JP2796574B2 - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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文也 近江
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高感度、高密度化された光磁気記録媒体に
関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a high-sensitivity, high-density magneto-optical recording medium.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

光磁気記録媒体は垂直磁気記録と磁気光学効果(カー
効果、ファラデー効果等)を利用するもので、従来の光
磁気記録媒体と同様にレーザー光を用いて情報の記録、
再生を行うため記録容量が大きく、その上書き換え可能
である。さらにヘッドと媒体が非接触で記録再生を行う
ことができ、塵埃の影響を受けないため安定性にも優れ
ている。この光磁気記録媒体は、現在盛んに研究されて
おり、文書情報ファイル、ビデオ・静止画ファイル、コ
ンピュータ用メモリ等への利用あるいはフロッピーディ
スク、ハードディスクの代替が期待され、一部では商品
化の段階に至っている。
A magneto-optical recording medium utilizes perpendicular magnetic recording and a magneto-optical effect (Kerr effect, Faraday effect, etc.), and uses a laser beam to record information,
Since reproduction is performed, the recording capacity is large and rewritable. Further, recording and reproduction can be performed without contact between the head and the medium, and the recording medium is not affected by dust, so that the stability is excellent. This magneto-optical recording medium is currently being actively studied, and is expected to be used for document information files, video / still image files, memory for computers, or to replace floppy disks and hard disks. Has been reached.

このような光磁気記録媒体の記録層として、遷移金属
(Fe、Co)と希土類金属(Tb、Dy、Gd、Ho、Er等)とを
組合せた非晶質(アモルファス)磁性合金膜が種々提案
されている。遷移金属と希土類金属とをそれぞれ1種以
上組み合せ、スパッタ法や蒸着法で基板上に作製した磁
性合金膜は、補償組成付近で非晶質の垂直磁化膜(膜面
と垂直な方向に磁化容易軸を有する磁化膜)となり、光
磁気記録媒体に応用する事が可能となる。
Various amorphous magnetic alloy films combining transition metals (Fe, Co) and rare earth metals (Tb, Dy, Gd, Ho, Er, etc.) have been proposed for the recording layer of such a magneto-optical recording medium. Have been. A magnetic alloy film formed on a substrate by sputtering or vapor deposition by combining one or more transition metals and rare earth metals, respectively, is an amorphous perpendicular magnetization film (easy magnetization in the direction perpendicular to the film surface) near the compensation composition. (A magnetic film having an axis), and can be applied to a magneto-optical recording medium.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

一方、情報処理の高速化、ハードディスク等の代替の
見地からすると、光磁気記録媒体においては、記録のよ
り高速、高密度化を図ることが非常に重要な課題となっ
ている。この記録の高速、高密度化のためには記録レー
ザーパワーが小さくてすみ、しかも記録ビットの長さが
短く、その形状がシャープであることが必要とされる。
記録ビット長が長いと高密度化の妨げになるし、記録ビ
ット形状が乱れているとノイズが大きくなり再生C/Nの
劣化を招いてしまう。光磁気記録媒体は熱磁気記録を利
用したものであり、かつ、記録材の酸化劣化しやすいこ
と等の理由により多層構成を採用している関係上、各層
を構成する材料の熱伝導率は記録ビットの長さ、形状に
大きくかかわってくる。しかしながら、従来の光磁気記
録媒体においては、熱伝導率を含めて個々の層の特性を
改良する検討、提案がなされている(例えば、特開昭62
−226449号、同56−74844号公報等)にすぎなかった。
実際には、光磁気記録媒体は多層構造をなし、それぞれ
の構成要素が相補的に関連しており、各層単独の検討で
は、充分満足のいく特性が得られていないのが現状であ
る。
On the other hand, from the viewpoint of speeding up information processing and alternatives such as a hard disk, it is very important to achieve higher speed and higher density of recording in a magneto-optical recording medium. For high-speed and high-density recording, the recording laser power needs to be small, and the recording bit length must be short and the shape must be sharp.
If the recording bit length is long, it will hinder high density, and if the recording bit shape is disturbed, noise will increase and the reproduction C / N will deteriorate. The magneto-optical recording medium uses thermo-magnetic recording, and the recording material has a multilayer structure because it is easily oxidized and deteriorated. It greatly depends on the bit length and shape. However, in the conventional magneto-optical recording medium, studies and proposals have been made to improve the characteristics of individual layers including thermal conductivity (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-62).
-226449, 56-74844, etc.).
Actually, the magneto-optical recording medium has a multilayer structure, and the respective components are complementarily related to each other. At present, sufficiently satisfactory characteristics have not been obtained by examining each layer alone.

