JP2786801B2

JP2786801B2 - 直線変位測定機

Info

Publication number: JP2786801B2
Application number: JP30635793A
Authority: JP
Inventors: 正彦太刀掛; 哲也中土井
Original assignee: MITSUTOYO KK
Current assignee: MITSUTOYO KK
Priority date: 1993-12-07
Filing date: 1993-12-07
Publication date: 1998-08-13
Anticipated expiration: 2013-08-13
Also published as: JPH07159102A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の寸法や形状
の測定に用いられるマイクロメータ等の直線変位測定機
に関し、特にスピンドルの移動量を検出器により電気的
な測定値として得る電子式直線変位測定機に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、被測定物の寸法や形状の測定に用
いられるマイクロメータには、測定機本体に対して移動
自在に保持されたスピンドルの移動量をエンコーダによ
って検出する構造のものがある。このようなエンコーダ
としては、例えばメイン光学格子を回転板に、インデッ
クス光学格子を固定板にそれぞれ設け、両板の相対的な
回動変移を光学的に検出する光電式のエンコーダがあ
り、その他に、変位検出機構として電磁式、静電容量
式、接点式等を用いたエンコーダが知られている。そし
て、このエンコーダによって得られた測定信号は、マイ
クロメータの内部に配置された測定信号の処理装置によ
って処理され、デジタル表示部にデジタル表示された
り、伝送信号として外部の装置に伝送される。

【０００３】図１１及び図１２には従来のマイクロメー
タが示されている。図１１において、従来のマイクロメ
ータは、ほぼＵ字形のフレーム１の一端にアンビル２を
固定し、フレーム１の他端にスピンドル４を保持して構
成されている。フレーム１にはスピンドル４を所定位置
で固定するクランプ７が設けられている。スピンドル４
の保持構造が図１２に示されている。図１２において、
スピンドル４は、一端部が被測定物に接触するスピンド
ル本体４Ａと、このスピンドル本体４Ａの他端部に一端
部が固定されたねじ軸２１とからなる。このスピンドル
本体４Ａは軸受筒１１を介してフレーム１に支持されて
いる。前記ねじ軸２１の他端部には複数の切り欠き部１
５を有するインナースリーブ１３が螺合され、このイン
ナースリーブ１３の外周にはアウタースリーブ１４が設
けられ、これらのスリーブ１３，１４は保持環１２を介
してフレーム１に固定されている。インナースリーブ１
３は、スリーブ本体１３Ａとこのスリーブ本体１３Ａと
螺合するテーパーナット１７とを備えている。

【０００４】ねじ軸２１の他端にはシンブル３が固定さ
れ、このシンブル３を回転操作することによって、スピ
ンドル４がアンビル２に対して進退され、被測定物を把
持した状態で主尺目盛２３及び副尺目盛２４により測定
が行われる。なお、被測定物を定圧で把持するためにラ
チェット２２が設けられている。そして、従来の電子式
マイクロメータでは、保持環１２に固定された固定板４
２とスピンドル４に固定された回転板４３とを備えたエ
ンコーダ４１によってスピンドル４の移動量を電気的な
測定信号に変換し、この測定信号を電気回路を有する図
示していない処理装置により処理して、その測定信号を
デジタル表示部５に表示したり、あるいは他の信号処理
部に伝送を行っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
マイクロメータでは、水、研削液又は研削油等の液体が
常に飛び散っているような環境下において使用する場合
には、マイクロメータの内部に液体が浸入し、内部の処
理装置が誤差動を起こすという問題点がある。即ち、図
１２に示す通り、マイクロメータには外部から内部に液
体が浸入する経路、例えば、経路ａ１，ａ２，ｂがあ
る。経路ａ１は、アウタースリーブ１４とシンブル３と
の境界部分であり、液体はこのアウタースリーブ１４と
シンブル３の境界部分から浸入し、アウタースリーブ１
４の外周面とシンブル３の内周面とのわずかな間隙部１
９を伝って進み、経路ａ２に示されるように、インナー
スリーブ１３の切り欠き部１５を通してねじ軸２１の外
周面に達する。このねじ軸２１は、スピンドル本体４Ａ
と一体的に形成されているため、浸入した液体はねじ軸
２１を伝ってスピンドル本体４Ａに取り付けられている
エンコーダ４１及び処理装置に達する。経路ｂは、スピ
ンドル本体４Ａと軸受筒１１との境界部分であり、液体
は、この経路ｂから浸入し、さらに、軸受筒１１の隣に
設けられた筒部材３１とスピンドル本体４Ａとの境界部
３４を通ってマイクロメータの内部に浸入し、エンコー
ダ４１あるいは処理装置に到達する。

