JP2787851B2 - Pattern feature extraction device - Google Patents

Pattern feature extraction device

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JP2787851B2
JP2787851B2 JP3046304A JP4630491A JP2787851B2 JP 2787851 B2 JP2787851 B2 JP 2787851B2 JP 3046304 A JP3046304 A JP 3046304A JP 4630491 A JP4630491 A JP 4630491A JP 2787851 B2 JP2787851 B2 JP 2787851B2
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pattern
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仁 稲住
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Nippon Electric Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はパターン特徴抽出装置、
特にプリント基板上の配線パターンの検査のために用い
るパターン特徴抽出装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pattern feature extracting apparatus,
In particular, the present invention relates to a pattern feature extraction device used for inspecting a wiring pattern on a printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の技術として、例えば“ラジアルマ
ッチングを用いたプリント板検査”精密工学会誌,Vo
l.56,No.8,pp30〜33,1990に示さ
れるように専用の測長センサとパターンコードを用いた
パターン特徴抽出装置がある。
2. Description of the Related Art As a conventional technique, for example, "printed board inspection using radial matching", Journal of the Japan Society of Precision Engineering, Vo
l. 56, No. 8, pp. 30 to 33, 1990, there is a pattern feature extraction device using a dedicated length measurement sensor and a pattern code.

