JP2782690B2

JP2782690B2 - 液体噴射記録ヘッド

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Publication number: JP2782690B2
Application number: JP63084326A
Authority: JP
Inventors: 卓朗関谷
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1988-04-06
Filing date: 1988-04-06
Publication date: 1998-08-06
Anticipated expiration: 2013-08-06
Also published as: JPH01255551A

Description

【発明の詳細な説明】技術分野本発明は、液体噴射記録ヘッド、より詳細には、バブ
ルジェット型インクジェット記録ヘッドに関する。

従来技術ノンインパクト記録法は、記録時における騒音の発生
が無視し得る程度に極めて小さいという点において、最
近関心を集めている。その中で、高速記録が可能であ
り、而も所謂普通紙に特別の定着処理を必要とせずに記
録の行える所謂インクジェット記録法は極めて有力な記
録法であって、これまでにも様々な方式が提案され、改
良が加えられて商品化されたものもあれば、現在もなお
実用化への努力が続けられているものもある。

この様なインクジェット記録法は、所謂インクと称さ
れる記録液体の小滴（droplet）を飛翔させ、記録部材
に付着させて記録を行うものであって、この記録液体の
小滴の発生法及び発生された記録液小滴の飛翔方向を制
御する為の制御方法によって幾つかの方式に大別され
る。

先ず第１の方式は例えばUSP3060429に開示されている
もの（Tele type方式）であって、記録液体の小滴の発
生を静電吸引的に行い、発生した記録液体小滴を記録信
号に応じて電界制御し、記録部材上に記録液体小滴を選
択的に付着させて記録を行うものである。

これに就いて、更に詳述すれば、ノズルと加速電極間
に電界を掛けて、一様に帯電した記録液体の小滴をノズ
ルより吐出させ、該吐出した記録液体の小滴を記録信号
に応じて電気制御可能な様に構成されたxy偏向電極間を
飛翔させ、電界の強度変化によって選択的に小滴を記録
部材上に付着させて記録を行うものである。

第２の方式は、例えばUSP3596275、USP3298030等に開
示されている方式（Sweet方式）であって、連続振動発
生法によって帯電量の制御された記録液体の小滴を発生
させ、この発生された帯電量の制御された小滴を、一様
の電界が掛けられている偏向電極間を飛翔させること
で、記録部材上に記録を行うものである。

具体的には、ピエゾ振動素子の付設されている記録ヘ
ッドを構成する一部であるノズルのオリフィス（吐出
口）の前に記録信号が印加されている様に構成した帯電
電極を所定距離だけ離して配置し、前記ピエゾ振動素子
に一定周波数の電気信号を印加することでピエゾ振動素
子を機械的に振動させ、前記吐出口より記録液体の小滴
を吐出させる。この時前記帯電電極によって吐出する記
録液体小滴には電荷が静電誘導され、小滴は記録信号に
応じた電荷量で帯電される。帯電量の制御された記録液
体の小滴は、一定の電界が一様に掛けられている偏向電
極間を飛翔する時、付加された帯電量に応じて偏向を受
け、記録信号を担う小滴のみが記録部材上に付着し得る
様にされている。

第３の方式は例えばUSP3416153に開示されている方式
（Hertz方式）であって、ノズルとリング状の帯電電極
間に電界を掛け、連続振動発生法によって、記録液体の
小滴を発生霧化させて記録する方式である。即ちこの方
式ではノズルと帯電電極間に掛ける電界強度を記録信号
に応じて変調することによって小滴の霧化状態を制御
し、記録画像の階調性を出して記録する。

第４の方式は、例えばUSP3747120に開示されている方
式（Stemme方式）で、この方式は前記３つの方式とは根
本的に原理が異なるものである。

即ち、前記３つの方式は、何れもノズルより吐出され
た記録液体の小滴を、飛翔している途中で電気的に制御
し、記録信号を担った小滴を選択的に記録部材上に付着
させて記録を行うのに対して、このStemme方式は、記録
信号に応じて吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔させ
て記録するものである。

つまり、Stemme方式は、記録液体を吐出する吐出口を
有する記録ヘッドに付設されているピエゾ振動素子に、
電気的な記録信号を印加し、この電気的記録信号をピエ
ゾ振動素子の機械的振動に変え、該機械的振動に従って
前記吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔させて記録部
材に付着させることで記録を行うものである。