【０００６】シンブル３の内側には室２５が形成されて
おり、シンブル３を回転させて軸方向に移動させると室
２５の容積は大幅に変化する。この変化が急激である
と、外気圧と室２５内の圧力との間及び室２５内の圧力
と処理装置が収納されたマイクロメータの内部の圧力と
の間に差が生じることになる。例えば、外気圧が室２５
より高い場合には、外部の液体は経路ａ１を通って室２
５内に浸入することになる。室２５内の圧力がマイクロ
メータの内部の圧力より高い場合には、前記室２５内に
浸入した液体は経路ａ２からねじ軸２１を伝って内部に
配置されたエンコーダ４１及び処理装置に達することに
なる。つまり、この室２５により一種のポンプ作用が働
くことになる。従って、従来のマイクロメータでは液体
が浸入する経路ａ１，ａ２，ｂを通して電気回路からな
る処理装置等の検出器に液体が浸入する場合があり、こ
のため測定不能や、測定誤差を生じさせる原因となって
いる。

【０００７】そこで、本発明は、測定機本体の内部に配
置された検出器へ液体が浸入することを防止し、液体に
よる測定不良をなくして耐水性のある直線変位測定機を
提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、スピンドル本
体と、このスピンドル本体を回転可能に支持するフレー
ムと、このフレームに一端が設けられるとともに内側面
に雌ねじ部を有するスリーブと、前記スピンドル本体の
端部に固定されるとともに前記雌ねじ部と螺合するねじ
軸とを有し、前記雌ねじ部と前記ねじ軸とを螺合させる
ことにより前記スピンドル本体の回転をスピンドル本体
の軸方向の動きに変換するように構成し、スピンドル本
体の直線移動量を検出する検出器を内部に設けた直線変
位測定機において、前記スリーブの他端部に形成される
とともに前記検出器に通じる切り欠き部を弾性部材等か
らなるチューブ部材で覆い、前記チューブ部材の両端部
を前記スリーブに密着させる密着手段を設けたことを特
徴とする。

【０００９】ここで、密着手段は前記チューブ部材の両
端部と前記チューブとを接着する接着剤や、前記チュー
ブ部材の外周部を前記スリーブに向かって押圧する弾性
リングや、前記チューブ部材の端部と前記チューブとの
間に介装された弾性シール材を例示できる。また、前記
チューブ部材は、チューブ本体とこのチューブ本体の両
端に設けられるリング状の係止部とを備え、このリング
状の係止部はチューブ本体より厚く形成されているもの
でもよい。さらに、前記スリーブをスリーブ本体とこの
スリーブ本体を締め付ける締付部材とを備え、前記ねじ
軸とスリーブとの間の空間に液体が浸入することを防止
するスペーサをスリーブ本体と締付部材との間に介装し
た構造でもよい。

