JPH0765358A - Magnetic recording medium and magnetic recorder - Google Patents

Magnetic recording medium and magnetic recorder

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Publication number
JPH0765358A
JPH0765358A JP21018593A JP21018593A JPH0765358A JP H0765358 A JPH0765358 A JP H0765358A JP 21018593 A JP21018593 A JP 21018593A JP 21018593 A JP21018593 A JP 21018593A JP H0765358 A JPH0765358 A JP H0765358A
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JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
recording medium
magnetic recording
film
pits
Prior art date
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Pending
Application number
JP21018593A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Seiji Yonezawa
成二 米澤
Tsuneyo Chiba
常世 千葉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP21018593A priority Critical patent/JPH0765358A/en
Publication of JPH0765358A publication Critical patent/JPH0765358A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B20/00Signal processing not specific to the method of recording or reproducing; Circuits therefor
    • G11B20/10Digital recording or reproducing
    • G11B20/12Formatting, e.g. arrangement of data block or words on the record carriers
    • G11B20/1217Formatting, e.g. arrangement of data block or words on the record carriers on discs
    • G11B2020/1259Formatting, e.g. arrangement of data block or words on the record carriers on discs with ROM/RAM areas

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable tracking control with high accuracy at a low cost by detecting tracking signals with a magnetic head floating on a magnetic recording medium from the local magnetic field formed in a servo pit part. CONSTITUTION:A magnetic disk 1 has a magnetic film with which magnetic recording and reproducing of information are possible. This disk has a second region (RAM region) 40 where a user is able to magnetically record and reproduce the information and a first region (ROM region) 39 preformed with the magnetically reproducible information. The RAM region 40 and the ROM region 39 are provided with concentrical or spiral tracks. Data are recorded and reproduced and/or reproduced along these tracks. The preform pits are formable by etching a Cr film in such a case and the easy formation thereof with high accuracy is possible and, therefore, the formation of the preformatted magnetic recording medium at a low cost in a large quantity is possible.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドをトラッキ
ング制御しながら、ディジタル情報を磁気的に記録再生
する磁気記録装置及びそれに用いる磁気記録媒体に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording apparatus for magnetically recording and reproducing digital information while controlling the tracking of a magnetic head, and a magnetic recording medium used therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術】ディジタル情報を磁気ヘッドで記録する
従来の磁気記録媒体においては、磁気記録媒体の偏心を
充分小さくし、トラック幅を充分広くし、さらに磁気記
録装置機構部の精度を高めて、磁気記録媒体と磁気ヘッ
ドの相対的位置誤差を小さくさせる方法をとっているた
め、トラッキング制御する必要はなかった。また、ディ
ジタル情報を記録する磁気記録媒体においては、ディス
ク基盤例えばアルミ基盤に磁性膜をスパッタリングし、
初期磁化させた後、サーボライターあるいは磁気記録装
置で1枚ずつ磁気ヘッドでイニシアライズさせている。
2. Description of the Related Art In a conventional magnetic recording medium in which digital information is recorded by a magnetic head, the eccentricity of the magnetic recording medium is made sufficiently small, the track width is made sufficiently wide, and the precision of the magnetic recording device mechanism is improved. Since the method of reducing the relative position error between the magnetic recording medium and the magnetic head is adopted, it is not necessary to perform tracking control. Further, in a magnetic recording medium for recording digital information, a magnetic film is sputtered on a disk substrate, for example, an aluminum substrate,
After the initial magnetization, a servo writer or a magnetic recording device is used to initialize one by one with a magnetic head.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】磁気記録媒体の記録ト
ラック幅をもっと狭くして高密度化を図るためには、磁
気記録媒体及び磁気記録装置の機構部の加工精度をもっ
と高くする必要があるが、それによって記録媒体(磁気
ディスク)の生産性は低下し、さらに磁気記録装置の機
構部に超精密さが要求され、安定性,価格などの点で、
磁気記録装置として非常に大がかりになってしまう。
In order to make the recording track width of the magnetic recording medium narrower to achieve higher density, it is necessary to further improve the processing accuracy of the magnetic recording medium and the mechanical portion of the magnetic recording apparatus. However, as a result, the productivity of the recording medium (magnetic disk) is lowered, and the mechanical section of the magnetic recording apparatus is required to have high precision.
It becomes a very large-scale magnetic recording device.

【0004】また、従来は、コンピュータ固有の固定し
た情報を磁気ディスク上にあらかじめレプリカ形成して
おくことは出来なかったので、パソコンソフトではあら
かじめフロッピーに記録されているソフトを購入して来
て、そのフロッピーから磁気ディスクに情報を移すとい
う繁雑な手間が必要であった。ソフトの規模が大きくな
ると、フロッピーの枚数は何十枚となり、それによって
装置の操作性が低下し、ユーザにとっては使いにくいも
のになってしまう。しかも、磁気ディスク媒体は、ディ
スク基盤例えばアルミ基盤に磁性膜をスパッタリング
し、初期磁化させた後、サーボライターあるいは磁気記
録装置で1枚ずつ磁気ヘッドでイニシアライズさせる必
要があり、記録情報を有する磁気ディスク媒体を大量に
複製することは困難であった。
In the past, fixed information peculiar to a computer could not be replica-formed in advance on a magnetic disk. Therefore, as personal computer software, software pre-recorded on a floppy disk was purchased. The complicated work of transferring the information from the floppy disk to the magnetic disk was necessary. As the scale of the software increases, the number of floppies increases to tens, which reduces the operability of the device and makes it difficult for the user to use. Moreover, in the magnetic disk medium, it is necessary to sputter a magnetic film on a disk substrate, for example, an aluminum substrate, to initially magnetize it, and then to initialize it by a magnetic head one by one with a servo writer or a magnetic recording device. It has been difficult to duplicate a large amount of disk media.

