JP3421875B2 - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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JP3421875B2
JP3421875B2 JP14830794A JP14830794A JP3421875B2 JP 3421875 B2 JP3421875 B2 JP 3421875B2 JP 14830794 A JP14830794 A JP 14830794A JP 14830794 A JP14830794 A JP 14830794A JP 3421875 B2 JP3421875 B2 JP 3421875B2
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magneto
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Sony Corp
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【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、基板上に記録膜及び金
属よりなる反射膜が形成され、上記反射膜を覆うように
して紫外線硬化型樹脂よりなる保護膜が形成される光磁
気記録媒体に関し、詳細には保護膜の改良に関する。 【0002】 【従来の技術】光磁気記録方式は、磁性薄膜を部分的に
キュリー点または温度補償点を越えて昇温し、この部分
の保磁力を消滅させて外部から印加される記録磁界の方
向に磁化の向きを反転することを基本原理とするもの
で、光ファイルシステムやコンピュータの外部記憶装
置、あるいは音響、映像情報の記録装置等において実用
化されつつある。 【0003】上記光磁気記録方式には、大きく分けて光
変調方式と磁界変調方式があるが、このうち磁界変調方
式は、オーバーライトが可能であることから注目されて
いる。 【0004】上記磁界変調方式は、印加磁界を高速で反
転することにより磁性薄膜に情報を書き込むものであっ
て、磁界の印加は通常磁界発生手段を有する磁気ヘッド
によって行われる。この場合、記録磁界の強さは磁気ヘ
ッドと磁性薄膜間の距離により決定されるため、磁気ヘ
ッドをなるべく磁性薄膜と近接させなければならない。 【0005】そこで、このような磁界変調方式において
は、光磁気記録媒体である、例えば光磁気ディスクの表
面に対して直接接触し、摺動しながら記録を行う摺動型
磁気ヘッド、或いは光磁気ディスク等の光磁気記録媒体
に対して10μm程度の微小な間隙を有して浮上走行し
ながら情報の記録を行う浮上型磁気ヘッドの採用が検討
されている。これらの磁気ヘッドを採用すれば、光磁気
ディスクの磁性薄膜に対して十分な磁力が印加できる。 【0006】上記光磁気ディスクとしては、例えば、ポ
リカーボネート等からなる透明基板の一主面上に、膜面
と垂直方向に磁化容易軸を有し、且つ磁気光学効果の大
きな磁性薄膜である記録磁性膜(例えば希土類−遷移金
属合金非晶質薄膜)や誘電体膜を積層し、さらに反射膜
を積層することにより記録層を形成し、また上記記録磁
性膜の腐食を防止するために、記録層の最上層である反
射膜上に紫外線硬化型樹脂等よりなる保護膜を覆う如く
形成したものが知られている。 【0007】このような光磁気ディスクに上記摺動型磁
気ヘッドにより情報の記録を行う場合には、記録層上の
保護膜に磁気ヘッドを摺動させて記録を行う。浮上型磁
気ヘッドを使用する場合においても同様であり、磁気ヘ
ッドを記録層上の保護膜上に微小間隙を有して浮上走行
させて情報の記録を行う。そして、上記光磁気ディスク
の基板側からレーザ光等の再生光を照射し、該光磁気デ
ィスクに記録された情報を再生する。 【0008】そこで、上記のような光磁気ディスクにお
いては、基板の傷つきを防止するために、基板の記録層
が形成される一主面と反対側のレーザ光照射面上にも保
護膜を形成するようにしている。なお、上記保護膜も紫
外線硬化型樹脂等により形成される。 【0009】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な光磁気ディスクにおいては、その表面にほこり等の異
物が帯電等により吸着すると、以下のような不都合が生
じる。例えば、基板のレーザ光照射面側にほこり等の異
物が吸着すると、情報の再生時の再生光或いは反射光の
妨げとなり、再生特性の低下を引き起こす。 【0010】一方、記録層側にほこり等の異物が吸着す
ると、摺動型磁気ヘッドを使用する場合にはほこり等の
異物が磁気ヘッドと光磁気ディスクの間に挟まれること
となり、光磁気ディスクの記録磁性膜の傷つけや磁気ヘ
ッドの破壊等が生じ、記録再生特性が低下する。また、
浮上型磁気ヘッドを使用する場合においても、その浮上
距離が10μm程度と微小であることから同様の不都合
が生じる。 【0011】そこで、上記のような光磁気ディスクにお
いては、基板のレーザ光照射面上及び記録層上に形成さ
れる保護膜に帯電防止機能を付与することが要求されて
いる。なお、保護膜に帯電防止機能を持たせるには、そ
の表面抵抗を小さくし、ガラスの表面抵抗(1013〜1
14Ω/cm2 程度)と同等とすることが好ましいとさ
れている。 【0012】そして、例えば、基板のレーザ光照射面上
に形成される保護膜においては、帯電防止剤を含有させ
た紫外線硬化型樹脂により上記保護膜を形成し、その表
面抵抗を1014Ω/cm2 程度にまで抑えている。 【0013】一方の反射膜上に形成される保護膜におい
ても同様に、帯電防止剤を含有させた紫外線硬化型樹脂
を用いて該保護膜を形成して表面抵抗の抑制を行ってい
る。しかしながら、反射膜上に形成される保護膜におい
ては、記録磁性膜の腐食を防止する機能も重要であり、
上記のような紫外線硬化型樹脂を使用する場合、樹脂及
び帯電防止剤の選定及び含有量の最適化が非常に困難
で、生産性の観点からは好ましくない。 【0014】そこで本発明は、従来の実情に鑑みて提案
されたものであり、磁気ヘッドの配される側の保護膜の
表面抵抗が抑制されて該保護膜が十分な帯電防止機能を
有し、ほこり等の異物の吸着が防止され、記録再生特性
が良好で、生産性も良好な光磁気記録媒体を提供するこ
とを目的とする。 【0015】 【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、本発明は、基板上に記録膜及び金属よりなる反射膜
が形成された光磁気記録媒体において、上記基板を覆う
ように、上記基板の一方の主面の反射膜上及び他方の主
面に紫外線硬化型樹脂よりなる保護膜が形成され、上記