これ等、従来の４つの方式は各々に特長を有するもの
であるが、又、他方において解決され得る可き点が存在
する。

即ち、前記第１から第３の方式は記録液体の小滴の発
生の直接的エネルギーが電気的エネルギーであり、又、
小滴の偏向制御も電界制御である。その為、第１の方式
は、構成上はシンプルであるが、小滴の発生に高電圧を
要し、又、記録ヘッドのマルチノズル化が困難であるの
で高速記録には不向きである。

第２の方式は、記録ヘッドのマルチノズル化が可能で
高速記録に向くが、構成上複雑であり、又記録液体小滴
の電気的制御が高度で困難であること、記録部材上にサ
テライトドットが生じ易いこと等の問題点がある。

第３の方式は、記録液体小滴を霧化することによって
階調性に優れた画像が記録され得る特長を有するが、他
方霧化状態の制御が困難であること、記録画像にカブリ
が生ずること及び記録ヘッドのマルチノズル化が困難
で、高速記録には不向きであること等の諸問題点が存す
る。

第４の方式は、第１乃至第３の方式に比べ利点を比較
的多く有する。即ち、構成上シンプルであること、オン
デマンド（on−demand）で記録液体をノズルの吐出口よ
り吐出して記録を行う為に、第１乃至第３の方式の様に
吐出飛翔する小滴の中、画像の記録に要さなかった小滴
を回収することが不要であること及び第１乃至第２の方
式の様に、導電性の記録液体を使用する必要性がなく記
録液体の物質上の自由度が大であること等の大きな利点
を有する。而乍ら、一方において、記録ヘッドの加工上
に問題があること、所望の共振数を有するピエゾ振動素
子の小型化が極めて困難であること等の理由から記録ヘ
ッドのマルチノズル化が難しく、又、ピエゾ振動素子の
機械的振動という機械的エネルギーによって記録液体小
滴の吐出飛翔を行うので高速記録には向かないこと、等
の欠点を有する。

更には、特開昭48−9622号公報（前記USP3747120に対
応）には、変形例として、前記のピエゾ振動素子等の手
段による機械的振動エネルギーを利用する代わりに熱エ
ネルギーを利用することが記載されている。

即ち、上記公報には、圧力上昇を生じさせる蒸気を発
生する為に液体を直接加熱する加熱コイルをピエゾ振動
素子の代りの圧力上昇手段として使用する所謂バブルジ
ェットの液体噴射記録装置が記載されている。

しかし、上記公報には、圧力上昇手段としての加熱コ
イルに通電して液体インクが出入りし得る口が一つしか
ない袋状のインク室（液室）内の液体インクを直接加熱
して蒸気化することが記載されているに過ぎず、連続繰
返し液吐出を行う場合は、どの様に加熱すれば良いか
は、何等示唆されるところがない。加えて、加熱コイル
が設けられている位置は、液体インクの供給路から遥か
に遠い袋状液室の最深部に設けられているので、ヘッド
構造上複雑であるに加えて、高速での連続繰返し使用に
は、不向きとなっている。

しかも、上記公報に記載の技術内容からでは、実用上
重要である発生する熱で液吐出を行った後に次の液吐出
の準備状態を速やかに形成することは出来ない。

このように従来法には、構成上、高速記録化上、記録
ヘッドのマルチノズル化上、サテライトドットの発生お
よび記録画像のカブリ発生等の点において一長一短があ
って、その長所を利する用途にしか適用し得ないという
制約が存在していた。

第４図は、本発明が適用されるインクジェットヘッド
の一例としてのバブルジェットヘッドの動作説明をする
ための図、第５図は、バブルジェットヘッドの一例を示
す斜視図、第６図は、第５図に示したヘッドを構成する
蓋基板（第６図（ａ））と発熱体基板（第６図（ｂ））
に分解した時の斜視図、第７図は、第６図（ａ）に示し
た蓋基板を裏側から見た斜視図で、図中、21は蓋基板、
22は発熱体基板、23は記録液体流入口、24はオリフィ
ス、25は流路、26は液室を形成するための領域、27は個
別（独立）電極、28は共通電極、29は発熱体（ヒー
タ）、30はインク、31は気泡、32は飛翔インク滴で、本
発明は、斯様なバブルジェット式の液体噴射記録ヘッド
に適用されるものである。

最初に、第４図を参照しながらバブルジェットによる
インク噴射について説明すると、（ａ）は定常状態であり、オリフィス面でインク30の
表面張力と外圧とが平衡状態にある。