【0003】図7は上述の測長センサを用いた特徴抽出
装置の特徴抽出手段を説明するための図である。図7
(a)は測長センサを表わし、測長センサは検査中心7
1に対して放射線状に延びた16本の測長画素72とか
らなる。各々の測長画素72は検査中心71に対して対
称の測長画素72を対にして対象パターンにかけ、各測
長画素72で計測されたデータをコード化する。次いで
コード化されたデータとコード化辞書とを比較し、各点
がどのような形状の点かを判断して各点を分類する。図
7(b)および(c)は測長センサによる分類の一例を
示す模式図である。図7(b)では上下の測長画素73
による計測データが非対称であり、左右の測長画素74
による計測データが対象で長さが最大となっていること
から、辞書コードを参照した結果がT分岐と判定される
場合である。図7(c)は分岐がT分岐でない場合であ
り、各測長画素の対象性と長さのデータのコードとを辞
書コードと比較して、辞書コードの中にこれに整合のと
れるものがあれば判定できる場合を示している。
FIG. 7 is a diagram for explaining a feature extracting means of a feature extracting apparatus using the above-described length measuring sensor. FIG.
(A) represents a length measuring sensor, and the length measuring sensor is the inspection center 7.
It consists of 16 length-measuring pixels 72 extending radially with respect to 1. Each measured pixel 72 is applied to a target pattern by pairing the measured pixel 72 symmetrical with respect to the inspection center 71, and codes the data measured by each measured pixel 72. Next, the coded data is compared with the coded dictionary, and the shape of each point is determined to classify each point. FIGS. 7B and 7C are schematic diagrams illustrating an example of classification by the length measurement sensor. In FIG. 7B, upper and lower length measurement pixels 73 are shown.
Measurement data is asymmetric, the left and right measurement pixels 74
In this case, the result obtained by referring to the dictionary code is determined to be a T-branch because the measurement data of the target is the target and the length is the maximum. FIG. 7C shows a case in which the branch is not a T-branch. The symmetry of each measured pixel and the code of the length data are compared with the dictionary code. This shows the case where it can be determined.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のパター
ン特徴抽出装置に用いる特徴抽出手段では、放射線状に
延びる測長センサを用い、その各々の測長画素の対の計
測データと辞書コードとの比較で特徴点の分類を行うの
で、複雑なパターンを対象とする場合に辞書コードも複
雑なパターンに対応するよう作っておく必要がある。ま
た、この測長センサを用いて行う場合は配線パターン部
だけしか有効でなく、ランド部やサブランド部には別の
手段の特徴抽出を用いなくてはならないという問題があ
る。
The feature extracting means used in the above-mentioned conventional pattern feature extracting apparatus uses a length measuring sensor extending in a radial pattern, and uses a pair of measurement data of each length measuring pixel and a dictionary code. Since feature points are classified by comparison, it is necessary to prepare a dictionary code corresponding to a complicated pattern when a complicated pattern is targeted. Further, when the measurement is performed using this length measuring sensor, only the wiring pattern portion is effective, and there is a problem that the feature extraction of another means must be used for the land portion and the sub-brand portion.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明のパターン特徴抽
出装置は、対象パターンを光走査してその反射光に対応
するビデオ信号を出力する光電変換スキャナと、この光
電変換スキャナからのビデオ信号をデジタル信号に変換
するA/D変換器と、このA/D変換器で変換されたデ
ジタル信号の対象パターン部を“1”、それ以外を
“0”の2値のデータに変換する2値化回路と、この2
値化回路から出力される2値のデータを画像データとし
て記憶させる2値画像メモリと、この2値画像メモリの
画像データに対し細線化を施す細線化回路と、この細線
化回路から出力される細線画像データを記憶させる細線
画像メモリと、この細線画像メモリに対して3×3画素
サイズのマスクをかけ、そのマスク内部のデータがあら
かじめ設定してある特徴候補点マスクパターンと一致す
るものがある場合は、該当する特徴候補の種類をコード
として出力する特徴候補点抽出部と、この特徴候補点抽
出部の処理と同時に前記細線画像メモリに対してN×N
の矩形マスクをかけ、この矩形マスクと対象パターン部
の細線データとの交点数を算出し、その結果をパターン
の分岐数として出力する分岐数算出部と、前記特徴候補
点抽出部から出力される特徴候補点の種類と前記分岐数
算出部から出力される分岐数とから正確にパターンの特
徴点の位置と種類とを決定し出力する特徴点判定部とを
含むことにより構成され、また、対象パターンを光走査
してその反射光に対応するビデオ信号を出力する光電変
換スキャナと、この光電変換スキャナからのビデオ信号
をデジタル信号に変換するA/D変換器と、このA/D
変換器で変換されたデジタル信号の対象パターン部を
“1”、それ以外を“0”の2値のデータに変換する2
値化回路と、この2値化回路から出力される2値データ
を画像データとして記憶させる2値画像メモリと、この
2値画像メモリの画像データに対し細線化を施す細線化
回路と、この細線化回路から出力される細線画像データ
を記憶させる細線画像メモリと、この細線画像メモリに
対してN×Nの矩形マスクをかけ、この矩形マスクと前
記細線画像データとの交点を算出することにより矩形マ
スクの中心画素がパターン分岐点の近傍にある点を抽出
すると同時に特徴点の種類を分岐数から推定し候補点と
して分類出力する分岐点抽出部と、この分岐点抽出部で
得られる候補点の種類と位置とを記憶させる候補点メモ
リと、この候補点メモリのデータを位置と種類とに関し
てクラスタリングし、各クラスの重心位置を求めて特徴
点位置を決定し、同時にその種類を決定して出力するク
ラスタリング部とを含むことにより構成される。
According to the present invention, there is provided a pattern feature extracting apparatus, comprising: a photoelectric conversion scanner for optically scanning a target pattern and outputting a video signal corresponding to the reflected light; and a video signal from the photoelectric conversion scanner. A / D converter for converting into a digital signal, and binarization for converting the target pattern portion of the digital signal converted by the A / D converter into binary data of "1" and the rest of the digital signal into "0" Circuit and this 2
A binary image memory for storing binary data output from the binarizing circuit as image data, a thinning circuit for thinning the image data of the binary image memory, and an output from the thinning circuit There is a thin line image memory that stores thin line image data, and a thin line image memory in which a mask having a size of 3 × 3 pixels is applied to the thin line image memory, and data inside the mask matches a preset feature candidate point mask pattern. In this case, a feature candidate point extracting unit that outputs the type of the corresponding feature candidate as a code, and an N × N memory for the thin line image memory simultaneously with the processing of the feature candidate point extracting unit
The number of intersections between the rectangular mask and the thin line data of the target pattern portion is calculated, and the result is output from the feature candidate point extracting portion. A feature point determination unit configured to accurately determine and output the position and type of the feature point of the pattern from the type of the feature candidate point and the number of branches output from the number-of-branches calculation unit; A photoelectric conversion scanner for optically scanning a pattern and outputting a video signal corresponding to the reflected light, an A / D converter for converting a video signal from the photoelectric conversion scanner into a digital signal, and an A / D converter
2. Convert the target pattern portion of the digital signal converted by the converter into binary data of "1" and the other portions into "0".
A binarizing circuit, a binary image memory for storing binary data output from the binarizing circuit as image data, a thinning circuit for thinning the image data of the binary image memory, and a thin line A thin line image memory for storing the thin line image data output from the digitizing circuit, an N × N rectangular mask applied to the thin line image memory, and an intersection between the rectangular mask and the thin line image data is calculated. A branch point extraction unit that extracts a point where the center pixel of the mask is in the vicinity of the pattern branch point, estimates the type of the feature point from the number of branches, and classifies and outputs the candidate points, and a candidate point obtained by the branch point extraction unit. A candidate point memory for storing the type and position, and clustering the data of this candidate point memory with respect to position and type, determining the center of gravity of each class, and determining the feature point position, Sometimes it constituted by including a clustering section which determines and outputs that type.

