JP2779248B2 - 流体の流れを調節しかつ遮断させる装置 - Google Patents
流体の流れを調節しかつ遮断させる装置Info
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- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
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- F16K31/0644—One-way valve
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- F16K31/0665—Lift valves with valve member being at least partially ball-shaped
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- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はガスのような流体の流れを制御する技術に関
する。
する。
（従来の技術及びその課題） 調節装置の下流に位置決めされた遮断弁を有する流れ
制御システムにより流体経路内を流動する流れを制御す
ることは公知である。コントローラが弁及び調節装置の
双方を制御し、流体に対して調節及び確実な遮断制御を
行う。第１図にはかかるシステムが図示されている。
制御システムにより流体経路内を流動する流れを制御す
ることは公知である。コントローラが弁及び調節装置の
双方を制御し、流体に対して調節及び確実な遮断制御を
行う。第１図にはかかるシステムが図示されている。
上述の流れ制御システムに対して追加の弁、管及びポ
ンプを設けることにより、尖鋭な前縁及び後縁を有する
ガス流（すなわち短時間で迅速に調節されるガス流）を
形成する流動システムを提供することも公知である。
ンプを設けることにより、尖鋭な前縁及び後縁を有する
ガス流（すなわち短時間で迅速に調節されるガス流）を
形成する流動システムを提供することも公知である。
上述の調節装置の例はエム・ケー・エス・インストラ
メンツ・インコーポレーテッド（MKS Instruments In
c.,）（米国マサチューセッツ州、アンドーバ）から商
標名「248弁」として販売されている比例制御弁があ
る。この弁において、可動片組立体が頂部ばね及び底部
ばねにより弁体中に懸垂されかつ中心に位置決めされて
いる。底部ばねは二重の目的を有し、中心の位置決め力
及び閉塞力の双方を提供する。可動片がこのように位置
決めされているため、電磁コイルにより極めて正確に持
ち上げられ、これにより流れを制御することが出来る。
この弁の作動中、ガスは弁に入り、弁座室内に流動す
る。この可動片が電磁石により持ち上げられると、流体
はオリフィス組立体を通り、側部に穿孔された通路を通
り、弁から出る。弁座はオリフィス上に圧接する弾性プ
ラグを収容している。しかし、着座圧力が低くかつ弾性
材を通るガスの透過速度が遅いため、確実な遮断は不可
能である。
メンツ・インコーポレーテッド（MKS Instruments In
c.,）（米国マサチューセッツ州、アンドーバ）から商
標名「248弁」として販売されている比例制御弁があ
る。この弁において、可動片組立体が頂部ばね及び底部
ばねにより弁体中に懸垂されかつ中心に位置決めされて
いる。底部ばねは二重の目的を有し、中心の位置決め力
及び閉塞力の双方を提供する。可動片がこのように位置
決めされているため、電磁コイルにより極めて正確に持
ち上げられ、これにより流れを制御することが出来る。
この弁の作動中、ガスは弁に入り、弁座室内に流動す
る。この可動片が電磁石により持ち上げられると、流体
はオリフィス組立体を通り、側部に穿孔された通路を通
り、弁から出る。弁座はオリフィス上に圧接する弾性プ
ラグを収容している。しかし、着座圧力が低くかつ弾性
材を通るガスの透過速度が遅いため、確実な遮断は不可
能である。
（課題を解決するための手段） 本発明の一特徴によると、流れを調節させかつ遮断す
る装置は入口及び出口を有する調節される流体の経路
と、入口及び出口間に位置決めされ、その入口及び出口
間の流れを調節する弁機構と、及び該弁機構に隣接して
設けられ、弁機構が流体の経路内を通る流れを完全に遮
断するのに十分な大きさの力を弁機構に対して選択的作
用させ得る遮断機構とを備えている。
る装置は入口及び出口を有する調節される流体の経路
と、入口及び出口間に位置決めされ、その入口及び出口
間の流れを調節する弁機構と、及び該弁機構に隣接して
設けられ、弁機構が流体の経路内を通る流れを完全に遮
断するのに十分な大きさの力を弁機構に対して選択的作
用させ得る遮断機構とを備えている。
本発明の好適な実施例は１又は２以上の次の特徴を備
えることが出来る。調節される流体はガスである。弁機
構は可動片組立体と、該可動片組立体を動かす電磁石と
をさらに備えてしいる。該流体の経路は可動片の組立体
の一部が接触する着座部を備えることが望ましい。弁機
構に遮断力が加えられたとき、遮断機構が可動片組立体
の一部分を弾性変形させ得るようにすることがさらに望
ましい。該流体の経路は金属製とし、調節される流体が
接触する流体経路の部分は全て金属製とする。この装置
は油圧経路をさらに備え、この油圧経路の第１の部分は
調節される流体の経路の第１の流体部分に隣接し、油圧
