JP2960767B2 - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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JP2960767B2
JP2960767B2 JP25526390A JP25526390A JP2960767B2 JP 2960767 B2 JP2960767 B2 JP 2960767B2 JP 25526390 A JP25526390 A JP 25526390A JP 25526390 A JP25526390 A JP 25526390A JP 2960767 B2 JP2960767 B2 JP 2960767B2
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【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は光磁気記録媒体に係り、特に、透明基板の片
面に積層される薄膜の積層構造に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium, and more particularly, to a laminated structure of a thin film laminated on one surface of a transparent substrate.

[従来の技術] 光磁気記録媒体を用いた情報記録システムが実用化の
段階に入り、オーバーライト機能を有し、かつ再生CN比
および情報保存性に優れた光磁気記録媒体を提供するこ
とがますます重要な技術的課題になっている。
[Prior Art] An information recording system using a magneto-optical recording medium has entered the stage of practical use, and it is necessary to provide a magneto-optical recording medium having an overwrite function and having an excellent reproduction CN ratio and excellent information preservability. It is an increasingly important technical issue.

第5図は、従来より知られている光磁気記録媒体の第
1例を示す要部断面図であって、透明基板1の信号面2
に、透明基板1側より、透明基板1よりも高い屈折率を
有する無機誘電体からなるエンハンス層3と、光磁気記
録層(希土類−遷移金属系の非晶質垂直磁化膜)4と、
前記エンハンス層3と同様の材料からなる保護層5と、
アルミニウムなどの高反射率金属材料からなる反射層6
とが順次積層されている。
FIG. 5 is a sectional view of a main part showing a first example of a conventionally known magneto-optical recording medium, and shows a signal surface 2 of a transparent substrate 1;
From the side of the transparent substrate 1, an enhance layer 3 made of an inorganic dielectric having a higher refractive index than the transparent substrate 1, a magneto-optical recording layer (a rare earth-transition metal based amorphous perpendicular magnetization film) 4,
A protective layer 5 made of the same material as the enhance layer 3,
Reflective layer 6 made of a metal material having high reflectivity such as aluminum
Are sequentially laminated.

この光磁気記録媒体は、透明基板1と光磁気記録層4
との界面にエンハンス層3を設けたので、透明基板1と
光磁気記録層4との間で再生用光ビームが多重反射され
て見掛け上のカー回転角を大きくすることができる。ま
た、光磁気記録層4の透明基板1側から見て背面側に保
護層5と反射層6とを順次積層したので、光磁気記録層
4を透過した再生用光ビームを反射層6で反射させて透
明基板1側に戻すことができ、光磁気記録層4を透過す
る際(往復行程)に受けるファラデー効果によって見掛
け上のカー回転角をさらに大きくすることができる。再
生CN比は、カー回転角と反射率との積に比例するから、
この光磁気記録媒体は、高い再生CN比を得ることができ
る。
This magneto-optical recording medium includes a transparent substrate 1 and a magneto-optical recording layer 4.
Since the enhancement layer 3 is provided at the interface between the transparent substrate 1 and the magneto-optical recording layer 4, the reproducing light beam is multiple-reflected between the transparent substrate 1 and the magneto-optical recording layer 4, so that the apparent Kerr rotation angle can be increased. Further, since the protective layer 5 and the reflective layer 6 are sequentially laminated on the back side of the magneto-optical recording layer 4 as viewed from the transparent substrate 1 side, the reproducing light beam transmitted through the magneto-optical recording layer 4 is reflected by the reflective layer 6. Then, the apparent Kerr rotation angle can be further increased by the Faraday effect received when the light passes through the magneto-optical recording layer 4 (reciprocating stroke). Since the playback CN ratio is proportional to the product of the car rotation angle and the reflectance,
This magneto-optical recording medium can obtain a high reproduction CN ratio.

また、この光磁気記録媒体は、光磁気記録層4上に保
護層5を介して金属製の反射層6を設けたので、光磁気
記録層4を含む加熱部の熱伝導率が大きく、光磁気記録
層4が過剰に加熱されることがない。よって、光磁気記
録層4が変質したり、透明基板1の信号面2が変形する
などといった不都合を生じにくく、繰り返し記録/消去
に対する耐久性を向上することができる。もちろん、反
射層6の熱伝導率を適宜の値に調整することによって、
記録感度ならびに消去感度をドライブに適した値に調整
することができる。
Also, in this magneto-optical recording medium, since the metal reflective layer 6 is provided on the magneto-optical recording layer 4 with the protective layer 5 interposed therebetween, the heating section including the magneto-optical recording layer 4 has a high thermal conductivity, and The magnetic recording layer 4 is not excessively heated. Therefore, inconveniences such as deterioration of the magneto-optical recording layer 4 and deformation of the signal surface 2 of the transparent substrate 1 hardly occur, and durability against repeated recording / erasing can be improved. Of course, by adjusting the thermal conductivity of the reflective layer 6 to an appropriate value,
The recording sensitivity and the erasing sensitivity can be adjusted to values suitable for the drive.

