。
[Claims] 1. Prepare a mask having a desired pattern, expose the resist provided on the magnetic thin film through the mask, remove the resist corresponding to the pits, and use the resist as a mask. A method for producing a magnetic recording medium, comprising: removing the magnetic thin film corresponding to the pit, thereby producing a magnetic recording medium that does not have a magnetic thin film in a desired portion. 2. The desired pattern is a pattern formed by irradiating the mask with a substantially uniform amount of light by making the feed pitch of an optical system smaller than the diameter of the light spot on the mask. The manufacturing method according to claim 1. 3. The desired pattern is characterized in that a large number of tracking marks, each consisting of a pair of long pits in the radial direction of the disk, distributed left and right with respect to the track center line, are periodically provided along the track. Claim 1
Or the creation method described in 2.
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