【００１０】

【作用】水、切削油等の液体は検出器へ浸入しようとす
るが、チューブ部材により検出器への浸入が阻止され
る。即ち、スピンドルのねじ軸の周囲に設けられるスリ
ーブをチューブ部材で密閉状態に覆うことにより、液体
がスリーブの切り欠き部を通り、さらにねじ軸を伝って
内部へ浸入することを阻止できる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１から図６には本発明の第１
実施例にかかる直線変位測定機が示されている。これら
の図において、図１１及び図１２で示す従来の測定機と
同一符号を付したものは同一部品を表しており、その説
明を省略もしくは簡略にする。図１は第１実施例にかか
る直線変位測定機の一部断面図である。図１において、
第１実施例の直線変位測定機はマイクロメータであり、
このマイクロメータは図１１及び図１２で示したマイク
ロメータと基本的な構造が同じである。即ち、第１実施
例のマイクロメータは、ほぼＵ字形のフレーム１の一端
にアンビルを固定し、他端にスピンドル４を保持して構
成され、スピンドル４に設けられたシンブル３を回転操
作することによって、スピンドル４をアンビルに対して
進退させるようになっている。スピンドル４には、被測
定物を定圧で把持するためにラチェット２２が設けられ
ている。フレーム１の外周面には測定値をデジタル表示
するデジタル表示部５と測定値の表示単位の切換え、プ
リセット、モード切換え等をする操作部６とが設けられ
ている。

【００１２】スピンドル４はスピンドル本体４Ａ及びね
じ軸２１を備え、これらのスピンドル本体４Ａとねじ軸
２１とは１本の円柱部材から形成されてもよく、あるい
は、別々の部材から形成されてもよい。このスピンドル
本体４Ａは軸受筒１１を介してフレーム１に支持されて
いる。フレーム１には保持環１２が固定され、この保持
環１２の中心部には、インナースリーブ１３とアウター
スリーブ１４との一端部が二重環構造となるように保持
されている。インナースリーブ１３の他端部の内側面に
は雌ねじ１６が刻設されており、前記ねじ軸２１と螺合
するよう組み立てられる。インナースリーブ１３は、外
周部に雄ねじ１８が形成されてたスリーブ本体１３Ａと
この雄ねじ１８と螺合するテーパーナット１７とを備え
た構造である。これらのねじが形成されたインナースリ
ーブ１３の端部には３本もしくはそれ以上の切り欠き部
１５が軸方向に形成されている。テーパーナット１７
は、スピンドル４とスリーブ本体１３Ａの雌ねじ１６の
嵌合の程度を調整する締付部材である。つまり、テーパ
ーナット１７を回転させて軸方向に前後させると、テー
パーナット１７の先端部とスリーブ本体１３Ａの傾斜面
との当接位置が変化する。この当接位置を変化させるこ
とによって、スリーブ本体１３Ａの端部の内径が変化
し、この径変化を利用してねじ軸２１とインナースリー
ブ１３の嵌合を調整することが可能となる。

【００１３】スピンドル本体４Ａには回転板４３が取り
付けられ、インナースリーブ１３には固定板４２が取り
付けられ、これらの回転板４３及び固定板４２からエン
コーダ４１が構成される。エンコーダ４１は、回転板４
３と固定板４２との相対的な回転移動量を、電磁的、光
学的、静電容量的、あるいは接点的な変換手段によって
検出するものであり、この相対的な回転角に対応する信
号を電気回路を有する処理装置によって処理を行うもの
である。ここで、第１実施例では、この処理装置及びエ
ンコーダ４１から検出器４４が構成され、フレーム１、
アンビル２、シンブル３、デジタル表示部５、操作部
６、軸受筒１１、保持環１２、インナースリーブ１３、
アウタースリーブ１４及びラッチェット２２から測定機
本体５０が構成されている。

【００１４】次に、第１実施例の防水機構について説明
する。第１の防水機構は、図２に示す通り、前記スリー
ブ本体１３Ａの切り欠き部１５及び雄ねじ１８とテーパ
ーナット１７とを覆うチューブ部材５１と、このチュー
ブ部材５１の一端部とスリーブ本体１３Ａとを密着する
密着手段としての弾性リング５４Ａと、チューブ部材５
１の他端部とテーパナット１７とを密着する密着手段と
しての弾性リング５４Ｂとから構成される被覆手段５５
である。弾性リング５４Ａ，５４Ｂはチューブ部材５１
の両端部の外周部をスリーブ本体１３Ａ及びテーパナッ
ト１７からなるスリーブ１３に向かって押圧するもので
ある。チューブ部材５１として、例えばポリオレフィ
ン、ＰＣＶ、ポリフッ化ビニデン等の熱硬化性収縮材を
用いることができる。このチューブ部材５１の装着は、
テーパーナット１７とスリーブ本体１３Ａに対する位置
を調節して嵌合の程度を設定した後、このチューブ部材
５１をスリーブ本体１３Ａの切り欠き部１５及び雄ねじ
１８とテーパーナット１７とが覆われるように取り付
け、その後加熱によって収縮させ密着させることによっ
て行われる。なお、雄ねじ１８の部分については、後述
する圧力調整手段６６の作用により、その被覆を要さな
いことも可能である。また、年数が経過して再調整が必
要な場合には、被覆部材をナイフ等で取り除き、再調整
後に新たな被覆部材を取り付けることができる。