一方の主面の反射膜上の保護膜は、5μm以下の膜厚で
形成され、その表面抵抗が1014Ω/cm以下とし
たものである。 【0016】上記光磁気記録媒体においては、保護膜
は、下層であり、金属よりなる反射膜の影響を受け易
い。すなわち、上記保護膜の膜厚を薄くすれば、該保護
膜は表面抵抗の小さい反射膜の影響を受け、その表面抵
抗は小さくなり、上記のような範囲とすることができ
る。 【0017】 【0018】 【作用】本発明に係る光磁気記録媒体は、基板を覆うよ
うに、上記基板の一方の主面の反射膜上及び他方の主面
に紫外線硬化型樹脂よりなる保護膜が形成され、上記一
方の主面の反射膜上の保護膜は、5μm以下の膜厚で形
成され、その表面抵抗が1014Ω/cm以下とされ
ることにより、十分な帯電防止機能を有し、該保護膜上
にほこり等の異物の付着を抑制する。 【0019】 【実施例】以下、本発明の好適な実施例について実験結
果に基づいて説明する。先ず、本実験例において製造し
た光磁気ディスクについて説明する。上記光磁気ディス
クは、図1に示すように、基板1の一主面1a上に記録
層2,保護膜3が順次積層形成され、上記一主面1aと
反対側の主面1b上にも保護膜4が形成されたものであ
る。 【0020】上記基板1は、光透過性を有し、再生光で
あるレーザ光を十分に透過させる透明な基板であり、こ
れを構成する材料としては、この種の光磁気ディスクに
通常使用されるポリカーボネート樹脂,アクリル樹脂,
ポリオレフィン樹脂,エポキシ樹脂等の樹脂材料が挙げ
られる。そして、上記基板1は、上記樹脂材料を例えば
射出成形等の手段により円盤状に成形したものである。 【0021】また、上記記録層2は、記録磁性膜,誘電
体膜,反射膜等よりなり、この光磁気ディスクにおいて
は、図中に示すように、第1の誘電体膜5,記録磁性膜
6,第2の誘電体膜7,反射膜8が順次積層されている
ものとする。 【0022】上記第1の誘電体膜5,第2の誘電体膜7
を構成する材料としては、この種の光磁気ディスクに通
常使用される各種酸化物或いは窒化物が挙げられるが、
酸化物中の酸素が記録磁性膜6に悪影響を及ぼす虞があ
ることから、窒化物を用いることが好ましい。なお、上
記第1の誘電体膜5,第2の誘電体膜7には、酸素及び
水分を透過させず、再生光であるレーザ光を十分に透過
させる特性が要求されることから、窒化物の中でも窒化
珪素や窒化アルミニウムが好適である。 【0023】また、記録磁性膜6を構成する材料として
は、膜面と垂直方向に磁化容易軸を有する非晶質のフェ
リ磁性体であって、磁気光学特性に優れることは勿論、
室温で大きな保磁力を有し、且つ200℃付近にキュリ
ー点を有する材料が望ましい。このような特性を有する
材料としては、この種の光磁気ディスクに通常使用され
る、例えば希土類−遷移金属合金が挙げられ、中でもT
b−Fe−Co系合金が好適である。なお、上記記録磁
性膜6を形成するにあたっては、該記録磁性膜6の耐腐
食性を向上させるために、構成材料中にCr等の元素を
添加しても良い。 【0024】さらに、上記反射膜8を構成する材料とし
ては、基板1側から照射される再生光であるレーザ光を
第2の誘電帯膜7との境界において70%以上反射する
ことが可能で、非磁性であり、且つ熱的に良導体である
金属等の材料が望ましい。従って、入手が容易であるこ
とを考慮すると、この種の光磁気ディスクに通常使用さ
れる、アルミニウム等が好適である。 【0025】基板1上に形成される第1の誘電体膜5、
記録磁性膜6、第2の誘電体膜7、反射膜8は、蒸着や
スパッタリング等の真空薄膜形成手段によって形成され
る。 【0026】これら第1の誘電体膜5、記録磁性膜6、
第2の誘電体膜7、反射膜8の膜厚を適宜調整すること
により、光学特性を調整することができる。 【0027】例えば、記録磁性膜6の膜厚が再生光であ
るレーザ光の波長よりも薄い場合には、レーザ光が記録
磁性膜6を透過して各層境界で多重反射するが、このと
き膜厚の組み合わせによって記録磁性膜6の実効的な光
学及び光学特性は大きく左右されることとなる。 【0028】また、記録層2上、すなわち反射膜8上に
形成される保護膜3は、外部からの衝撃やほこり等の異
物から記録磁性膜6を保護し、該記録磁性膜6の腐食を
防止するために設けられるものであり、これを構成する
材料としては、この種の光磁気ディスクに通常使用され
る紫外線硬化型樹脂等が挙げられる。 【0029】上記保護膜3を形成する方法としては、紫
外線硬化型樹脂をスピンコート法或いはスプレーコート
法により塗布して塗膜を形成した後、紫外線照射して硬
化させて保護膜とする方法が挙げられる。 【0030】さらに、基板1の一主面1b側に形成され
る保護膜4は、基板1の傷つきやほこり等の異物の吸着
を防止するために設けられるものであり、これを構成す
る材料としては、この種の光磁気ディスクに通常使用さ
れる帯電防止剤を含有する紫外線硬化型樹脂等が挙げら
れる。なお、該保護膜4も上記保護膜3と同様に形成さ
れる。 【0031】そして、先ず、記録層2上に形成される保
護膜3の膜厚とその表面抵抗の関係を調査した。すなわ
ち、基板1上に形成された記録層2上に膜厚を変化させ
て保護膜3を形成して各種光磁気ディスクを製造し、こ
れら光磁気ディスクの保護膜3の表面抵抗を測定した。 【0032】なお、上記基板1としては直径3.5イン
チのポリカーボネート製の基板を使用し、上記記録層2
は第1の誘電帯膜5,記録磁性膜6,第2の誘電帯膜
7,反射膜8をスパッタリングにより成膜して形成し
た。このとき、反射膜8はアルミニウムにより形成し
た。また、保護膜3は体積固有抵抗が1015Ω・cmの
アクリル系紫外線硬化型樹脂をスピンコート法により塗
布して塗膜を形成した後、これを硬化させて形成した。 【0033】次に、上記各光磁気ディスクの保護膜3の
表面抵抗を23.7℃,47RH%の環境下で測定し
た。結果を図2に示す。図2の結果から、保護膜3の表
面抵抗は、その膜厚に依存していることが確認された。
すなわち、膜厚を制御することにより、表面抵抗を規制
することが可能であることが確認された。 【0034】なお、図2の結果から、例えば保護膜3の
膜厚が5μmの光磁気ディスクにおいては、表面抵抗が
1×1014Ω/cm2 であり、前述した基板のレーザ光
照射面上に形成され、帯電防止剤を含有する紫外線硬化
型樹脂よりなる保護膜と同等の値となることもわかっ
た。 【0035】さらに、上記の体積固有抵抗が1015Ω・
cmのアクリル系紫外線硬化型樹脂をポリカーボネート
製の基板1上に直接塗布して保護膜を形成した場合の表
面抵抗を23.7℃,47RH%の環境下で測定したと
ころ、2×1016Ω/cm2であり、ポリカーボネート