【0005】本発明の目的は、磁気記録媒体上に磁気的
に検出できるサーボピットをプリフォームすることによ
って磁気ヘッドの高精度なトラッキング制御を行ない、
信頼性の高い高密度記録を可能とする磁気記録装置を提
供することにある。
An object of the present invention is to perform highly accurate tracking control of a magnetic head by preforming servo pits that can be magnetically detected on a magnetic recording medium.
An object of the present invention is to provide a magnetic recording device that enables highly reliable high density recording.

【0006】本発明の他の目的は、磁気的に検出可能な
サーボピットやデータピットをプリフォームすることに
よって、磁気ヘッドの高精度なトラッキング制御を可能
にし、しかも容易に複製し得る磁気記録媒体を提供する
ことにある。
It is another object of the present invention to preform servo pits and data pits that can be detected magnetically, thereby enabling highly accurate tracking control of the magnetic head and easily duplicating the magnetic recording medium. To provide.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明では、記録磁性膜
とは磁気特性が異なってプリフォームされた磁気的に読
み取りうるサーボピットが設けてある磁気記録媒体を用
い、磁気ヘッドがこのサーボピットに発生する磁束分布
からトラッキング信号あるいは同期信号を磁気的に検出
し、磁気ヘッドの位置をサーボ制御して、情報を磁気的
に記録再生することを特徴とする。
According to the present invention, a magnetic recording medium provided with preformed magnetically readable servo pits having magnetic characteristics different from those of a recording magnetic film is used. It is characterized in that a tracking signal or a synchronizing signal is magnetically detected from the magnetic flux distribution generated in the magnetic field, and the position of the magnetic head is servo-controlled to magnetically record / reproduce information.

【0008】本発明の磁気記録媒体は、磁気記録媒体上
に磁気的に読み取り得る、蛇行したサーボピットあるい
はトラックアドレスピット,データピットがプリフォー
ムしてあり、そのピット部は局部的に記録磁性膜とは磁
気特性が異なり、例えば飽和磁化が小さくなっている磁
性膜構造をもった磁気記録媒体である。
In the magnetic recording medium of the present invention, meandering servo pits, track address pits, and data pits which can be magnetically read on the magnetic recording medium are preformed, and the pit portion is locally a recording magnetic film. Is a magnetic recording medium having a magnetic film structure having different magnetic characteristics, for example, a saturation magnetization reduced.

【0009】また、本発明の磁気記録媒体は、磁気的に
再生可能な情報があらかじめ設けられた第1の領域(R
OM領域)と、ユーザが情報を磁気的に記録再生できる
第2の領域(RAM領域)とを有することを特徴とす
る。第1の領域(ROM領域)の情報は、磁気的に再生
可能であるにもかかわらず複製可能であり、このROM
領域には、コンピュータ固有のソフトなど利用する装置
に特有の固定情報を記録しておくのが好適である。
In the magnetic recording medium of the present invention, magnetically reproducible information is provided in the first area (R) in advance.
OM area) and a second area (RAM area) in which a user can magnetically record and reproduce information. The information in the first area (ROM area) can be duplicated even though it can be magnetically reproduced.
It is preferable to record fixed information peculiar to the device to be used such as software peculiar to the computer in the area.

【0010】1つの特徴によれば、上記第1の領域(R
OM領域)と上記第2の領域(RAM領域)とが、角度
分割されて混在している。そして、上記第1の領域(R
OM領域)には、上記磁気的に再生可能な情報(ROM
情報)が記録磁性膜とは部分的に磁気特性が異なってプ
リフォームされている。また、上記第1の領域(ROM
領域)には、記録磁性膜とは部分的に磁気特性が異なっ
てプリフォームされた磁気的に再生可能なサーボマーク
がトラックに沿って周期的に多数設けられ、これらサー
ボマーク間に上記磁気的に再生可能な情報(ROM情
報)が設けられる。
According to one characteristic, the first region (R
The OM area) and the second area (RAM area) are angle-divided and mixed. Then, the first region (R
In the OM area, the magnetically reproducible information (ROM
Information) is preformed with a magnetic characteristic partially different from that of the recording magnetic film. In addition, the first area (ROM
In the area), a large number of magnetically reproducible servo marks preformed with magnetic characteristics partially different from those of the recording magnetic film are periodically provided along the track, and the magnetic marks are provided between the servo marks. Is provided with reproducible information (ROM information).