【００１５】スリーブ本体１３Ａの雄ねじ１８とテーパ
ナット１７との間にはスペーサとしてのシールテープ５
６が介装されている。シールテープ５６は、商品名スミ
フロンネジシール（住友電工社製）等からなる耐水及び
耐油性テープであり、ねじ軸２１とインナースリーブ１
３との間に液体が浸入することを防止する。

【００１６】第２の防水機構が図１、図３乃至図７に示
されている。図１には軸受筒１１に設けられた第２の防
水機構が示されている。図１において、第２の防水機構
は、軸受筒１１に形成された溝部５２Ａと、その溝部５
２Ａ内に装着される環状のシール部材５７とから構成さ
れるシール手段５８である。シール部材５７は防水効果
を高めるため、外側に開口したＵ字形状である。図３に
は保持環１２に設けられた第２の防水機構が示されてい
る。図３において、フレーム１には測定機本体５０の内
外を連通する連通路１Ａが形成され、この連通路１Ａは
前記保持環１２により閉塞されている。保持環１２は蓋
部材として機能するものであり、前記固定板４２を取り
付ける取付片４２Ａにねじ部材５９で取り付けられてい
る。ねじ部材５９は鍔部５９Ａを備え、この鍔部５９Ａ
と保持環１２との間にはシール手段としてのシール部材
６０が設けられている。シール部材６０は、ねじ部材５
９が保持環１２に対して十分にねじ込まれた時に保持環
１２と鍔部５９Ａとの間で押し潰されてシール効果を発
揮する。保持環１２の外周部には凹み１２Ａが形成さ
れ、この凹み１２Ａとフレーム１との間にはシール手段
としてのシール部材６１が設けられている。

【００１７】図４にはクランプ７に設けられた第２の防
水機構が示されている。図４において、クランプ７は、
フレーム１に螺合されるねじ部７Ａとこのねじ部７Ａに
固定された撮み部７Ｂとを有する。撮み部７Ｂとフレー
ム１との間にはシール手段としてのシール部材６２が介
装されている。図５にはフレーム１において操作部６の
裏側に設けられた第２の防水機構が示されている。図５
において、フレーム１内には電池収納スペース１Ｂが形
成されている。この電池収納スペース１Ｂは測定機本体
５０の内外を連通する連通路である。フレーム１には電
池収納スペース１Ｂを閉塞する蓋部材６３が設けられ、
この蓋部材６３は鍔部６３Ａを有する。この鍔部６３Ａ
とフレーム１との間にはシール手段であるシール部材６
４が設けられている。このシール部材６４は鍔部６３Ａ
のフレーム１に対向する部分にリング状に設けられてお
り、かつ、フレーム１と接する部分には突起６４Ａが形
成されている。図６にはフレーム１の操作部６の裏側に
設けられた第２の防水機構の他の例が示されている。図
６において、前記フレーム１と蓋部材６３との間にはシ
ール手段であるシール部材６５が設けられており、この
シール部材６５は鍔部６３Ａの外周部を覆うようにリン
グ状に形成されている。なお、シール部材６４，６５に
代えてＯリングをフレーム１と鍔部６３Ａとの間に介装
してもよい。

【００１８】図１に示す通り、第３の防水機構は圧力調
整手段６６であり、この圧力調整手段６６はシンブル３
に設けられた複数の開口部であり、その開口中心線が前
記シンブル３の軸方向と平行とされ、かつ、開口端が室
２５の角に臨む構造である。