なお、これに類する公知技術としては、特開昭57−16
9996号公報を挙げることができる。
As a known technique similar to this, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 57-16
No. 9996 can be mentioned.

第6図は、従来より知られている光磁気記録媒体の第
2例を示す要部断面図であって、透明基板1の信号面2
に、透明基板1側より、第1の保護膜11と、補償温度が
室温以上にあるフェリ磁性体薄膜12と、面内磁化層13
と、第2の保護膜14とが順次積層されている。
FIG. 6 is a sectional view of a principal part showing a second example of a conventionally known magneto-optical recording medium, and shows a signal surface 2 of a transparent substrate 1;
First, from the transparent substrate 1 side, a first protective film 11, a ferrimagnetic thin film 12 having a compensation temperature of room temperature or higher, and an in-plane magnetic layer 13
And a second protective film 14 are sequentially stacked.

この光磁気記録媒体は、フェリ磁性体薄膜12上に面内
磁化層13を積層したので、フェリ磁性体薄膜12中の磁壁
と面内磁化層13との相互作用により、磁壁内に多数のブ
ロッホラインの発生が抑制できて記録ピットの完全な消
去ができる。よって、外部磁界を用いることなく、光変
調方式によって直接情報のオーバーライトを行うことが
できる。
In this magneto-optical recording medium, since an in-plane magnetic layer 13 is laminated on the ferrimagnetic thin film 12, the interaction between the domain wall and the in-plane magnetic layer 13 in the ferrimagnetic thin film 12 causes a large number of Blochs in the magnetic wall. The generation of lines can be suppressed, and the recording pits can be completely erased. Therefore, it is possible to directly overwrite information by an optical modulation method without using an external magnetic field.

なお、これに類する公知技術としては、特開昭63−24
1739号公報を挙げることができる。
As a known technique similar to this, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-24 / 1988
No. 1739 can be mentioned.

[発明が解決しようとする課題] 従来技術の第1例に係る光磁気記録媒体は、叙上のよ
うな種々の利点を有する反面、情報のオーバーライトが
事実上不可能であるという欠点がある。磁界変調方式に
よれば、原理的には情報のオーバーライトを行うことが
できるが、記録ならびに消去の際の外部磁界感度が悪
く、特に、記録された信号を消去するのに大きな外部磁
界(例えば、600〔Oe〕以上)を必要とするため、到底
実用性がない。
[Problem to be Solved by the Invention] The magneto-optical recording medium according to the first example of the related art has various advantages as described above, but has a disadvantage that overwriting of information is practically impossible. . According to the magnetic field modulation method, information can be overwritten in principle, but the external magnetic field sensitivity at the time of recording and erasing is poor, and in particular, a large external magnetic field (for example, , 600 [Oe] or more).

一方、従来技術の第2例に係る光磁気記録媒体は、光
変調方式による情報のオーバーライトが可能であるとい
う利点を有する反面、光磁気記録層であるフェリ磁性体
薄膜12の背面側に反射層が積層されていないため、フェ
リ磁性体薄膜12を透過した再生用光ビームを透明基板1
側に戻すことができず、従ってカー回転角を大きくする
ことができないので、高い再生CN比を得ることができな
いという問題がある。また、熱伝導率が高い材料から成
る層を設けていないため、繰り返し記録/消去に対する
耐久性が低いという問題もある。
On the other hand, the magneto-optical recording medium according to the second example of the related art has an advantage that information can be overwritten by a light modulation method, but has a reflection on the back side of the ferrimagnetic thin film 12 which is a magneto-optical recording layer. Since the layers are not stacked, the reproducing light beam transmitted through the ferrimagnetic thin film 12 is applied to the transparent substrate 1.
Cannot be returned to the side, and therefore the Kerr rotation angle cannot be increased, so that there is a problem that a high reproduction CN ratio cannot be obtained. Further, since a layer made of a material having high thermal conductivity is not provided, there is a problem that durability against repeated recording / erasing is low.

本発明は、前記した従来技術の不備を解決するために
なされたものであって、磁界変調方式による情報のオー
バーライトが可能で、かつ高い再生C/N比ならびにドラ
イブに適した記録/消去感度を有し、さらに繰り返し記
録/消去に対する耐久性に優れた光磁気記録媒体を提供
することを目的とするものである。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned deficiencies of the prior art, and it is possible to overwrite information by a magnetic field modulation method, and to have a high reproduction C / N ratio and a recording / erasing sensitivity suitable for a drive. It is another object of the present invention to provide a magneto-optical recording medium having excellent durability against repeated recording / erasing.