【0006】[0006]

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

【0007】図1は本発明の一実施例のブロック図であ
る。図1において、対象パターンを光電変換スキャナ1
で走査して読出したビデオ信号dを、A/D変換器2に
よりA/D変換してデジタル信号eに変換する。次にデ
ジタル信号eを2値化回路3によりパターン部は“1”
それ以外は“0”の2値のデータfとし、2値画像メモ
リ4に送ってパターン部が“1”の2値画像を得る。つ
づいて細線化回路5により、2値画像メモリ4の2値画
像データgを順次読出し、細線化を施してその結果の細
線画像データhを細線画像メモリ6に送り、対象パター
ンの細線画像を得る。
FIG. 1 is a block diagram of one embodiment of the present invention. In FIG. 1, the target pattern is a photoelectric conversion scanner 1.
The A / D converter 2 converts the video signal d scanned and read out by the A / D converter 2 into a digital signal e. Next, the pattern portion of the digital signal e is "1" by the binarization circuit 3.
Other than that, it is set to binary data f of “0” and sent to the binary image memory 4 to obtain a binary image having a pattern portion of “1”. Subsequently, the thinning circuit 5 sequentially reads out the binary image data g from the binary image memory 4, performs thinning, sends the resulting thin line image data h to the thin line image memory 6, and obtains a thin line image of the target pattern. .

【0008】図3は2値画像メモリ4に記憶されるパタ
ーンの一例を示す模式図である。図3が示すパターンは
プリント基板上の配線パターン100とランド101お
よびサブランド102とからなり、特徴点として端点
T,T分岐点TJ,4分岐点4J,ランド接続点Rおよ
び孤立点Iが含まれている。
FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a pattern stored in the binary image memory 4. The pattern shown in FIG. 3 includes a wiring pattern 100 on a printed circuit board, a land 101, and a subland 102, and includes end points T, T branch points TJ, four branch points 4J, land connection points R, and isolated points I as characteristic points. Have been.

【0009】図4は図3に示すパターンを細線化回路5
により細線化を施した場合の細線画像の模式図である。
細線化回路5で施す細線化は、入力2値画像に対して配
線パターン部100が幅1画素のデータ、ランド部10
1についてはその形状を保存している状態で処理を止め
る。
FIG. 4 shows the pattern shown in FIG.
FIG. 4 is a schematic diagram of a thin line image when thinning is performed by using FIG.
The thinning performed by the thinning circuit 5 is performed when the wiring pattern portion 100 has data of one pixel width and the land portion 10
With regard to 1, the processing is stopped in a state where the shape is preserved.

【0010】次に特徴候補点抽出部7で細線画像メモリ
6から順次細線画像データoを読込み、特徴候補点検出
用の3×3画素サイズのマスクを用いてパターンの特徴
候補点を検出する。一方、同時に分岐数算出部8で細線
画像メモリ7から順次細線画像データoを読込み、分岐
点算出用のN×N画素サイズの矩形マスクを用いてパタ
ーンの分岐数を算出する。
Next, the thin line image data o is sequentially read from the thin line image memory 6 by the feature candidate point extracting section 7, and the feature candidate points of the pattern are detected using a 3 × 3 pixel size mask for detecting the feature candidate points. On the other hand, at the same time, the branch number calculation unit 8 sequentially reads the thin line image data o from the fine line image memory 7 and calculates the number of branches of the pattern using a rectangular mask of N × N pixel size for calculating a branch point.

