JP2790360B2 - フーリエ変換ラマン分光装置 - Google Patents

フーリエ変換ラマン分光装置

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザ光を照射して試料を励起し、ラピッ
ドスキャン型の干渉計を通してラマン光測定用検知器で
受光しラマン測定を行うフーリエ変換ラマン分光装置に
関する。
〔従来の技術〕
第5図はフーリエ変換ラマン分光装置の従来例を説明
するための図、第6図はラマン分光スペクトルの例を示
す図である。
フーリエ変換ラマン分光装置では、第5図に示すよう
にDCラマン励起用レーザ21によりレーザ光を試料22に照
射して励起し、試料22からの光をラピッドスキャン型の
干渉計23を通して検知器24で検知し、増幅器25、ADC
(アナログ−デジタルコンバータ)26を通してCPU27に
取り込んで測定したインタフェログラムをフーリエ変換
しスペクトルを得ている。
試料22にレーザ光を照射して励起したとき、検知器24
では、レイリー光及びストークス線とアンチストークス
線のラマン光が受光され、第6図(a)に示すようにレ
イリー光信号及びその両側に強度は異なるが対称なスト
ークス線のラマン光信号とアンチストークス線のラマン
光信号が出たスペクトルが得られる。ここで、元の光に
対してどれだけシフト量の違ったラマン光が出るかは、
試料のもつ分子のエネルギーレベルによって異なり、そ
れが照射したレーザ光の波数の周りに現れる。したがっ
て、実際に必要とするスペクトルの形は、同図(b)に
示すようなレイリー光信号の波数からのシフト量で表示
したラマン光信号であり、従来は照射するレーザ光の波
数に対応してソフト処理による変更を行っている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、上記のようにレイリー光信号の波数からのシ
フト量で表示したラマン光信号のデータをソフト処理に
より得ようとすると、レーザ光の波数を変えた場合や、
チューナブルレーザのように波数が変わる場合には、そ
の都度ソフトの書き替えが必要になるという問題があ
る。しかも現在使っているYAGレーザは、可視光へ持っ
てゆく傾向にあり、そうなると、尚更のこと波数に対応
してソフトを作ることが必要になるためその対応が面倒
になる。
また、ダイレーザのように波数がシフトしてしまうよ
うな場合もあるが、測定中にレーザ光波数が変わると測
定ができなくなるという問題がある。
しかも、レイリー光の波数が大きくなると、インタフ
ェログラムのサンプリング間隔を狭くする必要が生じ、
その上データ点数が多くなり、演算時間が長くなる。そ
のため、メモリ容量が多く必要となる。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、レー
ザ光波数が変化しても常にレイリー光からのシフト波数
で表示したスペクトルを得ることができるフーリエ変換
ラマン分光装置を提供することを目的とするものであ
る。
〔課題を解決するための手段〕
そのために本発明は、レーザ光を照射して試料を励起
し、該試料からの光をラピッドスキャン型の干渉計を通
してラマン光測定用検知器で受光しラマン測定を行うフ
ーリエ変換ラマン分光装置において、前記レーザ光の一
部を前記干渉計に導入するビームスプリッタと、前記干
渉計を通して前記ビームスプリッタから一部導入したレ
ーザ光を受光するレーザ光用検知器と、前記ラマン光測
定用検知器の出力と前記レーザ光用検知器の出力とを掛
け合わせる掛け算器と、該掛け算器に接続される第1の
ローパスフィルタとを備え、前記第1のローパスフィル
タを通してラマン光信号を得るように構成したことを特
徴とする。また、前記照射するレーザ光としてパルスレ
ーザ光を用いると共に、前記掛け算器の前段に前記ラマ
ン光測定用検知器の出力を平滑するローパスフィルタ及
び前記レーザ光用検知器の出力を平滑するローパスフィ
ルタを備えたことを特徴とする。
〔作用〕
本発明はフーリエ変換ラマン分光装置では、レーザ光
の一部を干渉計を通して検知器で受光し、該受光器の出
力でラマン光測定用検知器の出力の同期をとるので、レ