[課題を解決するための手段] 本発明は、前記の目的を達成するため、透明基板の信
号面に、少なくとも光磁気記録層を含む薄膜を担持して
なる光磁気記録媒体において、前記透明基板側から見て
前記光磁気記録層の背面に、可能な限り高い再生用光に
対する反射率と、0.05〜2.0W/cm・degの熱伝導率とを有
する強磁性反射膜を積層した。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention provides a magneto-optical recording medium comprising a thin film including at least a magneto-optical recording layer on a signal surface of the transparent substrate. On the back side of the magneto-optical recording layer as viewed from the side, a ferromagnetic reflective film having a reflectance as high as possible for reproduction light and a thermal conductivity of 0.05 to 2.0 W / cm · deg was laminated.

前記強磁性反射膜としては、〔Pt,Al,Ag,Au,Cu,Rh〕
元素群から選択された少なくとも1種類の元素と、〔F
e,Co,Ni〕元素群から選択された少なくとも1種類の元
素との合金薄膜が好適であり、特にPtを60〜95原子%含
むCoPt合金薄膜が好ましい。
As the ferromagnetic reflection film, (Pt, Al, Ag, Au, Cu, Rh)
At least one element selected from the group of elements and [F
e, Co, Ni] alloy thin film with at least one element selected from the group of elements is preferable, and a CoPt alloy thin film containing 60 to 95 atomic% of Pt is particularly preferable.

また、前記光磁気記録層は、公知に属する任意の光磁
気記録材料を用いて形成することができるが、特に希土
類−遷移金属系の非晶質垂直磁化膜が好適である。
The magneto-optical recording layer can be formed using any known magneto-optical recording material, but a rare earth-transition metal amorphous perpendicular magnetization film is particularly preferable.

さらに、前記光磁気記録層および強磁性反射膜に加え
て他の膜を積層することは任意に行うことができ、前記
透明基板の信号面と光磁気記録層との間に無機誘電体か
らなるエンハンス層を介設したり、前記強磁性反射膜の
表面に無機材料または有機材料からなる保護層を設ける
ことができる。
Further, it is possible to arbitrarily laminate another film in addition to the magneto-optical recording layer and the ferromagnetic reflective film, and to form an inorganic dielectric between the signal surface of the transparent substrate and the magneto-optical recording layer. A protective layer made of an inorganic material or an organic material can be provided on the surface of the ferromagnetic reflective film with an enhance layer interposed therebetween.

[作用] 光磁気記録層の背面に強磁性反射膜を積層すると、こ
れら光磁気記録層と強磁性反射膜との間に磁気的な相互
作用を生じ、記録ならびに消去の際の外部磁界感度が向
上する。よって、より小さな外部磁界で完全な情報の記
録/消去が可能となり、磁界変調方式による情報のオー
バーライトを実現することができる。
[Operation] When a ferromagnetic reflective film is laminated on the back surface of the magneto-optical recording layer, a magnetic interaction occurs between the magneto-optical recording layer and the ferromagnetic reflective film, and the external magnetic field sensitivity during recording and erasing is reduced. improves. Therefore, complete recording / erasing of information can be performed with a smaller external magnetic field, and overwriting of information by a magnetic field modulation method can be realized.

また、強磁性反射膜として、可能な限り再生用光に対
する反射率が高いものを用いたので、光磁気記録層を透
過した再生用光ビームを強磁性反射膜にて反射し、再度
光磁気記録層を透過して透明基板側に戻すことができ、
再生用光ビームが光磁気記録層を透過する際に受けるフ
ァラデー効果によって見掛け上のカー回転角を大きくす
ることができる。よって、高い再生CN比を得ることがで
きる。
Also, since a ferromagnetic reflective film having the highest reflectivity to reproducing light as much as possible was used, the reproducing light beam transmitted through the magneto-optical recording layer was reflected by the ferromagnetic reflective film, and the magneto-optical recording was performed again. Can pass through the layer and return to the transparent substrate side,
The apparent Kerr rotation angle can be increased by the Faraday effect received when the reproducing light beam passes through the magneto-optical recording layer. Therefore, a high reproduction CN ratio can be obtained.

さらに、強磁性反射膜として、0.05〜2.0W/cm・degの
熱伝導率を有するものを光磁気記録層上に被着したの
で、光磁気記録層が過剰に加熱されることがない。よっ
て、光磁気記録層が変質したり透明基板の信号面が変形
するなどといった不都合を生じにくく、繰り返し記録/
消去に対する耐久性を向上することができる。また、記
録感度ならびに消去感度をドライブに適した値にするこ
とができる。
Furthermore, since a ferromagnetic reflective film having a thermal conductivity of 0.05 to 2.0 W / cm · deg is deposited on the magneto-optical recording layer, the magneto-optical recording layer is not excessively heated. Therefore, inconveniences such as deterioration of the magneto-optical recording layer and deformation of the signal surface of the transparent substrate hardly occur.
Durability against erasure can be improved. Further, the recording sensitivity and the erasing sensitivity can be set to values suitable for the drive.