【0011】図5は特徴候補点検出用の3×3画素サイ
ズのマスクと分岐数算出用のN×N画素サイズの矩形マ
スクによる処理の説明のための図である。図5(a)は
T分岐パターン部分において3×3画素サイズのマスク
201とN×N画素サイズの矩形マスク202とがかか
った場合、図5(b)はランド接続点にそれぞれのマス
ク201,202がかかった場合、図5(c)は図5
(a)のT分岐パターン部分で得られる各マスク内デー
タ301,302、図5(d)は図5(b)のランド接
続点部分で得られる各マスク内データ301,302を
示す。
FIG. 5 is a view for explaining processing using a 3 × 3 pixel size mask for detecting feature candidate points and a N × N pixel size rectangular mask for calculating the number of branches. FIG. 5A shows a case where a mask 201 having a size of 3 × 3 pixels and a rectangular mask 202 having a size of N × N pixels are applied to the T-branch pattern portion, and FIG. FIG. 5 (c) shows the case of FIG.
5A shows the in-mask data 301 and 302 obtained in the T branch pattern portion, and FIG. 5D shows the in-mask data 301 and 302 obtained in the land connection point portion in FIG. 5B.

【0012】さて、特徴候補点抽出部7では読込んでく
る細線画像データoに対して3×3画素サイズのマスク
201をかけ、そのマスク内データ301を得る。ここ
で予め設定してある特徴候補点マスクパターンと比較
し、該当する特徴候補点の種類の特徴候補点コードrを
生成して特徴点判定部9に送る。予め設定してある特徴
候補点マスクパターンは端点パターン,分岐点パター
ン,ランド接続点パターン,および孤立点パターンの各
々に対して起る可能性のあるマスクパターンを一つの論
理回路で構成され、入力データとなるマスク内データ3
01がいづれかの特徴候補点マスクパターンと一致した
とき、その特徴候補点の種類のコードを出力するように
したものである。
The feature candidate point extracting unit 7 applies a mask 201 having a size of 3 × 3 pixels to the thin line image data o to be read, and obtains data 301 within the mask. Here, the feature candidate point mask pattern is compared with a preset feature candidate point mask pattern, and a feature candidate point code r of the corresponding feature candidate point type is generated and sent to the feature point determination unit 9. The feature candidate point mask pattern that is set in advance is composed of a mask pattern that may occur for each of the end point pattern, the branch point pattern, the land connection point pattern, and the isolated point pattern by one logic circuit. Data 3 in the mask to be data
When 01 matches one of the feature candidate point mask patterns, a code of the type of the feature candidate point is output.

【0013】一方、分岐数算出部8は読込んでくる細線
画像データoに対して、N×N画素サイズの矩形マスク
202を特徴候補点抽出部7で用いるマスク201を中
心としてその周囲にかけ、矩形マスク内データ302を
得る。そして矩形マスク内データ302のデータが
“1”の領域(連続している場合は同一領域とする)の
数を計数して、矩形マスク202と配線パターン10
0,ランド101およびサブランド102との交点を得
て、中心画素103の持つパターンの分岐数を算出す
る。図5(a)に示すT分岐点に対する分岐数は、図5
(c)の矩形マスク内データ302の“1”の領域を計
数することにより3となる。また図5(b)のランド接
続点に対する分岐数は、図5(d)の矩形マスク内デー
タ302の“1”の領域を計数することにより2とな
る。同時に矩形マスク内データ302の“1”の領域で
三つ以上“1”が連続しているものがあるかどうかをも
チェックする。図5(d)の矩形マスク内データ302
の場合は三つ以上“1”が連続しているものがある。そ
してこの分岐数算部8の出力として分岐数s1と三つ以
上“1”が連続する領域があるかないかの連続有無信号
s2とを特徴点判定部9に送る。
On the other hand, the branch number calculating section 8 applies a rectangular mask 202 of N × N pixels size to the read thin line image data o around the mask 201 used in the feature candidate point extracting section 7 to form a rectangle. The in-mask data 302 is obtained. Then, the number of areas where the data of the rectangular mask data 302 is “1” (the same area when they are continuous) is counted, and the rectangular mask 202 and the wiring pattern 10 are counted.
0, the intersection of the land 101 and the sub-brand 102 is obtained, and the number of branches of the pattern of the central pixel 103 is calculated. The number of branches for the T branch point shown in FIG.
By counting the area of "1" in the rectangular mask data 302 of (c), it becomes 3. The number of branches for the land connection point in FIG. 5B becomes 2 by counting the area of “1” in the rectangular in-mask data 302 in FIG. 5D. At the same time, it is also checked whether or not there are three or more consecutive “1” s in the “1” area of the rectangular mask data 302. Data 302 in the rectangular mask of FIG.
In some cases, three or more "1" s are continuous. Then, as an output of the branch number calculation unit 8, the branch number s1 and a continuity signal s2 indicating whether or not there is an area where three or more "1" s are continuous are sent to the feature point determination unit 9.