（ｂ）はヒータ29が加熱されて、ヒータ29の表面温度
が急上昇し隣接インク層に沸騰現像が起きるまで加熱さ
れ、微小気泡31が点在している状態にある。

（ｃ）はヒータ29の全面で急激に加熱された隣接イン
ク層が瞬時に気化し、沸騰膜を作り、この気泡31が生長
した状態である。この時、ノズル内の圧力は、気泡の生
長した分だけ上昇し、オリフィス面での外圧とのバラン
スがくずれ、オリフィスよりインク柱が生長し始める。

（ｄ）は気泡が最大に生長した状態であり、オリフィ
ス面より気泡の体積に相当する分のインク30が押し出さ
れる。この時、ヒータ29には電流が流れていない状態に
あり、ヒータ29の表面温度は降下しつつある。気泡31の
体積の最大値は電気パルス印加のタイミングからややお
くれる。

（ｅ）は気泡31がインクなどにより冷却されて収縮を
開始し始めた状態を示す。インク柱の先端部では押し出
された速度を保ちつつ前進し、後端部では気泡の収縮に
伴ってノズル内圧の減少によりオリフィス面からノズル
内へインクが逆流してインク柱にくびれが生じている。

（ｆ）はさらに気泡31が収縮し、ヒータ面にインクが
接しヒータ面がさらに急激に冷却される状態にある。オ
リフィス面では、外圧がノズル内圧より高い状態になる
ためメニスカスが大きくノズル内に入り込んで来てい
る。インク柱の先端部は液滴になり記録紙の方向へ５〜
10m/secの速度で飛翔している。

（ｇ）はオリフィスにインクが毛細管現象により再び
供給（リフィル）されて（ａ）の状態にもどる過程で、
気泡は完全に消滅している。

而して、上述のごときバブルジェット型インクジェッ
ト記録ヘッドにおいては、気泡が発生した場合に、第４
図（ｄ）に示したように、気泡が流路の天井に届くこと
があり、その場合には、流路がいったん気泡によって遮
断されることになり、次の記録液の補給が充分に行なわ
れないため、液滴の吐出ミスや、吐出速度の低下、或い
は吐出方向のみだれ等が生ずる。このような欠点を解決
するために、特開昭56−139970号公報においては、細孔
内の液体流が気泡によって遮断されることのないように
して気泡の生成、消滅を行なうことが提案されている
が、該公報には〃気泡によって遮断しないように〃とい
う記載があるのみで、具体的にどのようにすればよいか
ということが明示されておらず、はなはだ概念的であ
り、実現不可能である。

第８図は、上述のごとき液体噴射記録ヘッドの要部構
成を説明するための典型例を示す図で、第８図（ａ）
は、バブルジェット記録ヘッドのオリフィス側から見た
正面詳細部分図、第８図（ｂ）は、第８図（ａ）に一点
鎖線Ｘ−Ｘで示す部分で切断した場合の切断面部分図で
ある。

これらの図に示された記録ヘッド41は、その表面に電
気熱変換体42が設けられている基板43上に、所定の線密
度で所定の巾と深さの溝が所定数設けられている溝付板
44を該基板43を覆うように接合することによって、液体
を飛翔させるためのオリフィス45を含む液吐出部46が形
成された構造を有している。液吐出部46は、オリフィス
45と電気熱変換体42より発生される熱エネルギーが液体
に作用して気泡を発生させ、その体積の膨張と収縮によ
る急激な状態変化を引き起こすところである熱作用部47
とを有する。

熱作用部47は、電気熱変換体42の熱発生部48の上部に
位置し、熱発生部48の液体と接触する面としての熱作用
面49をその低面としている。熱発生部48は、基板43上に
設けられた下部層50、該下部層50上に設けられた発熱抵
抗層51、該発熱抵抗層51上に設けられた上部層52とで構
成される。

発熱抵抗層51には、熱を発生させるために該層51に通
電するための電極53,54がその表面に設けられており、
これらの電極間の発熱抵抗層によって熱発生部48が形成
されている。

電極53は、各液吐出部の熱発生部に共通の電極であ
り、電極54は、各液吐出部の熱発生部を選択して発熱さ
せるための選択電極であって、液吐出部の液流路に沿っ
て設けられている。

保護層52は、熱発生部48においては発熱抵抗層51を、
使用する液体から化学的、物理的に保護するために発熱
抵抗層51と液吐出部46の液流路を満たしている液体とを
隔絶すると共に、液体を通じて電極53,54間が短絡する
のを防止し、更に隣接する電極間における電気的リーク
を防止する役目を有している。