【0011】もう1つの特徴によれば、上記第2の領域
(RAM領域)にも、記録磁性膜とは部分的に磁気特性
が異なってプリフォームされた磁気的に再生可能なサー
ボマークがトラックに沿って周期的に多数設けられ、こ
れらサーボマーク間をユーザ情報記録領域とする。
According to another feature, in the second area (RAM area) as well, magnetically reproducible servo marks preformed with magnetic characteristics partially different from those of the recording magnetic film are tracked. A large number of them are periodically provided along with the space between these servo marks to be a user information recording area.

【0012】[0012]

【作用】本発明の磁気記録装置は、トラッキング信号を
検出するためのマークとして記録磁性膜とは部分的に磁
気特性が異なるサーボピットをプリフォームした磁気記
録媒体を用い、このサーボピット部に形成される局所的
磁界から、該磁気記録媒体上を浮上する磁気ヘッドで、
トラッキング信号を検出するので、磁気ヘッドのみで高
S/Nでトラッキング信号を検出でき、しかも小型であ
る。
The magnetic recording apparatus of the present invention uses a magnetic recording medium in which servo pits whose magnetic characteristics are partially different from those of the recording magnetic film are preformed as marks for detecting tracking signals, and are formed in the servo pits. A magnetic head that floats over the magnetic recording medium from a local magnetic field generated by
Since the tracking signal is detected, the tracking signal can be detected with a high S / N ratio only by the magnetic head, and the size is small.

【0013】本発明の記録媒体によれば、記録磁性膜と
は磁気特性が異なるサーボマーク(サーボピット)がプ
リフォームしてあり、これらプリフォームピットは磁気
的に検出可能であるにもかかわらず複製可能であり、本
発明の磁気記録媒体は同じものを大量に安価で作成でき
る。
According to the recording medium of the present invention, servo marks (servo pits) having different magnetic characteristics from those of the recording magnetic film are preformed, and these preformed pits can be magnetically detected. The magnetic recording medium of the present invention can be duplicated, and the same magnetic recording medium can be produced in large quantities at low cost.

【0014】また、本発明の磁気記録媒体によれば、磁
気的に再生可能な情報があらかじめ設けられた第1の領
域(ROM領域)と、ユーザが情報を磁気的に記録再生
できる第2の領域(RAM領域)とを有するので、この
第1の領域(ROM領域)にコンピュータ固有のソフト
など利用する装置に特有の固定情報を記録しておくこと
により、ソフトプログラム等をユーザがいちいちフロッ
ピーディスクから磁気記録媒体に磁気的にコピーする必
要がない。しかも、第1の領域(ROM領域)の情報は
磁気的に再生可能であるにもかかわらず複製可能であ
り、同じパターンを有する磁気記録媒体を精度良く大量
に作成できる。
Further, according to the magnetic recording medium of the present invention, the first area (ROM area) in which magnetically reproducible information is provided in advance and the second area in which the user can magnetically record and reproduce information are provided. Since it has an area (RAM area), by storing fixed information peculiar to a device to be used such as software peculiar to a computer in this first area (ROM area), a user can create a floppy disk for each software program. From the magnetic recording medium to the magnetic recording medium. In addition, the information in the first area (ROM area) can be duplicated even though it can be magnetically reproduced, and a large number of magnetic recording media having the same pattern can be accurately manufactured.

【0015】また、第1の領域(ROM領域)および第
2の領域(RAM領域)にサーボマークを、例えば同心
円あるいはスパイラル状のトラックに沿って周期的に多
数設けておくことにより、サーボマークに発生する磁束
分布を磁気ヘッドで磁気的に検出してトラッキング信号
を得、磁気ヘッドをサーボ位置制御しながら、第2の領
域(RAM領域)に情報を記録したり、あるいは第1の
領域(ROM領域)の情報を読み出したりすることがで
きる。
Further, by providing a large number of servo marks in the first area (ROM area) and the second area (RAM area) periodically along, for example, concentric circles or spiral tracks, the servo marks can be formed. The generated magnetic flux distribution is magnetically detected by the magnetic head to obtain a tracking signal, and information is recorded in the second area (RAM area) or the first area (ROM area) while controlling the servo position of the magnetic head. Information in the area) can be read out.

【0016】[0016]