【００１９】従って、第１実施例によれば、チューブ部
材５１によりスピンドル４のねじ軸２１の外周に設けら
れたインナースリーブ１３を密閉状態で覆うため、イン
ナースリーブ１３に形成された切り欠き部１５を通って
液体が測定機本体５０の内部への浸入を防止できる。チ
ューブ部材５１は弾性が十分でない熱硬化性収縮材から
形成されているので、チューブ部材５１とインナースリ
ーブ１３との密着が十分でなく、これらの間にわずかな
隙間が生じることがある。しかも、熱硬化性収縮材から
なるチューブ部材５１が切削油等の液体に触れることで
膨潤し、前記隙間が大きくなることがある。しかし、第
１実施例によれば、被覆手段５５を、前記チューブ部材
５１と、このチューブ部材５１の両端部においてインナ
ースリーブ１３を固定する止め輪５４Ａ，５４Ｂとから
構成したから、ねじ軸２１とインナースリーブ１３との
間に液体が浸入することをより効果的に防止できる。さ
らに、スリーブ本体１３Ａの雄ねじ１８とテーパナット
１７との噛合部分に隙間がある場合には、この隙間から
液体がねじ軸２１とインナースリーブ１３との間に浸入
することがあるが、第２実施例ではテーパナット１７と
スリーブ本体１３Ａとの間にシールテープ５６を介装し
たから、この隙間から液体がねじ軸２１とインナースリ
ーブ１３との間に浸入することを防止できる。

【００２０】さらに、第１実施例では、軸受筒１１にシ
ール部材５８を設けた他に、保持環１２にシール部材６
０，６１を設け、フレーム１とクランプ７との間にシー
ル部材６２を設け、フレーム１と蓋部材６３との間にシ
ール部材５４を設けたので、測定機本体５０の内部へ浸
入する液体をより確実に防止できる。

【００２１】また、スピンドル４のねじ軸２１を覆うシ
ンブル３の開口部からなる圧力調整手段６６によって、
圧力差を生じる液体の吸い込みや送り込み作用による測
定機本体５０の内部への液体の浸入を防止することがで
きる。しかも、圧力調整手段６６の開口部の開口中心線
を前記シンブル３の軸方向と平行とし、かつ開口端が室
２５の角を臨むようにしたので、シンブル３の内側に入
り込んだ液体やゴミが室２５の角に溜まることがなく、
よって、液体等を外部へ抜けやすして錆やゴミ詰まりを
防止できる。従って、測定機本体５０の内部への液体の
浸入を防止することにより、測定不能や測定誤差を生じ
させる原因となる処理装置等の検出器４４の誤動作を防
止することができる。なお、第１実施例では、前記チュ
ーブ部材５１と前記インナースリーブ１３との固定をエ
ポキシ系接着剤で行ってもよい。さらに、保持環１２に
設けられたシール部材６０，６１に代えてシール手段と
して防水性の接着剤を使用してもよい。さらに、スリー
ブ本体１３Ａとテーパナット１７との間に介装されるス
ペーサとして接着剤を使用してもよい。さらにまた、図
７に示される通り、第１実施例では、テーパナット１７
がスリーブ本体１３Ａに対して十分にねじ込まれ、スリ
ーブ本体１３Ａの雄ねじ１８の端部が露出している場
合、前記チューブ部材５１でスリーブ本体１３Ａの切り
欠き部１５及び雄ねじ１８とテーパナット１７とを覆う
構造としてもよく、この構造では、シールテープ５６を
省略することができる。

【００２２】次に、本発明の第２実施例を図８に基づい
て説明する。ここで、第２実施例中、第１実施例と同一
又は同様構成部分は同一符号を付して説明を省略もしく
は簡略にする。第２実施例は第１実施例と比べて密着手
段の構成が相違するものであり、他の構成は前記第２実
施例と同じである。第２実施例の要部を示す図８におい
て、被覆手段６７は、前記チューブ部材５１と、このチ
ューブ部材５１の一端部と前記スリーブ本体１３Ａとの
間に介装された密着手段としての弾性シール材６８Ａ
と、チューブ部材５１の他端部と前記テーパナット１７
との間に介装された密着手段としての弾性シール材６８
Ｂとから構成されている。弾性シール材６８Ａはスリー
ブ本体１３Ａに形成された凹み１３Ｂに嵌合されてい
る。弾性シール材６８Ｂはテーパナット１７に形成され
た凹み１７Ｂに嵌合されている。これらの弾性シール材
６８Ａ，６８ＢはＯリングから構成される。