[実施例] 第1図は、本発明に係る光磁気記録媒体の一例を示す
要部断面図であって、透明基板1の信号面2に、透明基
板1側より、透明基板1よりも高い屈折率を有する無機
誘電体からなるエンハンス層3と、光磁気記録層4と、
強磁性反射膜21と、保護層22とが順次積層されている。
Embodiment FIG. 1 is a cross-sectional view of an essential part showing an example of a magneto-optical recording medium according to the present invention. The signal surface 2 of the transparent substrate 1 is higher than the transparent substrate 1 than the transparent substrate 1 side. An enhance layer 3 made of an inorganic dielectric material having a refractive index, a magneto-optical recording layer 4,
A ferromagnetic reflective film 21 and a protective layer 22 are sequentially stacked.

透明基板1は、例えばポリカーボネート、ポリメチル
メタクリレート、ポリオレフィン、エポキシなどのプラ
スチックス材料や、ガラスなどの透明材料をもって、デ
ィスク状もしくはカード状など所望の形状に形成され
る。
The transparent substrate 1 is formed of a plastic material such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyolefin, or epoxy, or a transparent material such as glass into a desired shape such as a disk shape or a card shape.

信号面2には、光ビームスポットを案内するための案
内溝やヘッダー信号を表すプリピット列などの信号パタ
ーンが微細な凹凸状に形成される。なお、第1図におい
ては、透明基板1の片面に信号パターンが直接形成され
ているが、平板状に形成された透明基板の片面に、当該
透明基板と屈折率が近似した光硬化性樹脂層を設け、こ
の光硬化性樹脂層の表面に前記信号パターンを転写する
こともできる。
A signal pattern such as a guide groove for guiding a light beam spot and a pre-pit row representing a header signal is formed on the signal surface 2 in a fine uneven shape. In FIG. 1, a signal pattern is directly formed on one surface of the transparent substrate 1. However, a photocurable resin layer having a refractive index similar to that of the transparent substrate is formed on one surface of the transparent substrate formed in a plate shape. And the signal pattern can be transferred to the surface of the photocurable resin layer.

エンハンス層3は、光磁気記録層4と透明基板1との
間で再生用光ビームを多重干渉させ、見掛け上のカー回
転角を大きくするために設けられるものであって、シリ
コン、アルミニウム、ジルコニウム、チタン、タンタル
の窒化物や酸化物など、屈折率が前記透明基板1よりも
大きな無機誘電体からなり、600〜1000Åの膜厚に形成
される。該層3の成膜手段としては、スパッタリングが
特に好適である。
The enhancement layer 3 is provided for causing a reproduction light beam to cause multiple interference between the magneto-optical recording layer 4 and the transparent substrate 1 to increase an apparent Kerr rotation angle, and includes silicon, aluminum, and zirconium. , Titanium, tantalum nitride, oxide, or the like, and is made of an inorganic dielectric material having a refractive index larger than that of the transparent substrate 1, and is formed to a thickness of 600 to 1000 °. As a means for forming the layer 3, sputtering is particularly suitable.

光磁気記録層4は、希土類−遷移金属系の非晶質垂直
磁化膜、PtMnSb合金(ホイスラー合金)、Pt膜とCo膜の
積層体、Mn−Bi系合金(結晶質)、酸化物など、公知に
属する任意の光磁気記録材料を用いて形成することがで
きるが、特に希土類−遷移金属系の非晶質垂直磁化膜が
好適である。
The magneto-optical recording layer 4 is made of a rare earth-transition metal amorphous perpendicular magnetization film, a PtMnSb alloy (Heusler alloy), a laminate of a Pt film and a Co film, a Mn-Bi alloy (crystalline), an oxide, or the like. Although it can be formed using any known magneto-optical recording material, a rare earth-transition metal amorphous perpendicular magnetization film is particularly preferable.

希土類−遷移金属系の非晶質垂直磁化膜としては、下
記の一般式で表されるものがと特に好ましい。
As the rare earth-transition metal amorphous perpendicular magnetization film, a film represented by the following general formula is particularly preferable.

一般式;TbXFe(100-X-Y-Z)CoYMZ 但し、20原子%≦x≦30原子% 5原子%≦y≦15原子% 0原子%≦x≦10原子% Mは、Nb,Cr,Ptから選択された少なくとも1種類の元
素 この垂直磁化膜は、TbとFeとCoと添加元素Mとの合
金、またはこれらの元素を含む焼結体にて形成されたタ
ーゲットをスパッタリングすることによって、200〜500
Åの膜厚に形成される。
General formula; Tb X Fe (100-XYZ) Co Y M Z where 20 atomic% ≦ x ≦ 30 atomic% 5 atomic% ≦ y ≦ 15 atomic% 0 atomic% ≦ x ≦ 10 atomic% M is Nb, Cr , At least one element selected from Pt This perpendicular magnetization film is formed by sputtering a target formed of an alloy of Tb, Fe, Co, and an additional element M, or a sintered body containing these elements. , 200-500
It is formed to a film thickness of Å.