製の基板1と同等の値であった。 【0036】すなわち、アクリル系紫外線硬化型樹脂製
の保護膜3の表面抵抗が下層となる膜の表面抵抗に大き
く影響されることも確認された。 【0037】次に、上記各光磁気ディスクの保護膜3の
表面抵抗とほこり等の異物の吸着量の関係を調査した。 【0038】具体的な方法としては、各光磁気ディスク
の保護膜3表面をポリエステル布で50回擦って帯電さ
せ、これら光磁気ディスクを煙草の灰に対して上記保護
膜3が対向するように5mmの間隔を有して近づけ、保
護膜3に吸着された灰の様子を光学顕微鏡写真に撮り、
観察した全面積に対する灰が吸着している面積の割合を
求めた。結果を表1及び図3に示す。なお、表1及び図
3中においては、観察した全面積に対する灰が吸着して
いる面積の割合、すなわち灰の吸着の度合いをXとして
表す。 【0039】 【表1】 【0040】表1及び図3の結果から、保護膜3の膜厚
が0μm、すなわち記録層2の反射膜8が露出している
状態では、表面抵抗は0Ω/cm2 に近く、灰の吸着も
殆ど起こっていないことがわかった。 【0041】そして、表1及び図3の結果から、保護膜
3の膜厚が5μm以下、すなわち表面抵抗が1×1014
Ω/cm2 以下の場合には、帯電による灰の吸着が著し
く抑制されており、十分な帯電防止機能が付与されてい
ることが確認された。 【0042】なお、保護膜の表面抵抗が1014 Ω/c
2 以下となる保護膜の膜厚は、製造する光磁気ディス
クの仕様や下層となる反射膜の特性或いは用いる紫外線
硬化型樹脂の特性により大きく左右される。そのため、
これらの条件を考慮した上で保護膜の膜厚を調整してそ
の表面抵抗が1014 Ω/cm2 以下となるようにすれ
ば、保護膜に十分な帯電防止機能を付与することができ
る。 【0043】すなわち、本発明の光磁気記録媒体のよう
に、基板上に記録膜及び金属よりなる反射膜、上記反射
膜を覆い、紫外線硬化型樹脂よりなる保護膜が形成さ
れ、上記保護膜の表面抵抗が1014 Ω/cm2 以下と
されていれば、保護膜が十分な帯電防止機能を有し、該
保護膜上にほこり等の異物が付着し難く、記録再生特性
が良好なものとなる。 【0044】また、本発明の光磁気記録媒体のように、
紫外線硬化型樹脂よりなる保護膜の膜厚を制御すること
により、その表面抵抗を規制すれば、紫外線硬化型樹脂
中に帯電防止剤等を含有させる必要がなく、樹脂及び帯
電防止剤の選定及び含有量の最適化を行う必要もなく、
生産性も良好となる。 【0045】 【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明は、基板上に記録膜及び金属よりなる反射膜が形成さ
れ、上記反射膜を覆うようにして紫外線硬化型樹脂より
なる保護膜が形成される光磁気記録媒体において、保護
膜の表面抵抗が1014 Ω/cm2 以下とされている。
従って、保護膜が十分な帯電防止機能を有し、該保護膜
上にほこり等の異物が付着し難く、記録再生特性が良好
なものとなる。 【0046】 【0047】さらに、本発明の光磁気記録媒体において
は、保護膜を形成する紫外線硬化型樹脂中に帯電防止剤
等を含有させる必要がなく、樹脂及び帯電防止剤の選定
及び含有量の最適化を行う必要もなく、生産性も良好と
なる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording film and a reflection film made of metal formed on a substrate, and made of an ultraviolet-curable resin so as to cover the reflection film. The present invention relates to a magneto-optical recording medium on which a protective film is formed, and more particularly to improvement of a protective film. 2. Description of the Related Art In a magneto-optical recording system, the temperature of a magnetic thin film is partially raised beyond a Curie point or a temperature compensation point, and the coercive force in this portion is eliminated to reduce a recording magnetic field applied from the outside. It is based on the principle of reversing the direction of magnetization in the direction, and is being put to practical use in an optical file system, an external storage device of a computer, or a recording device for audio and video information. The magneto-optical recording method is roughly classified into an optical modulation method and a magnetic field modulation method. Among them, the magnetic field modulation method has attracted attention because overwriting is possible. In the magnetic field modulation system, information is written on a magnetic thin film by reversing an applied magnetic field at a high speed. The application of a magnetic field is usually performed by a magnetic head having a magnetic field generating means. In this case, since the strength of the recording magnetic field is determined by the distance between the