【実施例】図1は、本発明の1実施例の磁気記録媒体を
示し、この磁気記録媒体の記録面に形成した記録トラッ
クに設けられたトラッキング用ピットおよびクロックピ
ットを示している。図1(a)において、磁気記録媒体
基盤1は、ガラス,樹脂、あるいはアルミからなり、図
1(b)に示すようにトラック2,2′に沿って周期的
に多数のトラッキングサーボ用ピット3,3′、4,
4′がイオンミリングあるいは反応性イオンエッチング
で作成される。このように、サーボマークとしては、ト
ラック2,2′の中心線に対して左右に振り分けた一対
のピット3,4(3′,4′)を用いる。トラッキング
サーボ用ピットは、図1(c)に示すように隣接トラッ
ク2,2′間で共用することもできる。また、図1
(d)に示すように、トラッキング用ピットは、円周方
向に見たとき、一部重複するように幅広く形成してもよ
い。なお、35,35′はトラック2,2′の中心線に
沿って設けられたクロックピットであり、これらクロッ
クピットもイオンミリングあるいは反応性イオンエッチ
ングでプリフォームされる。また、これらプリフォーム
ピット3,4,35,3′4′,35′は図1(e)に
示すように、トラック2,2′に対して傾いて設けても
よく、データもトラックに対して傾いた磁気ヘッドによ
って傾いて記録される。こうすることによりトラック
2,2′間のクロストークがなくなり、トラックピッチ
をより狭まくすることが可能になる。
FIG. 1 shows a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention, showing tracking pits and clock pits provided on recording tracks formed on the recording surface of this magnetic recording medium. In FIG. 1A, a magnetic recording medium substrate 1 is made of glass, resin, or aluminum, and as shown in FIG. 1B, a number of tracking servo pits 3 are periodically arranged along tracks 2 and 2 '. , 3 ', 4,
4'is created by ion milling or reactive ion etching. In this way, as the servo mark, a pair of pits 3 and 4 (3 ', 4') distributed to the left and right with respect to the center line of the tracks 2, 2'is used. The tracking servo pit can be shared between the adjacent tracks 2 and 2 ', as shown in FIG. 1 (c). Also, FIG.
As shown in (d), the tracking pits may be formed wide so as to partially overlap each other when viewed in the circumferential direction. Reference numerals 35 and 35 'are clock pits provided along the center lines of the tracks 2 and 2', and these clock pits are also preformed by ion milling or reactive ion etching. Further, these preform pits 3, 4, 35, 3'4 ', 35' may be provided so as to be inclined with respect to the tracks 2, 2 ', as shown in FIG. Recording is performed with a tilted magnetic head. By doing so, crosstalk between the tracks 2 and 2'is eliminated, and the track pitch can be narrowed.

【0017】図2(a)(b)は、本発明のサーボピッ
ト3,3′、4,4′あるいはクロックピット35,3
5′などのプリフォームピットをディスク円周方向、す
なわちデータ記録方向に沿って見た断面図を示す。
2A and 2B show servo pits 3, 3 ', 4, 4'or clock pits 35, 3 of the present invention.
5 shows a cross-sectional view of preform pits such as 5 ′ viewed along the disc circumferential direction, that is, the data recording direction.

【0018】図2(a)はプリフォームピット部を磁気
ヘッドが再生している図を示している。図中、5は基板
1上に形成された記録磁性膜を示している。
FIG. 2A shows a diagram in which the magnetic head reproduces the preform pit portion. In the figure, 5 indicates a recording magnetic film formed on the substrate 1.

【0019】図2(b)はプリフォームピット部3付近
の磁性膜構造を示している。プリフォームピット部3以
外の磁性膜の構造は、アルミニウム(Al)あるいはガ
ラス基板1上に下地膜として例えば300から500n
m厚さのCr膜32がスパッタ法で形成され、その上に
例えばCoNiZr等の強磁性膜33が50nmから70
nm厚、さらにその上にC等の保護膜34がスパッタ法
で形成されている。
FIG. 2B shows the magnetic film structure near the preform pit portion 3. The structure of the magnetic film other than the preform pit portion 3 is, for example, 300 to 500 n as a base film on the aluminum (Al) or glass substrate 1.
A Cr film 32 having a thickness of m is formed by a sputtering method, and a ferromagnetic film 33 such as CoNiZr is formed on the Cr film 32 from 50 nm to 70 nm.
nm, and a protective film 34 of C or the like is further formed thereon by the sputtering method.

【0020】プリフォームピット部ではCr下地膜32
が部分的に除かれており、強磁性膜33および保護膜3
4のみが形成されている。膜形成後、この磁気記録媒体
は回転させながら、マグネットで全面一様に初期磁化さ
れる。磁化の方向6はディスク円周方向、すなわちデー
タ記録方向と一致する。
In the preform pit portion, the Cr base film 32 is formed.
Are partially removed, and the ferromagnetic film 33 and the protective film 3 are removed.
Only 4 are formed. After the film formation, the magnetic recording medium is initially magnetized uniformly by the magnet while rotating. The magnetization direction 6 coincides with the disk circumferential direction, that is, the data recording direction.