強磁性反射膜21は、光磁気記録層4よりも再生用光に
対する反射率が高く、かつ可能な限り再生用光に対する
反射率が高いものが好ましい。さらに、0.05〜2.0W/cm
・degの熱伝導率を有する材料から形成される。その膜
厚は、200〜400Åに形成される。
It is preferable that the ferromagnetic reflective film 21 has a higher reflectivity to the reproducing light than the magneto-optical recording layer 4 and has a higher reflectivity to the reproducing light as much as possible. Furthermore, 0.05-2.0W / cm
-It is formed from a material having a thermal conductivity of deg. The film thickness is formed to 200 to 400 °.

すなわち、本発明は、光磁気記録層4を透過した再生
用光を強磁性反射膜21によって透明基板1側に戻し、入
射光および戻り光が光磁気記録層4を透過する際に受け
るファラデー効果によって見掛け上のカー回転角を増大
させ、もって再生CN比の改善を図るものである。従っ
て、再生用光に対する反射率は、高いほど良好な結果を
得ることができるのであって、再生用光に対して70%以
上の反射率を有する強磁性反射膜21を用いることがより
好ましい。
That is, according to the present invention, the reproduction light transmitted through the magneto-optical recording layer 4 is returned to the transparent substrate 1 side by the ferromagnetic reflective film 21, and the Faraday effect which is received when the incident light and the return light are transmitted through the magneto-optical recording layer 4. This increases the apparent car rotation angle, thereby improving the reproduction CN ratio. Therefore, the higher the reflectance with respect to the light for reproduction, the better the result can be obtained, and it is more preferable to use the ferromagnetic reflective film 21 having a reflectance of 70% or more with respect to the light for reproduction.

また、強磁性反射膜21の熱伝導率が低すぎると、情報
の記録または消去の際に光磁気記録層4が過剰に加熱さ
れ、これが繰り返されることによって光磁気記録層4が
変質(例えば、非晶質垂直磁化膜が結晶化する等)した
り、透明基板1の信号面2が変形したりしやすく、再生
出力が短期間のうちに低下するといった不都合を生じ
る。一方、強磁性反射膜21の熱伝導率が高すぎると、光
磁気記録層4を情報の記録または消去に必要な温度まで
昇温することができず、記録感度が低下したり、既記録
信号の消え残りによる記録/再生エラーが増加するの
で、大パワーの記録/消去用光源(例えば、レーザー)
を搭載しなくてはならなくなるといった不都合を生じ
る。
If the thermal conductivity of the ferromagnetic reflective film 21 is too low, the magneto-optical recording layer 4 is excessively heated during recording or erasing of information, and the magneto-optical recording layer 4 is deteriorated by repeating this operation (for example, The amorphous perpendicular magnetization film is likely to be crystallized, etc.), and the signal surface 2 of the transparent substrate 1 is easily deformed. On the other hand, if the thermal conductivity of the ferromagnetic reflective film 21 is too high, the temperature of the magneto-optical recording layer 4 cannot be increased to a temperature required for recording or erasing information, and the recording sensitivity is reduced, A recording / reproducing light source (eg, a laser) having a high power because a recording / reproducing error due to the remaining disappearance of the recording increases.
The inconvenience of having to mount the device occurs.

第2図に、強磁性反射膜21の熱伝導率と、記録/消去
動作を104回繰り返した後の再生出力の低下、および記
録/消去に要するレーザーパワーとの関係を示す。この
図から明らかなように、強磁性反射膜21として熱伝導率
が0.05W/cm・deg以下のものを用いると、記録/消去動
作を104回繰り返した後の再生出力が急激に低下し、実
用性がないことがわかる。また、強磁性反射膜21として
熱伝導率が2.0W/cm・deg以上のものを用いると、情報の
記録/消去に10mW(膜面)以上のレーザーパワーが必要
となり、やはり実用化が難しくなることがわかる。これ
らデータから、強磁性反射膜21の熱伝導率が、前記の範
囲に決められる。
In FIG. 2, showing the thermal conductivity of the ferromagnetic reflection film 21, reduction in the reproduction output after repeating recording / erasing operation 10 4 times, and the relationship between the laser power required for recording / erasing. As is apparent from this graph, the thermal conductivity as the ferromagnetic reflection film 21 is used as follows 0.05 W / cm · deg, the reproduction output after repeated recording / erasing operation 10 4 times decreases rapidly It turns out that it is not practical. If a ferromagnetic reflective film 21 having a thermal conductivity of 2.0 W / cm · deg or more is used, a laser power of 10 mW (film surface) or more is required for recording / erasing information, which also makes practical use difficult. You can see that. From these data, the thermal conductivity of the ferromagnetic reflective film 21 is determined within the above range.