magnetic head and the magnetic thin film, the magnetic head must be brought as close as possible to the magnetic thin film. Therefore, in such a magnetic field modulation system, for example, a sliding magnetic head which directly contacts a surface of a magneto-optical disk and performs recording while sliding, or a magneto-optical recording medium. The use of a floating magnetic head that records information while flying and running with a small gap of about 10 μm to a magneto-optical recording medium such as a disk is being studied. If these magnetic heads are employed, a sufficient magnetic force can be applied to the magnetic thin film of the magneto-optical disk. The magneto-optical disk is, for example, a magnetic thin film which has an easy axis of magnetization perpendicular to the film surface on one main surface of a transparent substrate made of polycarbonate or the like and has a large magneto-optical effect. In order to form a recording layer by laminating a film (for example, a rare earth-transition metal alloy amorphous thin film) or a dielectric film and further laminating a reflective film, the recording layer is formed to prevent corrosion of the recording magnetic film. Is formed so as to cover a protective film made of an ultraviolet curable resin or the like on a reflective film which is the uppermost layer of the above. When information is recorded on such a magneto-optical disk by the above-mentioned sliding magnetic head, the recording is performed by sliding the magnetic head on the protective film on the recording layer. The same applies to the case where a floating magnetic head is used. Information is recorded by causing the magnetic head to levitate and run with a small gap on a protective film on the recording layer. Then, reproduction light such as laser light is irradiated from the substrate side of the magneto-optical disk to reproduce information recorded on the magneto-optical disk. Therefore, in the above-described magneto-optical disk, in order to prevent the substrate from being damaged, a protective film is also formed on the laser beam irradiation surface opposite to the one main surface on which the recording layer of the substrate is formed. I am trying to do it. Note that the protective film is also formed of an ultraviolet curable resin or the like. [0009] In the above-described magneto-optical disk, if foreign matter such as dust is attracted to the surface of the magneto-optical disk by charging or the like, the following inconvenience occurs. For example, if a foreign substance such as dust is adsorbed on the laser light irradiation surface side of the substrate, the light interferes with reproduction light or reflected light at the time of reproducing information, and causes deterioration in reproduction characteristics. On the other hand, when foreign matter such as dust is attracted to the recording layer side, when a sliding magnetic head is used, the foreign matter such as dust is caught between the magnetic head and the magneto-optical disk. In this case, the recording magnetic film is damaged, the magnetic head is destroyed, and the recording / reproducing characteristics are degraded. Also,