本発明は、このような従来技術の実情に鑑み、記録感
度が良く、高速、高密度化された光磁気記録媒体を提供
することを目的とする。
An object of the present invention is to provide a high-speed, high-density magneto-optical recording medium having good recording sensitivity in view of the situation of the related art.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上記目的を達成するため、本発明によれば、透明基板
上に第1誘電体層を介して非晶質の希土類金属−遷移金
属合金薄膜からなる記録層を設け、さらにその上に第2
誘電体層及び熱吸収層を順次設けた構成を有し、前記第
1誘電体層及び前記第2誘電体層が熱伝導率0.03cal・c
m/s・cm2・℃(室温)以下の材料からなるとともに、前
記記録層及び前記熱吸収層が0.20cal・cm/s・cm2・℃
(室温)以下の材料からなることを特徴とする光磁気記
録媒体が提供される。
To achieve the above object, according to the present invention, a recording layer composed of an amorphous rare earth metal-transition metal alloy thin film is provided on a transparent substrate via a first dielectric layer, and a second dielectric layer is further formed thereon.
It has a configuration in which a dielectric layer and a heat absorbing layer are sequentially provided, and the first dielectric layer and the second dielectric layer have a thermal conductivity of 0.03 cal · c.
m / s · cm 2 · ° C. (room temperature) or less, and the recording layer and the heat absorbing layer are 0.20 cal · cm / s · cm 2 · ° C.
(Room temperature) A magneto-optical recording medium comprising the following material is provided.

以下本発明を図面を参照しながら更に詳述する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

第1図は本発明による光磁気記録媒体の層構成例を示
す断面図であり、図中1は透明基板を示し、該基板1上
に第1誘電体層(エンハンス層)2、記録層3、第2誘
電体層(断熱層)4、熱吸収層(ヒートシンク層)5が
順次積層された構成となっている。そして必要に応じて
有機保護層又は接合層6が形成される。
FIG. 1 is a sectional view showing an example of a layer structure of a magneto-optical recording medium according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a transparent substrate, on which a first dielectric layer (enhancement layer) 2, a recording layer 3 , A second dielectric layer (heat insulating layer) 4 and a heat absorbing layer (heat sink layer) 5 are sequentially laminated. Then, an organic protective layer or a bonding layer 6 is formed as necessary.

先ず、基板1の材料としてはポリカーボネート、メチ
ルメタクリレート、ポリオレフィン、エポキシ樹脂等の
光学的に透明なプラスチック、あるいはガラス等が使用
される。基板1にはあらかじめガイドトラック、プリフ
ォーマットを形成してもよい。また、基板1のレーザー
光入射面をH2O、O2の侵入防止のために誘電層、疎水
性、耐ガス性層(例えばフッ素樹脂層)等で被覆しても
よい。
First, as a material for the substrate 1, an optically transparent plastic such as polycarbonate, methyl methacrylate, polyolefin, epoxy resin, or glass is used. A guide track and a preformat may be formed on the substrate 1 in advance. Further, the laser light incident surface of the substrate 1 may be covered with a dielectric layer, a hydrophobic layer, a gas-resistant layer (for example, a fluororesin layer) or the like to prevent H 2 O and O 2 from entering.

第1誘導体層2は基板外部からH2O、O2が侵入して記
録層3の磁気特性が劣化するのを防止するとともに、光
の多重反射により磁気光学効果(カー回転角θ)をエ
ンハンスメントする役割を行う。このため、第1誘電体
層2に用いられる材料は屈折率nが2.0以上、室温にお
ける熱伝導率が0.03cal・cm/cm2・s・℃以下のもが使
用される。第1誘電体層2の熱伝導率が0.03cal・cm/s
・cm2より大きくなると熱伝導による熱損失が大きくな
り、好ましくない。第1誘電体層には、SiNX、ZrTX、Si
ZrNX、CrN、SmN、NdN、V2N、TaN、SbN、BN、HfN、TiN、
GeN等の窒化物の1種又は2種以上複合したものが使用
され、スパッタ法、蒸着法、イオンプレーティング法等
により800〜1300Åの膜厚に形成される。
The first dielectric layer 2 prevents the magnetic properties of the recording layer 3 from deteriorating due to the intrusion of H 2 O and O 2 from the outside of the substrate, and the magneto-optical effect (Kerr rotation angle θ K ) by multiple reflection of light. Plays a role of enhancement. For this reason, the material used for the first dielectric layer 2 has a refractive index n of 2.0 or more and a thermal conductivity at room temperature of 0.03 cal · cm / cm 2 · s · ° C. or less. The thermal conductivity of the first dielectric layer 2 is 0.03 cal · cm / s
-If it is larger than cm 2 , heat loss due to heat conduction increases, which is not preferable. The first dielectric layer, SiN X, ZrT X, Si
ZrN X , CrN, SmN, NdN, V 2 N, TaN, SbN, BN, HfN, TiN,
One or a combination of two or more of nitrides such as GeN is used, and is formed to a thickness of 800 to 1300 ° by a sputtering method, a vapor deposition method, an ion plating method, or the like.