強磁性反射膜21の具体例としては、〔Pt,Al,Ag,Au,C
u,Rh〕元素群から選択された少なくとも1種類の元素
と、〔Fe,Co,Ni〕元素群から選択された少なくとも1種
類の元素との合金薄膜を挙げることができる。
Specific examples of the ferromagnetic reflection film 21 include (Pt, Al, Ag, Au, C
An alloy thin film of at least one element selected from the [u, Rh] element group and at least one element selected from the [Fe, Co, Ni] element group can be given.

なお、構成元素が同一であっても、その含有比率によ
って、既記録信号を完全に消去するに要する外部磁界の
大きさが変動する。第3図に、CoPt合金薄膜を例にとっ
て、薄膜中のPt含有率と消去方向磁界との関係を示す
(膜厚は、200Å)。ここに、消去方向磁界とは、消去
方向に外部磁界を印加しつつ情報の記録を行ったとき
に、記録が行えなくなる最小の磁界であり、およそ既記
録信号を完全に消去するに要する外部磁界の大きさを表
す。
Even if the constituent elements are the same, the magnitude of the external magnetic field required to completely erase the recorded signal varies depending on the content ratio. FIG. 3 shows the relationship between the Pt content in the thin film and the magnetic field in the erasing direction (film thickness is 200 °), taking a CoPt alloy thin film as an example. Here, the erasing direction magnetic field is a minimum magnetic field at which recording cannot be performed when information is recorded while an external magnetic field is applied in the erasing direction, and is an external magnetic field required to completely erase a recorded signal. Represents the size of

第3図から明らかなように、CoPt合金薄膜において
は、消去方向磁界が最小となるPt含有率がある。ドライ
ブ側からの要請により、ドライブに搭載可能な外部磁界
はせいぜい300〔Oe〕であり、この外部磁界によって既
記録信号を安全に消去するためには、CoPt合金薄膜のPt
含有率を60〜95原子%に調整する必要があることがわか
る。
As apparent from FIG. 3, the CoPt alloy thin film has a Pt content at which the magnetic field in the erasing direction is minimized. At the request of the drive side, the external magnetic field that can be mounted on the drive is at most 300 [Oe], and in order to safely erase the recorded signal by this external magnetic field, the Pt of the CoPt alloy thin film
It is understood that the content needs to be adjusted to 60 to 95 atomic%.

保護層22は、前記エンハンス層3と同様の無機誘電
体、または光硬化性樹脂などの有機材料をもって形成さ
れる。保護層材料として無機誘電体を用いる場合には、
500〜2000Åの膜厚に形成される。
The protective layer 22 is formed of the same inorganic dielectric as the enhance layer 3 or an organic material such as a photo-curable resin. When using an inorganic dielectric as a protective layer material,
It is formed to a thickness of 500 to 2000 mm.

以下、より具体的な実験例と比較例とを示し、両者の
記録・消去特性を比較する。
Hereinafter, more specific experimental examples and comparative examples will be shown, and the recording / erasing characteristics of both will be compared.

<実験例> 射出成形されたポリカーボネート基板の信号面に、85
0ÅのSiNエンハンス層と、400ÅのTeFeCo非晶質垂直磁
化膜と、300ÅのPtを75原子%含むPtCo強磁性反射膜
と、1500ÅのSiN保護層とを順次スパッタリングし、第
1図の光磁気記録媒体を作成した。
<Experimental example> The signal surface of an injection-molded polycarbonate substrate
A 0Å SiN enhancement layer, a 400Å TeFeCo amorphous perpendicular magnetization film, a 300Å PtCo ferromagnetic reflection film containing 75 at.% Of Pt, and a 1500Å SiN protective layer were sequentially sputtered, and the magneto-optical device shown in FIG. A recording medium was created.

<比較例> 射出成形されたポリカーボネート基板の信号面に、85
0ÅのSiNエンハンス層と、400ÅのTeFeCo非晶質垂直磁
化膜と、200ÅのSiN保護層と、700ÅのAl合金反射層と
を順次スパッタリングして、第5図の光磁気記録媒体を
作成した。
<Comparative Example> 85
A magneto-optical recording medium shown in FIG. 5 was prepared by sequentially sputtering a 0-degree SiN enhancement layer, a 400-degree TeFeCo amorphous perpendicular magnetization film, a 200-degree SiN protective layer, and a 700-degree Al alloy reflective layer.

第4図に、実験例に係る光磁気記録媒体の記録・消去
特性と、比較例に係る光磁気記録媒体の記録・消去特性
とを示す。ここにいう記録・消去特性とは、記録時に印
加する外部磁界の大きさおよび方向を変化させたときの
再生CN比の変化をいい、第4図の横軸には記録時に印加
する外部磁界の大きさおよび方向が目盛られ、縦軸には
再生CN比が目盛られている。
FIG. 4 shows the recording / erasing characteristics of the magneto-optical recording medium according to the experimental example and the recording / erasing characteristics of the magneto-optical recording medium according to the comparative example. The recording / erasing characteristics as used herein refer to a change in the reproduction CN ratio when the magnitude and direction of the external magnetic field applied during recording are changed. The horizontal axis in FIG. The size and direction are graduated, and the vertical axis represents the reproduced CN ratio.