Even when a flying magnetic head is used, the same disadvantage occurs because the flying distance is as small as about 10 μm. Therefore, in the above-described magneto-optical disk, it is required to provide an antistatic function to a protective film formed on the laser beam irradiation surface of the substrate and on the recording layer. In order to provide the protective film with an antistatic function, the surface resistance is reduced and the surface resistance of the glass (10 13 to 1
0 14 Ω / cm 2 or so) as being that it is preferable to equal. [0012] For example, in the case of a protective film formed on the surface of the substrate irradiated with the laser beam, the protective film is formed of an ultraviolet curable resin containing an antistatic agent, and its surface resistance is 10 14 Ω /. It is suppressed to about cm 2. Similarly, in the protective film formed on one of the reflective films, the surface resistance is suppressed by forming the protective film using an ultraviolet curable resin containing an antistatic agent. However, in the protective film formed on the reflective film, the function of preventing corrosion of the recording magnetic film is also important,
When the above-mentioned UV-curable resin is used, it is very difficult to select the resin and the antistatic agent and to optimize the content thereof, which is not preferable from the viewpoint of productivity. The present invention has been proposed in view of the conventional circumstances, and the surface resistance of the protective film on the side where the magnetic head is disposed is suppressed, so that the protective film has a sufficient antistatic function. It is an object of the present invention to provide a magneto-optical recording medium in which adsorption of foreign matter such as dust is prevented, recording / reproducing characteristics are good, and productivity is good. In order to achieve the above object, the present invention provides a magneto-optical recording medium in which a recording film and a reflective film made of metal are formed on a substrate so as to cover the substrate. A protective film made of an ultraviolet-curable resin is formed on the reflective film on one main surface of the substrate and on the other main surface, and the protective film on the reflective film on the one main surface has a thickness of 5 μm or less. And has a surface resistance of 10 14 Ω / cm 2 or less. In the above-mentioned magneto-optical recording medium, the protective film is a lower layer and is easily affected by a reflective film made of metal. That is, if the thickness of the protective film is reduced, the protective film is affected by the reflective