【0014】最後に、特徴判定部9では、特徴候補点抽
出部7から送られてくる特徴候補点コードrと分岐数算
出部8から送られてくる分岐数s1および連続点有無信
号s2とから、次の判定条件により特徴点の種類を決定
し、特徴点抽出結果tを出力する。
Finally, the feature judging section 9 calculates the feature candidate point code r sent from the feature candidate point extracting section 7 and the branch number s1 and the continuous point presence / absence signal s2 sent from the branch number calculating section 8. , The type of the feature point is determined based on the following determination conditions, and the feature point extraction result t is output.

【0015】判定条件は、 (イ) 特徴候補点が孤立点で分岐数0のときは孤立
点。 (ロ) 特徴候補点が端点で分岐数0のときは孤立点。 (ハ) 特徴候補点が端点で分岐数1のときは端点。 (ニ) 特徴候補点が分岐点で分岐数3のときはT分岐
点。 (ホ) 特徴候補点が分岐点で分岐数4のときは4分岐
点。 (ヘ) 特徴候補点がランド接続点で分岐数2で連続点
有のときはランド接続点。 (ト) (イ)〜(ヘ)の条件を満たさないときは特徴
点でない。である。
The determination conditions are as follows: (a) When the feature candidate point is an isolated point and the number of branches is 0, the isolated point is determined. (B) When the feature candidate point is an end point and the number of branches is 0, it is an isolated point. (C) When the feature candidate point is an end point and the number of branches is 1, the end point. (D) When the feature candidate point is a branch point and the number of branches is 3, it is a T branch point. (E) Four branch points when the feature candidate point is a branch point and the number of branches is four. (F) If the feature candidate point is a land connection point and the number of branches is 2 and there are continuous points, it is a land connection point. (G) When the conditions of (a) to (f) are not satisfied, it is not a feature point. It is.

【0016】図2は本発明の別の実施例のブロック図で
ある。図2の実施例においても、細線画像メモリ6に対
象パターンの細線画像を得るが、ここまでの手段は図1
の実施例の場合と同じであり、また図3および図4で説
明したパターンの種類および細線化の手法も同じであ
る。
FIG. 2 is a block diagram of another embodiment of the present invention. In the embodiment shown in FIG. 2, a thin line image of the target pattern is also obtained in the thin line image memory 6.
This embodiment is the same as the embodiment described above, and also has the same pattern types and thinning techniques described with reference to FIGS.

【0017】次に分岐点抽出部10で細線画像メモリ6
から順次細線画像データoを読込み、分岐点抽出用のN
×N画素サイズの矩形マスクを用いて対象パターンの特
徴候補点の位置と種類とを求める。
Next, the branch point extracting unit 10 controls the fine line image memory 6.
, The thin line image data o are sequentially read from
The position and the type of the feature candidate point of the target pattern are obtained using a rectangular mask having a size of N pixels.