この図から明らかなように、比較例の光磁気記録媒体
は、約300〔Oe〕の外部磁界を記録方向に印加しなけれ
ば再生CN比が飽和値に達しないのに対し、実験例の光磁
気記録媒体は、約100〔Oe〕の外部磁界を記録方向に印
加するだけで再生CN比が飽和値に達する。このことか
ら、実験例の光磁気記録媒体は、より小さな外部磁界で
完全な記録を行えることがわかる。また、比較例の光磁
気記録媒体は、消去方向に600〔Oe〕以上の外部磁界を
印加しなければ再生CN比をゼロにすることができないの
に対し、実験例の光磁気記録媒体は、約200〔Oe〕の外
部磁界を消去方向に印加するだけで再生CN比をゼロにす
ることができる。このことから、実験例の光磁気記録媒
体は、より小さな外部磁界で完全な消去を行えることが
わかる。従って、実験例の光磁気記録媒体は、比較例の
光磁気記録媒体に比べて、磁界変調方式によるオーバー
ライトを行いやすい記録・消去特性を有していると言え
る。
As is clear from this figure, the magneto-optical recording medium of the comparative example does not reach the saturation value unless the external magnetic field of about 300 [Oe] is applied in the recording direction. In the magnetic recording medium, the reproduction CN ratio reaches a saturation value only by applying an external magnetic field of about 100 [Oe] in the recording direction. This indicates that the magneto-optical recording medium of the experimental example can perform perfect recording with a smaller external magnetic field. Further, the magneto-optical recording medium of the comparative example cannot make the reproduction CN ratio zero without applying an external magnetic field of 600 (Oe) or more in the erasing direction, whereas the magneto-optical recording medium of the experimental example has The reproduction CN ratio can be made zero by simply applying an external magnetic field of about 200 [Oe] in the erasing direction. This indicates that the magneto-optical recording medium of the experimental example can perform complete erasure with a smaller external magnetic field. Therefore, it can be said that the magneto-optical recording medium of the experimental example has recording / erasing characteristics in which overwriting by the magnetic field modulation method is easily performed as compared with the magneto-optical recording medium of the comparative example.

また、再生CN比の飽和値は、実験例の光磁気記録媒体
および比較例の光磁気記録媒体ともにほぼ同じ値になっ
ており、充分な高CN比を帯有していることがわかる。
Further, the saturation value of the reproduction CN ratio is substantially the same for both the magneto-optical recording medium of the experimental example and the magneto-optical recording medium of the comparative example, and it can be seen that the saturated CN ratio has a sufficiently high CN ratio.

なお、前記実施例においては、透明基板1と光磁気記
録層4との間にエンハンス層3を介設したが、強磁性反
射膜21の反射率が高く、充分なCN比がとれる場合には、
これを省略することもできる。
In the above embodiment, the enhancement layer 3 is provided between the transparent substrate 1 and the magneto-optical recording layer 4. However, when the reflectivity of the ferromagnetic reflection film 21 is high and a sufficient CN ratio can be obtained. ,
This can be omitted.

また、前記実施例においては、媒体の最外面に保護層
22を配設したが、強磁性反射膜21として耐食性に優れた
ものを用いる場合には、これを省略することもできる。
In the above embodiment, the protective layer is provided on the outermost surface of the medium.
Although 22 is provided, when a ferromagnetic reflection film 21 having excellent corrosion resistance is used, this can be omitted.