film having a small surface resistance, and the surface resistance is reduced, so that the above range can be achieved. In the magneto-optical recording medium according to the present invention, a protective film made of an ultraviolet-curable resin is formed on the reflective film on one main surface of the substrate and on the other main surface so as to cover the substrate. Is formed, and the protective film on the reflective film on the one main surface is formed to a thickness of 5 μm or less, and has a surface resistance of 10 14 Ω / cm 2 or less, so that a sufficient antistatic function is provided. And suppresses adhesion of foreign substances such as dust on the protective film. Preferred embodiments of the present invention will be described below based on experimental results. First, the magneto-optical disk manufactured in this experimental example will be described. In the magneto-optical disk, as shown in FIG. 1, a recording layer 2 and a protective film 3 are sequentially laminated on one main surface 1a of a substrate 1, and also on a main surface 1b opposite to the one main surface 1a. The protective film 4 is formed. The substrate 1 is a transparent substrate having a light-transmitting property and sufficiently transmitting a laser beam as a reproducing light. The material constituting the substrate 1 is usually used for this type of magneto-optical disk. Polycarbonate resin, acrylic resin,
Resin materials such as polyolefin resin and epoxy resin are exemplified. The substrate 1 is formed by molding the resin material into a disk shape by, for example, injection molding. The recording layer 2 comprises a recording magnetic film, a dielectric film, a reflection film, and the like. In this magneto-optical disk, as shown in FIG. 6, the second dielectric film 7 and the reflection film 8 are sequentially laminated. The first dielectric film 5 and the second dielectric film 7
Examples of the material constituting include various oxides or nitrides usually used for this type of magneto-optical disk.
Since oxygen in the oxide may adversely affect the recording magnetic film 6, it is preferable to use a nitride. Since the first dielectric film 5 and the second dielectric film 7 are required to have a property of not allowing oxygen and moisture to pass through and sufficiently transmitting laser light as reproduction light, nitride Among them, silicon nitride and aluminum nitride are preferable. The material constituting the recording magnetic film 6 is an amorphous ferrimagnetic material having an easy axis of magnetization in a direction perpendicular to the film surface, and is of course excellent in magneto-optical characteristics.
A material having a large coercive force at room temperature and having a Curie point around 200 ° C. is desirable. Materials having such properties include, for example, rare earth-transition metal alloys commonly used for this type of magneto-optical disk.