【００２３】この第２実施例ではチューブ部材５１の両
端部とインナースリーブ１７との間に密着手段として弾
性シール材６８Ａ，６８Ｂを介装したから、チューブ部
材５１により押し潰された弾性シール材６８Ａ，６８Ｂ
で防水できるので、インナースリーブ１７とねじ軸２１
との間への液体の浸入を確実に防止できる。

【００２４】次に、本発明の第３実施例を図９及び図１
０に基づいて説明する。ここで、第３実施例中、第１実
施例と同一又は同様構成部分は同一符号を付して説明を
省略もしくは簡略にする。第３実施例は第１実施例と比
べて被覆手段の構成が相違するものであり、他の構成は
前記第１実施例と同じである。第３実施例の要部を示す
図９において、被覆手段６９は、前記インナースリーブ
１３の切り欠き部１５を密閉するゴム等の弾性部材から
なるチューブ部材である。被覆手段としてのチューブ部
材６９は、チューブ本体６９Ａと、このチューブ本体６
９Ａの両端に設けられるとともにスリーブ本体１３Ａの
凹み１３Ｂとテーパナット１７の凹み１７Ｂとにそれぞ
れ密閉状態で嵌合されたリング状の係止部６９Ｂとを備
えている。このリング状の係止部６９Ｂはチューブ本体
６９Ａより厚く形成されている。また、チューブ本体６
９Ａは変形できるように弛んだ状態とされている。

【００２５】このような構成の第３実施例では、スピン
ドル３が前進するとインナースリーブ１３とねじ軸２１
との間の空間Ｓの圧力が高くなるが、チューブ部材６９
は膨らんでこの圧力変化を吸収する。スピンドル３が後
退するとインナースリーブ１３とねじ軸２１との間の空
間Ｓの圧力が低くなるが、チューブ部材６９は萎んでこ
の圧力変化を吸収する。従って、第３実施例では、イン
ナースリーブ１３の切り欠き部１５をゴム等の弾性部材
からなるチューブ部材６９で密閉したから、スピンドル
３の進退によりインナースリーブ１３とねじ軸２１との
間の空間Ｓ内の圧力が変化しても、この圧力変化をチュ
ーブ部材６９が吸収することになる。従って、シンブル
３の軸方向の移動による室２５の容積変化が生じた場合
においてもポンプ作用は生じず、インナースリーブ１３
とねじ軸２１との間の空間Ｓと続く測定機本体５０の内
部への液体の浸入を防止することができる。

【００２６】なお、第３実施例では、図１０に示される
通り、弾性部材からなるチューブ部材７０の形状を筒状
とするとともに、その一端部にテーパナット１７の端面
を覆う係止縁７０Ａを有する形状としてもよい。この場
合、チューブ部材７０と前記スリーブ本体１３Ａの凹み
１３Ｂ及びテーパナット１７の凹み１７Ｂとの間に前記
弾性シール材６８Ａ，６８Ｂを介装してもよい。

【００２７】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々変形が可能であ
り、それらを本発明の範囲から排除するものではない。
例えば、直線変位測定機をマイクロメータとしたが、測
定機本体５０にスピンドル３が進退可能に設けられると
ともにこのスピンドル３の直線移動量を検出する検出器
４４が測定機本体５０の内部に設けられた構造であるな
らば、本発明の直線変位測定機をマイクロメータヘッ
ド、内径測定機、外径測定機等としてもよい。さらに、
インナースリーブ１３にテーパナット１７を含まない構
造でもよく、要するに、インナースリーブ１３に形成さ
れるとともに前記検出器４４に通じる切り欠き部１５を
チューブ部材５１，６９，７０で覆う構造であれば、テ
ーパナット１７の有無は問題ではない。