【0018】図6は分岐点抽出部10で行なうN×N画
素サイズの矩形マスクによる処理の説明のための図であ
る。図6(a)はT分岐点部にこの矩形マスクをかけた
場合の模式図、図6(b)はランド接続点部に矩形マス
クをかけた場合の模式図、図6(c)および図6(d)
はそれぞれ図6(a)および図6(b)の場合の矩形マ
スク内データの内容を示す図である。図6(c)および
図6(d)の矩形マスク内データ302は、細線画像メ
モリ6から読出してくる細線画像データoに対してN×
N画素サイズの矩形マスク202をかけることによって
得る。
FIG. 6 is a diagram for explaining the processing performed by the branch point extraction unit 10 using a rectangular mask of N × N pixels. FIG. 6A is a schematic diagram when a rectangular mask is applied to a T branch point portion, and FIG. 6B is a schematic diagram when a rectangular mask is applied to a land connection point portion. 6 (d)
7A and 7B are diagrams showing the contents of data in a rectangular mask in the cases of FIGS. 6A and 6B, respectively. 6 (c) and FIG. 6 (d) are obtained by dividing the thin line image data o read from the thin line image memory 6 by N ×
It is obtained by applying a rectangular mask 202 of N pixel size.

【0019】ここで、分岐点抽出部10は、図1の特徴
候補点抽出部7と同様に、矩形マスク内データ302の
データが“1”の領域を計数して矩形マスク202と配
線パターン100,ランド101およびサブランド10
2との交点を得て、中心画素103のもつパターンの分
岐状態を調べる。このとき交点数が1であれば特徴点の
候補として端点Tとし、交点数が2で、かつ“1”が三
つ以上連続している領域があるときランド接続点Rと
し、交点数が3であればT分岐点TJとし、交点数が4
であれば4分岐点4Jとし、交点数が0であれば孤交点
Iとする。また分岐点抽出部10は調べた分岐状態とし
て特徴候補点の種類である候補点種類r1とそのときの
中心画素103の位置である候補点位置r2とを候補点
メモリ11に順次記憶させる。図6(a)はT分岐点に
矩形マスク202がかかった場合を示していて、このと
き図6(c)の矩形マスク内データ302の“1”の領
域の個数は3で交点数が3となることから、特徴点の候
補としてT分岐点と判定され候補点メモリ8に記憶され
ることになる。同様に図6(b)では図6(d)の矩形
マスク内データ302の“1”の領域が2で、さらに
“1”が三つ以上連続している領域あることから、候補
点の種類はランド接続点と判定され候補点メモリ8に記
憶される。
Here, the branch point extracting unit 10 counts the area where the data of the rectangular mask data 302 is "1", as in the feature candidate point extracting unit 7 of FIG. , Land 101 and Subland 10
Then, the intersection of the center pixel 103 is obtained and the branch state of the pattern of the central pixel 103 is examined. At this time, if the number of intersections is 1, the end point T is set as a feature point candidate. If there is an area where the number of intersections is 2 and three or more “1” s are continuous, the land connection point R is set. If T, the T branch point is TJ and the number of intersections is 4.
If the number of intersections is 0, it is determined to be an isolated intersection I if the number of intersections is 0. Further, the branch point extracting unit 10 sequentially stores the candidate point type r1 which is the type of the characteristic candidate point and the candidate point position r2 which is the position of the central pixel 103 at that time in the candidate point memory 11 as the examined branch state. FIG. 6A shows a case where the rectangular mask 202 is applied to the T branch point. At this time, the number of “1” areas in the rectangular mask data 302 in FIG. Therefore, the candidate point is determined to be a T branch point and stored in the candidate point memory 8. Similarly, in FIG. 6B, the area of “1” in the data 302 in the rectangular mask of FIG. 6D is 2, and there are areas where three or more “1” s are continuous. Are determined as land connection points and stored in the candidate point memory 8.