記録層3には、非晶質のTbDyFeCoあるいはGdDyFoCoが
好ましく使用され、その補償温度Tcompは室温より高
く、室温での熱伝導率は0.20cal・cm/cm2・s・℃以下
のものが望ましい。記録層3の熱伝導率が0.20cal・cm/
cm2・s・℃より大きいと記録マーク(ビット)が大き
くなる。記録層3はスパッタ法、蒸着法等の成膜法によ
り200〜700Åの厚さに形成される。
For the recording layer 3, amorphous TbDyFeCo or GdDyFoCo is preferably used, and its compensation temperature Tcomp is higher than room temperature, and the thermal conductivity at room temperature is preferably 0.20 cal · cm / cm 2 · s · ° C. or less. . The thermal conductivity of the recording layer 3 is 0.20 cal · cm /
If it is larger than cm 2 · s · ° C., the recording mark (bit) becomes large. The recording layer 3 is formed to a thickness of 200 to 700 ° by a film forming method such as a sputtering method and a vapor deposition method.

第2誘電体層4は記録時にレーザー照射により記録層
3に発生した熱を拡散させないで該記録層3内に集める
役割をするとともに、大気中のH2O、O2により記録層3
が酸化、腐食するのを防止する役割を行う。このため、
第2誘電体層4の熱伝導率は0.2cal・cm/cm2・s・℃以
下であることが好ましい。該層4の熱伝導率が0.2cal・
cm/cm2・s・℃より大きくなると、熱拡散が大きくなり
記録層3への蓄熱効果が減少し、好ましくない。第2誘
電体層4の材料としては第1誘電体層2と同様な材料が
使用され、第1誘電体層形成と同様の成膜法により250
〜800Åの膜厚に形成される。
The second dielectric layer 4 plays a role of collecting heat in the recording layer 3 without diffusing heat generated in the recording layer 3 by laser irradiation at the time of recording, and using the H 2 O and O 2 in the atmosphere to record the heat.
Plays a role in preventing oxidation and corrosion. For this reason,
The thermal conductivity of the second dielectric layer 4 is preferably 0.2 cal · cm / cm 2 · s · ° C or less. The thermal conductivity of the layer 4 is 0.2 cal
If the temperature is higher than cm / cm 2 · s · ° C., heat diffusion increases, and the effect of storing heat in the recording layer 3 decreases, which is not preferable. As the material of the second dielectric layer 4, the same material as that of the first dielectric layer 2 is used.
It is formed to a thickness of about 800 mm.

熱吸収層5は第2誘電体層4での熱拡散を防止する作
用をする。すなわち、記録時にレーザー照射により記録
層3に発生した熱は、第2誘電体層4に伝導し、その第
2誘電体層4の熱吸収層5に伝導することにより、第2
誘電体層4での熱拡散が防止される。その結果、記録ビ
ット後端の尾引きが短く、そのビット形状もシャープで
レーザースポット径に忠実となる。一方、熱吸収層5の
無い場合には第2誘電体層4で熱拡散が起り、記録ビッ
ト後端の尾引きは長く、その形状はレーザースポット径
より細くなる。このため、熱吸収層5には、第2誘電体
膜4より熱伝導率が小さく、室温での熱伝導率が0.20ca
l・cm/cm2・s・℃以下の材料、例えばZr、Pt、Cr、A
g、Au、Rhの少なくとも1種あるいはこれらの合金が好
ましく使用される。そして、スパッタ法、蒸着法等の成
膜法により300〜700Åの膜厚に形成される。
The heat absorbing layer 5 functions to prevent heat diffusion in the second dielectric layer 4. That is, the heat generated in the recording layer 3 by the laser irradiation at the time of recording is conducted to the second dielectric layer 4 and is conducted to the heat absorbing layer 5 of the second dielectric layer 4 so that the second
Thermal diffusion in the dielectric layer 4 is prevented. As a result, the trailing edge of the recording bit is short and the bit shape is sharp and faithful to the laser spot diameter. On the other hand, when the heat absorbing layer 5 is not provided, heat diffusion occurs in the second dielectric layer 4, and the trailing edge of the recording bit is long, and its shape is smaller than the laser spot diameter. Therefore, the heat absorption layer 5 has a lower thermal conductivity than the second dielectric film 4 and a thermal conductivity of 0.20 ca at room temperature.
Materials less than l · cm / cm 2 · s · ° C, such as Zr, Pt, Cr, A
At least one of g, Au, and Rh or an alloy thereof is preferably used. Then, it is formed to a thickness of 300 to 700 ° by a film forming method such as a sputtering method and a vapor deposition method.