各液吐出部に設けられている液流路は、各液吐出部の
上流において、液流路の一部を構成する共通液室（不図
示）を介して連通されている。各液吐出部に設けられた
電気熱変換体42に接続されている電極53,54はその設計
上の都合により、前記上部層に保護されて熱作用部の上
流側において前記共通液室下を通るように設けられてい
る。

なお、発熱抵抗体51を構成する材料として、有用なも
のには、たとえば、タンタル−SiO₂の混合物、窒化タン
タル、ニクロム、銀−パラジウム合金、シリコン半導
体、あるいはハフニウム、ランタン、ジルコニウム、チ
タン、タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブ、
クロム、バナジウム等の金属の硼化物があげられる。

これらの発熱抵抗体51を構成する材料の中、殊に金属
硼化物が優れたものとしてあげることができ、その中で
も最も特性の優れているのが、硼化ハフニウムであり、
次いで、硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化タンタ
ル、硼化バナジウム、硼化ニオブの順となっている。

発熱抵抗体51は、上記の材料を用いて、電子ビーム蒸
着やスパッタリング等の手法を用いて形成することがで
きる。発熱抵抗体51の膜厚は、単位時間当りの発熱量が
所望通りとなるように、その面積、材質及び熱作用部分
の形状及び大きさ、更には実際面での消費電力等に従っ
て決定されるものであるが、通常の場合、0.001〜５μ
ｍ、好適には0.01〜１μｍとされる。

電極53、54を構成する材料としては、通常使用されて
いる電極材料の多くのものが有効に使用され、具体的に
は、たとえばAl,Ag,Au,Pt,Cu等があげられ、これらを使
用して蒸着等の手法で所定位置に、所定の大きさ、形
状、厚さで設けられる。

保護層52に要求される特性は、発熱抵抗体51で発生さ
れた熱を記録液体に効果的に伝達することを妨げずに、
記録液体より発熱抵抗体51を保護するということであ
る。保護層52を構成する材料として有用なものには、た
とえば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化マグネシウ
ム、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウ
ム等があげられ、これらは、電子ビーム蒸着やスパッタ
リング等の手法を用いて形成することができる。保護層
52の膜厚は、通常は0.01〜10μｍ、好適には0.1〜５μ
ｍ、最適には0.1〜３μｍとされるのが望ましい。

第９図は、パルスレーザーを用いて記録液体に気泡を
発生させる別の手段を説明するための図で、図中、61は
レーザ発振器、62は光変調駆動回路、63は光変調器、64
は走査器、65は集光レンズで、レーザ発振器61より発生
されたレーザ光は、光変調器63において、光変調器駆動
回路62に入力されて電気的に処理されて出力される画情
報信号に従ってパルス変調される。パルス変調されたレ
ーザ光は、走査器64を通り、集光レンズ65によって熱エ
ネルギー作用部の外壁に焦点が合うように集光され、記
録ヘッドの外壁66を加熱し、内部の記録液体67内で気泡
を発生させる。あるいは熱エネルギー作用部の壁66は、
レーザ光に対して透過性の材料で作られ、集光レンズ65
によって内部の記録液体67に焦点が合うように集光さ
れ、記録液体を直接加熱することによって気泡を発生さ
せてもよい。

第10図は、上述のごときレーザ光を用いたプリンター
の一例を説明するための図で、ノズル部71は、高密度に
（たとえば８ノズル/mm）、又、紙72の紙巾（たとえばA
4横巾）すべてにわたってカバーされるように集積され
ている例を示している。

レーザ発振器61より発振されたレーザ光は、光変調器
63の入口開口に導かれる。光変調器63において、レーザ
光は、光変調器63への画情報入力信号に従って強弱の変
調を受ける。変調を受けたレーザ光は、反射鏡68によっ
てその光路をビームエキスパンダー69の方向に曲げら
れ、ビームエキスパンダー69に入射する。ビームエキス
パンダー69により平行光のままビーム径が拡大される。
次に、ビーム径の拡大されたレーザ光は、高速で定速回
転する回転多面鏡70に入射される。回転多面鏡70によっ
て掃引されたレーザ光は、集光レンズ65により、ドロッ
プジェネレータの熱エネルギー作用部外壁66もしくは内
部の記録液体に結像する。それによって、各熱エネルギ
ー作用部には、気泡が発生し、記録液滴を吐出し、記録
紙72に記録に行なわれる。