【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、測定機本体の内部への液体の浸入を防止することに
より、測定不能や測定誤差を生じさせる原因となる電気
回路の誤動作を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る直線変位測定機の断
面図である。

【図２】第１実施例に係る直線変位測定機の要部断面図
である。

【図３】第１実施例に係る直線変位測定機の要部断面図
である。

【図４】図１中、Ｘ−Ｘ線に沿う矢視断面図である。

【図５】第１実施例のフレームと蓋部材との取付構造を
示す断面図である。

【図６】第１実施例のフレームと蓋部材との取付構造の
他の例を示す断面図である。

【図７】第１実施例においてチューブ部材の異なる取付
状態を示すもので図２に相当する図である。

【図８】本発明の第２実施例に係る直線変位測定機の要
部を示すもので図２に相当する図である。

【図９】本発明の第３実施例に係る直線変位測定機の要
部を示すもので図２に相当する図である。

【図１０】第３実施例のチューブ部材の異なる例を示す
断面図である。

【図１１】従来の直線変位測定機の正面図である。

【図１２】従来の直線変位測定機の要部断面図である。

【符号の説明】

１フレーム３シンブル４スピンドル４Ａスピンドル本体１３インナースリーブ１３Ａスリーブ本体１５切り欠き部１７締付部材としてのテーパーナット１８雄おねじ２１ねじ軸４１エンコーダ４４検出器 51,69,70 チューブ部材 54A,54B 密着手段としての弾性リング５６スペーサとしてのシールテープ 68A,68B 密着手段としての弾性シール材６９Ａチューブ本体６９Ｂリング状の係止部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01B 3/18 G01B 21/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】スピンドル本体と、このスピンドル本体
を回転可能に支持するフレームと、このフレームに一端
が固定されるとともに内側面に雌ねじ部を有するスリー
ブと、前記スピンドル本体の端部に設けられるとともに
前記雌ねじ部と螺合するねじ軸とを有し、前記雌ねじ部
と前記ねじ軸とを螺合させることにより前記スピンドル
本体の回転をスピンドル本体の軸方向の動きに変換する
ように構成し、スピンドル本体の直線移動量を検出する
検出器を内部に設けた直線変位測定機において、前記ス
リーブの他端部に形成されるとともに前記検出器に通じ
る切り欠き部をチューブ部材で覆い、前記チューブ部材
の両端部を前記スリーブに密着させる密着手段を設けた
ことを特徴とする直線変位測定機。
【請求項２】請求項１記載の直線変位測定機におい
て、前記スリーブは、スリーブ本体とこのスリーブ本体
を締め付ける締付部材とを備えたことを特徴とする直線
変位測定機。
【請求項３】請求項１又は２記載の直線変位測定機に
おいて、前記チューブ部材は弾性部材からなることを特
徴とする直線変位測定機。
【請求項４】請求項１又は２記載の直線変位測定機に
おいて、前記密着手段は、前記チューブ部材の両端部と
前記チューブとを接着する接着剤であることを特徴とす
る直線変位測定機。
【請求項５】請求項１又は２記載の直線変位測定機に
おいて、前記密着手段は、前記チューブ部材の外周部を
前記スリーブに向かって押圧する弾性リングであること
を特徴とする直線変位測定機。
【請求項６】請求項１又は２記載の直線変位測定機に
おいて、前記密着手段は、前記チューブ部材の端部と前
記チューブとの間に介装された弾性シール材であること
を特徴とする直線変位測定機。
【請求項７】請求項１ないし３のいずれか記載の直線
変位測定機において、前記チューブ部材は、チューブ本
体とこのチューブ本体の両端に設けられるリング状の係
止部とを備え、このリング状の係止部はチューブ本体よ
り厚く形成されていることを特徴とする直線変位測定
機。
【請求項８】請求項２記載の直線変位測定機におい
て、前記スリーブ本体と締付部材との間に前記ねじ軸と
スリーブとの間の空間に液体が浸入することを防止する
スペーサを介装したことを特徴とする直線変位測定機。