熱吸収層5の上には必要に応じて有機保護層あるいは
接合層6が設けられるが、有機保護層は熱吸収層5以下
の下層を保護し、接合層は両面記録タイプの媒体におけ
る接合を行う。これら有機保護層あるいは接合層6には
紫外線硬化樹脂(UVレジン)、熱可塑性樹脂、プラズマ
重合樹脂等を用いてスピナー塗布法等の方法で1μm〜
100μmの膜厚に成膜される。
An organic protective layer or a bonding layer 6 is provided on the heat absorbing layer 5 if necessary. The organic protective layer protects the lower layer below the heat absorbing layer 5, and the bonding layer is used for bonding in a double-sided recording type medium. Do. The organic protective layer or the bonding layer 6 is made of a UV curable resin (UV resin), a thermoplastic resin, a plasma polymerized resin, or the like, and is formed to a thickness of 1 μm by a method such as spinner coating.
The film is formed to a thickness of 100 μm.

また、上記のような構成の2枚のディスクを貼合せて
両面記録タイプの光磁気ディスクとするときには、その
ディスクの端部を誘電材あるいはプラスチックで接合す
るのが好ましい。
When the two disks having the above-described configuration are bonded to each other to form a double-sided recording type magneto-optical disk, it is preferable that the ends of the disks are joined with a dielectric material or plastic.

以上本発明を一構成例に基づき述べてきたが、本発明
の層構成はこの例に限定されるものではなく、例えば、
第1誘電体膜2及び第2誘電体膜4をいずれか一方のみ
設けたもの、記録層3を2層構造としたもの等、種々の
変形、変更が可能である。
Although the present invention has been described based on one configuration example, the layer configuration of the present invention is not limited to this example.
Various modifications and changes are possible, such as a structure in which only one of the first dielectric film 2 and the second dielectric film 4 is provided, and a structure in which the recording layer 3 has a two-layer structure.

〔実施例〕〔Example〕

以下に本発明の実施例をあげるが、本発明はこれら実
施例に限定されるものではない。
Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

(実施例1) 外径130mm、内径15mm、厚さ1.2mmのポリカーボネート
板を基板として用い、RFマグネトロンスパッタ装置にお
いてSiターゲットを用いるとともにN2+Arガスを流し、
該基板上に第1誘電体層としてSiN膜をスパッタリング
で1000Å厚に形成し、次いでその上に同じくRFマグネト
ロンスパッタリングで記録層としてTb0・12Dy0・12Fe
0・68Co0・08膜を250Å厚に形成し、さらにその上に
第1誘電体層形成と同様にしてSiN膜からなる第2誘電
体層を300Å厚に形成した。次に、第2誘電体層上にDC
スパッタリングでAl−Zrを600Å厚に形成した後、UVレ
ジン(商品名EH214、横浜ゴム社製)をスピナー塗布法
により約4μm厚に成膜した後、硬化させて有機保護層
を形成し、光磁気ディスクを得た。上記の各要素の材
料、各層の厚さを後掲の表−1に示すとともに、各層の
熱伝導率の値を後掲の表−2に示す。
(Example 1) A polycarbonate plate having an outer diameter of 130 mm, an inner diameter of 15 mm, and a thickness of 1.2 mm was used as a substrate, and an N 2 + Ar gas was flowed while using a Si target in an RF magnetron sputtering apparatus.
The SiN film was formed 1000Å thick by sputtering as a first dielectric layer on the substrate, then Tb 0 · 12 Dy 0 · 12 Fe as the recording layer in the same RF magnetron sputtered onto the
The 0 · 68 Co 0 · 08 film is formed 250Å thick was further formed thereon a second dielectric layer made of SiN film in the same manner as the first dielectric layer formed on the 300Å thick. Next, DC is placed on the second dielectric layer.
After forming Al-Zr to a thickness of 600 mm by sputtering, a UV resin (trade name: EH214, manufactured by Yokohama Rubber Co., Ltd.) is formed to a thickness of about 4 μm by a spinner coating method, and then cured to form an organic protective layer. A magnetic disk was obtained. The material of each element and the thickness of each layer are shown in Table 1 below, and the value of the thermal conductivity of each layer is shown in Table 2 below.