第11図は、さらに別の気泡発生手段を示す図で、この
例は、熱エネルギー作用部の内壁側に配置された１対の
放電電極80が、放電装置81から高電圧のパルスを受け、
記録液体中で放電をおこし、その放電によって発生する
熱により瞬時に気泡を形成するようにしたものである。

第12図乃至第18図は、それぞれ第11図に示した放電電
極の具体例を示す図で、第12図に示した例は、電極80を針状にして、電界を集中させ、効率よく（低
エネルギーで）放電をおこさせるようにしたものであ
る。

第13図に示した例は、２枚の平板電極にして、電極間に安定して気泡が発生
するようにしたものである。針状の電極より、発生気泡
の位置が安定している。

第14図に示した例は、電極にほぼ同軸の穴をあけたものである。２枚の電極
の両穴がガイドになって、発生気泡の位置はさらに安定
する。

第15図に示した例は、リング状の電極にしたものであり、基本的には第14図
に示した例と同じであり、その変形実施例である。

第16図に示した例は、一方をリング状電極とし、もう一方を針状電極とした
ものである。リング状電極により、発生気泡の安定性を
狙い、針状電極により電界の集中により効率を狙ったも
のである。

第17図に示した例は、一方のリング状電極を熱エネルギー作用部の壁面に形
成したものである。これは、第16図に示した例の効果に
加えて、基板上に平面的に電極を形成するという製造上
の容易さを狙ったものである。このような平面的な電極
は、蒸着（あるいはスパッタリング）や、フォトエッチ
ングの技術によって容易に高密度な複数個のものが製作
され得る。マルチアレイに特に威力を発揮する。

第18図に示した例は、第17図に示した例のリング状電極形成部を電極の外周
にそった形状で周囲から一段高くしたものである。やは
り、発生気泡の安定性を狙ったものであり、第16図に示
したものよりも３次元的なガイドを付け加えた分だけ安
定する。

而して、上述のごときバブルジェット型インクジェッ
ト記録ヘッドにおいては、気泡が発生した場合に、第４
図（ｄ）に示したように、気泡が流路の天井に届くこと
があり、その場合には、流路がいったん気泡によって遮
断されることになり、次の記録液の補給が充分に行なわ
れないため、液滴の吐出ミスや、吐出速度の低下、或い
は吐出方向のみだれ等が生ずる。

目的本発明は、上述のごときバブルジェット型インクジェ
ット記録ヘッドにおいて、気泡が流路を遮断しないよう
な具体的構造のバブルジェットヘッドを提供することを
目的としてなされたものである。

構成本発明は上記目的を達成するために、記録液体を収容
するための部屋と、該部屋に連絡する平行に並べられた
複数の流路と、前記部屋に形成された記録液体流入口と
を一体的に形成した蓋基板と、該蓋基板と係合し、前記
部屋および前記流路を構成し、該流路に対応して設けら
れ、前記記録液体に熱によって気泡を発生させ、該気泡
の体積増加にともなう作用力によって、前記流路の先か
ら、液体を小滴として吐出させるための熱エネルギー発
生手段を有する基板と、から成る液体噴射記録ヘッドに
おいて、前記記録液体が流れる流路の流路面の一部を気
泡発生領域とし、該気泡発生領域を気泡が最大になって
も該気泡が該流路の天井に到達しない程度に落としこん
だ構造とし、そこに発熱抵抗体およびその上に保護膜を
形成して気泡発生領域としたことを特徴としたものであ
る。

而して、本発明は、先に説明した従来より知られてい
るバブルジェット型インクジェット記録ヘッドにおい
て、流路中に付設された熱エネルギー作用部が、流路か
ら少し落とし込まれた状態にあるようにしたことを特徴
としたものである。

第１図は、本発明によるバブルジェット型インクジェ
ット記録ヘッドのオリフィス部断面図で、図中、１は発
熱体基板、２は蓋基板、３は熱エネルギー作用部、４は
気泡、５はインク、６はインク流路、７はオリフィス、
８はメニスカスで、本発明においては、図示のように、
気泡発生する部分、つまり、熱エネルギー作用部３が周
辺の流路よりおとしこまれて形成されており、これによ
って、気泡が発生しても、第４図（ｄ）に示したように
天井に該気泡が到達することないようにしている。な
お、この落しこみを、図示のように、落し込んだ壁の部
分を斜めに構成し、かつ、熱エネルギー作用部（発熱
体）３が設けられている部分が最も狭くなるようにして
おくと、不要な小さな気泡が角部（壁が直角とした場合
のくぼみ部底面との交差部）に残らないので、吐出性能
が下るのを防止することができる（不要な気泡があると
エネルギーを吸収してしまい、良好な吐出が得られな
い）。