ーザ光波数が変化してもレーザ光自体の波数でスペクト
ルの波数を補正することができ、波数軸の変動と無関係
に常にレイリー光からのシフト波数で表示したスペクト
ルを得ることができる。
〔実施例〕
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第1図は本発明に係るフーリエ変換ラマン分光装置の
1実施例を説明するための図、第2図は信号波形及びス
ペクトルの例を示す図である。
第1図において、1はラマン励起用レーザ、2はビー
ムスプリッタ、3は試料、4は干渉計、5はレーザ光用
検知器、6はラマン光測定用検知器、7と8は増幅器、
9はロックインアンプ、10はローパスフィルタ、11はAD
C(アナログ−デジタルコンバータ)、12はCPUをそれぞ
れ示す。
干渉計4は、ラピッドスキャン型の干渉計を用いたも
のである。DCラマン励起用レーザ1は、試料3を照射し
ラマン励起するためのレーザ光を発生するものであり、
ビームスプリッタ2は、その一部の光を直接干渉計4に
導入するものである。ラマン光測定用検知器6は、干渉
計4を通してレーザ光で励起された試料3からの光を受
光し、レーザ光用検知器5は、干渉計4を通してビーム
スプリッタ2から一部導入したレーザ光を受光するもの
である。ロックインアンプ9は、レーザ光用検知器5の
出力とラマン光測定用検知器6の出力とを掛け合わせ同
期をとる掛け算器であり、その出力がローパスフィルタ
10、ADC11を通してCPU12に取り込まれる。
上記の構成において、時間軸で見た場合のラマン光測
定用検知器6の出力信号を示したのが第2図(a)、レ
ーザ光用検知器5の出力信号を示したのが同図(b)、
ロックインアンプ9からローパスフィルタ10を通して得
た出力信号を示したのが同図(c)である。
ラマン光測定用検知器6の出力をフーリエ変換して周
波数軸で見た場合の信号を示したのが同(d)であり、 となる。
第1項がレイリー光の成分を、第2項がラマン光の成
分を示し、積分はラマン光のスペクトル域に対して行う
ことになる。
また、レーザ光用検知器5の出力をフーリエ変換して
周波数軸で見た場合の信号を示したのが同図(e)であ
り、 FL(x)=BLcos2πσLx ……(2) となる。
ここで、上記(1)式におけるσの中心周波数はσ
である。
そこで、上記(1)式と(2)式とを掛け合わせる
と、 となり、差と和の信号が得られるので、ローパスフィル
タ10を通すと、和の波数(σ+σ)、(σ+σ
のスペクトルが取り除かれる。したがって、 となる。レイリー光信号はレーザ光と完全には一致して
いないがほぼ同じであるので零波数に表示され、ラマン
光信号がレイリー光信号からのシフト波数で表示された
スペクトルで、目的としたスペクトルの形が得られる。
このスペクトルを示したのが第2図(f)である。
第3図は本発明に係るフーリエ変換ラマン分光装置の
他の実施例を示す図であり、DCのラマン励起用レーザ1
に代えてラマン励起用パルスレーザ1′を使用すると共
に、レーザ光用検知器5及び主検知器6の後段に接続し
た増幅器7、8とロックインアンプ9との間にローパス
フィルタ14、15を挿入接続したものである。ラマン励起
用パルスレーザ1′は、主検知器6の出力をサンプリン
グする際にサンプリング則で決まる間隔より細かいパル
ス発光時間間隔とするものであり、ローパスフィルタ1
4、15は、デスクリートな信号を連続信号に戻すための
ものである。
この場合に検出器から出力する信号は、 F(x)・IIIh(x) の形になっている。ここで、hはパルス発光時間間隔で
ある。このスペクトルは、 となるので、第3図に示したスペクトルのように前記実
施例の場合のスペクトルに高調波成分が付加される。し
たがって、このままで信号を掛け合わせると、本来のス
ペクトルと折り返しのスペクトルで重なることが起こり
得る。そのため、ローパスフィルタを通し、高調波成分
を取り除いた後、掛け合わせ処理を行う。
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものでは
なく、種々の変形が可能である。レーザラマンではな