【0020】最後にクラスタリング部12によって候補
点メモリ8内の候補点位置r2についてクラスタリング
され、各クラスごとに特徴点としての位置付けが行なわ
れる。各クラス内の候補のもつ特徴点の種類r1は同じ
種類のものが多く集まることになるので、最も数の多い
特徴点の種類をそのクラスの特徴点の種類として代表さ
せる。同時に各クラス内に属する候補点位置r2から、
それらの重心位置を示め、重心位置に最も近い細線画像
データ上の点を各クラスを代表する位置とする。この代
表する種類と位置とを最終的な特徴点の抽出結果として
出力する。
Finally, the clustering unit 12 clusters the candidate point position r2 in the candidate point memory 8 and positions each class as a feature point. Since the types r1 of the feature points of the candidates in each class are the same, many types of the feature points are represented as the types of the feature points of the class. At the same time, from the candidate point position r2 belonging to each class,
The positions of the centers of gravity are shown, and the point on the thin line image data closest to the position of the center of gravity is defined as a position representing each class. The representative type and position are output as a final feature point extraction result.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、対象パタ
ーンを細線化した画像に分岐点抽出用のN×N画素サイ
ズの矩形マスク、または特徴候補点検出用の3×3画素
サイズのマスクと分岐数算出用のN×N画素サイズの矩
形マスクとをかけることによって特徴点の抽出を行なっ
ているので、配線パターンの他にランドやサブランドを
含んだ複雑なパターンに対しても、従来のパターン対応
の辞書を作ることなく、特徴点を正確に抽出できるとい
う効果がある。
As described above, according to the present invention, an N × N pixel-size rectangular mask for extracting a branch point or a 3 × 3 pixel-size mask for detecting a feature candidate point is provided on an image obtained by thinning a target pattern. The feature points are extracted by applying a rectangular mask of N × N pixel size for calculating the number of branches. Therefore, the conventional method can be applied to complicated patterns including lands and sub-brands in addition to wiring patterns. There is an effect that feature points can be accurately extracted without making a dictionary corresponding to the pattern.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の別の実施例のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of another embodiment of the present invention.

【図3】図1および図2において2値画像メモリに記憶
されるパターンの一例を示す模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a pattern stored in a binary image memory in FIGS. 1 and 2;

【図4】図3に示すパターンに細線化を施した細線画像
の模式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram of a thin line image obtained by thinning the pattern shown in FIG. 3;

【図5】図1の実施例で用いられるマスクによる処理を
説明するための図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining processing using a mask used in the embodiment of FIG. 1;

【図6】図2の実施例で用いられるマスクによる処理を
説明するための図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining processing using a mask used in the embodiment of FIG. 2;

【図7】従来の特徴抽出装置の特徴抽出手段を説明する
ための図である。
FIG. 7 is a diagram for explaining a feature extraction unit of a conventional feature extraction device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光電変換スキャナ 2 A/D変換器 3 2値化回路 4 2値画像メモリ 5 細線化回路 6 細線画像メモリ 7 特徴候補点抽出部 8 分岐数算出部 9 特徴点判定部 10 分岐点抽出部 11 候補点メモリ 12 クラスタリング部 100 配線パターン 101 ランド 102 サブランド o 細線画像データ r 特徴点候補コード r1 候補点種類 r2 候補点位置 s1 分岐数 s2 連続点有無信号 t 特徴点抽出結果 Reference Signs List 1 photoelectric conversion scanner 2 A / D converter 3 binarization circuit 4 binary image memory 5 thinning circuit 6 thin line image memory 7 feature candidate point extraction unit 8 branch number calculation unit 9 feature point judgment unit 10 branch point extraction unit 11 Candidate point memory 12 Clustering unit 100 Wiring pattern 101 Land 102 Subland o Fine line image data r Feature point candidate code r1 Candidate point type r2 Candidate point position s1 Number of branches s2 Continuous point existence signal t Feature point extraction result