第２図は、本発明を発熱抵抗体を用いたバブルジェッ
ト型インクジェット記録ヘッドに適用した場合の一実施
例を示す要部断面図で、図中、11は発熱体基板、12は蓄
熱層、13は電極、14は発熱抵抗体層、15は発熱抵抗体保
護層、16は電極保護層で本実施例においては、発熱抵抗
体14が蓄熱層12内に落としこんで形成されている。これ
は、たとえば、蓄熱層としてSiO₂を用いた場合、SiO₂の
スパッタリング技術と、フォトリソ技術を用いて容易に
形成できる。

第３図は、本発明をパルスレーザーを用いたバブルジ
ェット型インクジェット記録ヘッドに適用した場合の一
実施例を説明するための要部構成図で、図中、17はイン
ク流路を形成する基板、18はパルスレーザー光線、19は
熱エネルギー作用部で、この実施例は、パルスレーザー
を照射し、気泡が発生する領域19を周囲より落としこん
だものである。これも例えば、壁を形成する部材にガラ
ス等を用いて、フォトエッチング技術等によって容易に
なしえる。

更に、本発明は、放電を利用したバブルジェット型イ
ンクジェット記録ヘッドにも適用できるものであるが、
その場合、第12図〜第16図の例に適用する場合には、両
電極間の基板部を第３図に示したように少し落し込んだ
位置に電極を形成するようにすればよく、第17図及び第
18図の例に適用する場合には、落し込んだ位置に電極を
形成するようにすればよい。

効果以上の説明から明らかなように、本発明によると、流
路が気泡によって遮断されないので、遮断されることに
よってひきおこされる記録液の補給が充分に行なわれな
いとか、液滴の吐出ミスや、吐出速度の低下や、吐出方
向の乱れ等が全くなくなり、安定した吐出が行なわれ、
高印字品質が得られる。とりわけ、本発明は、高解像度
を狙ってオリフィスを小さくし、従って、流路の天井も
低くなるような場合に著しい効果をあらわす。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を説明するための要部断面
図、第２図は、本発明を発熱抵抗体を用いたバブルジェ
ット型インクジェット記録ヘッドに適用した場合の一実
施例を説明するための図、第３図は、パルスレーザー光
を用いたバブルジェット型インクジェット記録ヘッドに
適用した場合の一実施例を説明するための図、第４図
は、本発明が適用されるインクジェットヘッドの一例と
してのバブルジェットヘッドの動作説明をするための
図、第５図は、バブルジェットヘッドの一例を示す斜視
図、第６図は、分解斜視図、第７図は、蓋基板を裏側か
ら見た図、第８図は、バルブジェット記録ヘッドの詳細
を説明するための図、第９図は、レーザ光を用いた気泡
発生手段の一例を説明するための図、第10図は、プリン
ターの一例を説明するための図、第11図は、放電を利用
し気泡発生手段の一例を説明するための図、第12図乃至
第18図は、それぞれ第11図に示した放電電極の具体例を
示す図である。１……発熱体基板、２……蓋基板、３……エネルギー作
用部、４……気泡、14……発熱抵抗体、18……レーザ
光。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】記録液体を収容するための部屋と、該部屋
に連絡する平行に並べられた複数の流路と、前記部屋に
形成された記録液体流入口とを一体的に形成した蓋基板
と、該蓋基板と係合し、前記部屋および前記流路を構成
し、該流路に対応して設けられ、前記記録液体に熱によ
って気泡を発生させ、該気泡の体積増加にともなう作用
力によって、前記流路の先から、液体を小滴として吐出
させるための熱エネルギー発生手段を有する基板と、か
ら成る液体噴射記録ヘッドにおいて、前記記録液体が流
れる流路の流路面の一部を気泡発生領域とし、該気泡発
生領域を気泡が最大になっても該気泡が該流路の天井に
到達しない程度に落としこんだ構造とし、そこに発熱抵
抗体およびその上に保護膜を形成して気泡発生領域とし
たことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。