A b-Fe-Co alloy is preferable. In forming the recording magnetic film 6, an element such as Cr may be added to the constituent material in order to improve the corrosion resistance of the recording magnetic film 6. Further, as a material constituting the reflection film 8, it is possible to reflect 70% or more of the laser light which is the reproduction light irradiated from the substrate 1 side at the boundary with the second dielectric band film 7. It is desirable to use a non-magnetic material such as a metal that is a good conductor thermally. Therefore, considering that it is easily available, aluminum or the like, which is usually used for this type of magneto-optical disk, is preferable. The first dielectric film 5 formed on the substrate 1
The recording magnetic film 6, the second dielectric film 7, and the reflection film 8 are formed by vacuum thin film forming means such as evaporation or sputtering. These first dielectric film 5, recording magnetic film 6,
The optical characteristics can be adjusted by appropriately adjusting the thicknesses of the second dielectric film 7 and the reflective film 8. For example, when the thickness of the recording magnetic film 6 is smaller than the wavelength of the laser beam as the reproduction light, the laser beam passes through the recording magnetic film 6 and is reflected multiple times at each layer boundary. The effective optical and optical characteristics of the recording magnetic film 6 are greatly affected by the combination of the thicknesses. The protective film 3 formed on the recording layer 2, that is, on the reflective film 8, protects the recording magnetic film 6 from foreign substances such as external impact and dust, and prevents corrosion of the recording magnetic film 6. This material is provided to prevent such a problem, and examples of the material for the material include an ultraviolet curable resin commonly used for this type of magneto-optical disk. As a method of forming the protective film 3, a method of applying a UV curable resin by a spin coating method or a spray coating method to form a coating film, and then irradiating ultraviolet rays to cure the coating film to form a protective film. No. Further, the protective film 4 formed on the one main surface 1b side of the substrate 1 is provided to prevent foreign substances such as scratches and dust from being attracted to the substrate 1, and as a material constituting the same, Examples include UV-curable resins containing an antistatic agent commonly used for this type of magneto-optical disk. Note that the protective film 4 is formed in the same manner as the protective film 3. First, the relationship between the thickness of the protective film 3 formed on the recording layer 2 and the surface resistance was examined. That is, protective films 3 were formed by changing the film thickness on the recording layer 2 formed on the substrate 1 to manufacture various magneto-optical disks, and the surface resistance of the protective films 3 of these magneto-optical disks was measured. As the substrate 1, a 3.5-inch diameter polycarbonate substrate was used.
Was formed by forming a first dielectric band film 5, a recording magnetic film 6, a second dielectric band film 7, and a reflective film 8 by sputtering. At this time, the reflection film 8 was formed of aluminum. The protective film 3 was formed by applying an acrylic ultraviolet curable resin having a volume resistivity of 10 15 Ω · cm by spin coating to form a coating film, and then curing the coating film. Next, the surface resistance of the protective film 3 of each magneto-optical disk was measured at 23.7 ° C. and 47 RH%. FIG. 2 shows the results. From the results of FIG. 2, it was confirmed that the surface resistance of the protective film 3 was dependent on the film thickness.
That is, it was confirmed that the surface resistance could be regulated by controlling the film thickness. From the results shown in FIG. 2, for example, in the case of a magneto-optical disk in which the protective film 3 has a thickness of 5 μm, the surface resistance is 1 × 10 14 Ω / cm 2 , It was also found that the value was equivalent to that of a protective film made of an ultraviolet curable resin containing an antistatic agent. Further, the volume resistivity is 10 15 Ω ·
cm of an acrylic ultraviolet-curing resin was directly applied to the substrate 1 made of polycarbonate to form a protective film, and the surface resistance was measured at 23.7 ° C. and 47 RH% in an environment of 2 × 10 16 Ω. / Cm 2, which is equivalent to that of the substrate 1 made of polycarbonate. That is, it was also confirmed that the surface resistance of the protective film 3 made of an acrylic UV-curable resin was greatly affected by the surface resistance of the underlying film. Next, the relationship between the surface resistance of the protective film 3 of each magneto-optical disk and the amount of foreign matter adsorbed such as dust was examined. As a specific method, the surface of the protective film 3 of each magneto-optical disk is charged by rubbing it 50 times with a polyester cloth, and the magneto-optical disks are placed so that the protective film 3 faces ash of cigarettes. The ash adsorbed on the protective film 3 was taken with an optical microscope photograph, approached with an interval of 5 mm,
The ratio of the area where ash was adsorbed to the total area observed was determined. The results are shown in Table 1 and FIG. In Table 1 and FIG. 3, X represents the ratio of the area where ash is adsorbed to the total observed area, that is, the degree of ash adsorption. [Table 1] From the results shown in Table 1 and FIG. 3, when the thickness of the protective film 3 is 0 μm, that is, when the reflective film 8 of the recording layer 2 is exposed, the surface resistance is close to 0 Ω / cm 2 , and the ash is adsorbed. Was found to have hardly happened. From the results shown in Table 1 and FIG. 3, the thickness of the protective film 3 is 5 μm or less, that is, the surface resistance is 1 × 10 14.