く、例えば一般の透過率、反射率、発光等の測定であっ
ても、紫外域や可視域で測定する場合は、適当な標準レ
ーザを用いて波数域をシフトさせることでサンプリング
間隔を細かくしないで測定することができる。
また、一般にラマン光の得られる波数域がラマンシフ
ト波数で示したスペクトル波数域より高い領域にあるの
で、ADC11のサンプリング間隔をh′とすると、h<
h′で測定することが多いが、h′を必要以上に細かく
とることは可能であり、装置の条件から必然的にその条
件になる場合も考えられる。高調波成分のみをフィルタ
で通して掛け算機に入れてもよい。この場合には、多数
の高調波成分の内、一つだけを取り出すので、バンドパ
スフィルタが用いられる。ラマンスペクトル波数域が充
分高く、その帯が狭いときは、本来のスペクトルと折り
返しスペクトルが重ならないことを条件としてパルス間
隔を整数倍にとってもよい。パルス間隔を2倍にした場
合の例を示したのが第4図であり、同図(a)が本来の
測定の場合、同図(b)がパルス間隔を2倍にした信
号、同図(c)はローパスフィルタを通した信号を示
す。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、レ
ーザ光波数が変化してもレーザ光自体の波数でスペクト
ルの波数を補正するので、得られるスペクトルは波数軸
の変動に無関係に常にレイリー光からのシフト波数で表
示したスペクトルとすることができる。また、レーザ光
波数を例えば紫外域のものに変えても、その都度インタ
フェログラムのサンプリング間隔を始めとしてFT分光器
の条件を変更しなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るフーリエ変換ラマン分光装置の1
実施例を説明するための図、第2図は信号波形及びスペ
クトルの例を示す図、第3図は本発明に係るフーリエ変
換ラマン分光装置の他の実施例を示す図、第4図はラマ
ン励起用パルスレーザを用いた場合においてパルス間隔
を2倍にした例を説明するための図、第5図はフーリエ
変換ラマン分光装置の従来例を説明するための図、第6
図はラマン分光スペクトルの例を示す図である。 1……ラマン励起用レーザ、2……ビームスプリッタ、
3……試料、4……干渉計、5……レーザ光用検知器、
6……主検知器、7と8……増幅器、9……ロックイン
アンプ、10……ローパスフィルタ、11……ADC(アナロ
グ−デジタルコンバータ)、12……CPU。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】レーザ光を照射して試料を励起し、該試料
    からの光をラピッドスキャン型の干渉計を通してラマン
    光測定用検知器で受光しラマン測定を行うフーリエ変換
    ラマン分光装置において、 前記レーザ光の一部を前記干渉計に導入するビームスプ
    リッタと、 前記干渉計を通して前記ビームスプリッタから一部導入
    したレーザ光を受光するレーザ光用検知器と、 前記ラマン光測定用検知器の出力と前記レーザ光用検知
    器の出力とを掛け合わせる掛け算器と、 該掛け算器に接続される第1のローパスフィルタと を備え、前記第1のローパスフィルタを通してラマン光
    信号を得るように構成したことを特徴とするフーリエ変
    換ラマン分光装置。
  2. 【請求項2】前記照射するレーザ光としてパルスレーザ
    光を用いると共に、前記掛け算器の前段に前記ラマン光
    測定用検知器の出力から高調波成分を取り除くための第
    2のローパスフィルタ及び前記レーザ光用検知器の出力
    から高調波成分を取り除くための第3のローパスフィル
    タを備えたことを特徴とする請求項1記載のフーリエ変
    換ラマン分光装置。
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JPS63308543A (ja) * 1987-06-10 1988-12-15 Fuji Electric Co Ltd 散乱光測光装置

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