【0021】Cr下地膜32は強磁性膜33の飽和磁化
Msを大きくする効果をもっている。プリフォームピッ
ト部ではCr下地膜32がないため、その場所での飽和
磁化は小さくなっている。記録磁性膜5は初期磁化によ
って一方向6に磁化させておくと、プリフォームピット
から離れた場所では、漏れ磁界はない。しかし、サーボ
ピット3,3′、4,4′等のプリフォームピット部で
はその部分での飽和磁化が他の部分より小さくなってい
るために、プリフォームピットの両壁7,8にプラスと
マイナナスの磁極が形成され、その結果プリフォームピ
ット部に磁界が発生する。この磁界の強さは、プリフォ
ームピットの中心で一番大きく左右対称で中心からはず
れるにつれて小さくなる。このようにプリフォームピッ
ト部3,3′、4,4′で形成される磁束9を磁気ヘッ
ド10で検出することによってトラッキング信号を得る
ことが出来る。
The Cr underlayer 32 has the effect of increasing the saturation magnetization Ms of the ferromagnetic film 33. Since there is no Cr underlayer 32 in the preform pit portion, the saturation magnetization at that location is small. When the recording magnetic film 5 is magnetized in one direction 6 by the initial magnetization, there is no leakage magnetic field at a place apart from the preform pit. However, in the preform pit portions such as the servo pits 3, 3 ', 4, 4', the saturation magnetization in that portion is smaller than that in the other portions, so that both walls 7, 8 of the preform pit are positive. A negative magnetic pole is formed, and as a result, a magnetic field is generated in the preform pit portion. The strength of this magnetic field is the largest at the center of the preform pit and symmetrical, and becomes smaller as it deviates from the center. In this way, the magnetic head 10 detects the magnetic flux 9 formed by the preform pit portions 3, 3 ′, 4, 4 ′, whereby a tracking signal can be obtained.

【0022】図3は、磁気ヘッド10がプリフォームピ
ット部をデータ記録方向と直角の方向に走行した場合の
磁気コイル12を通る磁束11を表わしたものである。
この磁束11は磁気ヘッド10のデータ記録方向に直角
方向の寸法をプリフォームピットのデータ記録方向と直
角方向の幅とほぼ同じにすると大きくなり、望ましい出
力信号が得られる。図3において、磁束11はピットの
中心に対称であり、これからはトラックズレの大きさは
わかるが、トラックズレの方向は検出できない。
FIG. 3 shows the magnetic flux 11 passing through the magnetic coil 12 when the magnetic head 10 travels in the preform pit portion in the direction perpendicular to the data recording direction.
This magnetic flux 11 becomes large when the dimension of the magnetic head 10 in the direction perpendicular to the data recording direction is made substantially the same as the width of the preform pit in the direction perpendicular to the data recording direction, and a desired output signal is obtained. In FIG. 3, the magnetic flux 11 is symmetrical with respect to the center of the pit, and although the magnitude of the track deviation can be known from this, the direction of the track deviation cannot be detected.

【0023】図4は本発明の一実施例の記録媒体を示
し、トラックズレの大きさと方向を検出するため、サー
ボマークとして、磁気記録媒体上のトラック中心に対し
て蛇行した一対のサーボピット3,4が形成されてい
る。図4は、1個の磁気ヘッド10でデータの記録再生
及びトラッキング信号の検出の両方をできる場合を示
す。トラックは、トラッキング信号や周期信号を検出す
るサーボ領域とデータを記録するデータ領域とに分離さ
れており、トラックに沿って周期的に多数設けられてい
る。これらサーボ領域とデータ領域は、トラックの中心
線に沿って走査する1個の磁気ヘッドで時分割に検出さ
れる。図中、35で示したピットはクロックおよびアク
セスマークに関するプリフォームピットであり、図2
(b)のサーボピット3と同様の磁性膜構造で基板1上
にプリフォームされている。36はトラック間に形成さ
れた溝であり、トラック間のデータ読み出しにおけるク
ロストークを低減させるためのものである。この溝36
もサーボピット3,4と同様の構造でプリフォームされ
ている。37は磁気ヘッドによってデータ領域に磁気的
に記録されたデータを示している。サーボ領域内のプリ
フォームピットは上述したように記録磁性膜とは局部的
に磁気特性の異なる、例えば下地膜をエッチング除去し
てプリフォームされており、これらサーボ領域に発生す
る磁束分布を磁気ヘッドで磁気的にサンプル検出してト
ラッキング信号を得、そのトラッキング信号に基づいて
磁気ヘッドをサーボ位置制御しながら、サーボ領域間の
ユーザ情報記録領域(データ領域)に所望のRAMデー
タ(例えばコードデータ)37をトラックは再生する。
磁性膜は面内記録用の磁気薄膜であり、RAMデータ3
7は磁気ヘッドで磁気的に面内記録,再生される。
FIG. 4 shows a recording medium according to an embodiment of the present invention. In order to detect the size and direction of the track deviation, a pair of servo pits 3 meandering with respect to the track center on the magnetic recording medium are used as servo marks. , 4 are formed. FIG. 4 shows a case where one magnetic head 10 can both record and reproduce data and detect a tracking signal. The track is divided into a servo area for detecting a tracking signal and a periodic signal and a data area for recording data, and a large number of tracks are provided periodically along the track. These servo area and data area are detected in a time division manner by one magnetic head that scans along the center line of the track. In the figure, the pit indicated by 35 is a preformed pit related to the clock and the access mark.
A magnetic film structure similar to that of the servo pit 3 in (b) is preformed on the substrate 1. Reference numeral 36 is a groove formed between the tracks to reduce crosstalk in reading data between the tracks. This groove 36
Is also preformed with the same structure as the servo pits 3 and 4. Reference numeral 37 indicates data magnetically recorded in the data area by the magnetic head. As described above, the preformed pits in the servo area are preformed by locally removing the magnetic characteristics different from those of the recording magnetic film, for example, by removing the underlayer film by etching, and the magnetic flux distribution generated in these servo areas is determined by the magnetic head. The sample is magnetically detected by the servo amplifier to obtain a tracking signal, and the magnetic head is servo-controlled based on the tracking signal, and desired RAM data (for example, code data) is stored in the user information recording area (data area) between the servo areas. 37 plays the track.
The magnetic film is a magnetic thin film for in-plane recording, and RAM data 3
A magnetic head 7 magnetically records and reproduces in-plane.