In the case of Ω / cm 2 or less, adsorption of ash due to charging was significantly suppressed, and it was confirmed that a sufficient antistatic function was provided. The surface resistance of the protective film is 10 14 Ω / c.
The thickness of the protective film less than m 2 depends largely on the specifications of the magneto-optical disk to be manufactured, the characteristics of the lower reflective film, or the characteristics of the ultraviolet curable resin used. for that reason,
If the thickness of the protective film is adjusted in consideration of these conditions so that the surface resistance becomes 10 14 Ω / cm 2 or less, a sufficient antistatic function can be imparted to the protective film. That is, like the magneto-optical recording medium of the present invention, a recording film and a reflective film made of metal, a protective film covering the reflective film and made of an ultraviolet-curable resin are formed on a substrate. If the surface resistance is set to 10 14 Ω / cm 2 or less, the protective film has a sufficient antistatic function, foreign matter such as dust hardly adheres to the protective film, and has good recording / reproducing characteristics. Become. Further, like the magneto-optical recording medium of the present invention,
If the surface resistance is regulated by controlling the thickness of the protective film made of the UV-curable resin, it is not necessary to include an antistatic agent or the like in the UV-curable resin. No need to optimize the content,
Productivity is also improved. As is clear from the above description, according to the present invention, a recording film and a reflection film made of metal are formed on a substrate, and the reflection film is covered with an ultraviolet curable resin. In a magneto-optical recording medium on which a protective film is formed, the surface resistance of the protective film is set to 10 14 Ω / cm 2 or less.
Therefore, the protective film has a sufficient antistatic function, foreign matter such as dust hardly adheres to the protective film, and the recording / reproducing characteristics are good. Further, in the magneto-optical recording medium of the present invention, it is not necessary to include an antistatic agent or the like in the ultraviolet-curable resin forming the protective film, and the selection and content of the resin and the antistatic agent are not required. There is no need to perform optimization, and the productivity is improved.

【図面の簡単な説明】 【図1】光磁気ディスクの構造を示す断面図である。 【図2】保護膜の膜厚とその表面抵抗の関係を示す特性
図である。 【図3】保護膜の膜厚と灰の吸着の度合いの関係を示す
特性図である。 【符号の説明】 1 基板 2 記録層 3,4 保護膜 5 第1の誘電帯膜 6 記録磁性膜 7 第2の誘電帯膜 8 反射膜
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a sectional view showing a structure of a magneto-optical disk. FIG. 2 is a characteristic diagram showing the relationship between the thickness of a protective film and its surface resistance. FIG. 3 is a characteristic diagram showing the relationship between the thickness of a protective film and the degree of ash adsorption. [Description of Signs] 1 Substrate 2 Recording layers 3, 4 Protective film 5 First dielectric band film 6 Recording magnetic film 7 Second dielectric band film 8 Reflective film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 11/105 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 11/105

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 基板上に記録膜及び金属よりなる反射膜
が形成された光磁気記録媒体において、 上記基板を覆うように、上記基板の一方の主面の反射膜
及び他方の主面に紫外線硬化型樹脂よりなる保護膜が
形成され、上記一方の主面の反射膜上の 保護膜は、5μm以下の膜
厚で形成され、その表面抵抗が1014Ω/cm以下
であることを特徴とする光磁気記録媒体。
(57) [Claim 1] In a magneto-optical recording medium in which a recording film and a reflective film made of metal are formed on a substrate, one of the main surfaces of the substrate is covered so as to cover the substrate. Reflective film
A protective film made of an ultraviolet curable resin is formed on the upper and other main surfaces, and the protective film on the reflective film on the one main surface is formed to a thickness of 5 μm or less and has a surface resistance of 10 14 Ω /. cm 2 or less.
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