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G06T 7/60 G01B 11/24 G01N 21/88 G06T 7/00──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G06T 7/60 G01B 11/24 G01N 21/88 G06T 7/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 対象パターンを光走査してその反射光に
対応するビデオ信号を出力する光電変換スキャナと、こ
の光電変換スキャナからのビデオ信号をデジタル信号に
変換するA/D変換器と、このA/D変換器で変換され
たデジタル信号の対象パターン部を“1”、それ以外を
“0”の2値のデータに変換する2値化回路と、この2
値化回路から出力される2値のデータを画像データとし
て記憶させる2値画像メモリと、この2値画像メモリの
画像データに対し細線化を施す細線化回路と、この細線
化回路から出力される細線画像データを記憶させる細線
画像メモリと、この細線画像メモリに対して3×3画素
サイズのマスクをかけ、そのマスク内部のデータがあら
かじめ設定してある特徴候補点マスクパターンと一致す
るものがある場合は、該当する特徴候補の種類をコード
として出力する特徴候補点抽出部と、この特徴候補点抽
出部の処理と同時に前記細線画像メモリに対してN×N
の矩形マスクをかけ、この矩形マスクと対象パターン部
の細線データとの交点数を算出し、その結果をパターン
の分岐数として出力する分岐数算出部と、前記特徴候補
点抽出部から出力される特徴候補点の種類と前記分岐数
算出部から出力される分岐数とから正確にパターンの特
徴点の位置と種類とを決定し出力する特徴点判定部とを
含むことを特徴とするパターン特徴抽出装置。
1. A photoelectric conversion scanner that optically scans a target pattern and outputs a video signal corresponding to the reflected light, an A / D converter that converts a video signal from the photoelectric conversion scanner into a digital signal, A binarization circuit for converting the target pattern portion of the digital signal converted by the A / D converter into binary data of "1" and the other portions into "0";
A binary image memory for storing binary data output from the binarizing circuit as image data, a thinning circuit for thinning the image data of the binary image memory, and an output from the thinning circuit There is a thin line image memory that stores thin line image data, and a thin line image memory in which a mask having a size of 3 × 3 pixels is applied to the thin line image memory, and data inside the mask matches a preset feature candidate point mask pattern. In this case, a feature candidate point extracting unit that outputs the type of the corresponding feature candidate as a code, and an N × N memory for the thin line image memory simultaneously with the processing of the feature candidate point extracting unit
The number of intersections between the rectangular mask and the thin line data of the target pattern portion is calculated, and the result is output from the feature candidate point extracting portion. A pattern feature extraction unit comprising: a feature point determination unit that accurately determines and outputs the position and type of a feature point of a pattern from the type of feature candidate point and the number of branches output from the branch number calculation unit. apparatus.
【請求項2】 対象パターンを光走査してその反射光に
対応するビデオ信号を出力する光電変換スキャナと、こ
の光電変換スキャナからのビデオ信号をデジタル信号に
変換するA/D変換器と、このA/D変換器で変換され
たデジタル信号の対象パターン部を“1”、それ以外を
“0”の2値のデータに変換する2値化回路と、この2
値化回路から出力される2値データを画像データとして
記憶させる2値画像メモリと、この2値画像メモリの画
像データに対し細線化を施す細線化回路と、この細線化
回路から出力される細線画像データを記憶させる細線画
像メモリと、この細線画像メモリに対してN×Nの矩形
マスクをかけ、この矩形マスクと前記細線画像データと
の交点を算出することにより矩形マスクの中心画素がパ
ターン分岐点の近傍にある点を抽出すると同時に特徴点
の種類を分岐数から推定し候補点として分類出力する分
岐点抽出部と、この分岐点抽出部で得られる候補点の種
類と位置とを記憶させる候補点メモリと、この候補点メ
モリのデータを位置と種類とに関してクラスタリング
し、各クラスの重心位置を求めて特徴点位置を決定し、
同時にその種類を決定して出力するクラスタリング部と
を含むことを特徴とするパターン特徴抽出装置。
2. A photoelectric conversion scanner that optically scans a target pattern and outputs a video signal corresponding to the reflected light, an A / D converter that converts a video signal from the photoelectric conversion scanner into a digital signal, A binarization circuit for converting the target pattern portion of the digital signal converted by the A / D converter into binary data of "1" and the other portions into "0";
A binary image memory for storing binary data output from the binarizing circuit as image data, a thinning circuit for thinning the image data of the binary image memory, and a thin line output from the thinning circuit A thin line image memory for storing image data, an N × N rectangular mask is applied to the thin line image memory, and an intersection between the rectangular mask and the thin line image data is calculated, whereby the central pixel of the rectangular mask is subjected to pattern branching. At the same time as extracting a point near the point, a branch point extracting unit for estimating the type of the feature point from the number of branches and classifying and outputting as a candidate point, and storing the type and position of the candidate point obtained by the branch point extracting unit The candidate point memory and the data of the candidate point memory are clustered with respect to position and type, the center of gravity of each class is determined, and the feature point position is determined.
A clustering unit for determining and outputting the type of the pattern at the same time.
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