【0024】図5は本発明の1実施例である図2(b)
に示したピット部にCr下地膜のない磁気媒体の作成方
法を示す。図5において、たとえば、クロムホトマスク
上に紫外レーザ光で、磁気記録媒体1にあらかじめ設け
るべき情報のパターン、すなわちサーボ領域にあらかじ
め設けられる磁気的に再生可能なサーボピット3,4や
クロックピット35等のプリフォームピットや後述する
ROMデータからなるパターンを記録させ、その後現像
し、露光部のレジストを溶解したあと、金属膜をエッチ
ングさせると、図1及び図4に示したサーボピットやク
ロックピット等のプリフォームピットの列からなるパタ
ーンが記録されたクロムマスク21が得られる。図5
(a)ではアルミ,ガラスディスク基盤1上にCr薄膜
32をスパッタ形成した後、ポジレジスト22を塗布
し、このCr膜とホトレジストが形成されたディスク基
盤1に、金属マスク21を密着して露光する。図5
(b)では、ポジレジスト22は露光後、ピット部のレ
ジストは現像により溶解してしまうが、それ以外のレジ
ストは残る。図5(c)ではたとえば、反応性イオンエ
ッチング法でエッチングして、レジストがないピット部
のCr薄膜32を除去する。図5(d)では、たとえ
ば、有機溶媒でディスク上の未露光部のレジスト22を
除去する。(e)ではCr薄膜32のパターンの上にC
oNiZr等の強磁性膜33および保護膜34を一様にス
パッタ法で形成する。
FIG. 5 is an embodiment of the present invention shown in FIG. 2 (b).
A method of producing a magnetic medium having no Cr underlayer in the pit portion shown in FIG. In FIG. 5, for example, a pattern of information to be provided in advance on the magnetic recording medium 1 with ultraviolet laser light on a chrome photomask, that is, magnetically reproducible servo pits 3, 4 and clock pits 35 provided in advance in the servo area, etc. Pattern of the preform pits and ROM data to be described later is recorded, then developed, the resist in the exposed area is dissolved, and the metal film is etched, the servo pits and clock pits shown in FIGS. As a result, the chrome mask 21 on which the pattern consisting of the rows of preform pits is recorded is obtained. Figure 5
In (a), a Cr thin film 32 is sputtered on an aluminum or glass disk substrate 1, a positive resist 22 is applied, and a metal mask 21 is brought into close contact with the disk substrate 1 on which the Cr film and the photoresist are formed to expose it. To do. Figure 5
In (b), after the positive resist 22 is exposed, the resist in the pit portion is dissolved by the development, but the other resist remains. In FIG. 5C, for example, the Cr thin film 32 in the pit portion where there is no resist is removed by etching by the reactive ion etching method. In FIG. 5D, the resist 22 in the unexposed portion on the disc is removed with an organic solvent, for example. In (e), C is formed on the pattern of the Cr thin film 32.
The ferromagnetic film 33 such as NiZr and the protective film 34 are uniformly formed by the sputtering method.

【0025】以上説明したように、図5に示す磁気媒体
の作成方法によって、図2(b)に示したプリフォーム
ピット部だけにCr下地膜32のない磁気記録媒体を作
成することができる。図5の方法は、マスク21にピッ
ト以外の任意のパターンを形成することも可能で、例え
ば直線溝を作っておけば磁気記録媒体上には記録磁性膜
とは磁気特性の異なる直線溝をプリフォームすることが
可能である。
As described above, the magnetic recording medium shown in FIG. 5 can be used to form the magnetic recording medium having no Cr underlayer 32 only in the preform pit portion shown in FIG. 2B. The method of FIG. 5 can also form any pattern other than pits on the mask 21. For example, if a linear groove is formed, a linear groove having a magnetic characteristic different from that of the recording magnetic film is formed on the magnetic recording medium. It is possible to remodel.

【0026】以上の説明においては、図4に示したよう
にデータ領域は磁気ヘッドで自由に記録,消去できる磁
気記録媒体の場合を想定していた。ここでは、この機能
をもったディスクを、RAM機能をもったディスクと名
付ける。しかし、さらに拡張したディスクの使用法とし
て、図6に示したようにRAM機能を持った領域40
と、ROM、すなわち読み出し専用領域39とが混在し
たディスクの形態が考えられる。このような構成にして
おくと、再生専用の情報と書き換え可能な情報とが短い
時間で同時にアクセスすることができるようになる利点
がある。
In the above description, as shown in FIG. 4, it is assumed that the data area is a magnetic recording medium which can be freely recorded and erased by the magnetic head. Here, a disk having this function is named a disk having a RAM function. However, as a usage of the further expanded disk, the area 40 having the RAM function as shown in FIG. 6 is used.
And a ROM, that is, a disk form in which the read-only area 39 is mixed. With such a configuration, there is an advantage that the reproduction-only information and the rewritable information can be simultaneously accessed in a short time.