(実施例2〜8) 基板、第1誘電体層、記録層、第2誘電体層、熱伝導
層及び有機保護層の材料としてそれぞれ表−1に示す材
料を用い、実施例1と同様にして光磁気記録媒体を得
た。各層の膜厚及び各層の熱伝導率はそれぞれ表−1及
び表−2に示す通りである。
(Examples 2 to 8) In the same manner as in Example 1, the materials shown in Table 1 were used as the materials for the substrate, the first dielectric layer, the recording layer, the second dielectric layer, the heat conductive layer, and the organic protective layer. Thus, a magneto-optical recording medium was obtained. The thickness of each layer and the thermal conductivity of each layer are as shown in Tables 1 and 2, respectively.

(比較例) 各要素の材料として表−1に示す材料を用い、実施例
1と同様にして光磁気ディスクを作製した。各層の膜厚
及び熱伝導率はそれぞれ表−1及び表−2に示す通りで
ある。
(Comparative Example) A magneto-optical disk was manufactured in the same manner as in Example 1, except that the materials shown in Table 1 were used as the materials for the components. The thickness and thermal conductivity of each layer are as shown in Tables 1 and 2, respectively.

以上のようにして作製した各光磁気ディスクについて
下記の条件で記録再生特性を評価した。その結果を表3
に示す。
The recording and reproduction characteristics of each magneto-optical disk manufactured as described above were evaluated under the following conditions. Table 3 shows the results.
Shown in

・使用レーザ波長 790nm ・NA=0.53 ・線速 7m/秒 ・記録周波数 4MHz 〔発明の効果〕 以上詳細に説明したように、本発明によれば、各層の
熱伝導率を前述のように規定したので、記録ビット長が
短く、ビット形状がシャープとなり、記録再生特性が向
上し、記録のより高速、高密度化を達成することができ
る。
・ Laser wavelength 790nm ・ NA = 0.53 ・ Line speed 7m / sec ・ Recording frequency 4MHz [Effects of the Invention] As described above in detail, according to the present invention, since the thermal conductivity of each layer is specified as described above, the recording bit length is short, the bit shape is sharp, and the recording / reproducing characteristics are improved. In addition, higher speed and higher density of recording can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の光磁気記録媒体の層構成を示す断面図
である。 1……基板、2……第1誘電体層 3……記録層、4……第2誘電体層 5……熱吸収層
FIG. 1 is a sectional view showing the layer structure of the magneto-optical recording medium of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... 1st dielectric layer 3 ... Recording layer 4 ... 2nd dielectric layer 5 ... Heat absorption layer

フロントページの続き (72)発明者 近江 文也 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (72)発明者 沢田 康雄 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (72)発明者 宮本 功 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株 式会社リコー内 (56)参考文献 特開 昭62−226449(JP,A) 特開 平1−315049(JP,A) 特開 昭62−172545(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 11/10 521Continuing on the front page (72) Inventor Fumiya Omi 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Inside Ricoh Company (72) Inventor Yasuo Sawada 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo Stock Company (72) Inventor Isao Miyamoto 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo In-house Ricoh Company (56) References JP-A-62-226449 (JP, A) JP-A-1-315049 ( JP, A) JP-A-62-172545 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 11/10 521

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】透明基板上に第1誘電体層を介して非晶質
の希土類金属−遷移金属合金薄膜からなる記録層を設
け、さらにその上に第2誘電体層及び熱吸収層を順次設
けた構成を有し、前記第1誘電体層及び前記第2誘電体
層が熱伝導率0.03cal・cm/s・cm2・℃(室温)以下の材
料からなるとともに、前記記録層及び前記熱吸収層が0.
20cal・cm/s・cm2・℃(室温)以下の材料からなること
を特徴とする光磁気記録媒体。
1. A recording layer comprising an amorphous rare earth metal-transition metal alloy thin film is provided on a transparent substrate via a first dielectric layer, and a second dielectric layer and a heat absorbing layer are sequentially formed thereon. The first dielectric layer and the second dielectric layer are made of a material having a thermal conductivity of 0.03 cal · cm / s · cm 2 · ° C. (room temperature) or less. Heat absorption layer is 0.
A magneto-optical recording medium comprising a material having a temperature of 20 cal · cm / s · cm 2 · ° C (room temperature) or less.
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