さらに、前記実施例においては、光磁気記録層4の背
面側に強磁性反射膜21を直接積層したが、これら光磁気
記録層4と強磁性反射膜21との間に、エンハンス層3と
同様の無機誘電体から成る第2エンハンス層を設けるこ
ともできる。
Further, in the above-described embodiment, the ferromagnetic reflective film 21 is directly laminated on the back side of the magneto-optical recording layer 4, but between the magneto-optical recording layer 4 and the ferromagnetic reflective film 21, as in the case of the enhancement layer 3. A second enhanced layer made of an inorganic dielectric material of the above.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、透明基板側か
ら見て光磁気記録層の背面に、可能な限り再生用光に対
する反射率が高く、熱伝導率が0.05〜2.0W/cm・degの強
磁性反射膜を積層したので、再生CN比が高く、ドライブ
に適した記録・消去感度を有し、さらに繰り返し記録/
消去に対する耐久性に優れ、かつ磁界変調方式によるオ
ーバーライトが可能な光磁気記録媒体を提供することが
できる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, as far as possible from the transparent substrate side, on the back surface of the magneto-optical recording layer, the reflectance to reproduction light is as high as possible, and the thermal conductivity is 0.05 to 2.0. Since a ferromagnetic reflective film of W / cm · deg is laminated, the read / write CN ratio is high, the recording and erasing sensitivity suitable for the drive, and the
It is possible to provide a magneto-optical recording medium having excellent durability against erasing and capable of overwriting by a magnetic field modulation method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明に係る光磁気記録媒体の一例を示す要部
断面図、第2図は強磁性反射膜の熱伝導率と記録/消去
動作を104回繰り返した後の再生出力の低下および記録
/消去に要するレーザーパワーとの関係を示すグラフ
図、第3図はPtCo薄膜中のPt含有率と消去方向磁界との
関係を示すグラフ図、第4図は実験例に係る光磁気記録
媒体の記録・消去特性と比較例に係る光磁気記録媒体の
記録・消去特性とを示すグラフ図、第5図は従来技術の
第1例を示す要部断面図、第6図は従来技術の第2例を
示す要部断面図である。 1……透明基板、2……信号面、3……エンハンス層、
4……光磁気記録層、21……強磁性反射膜、22……保護
層。
Cross sectional view showing an example of the magneto-optical recording medium according to Figure 1 the present invention, FIG. 2 reduction in the reproduction output after repeating 10 4 times the recording / erasing operation and the thermal conductivity of the ferromagnetic reflection film FIG. 3 is a graph showing a relationship between a Pt content in a PtCo thin film and a magnetic field in an erasing direction, and FIG. 4 is a magneto-optical recording according to an experimental example. FIG. 5 is a graph showing the recording / erasing characteristics of a medium and the recording / erasing characteristics of a magneto-optical recording medium according to a comparative example. FIG. 5 is a sectional view of a main part showing a first example of the prior art. It is principal part sectional drawing which shows a 2nd example. 1 ... Transparent substrate, 2 ... Signal surface, 3 ... Enhancement layer,
4 ... magneto-optical recording layer, 21 ... ferromagnetic reflection film, 22 ... protective layer.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−91132(JP,A) 特開 昭58−222455(JP,A) 特開 昭59−167864(JP,A) 特開 平3−168951(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 11/10 523 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-3-91132 (JP, A) JP-A-58-222455 (JP, A) JP-A-59-167864 (JP, A) 168951 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 11/10 523

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】透明基板の信号面に、少なくとも光磁気記
録層を含む薄膜を担持してなる光磁気記録媒体におい
て、前記光磁気記録層上に、直接又は他の薄膜を介し
て、0.05〜2.0W/cm/degの熱伝導率を有する強磁性反射
膜を積層したことを特徴とする光磁気記録媒体。
1. A magneto-optical recording medium comprising a thin film including at least a magneto-optical recording layer on a signal surface of a transparent substrate. A magneto-optical recording medium comprising a laminated ferromagnetic reflective film having a thermal conductivity of 2.0 W / cm / deg.
【請求項2】請求項1記載において、前記強磁性反射膜
が再生用光に対して70%以上の反射率を有することを特
徴とする光磁気記録媒体。
2. A magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein said ferromagnetic reflection film has a reflectance of 70% or more with respect to reproduction light.
【請求項3】請求項1記載において、前記強磁性反射膜
として、〔Pt,Al,Ag,Au,Cu,Rh〕元素群から選択された
少なくとも1種類の元素と、〔Fe,Co,Ni〕元素群から選
択された少なくとも1種類の元素との合金薄膜を用いた
ことを特徴とする光磁気記録媒体。
3. The ferromagnetic reflective film according to claim 1, wherein at least one element selected from the group consisting of [Pt, Al, Ag, Au, Cu, Rh] and [Fe, Co, Ni]. ] A magneto-optical recording medium using an alloy thin film with at least one element selected from the group of elements.
【請求項4】請求項1記載において、前記強磁性反射膜
として、Ptを60〜95原子%含むCoPt合金薄膜を用いたこ
とを特徴とする光磁気記録媒体。
4. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein a CoPt alloy thin film containing 60 to 95 atomic% of Pt is used as said ferromagnetic reflection film.
【請求項5】請求項1記載において、前記光磁気記録層
として、希土類−遷移金属系の非晶質垂直磁化膜を用い
たことを特徴とする光磁気記録媒体。
5. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein a rare earth-transition metal based amorphous perpendicular magnetization film is used as the magneto-optical recording layer.
【請求項6】請求項1記載において、前記透明基板の信
号面と光磁気記録層との間に、無機誘電体からなるエン
ハンス層を介設したことを特徴とする光磁気記録媒体。
6. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein an enhanced layer made of an inorganic dielectric is provided between the signal surface of the transparent substrate and the magneto-optical recording layer.
【請求項7】請求項1記載において、前記強磁性反射膜
の表面に、無機材料又は有機材料からなる保護層を設け
たことを特徴とする光磁気記録媒体。
7. A magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein a protective layer made of an inorganic material or an organic material is provided on the surface of said ferromagnetic reflection film.
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