【0027】すなわち、磁気ディスク1は、情報を磁気
的に記録再生可能な磁性膜を有し、ユーザが情報を磁気
的に記録再生できる第2の領域(RAM領域)40と磁
気的に再生可能な情報がプリフォームされた第1の領域
(ROM領域)39とを有する。図6では、RAM領域
40が外周側に、ROM領域39が内周側に設けられて
いる。図7では、RAM領域40が外周側に、ROM領
域39が内周側に設けられているとともに、ROM領域
39がRAM領域40内に角度分割されて混在してい
る。RAM領域40及びROM領域39には、同心円又
はスパイラル状のトラックが設けられており、このトラ
ックに沿ってデータが記録再生及び/又は再生される。
That is, the magnetic disk 1 has a magnetic film capable of magnetically recording and reproducing information, and can be magnetically reproduced with the second area (RAM area) 40 where the user can magnetically record and reproduce information. And a first area (ROM area) 39 on which various information is preformed. In FIG. 6, the RAM area 40 is provided on the outer peripheral side and the ROM area 39 is provided on the inner peripheral side. In FIG. 7, the RAM area 40 is provided on the outer peripheral side and the ROM area 39 is provided on the inner peripheral side, and the ROM areas 39 are angularly divided and mixed in the RAM area 40. The RAM area 40 and the ROM area 39 are provided with concentric or spiral tracks, and data is recorded / reproduced and / or reproduced along these tracks.

【0028】図8は上記ROM領域39内のデータ記録
トラックを示している。図8において、データトラック
は、トラックに沿って周期的に多数設けたサーボ領域
と、これらサーボ領域間のユーザ情報が記録されるデー
タ領域との組み合わせで構成されている。
FIG. 8 shows data recording tracks in the ROM area 39. In FIG. 8, a data track is composed of a combination of a plurality of servo areas periodically provided along the track and a data area in which user information between the servo areas is recorded.

【0029】サーボ領域のプリフォームピット3,4,
35およびデータ領域のトラック間の溝36について
は、図4に示したものと同様である。データ領域のピッ
ト38は、ROM39領域ではサーボ領域におけるプリ
フォームピット3,4,35と同様の方法でディスク基
板に作り付けられている。
Preform pits 3, 4, in the servo area
The groove 35 between the tracks 35 and the tracks in the data area is the same as that shown in FIG. The pits 38 in the data area are formed on the disk substrate in the same manner as the preform pits 3, 4, 35 in the servo area in the ROM 39 area.

【0030】このようにROM領域39では、サーボ領
域のピット及びデータ領域のROMデータ38は共に、
上述したように下地膜を局部的にエッチング除去して形
成されている。これらサーボ領域に発生する磁束分布を
磁気ヘッドで磁気的にサンプル検出してトラッキング信
号を得、そのトラッキング信号に基づいて磁気ヘッドを
サーボ位置制御しながら、サーボ領域間のデータ領域内
のROMデータ38をトラックの中心線に沿って再生す
る。
As described above, in the ROM area 39, the pits in the servo area and the ROM data 38 in the data area are both
As described above, the base film is locally removed by etching. A magnetic head magnetically samples and detects a magnetic flux distribution generated in these servo areas to obtain a tracking signal, and while controlling the servo position of the magnetic head based on the tracking signal, the ROM data 38 in the data area between the servo areas Play along the centerline of the track.

【0031】ROMデータ38は磁気ヘッドで再生され
るのみで、磁気ヘッドでは記録されない。
The ROM data 38 is only reproduced by the magnetic head and is not recorded by the magnetic head.

【0032】本実施例によれば、磁気記録媒体にROM
情報を安価にレプリカで複製記録できるばかりでなく、
ROM情報とRAM情報が混在しているため、パソコン
などの装置において用いる場合、ソフトプログラム等を
あらかじめROM情報として磁気記録媒体に形成してお
けるので、フロッピーを使って磁気記録媒体にソフトを
コピーする手間が省ける。
According to this embodiment, the ROM is used as the magnetic recording medium.
Not only can information be recorded in replicas at low cost,
Since ROM information and RAM information are mixed, when used in a device such as a personal computer, a software program or the like can be preliminarily formed in the magnetic recording medium as ROM information. Therefore, a floppy is used to copy the software to the magnetic recording medium. You can save time.

【0033】また、第1の領域(ROM領域)および第
2の領域(RAM領域)にサーボマークをあらかじめ周
期的に多数設けておくことにより、サーボマークに発生
する磁束分布を磁気ヘッドで磁気的に検出してサーボ位
置制御しながら、第2の領域(RAM領域)に情報を記
録再生したり、あるいは第1の領域(ROM領域)の情
報を読み出したりすることができる。
Further, by providing a large number of servo marks in advance in the first area (ROM area) and the second area (RAM area), the magnetic flux distribution generated in the servo marks is magnetically generated by the magnetic head. The information can be recorded / reproduced in the second area (RAM area) or the information in the first area (ROM area) can be read while detecting the servo position and controlling the servo position.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッドを高精度に
トラッキングすることにより、高密度記録が達成され
る。またプリフォームピットはCr膜をエッチングする
ことで形成でき、高精度かつ容易にできるので、プリフ
ォーマット付の磁気記録媒体を大量に安価に作成するこ
とが出来る。
According to the present invention, high-density recording is achieved by tracking the magnetic head with high accuracy. Further, since the preform pits can be formed by etching the Cr film and can be performed with high accuracy and easily, a large amount of preformatted magnetic recording media can be produced at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の磁気記録媒体の1実施例を示す図。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a magnetic recording medium of the present invention.

【図2】本発明で用いる磁気信号再生の動作原理を説明
する図。
FIG. 2 is a diagram for explaining the operation principle of magnetic signal reproduction used in the present invention.

【図3】本発明で用いる磁気信号再生の動作原理を説明
する図。
FIG. 3 is a diagram for explaining the operation principle of magnetic signal reproduction used in the present invention.

【図4】データ記録トラックを示す図。FIG. 4 is a diagram showing a data recording track.

【図5】本発明による磁気記録媒体製造方法の一実施例
を説明するための図。
FIG. 5 is a diagram for explaining an embodiment of a magnetic recording medium manufacturing method according to the present invention.

【図6】それぞれ本発明の磁気記録媒体の一実施例を示
す図。
FIG. 6 is a diagram showing an example of a magnetic recording medium of the present invention.

【図7】それぞれ本発明の磁気記録媒体の一実施例を示
す図。
FIG. 7 is a diagram showing an example of a magnetic recording medium of the present invention.

【図8】ROM領域内のデータ再生専用トラックを示す
図である。
FIG. 8 is a diagram showing a data reproduction-only track in a ROM area.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】磁気的に読み取りうる情報が記録される強
磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、上記磁性
膜とは磁気特性が異なりプリフォームされたサーボピッ
トあるいはデータピットの列あるいは直線溝がトラック
方向に設けられた磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium having a ferromagnetic magnetic film on which magnetically readable information is recorded, wherein the magnetic property is different from that of the magnetic film, and a series of preformed servo pits or data pits or A magnetic recording medium in which linear grooves are provided in the track direction.
【請求項2】上記記録媒体上の上記サーボピットがデー
タ記録方向と直角の方向あるいは一定角度を保った方向
にウォブリングしていることを特徴とする請求項1記載
の磁気記録媒体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the servo pits on the recording medium are wobbled in a direction perpendicular to the data recording direction or in a direction maintaining a constant angle.
【請求項3】上記磁性膜は強磁性の磁性膜と非強磁性の
下地膜で形成されており、上記プリフォームされたサー
ボピットあるいはデータピットは上記非強磁性の下地膜
が除かれて形成されていることを特徴とする請求項1又
は2記載の磁気記録媒体。
3. The magnetic film is formed of a ferromagnetic magnetic film and a non-ferromagnetic underlayer film, and the preformed servo pits or data pits are formed by removing the non-ferromagnetic underlayer film. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is a magnetic recording medium.
【請求項4】上記プリフォームされたサーボピットある
いはデータピットは、上記非強磁性の下地膜がないこと
により、その部分での強磁性膜の飽和磁化が小さくなっ
ていることを特徴とする請求項3記載の磁気記録媒体。
4. The preformed servo pits or data pits are characterized in that the non-ferromagnetic underlayer film is not present, so that the saturation magnetization of the ferromagnetic film is small in that part. Item 3. The magnetic recording medium according to item 3.
【請求項5】上記下地膜としてCrを用いることを特徴
とする請求項3または4記載の磁気記録媒体。
5. The magnetic recording medium according to claim 3, wherein Cr is used as the underlayer film.
【請求項6】請求項1から5のいずれかに記載の磁気記
録媒体から上記プリフォームされたサーボピットに発生
する磁界を磁気ヘッドで検出することによりトラッキン
グ信号を検出し、上記トラッキング信号により上記磁気
記録媒体に上記磁気ヘッドの位置を制御しながら情報を
磁気的に記録再生することを特徴とする磁気記録装置。
6. A tracking signal is detected by detecting a magnetic field generated in the preformed servo pit from the magnetic recording medium according to claim 1 by a magnetic head, and the tracking signal is detected by the tracking signal. A magnetic recording device for magnetically recording and reproducing information on a magnetic recording medium while controlling the position of the magnetic head.
【請求項7】上記ピットのデータ記録方向と直角の方向
の幅が上記磁気ヘッドのトラックに直交する方向の幅と
同程度であることを特徴とする請求項6記載の磁気記録
装置。
7. The magnetic recording apparatus according to claim 6, wherein the width of the pit in the direction perpendicular to the data recording direction is about the same as the width of the magnetic head in the direction orthogonal to the track.
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