経路はダイヤフラムを介して予荷重力を第１の流体部分
に作用させるようにし、該弁機構は上記第１の流体部分
に配置させ、弁機構が予荷重に打勝つことが出来るよう
にする。油圧経路の第１の部分は線形ばねにより第１の
流体部分から分離されるようにすることが望ましい。装
置は油圧経路の第２の部分及び流体経路の第２の流体部
分をさらに備え、該油圧経路の第２の部分が流体経路の
第２の流体部分に隣接し、流体経路の第２の流体部分が
ダイヤフラムにより油圧経路の第２の部分から分離され
る。線形ばねはベローを備えることがさらに望ましい。
遮断機構は遮断力を付与するばね部材を備えることが望
ましい。このばね部材は圧力により圧縮され、圧力が除
去されるとき、遮断力が作用する。このばね部材は一つ
のばねとする。遮断機構は複数のばねを備えていてもよ
い。この遮断機構はピストンと、該ピストンに接続され
かつ弁機構に隣接するロッドと、ピストンに力を加える
ばねとを備え、該ばねはピストンに圧力が加えられたと
き、圧縮される。空気圧が除去されたときこのばね力に
よりロッドは弁機構に接触し流動を遮断させる。該弁機
構はばね力が付与されたとき、ガスの流動を遮断させ、
少なくとも１×10-9sccm He（ヘリウムにおける標準cm3
/min）感度を有するヘリウムガス漏れ検出器によって検
出されないように構成される。
えることが出来る。調節される流体はガスである。弁機
構は可動片組立体と、該可動片組立体を動かす電磁石と
をさらに備えてしいる。該流体の経路は可動片の組立体
の一部が接触する着座部を備えることが望ましい。弁機
構に遮断力が加えられたとき、遮断機構が可動片組立体
の一部分を弾性変形させ得るようにすることがさらに望
ましい。該流体の経路は金属製とし、調節される流体が
接触する流体経路の部分は全て金属製とする。この装置
は油圧経路をさらに備え、この油圧経路の第１の部分は
調節される流体の経路の第１の流体部分に隣接し、油圧
経路はダイヤフラムを介して予荷重力を第１の流体部分
に作用させるようにし、該弁機構は上記第１の流体部分
に配置させ、弁機構が予荷重に打勝つことが出来るよう
にする。油圧経路の第１の部分は線形ばねにより第１の
流体部分から分離されるようにすることが望ましい。装
置は油圧経路の第２の部分及び流体経路の第２の流体部
分をさらに備え、該油圧経路の第２の部分が流体経路の
第２の流体部分に隣接し、流体経路の第２の流体部分が
ダイヤフラムにより油圧経路の第２の部分から分離され
る。線形ばねはベローを備えることがさらに望ましい。
遮断機構は遮断力を付与するばね部材を備えることが望
ましい。このばね部材は圧力により圧縮され、圧力が除
去されるとき、遮断力が作用する。このばね部材は一つ
のばねとする。遮断機構は複数のばねを備えていてもよ
い。この遮断機構はピストンと、該ピストンに接続され
かつ弁機構に隣接するロッドと、ピストンに力を加える
ばねとを備え、該ばねはピストンに圧力が加えられたと
き、圧縮される。空気圧が除去されたときこのばね力に
よりロッドは弁機構に接触し流動を遮断させる。該弁機
構はばね力が付与されたとき、ガスの流動を遮断させ、
少なくとも１×10-9sccm He（ヘリウムにおける標準cm3
/min）感度を有するヘリウムガス漏れ検出器によって検
出されないように構成される。
本発明の別の特徴によると、迅速なガス流動特性を生
じさせる装置は、電気及び空気圧信が号を発生させ得る
コントローラと、入口及び出口を有する調節される流体
の経路を備えた調節可能な遮断装置とを備える。この遮
断装置は、入口及び出口間に位置決めされ、該入口及び
出口間の流れを調節させるように電気信号により制御さ
れる弁機構と、該弁機構に隣接しかつ弁機構に力を付与
して、該弁機構が流体経路内を通る流体の流れを完全に
遮断するように空気圧信号により制御される遮断機構と
を備えている。
じさせる装置は、電気及び空気圧信が号を発生させ得る
コントローラと、入口及び出口を有する調節される流体
の経路を備えた調節可能な遮断装置とを備える。この遮
断装置は、入口及び出口間に位置決めされ、該入口及び
出口間の流れを調節させるように電気信号により制御さ
れる弁機構と、該弁機構に隣接しかつ弁機構に力を付与
して、該弁機構が流体経路内を通る流体の流れを完全に
遮断するように空気圧信号により制御される遮断機構と
を備えている。
（実施例） 第２図を参照すると、流路20内における例えばガスの
ような流体が調節可能遮断装置22により制御される。該
遮断装置22は弁機構27に接続された電気信号線23及び遮
断機構29に接続された空気圧信号線25を介してコントロ
ーラ24に接続される。
ような流体が調節可能遮断装置22により制御される。該
遮断装置22は弁機構27に接続された電気信号線23及び遮
断機構29に接続された空気圧信号線25を介してコントロ
ーラ24に接続される。
第２図乃至第７図を参照すると、流体は下側本体28に
形成された入口流路26を介して調節可能な遮断装置22に
供給され、下側本体28により画成された出口流路30を介
して遮断装置22から排出される。流体は入口流路26から
ベロー室32まで流動しかつダイヤフラム室34から出口流
路30内に流入する。これらの流路はそれぞれ底部36及び
コイルハウジング組立体38に形成されている。
形成された入口流路26を介して調節可能な遮断装置22に
供給され、下側本体28により画成された出口流路30を介
して遮断装置22から排出される。流体は入口流路26から
ベロー室32まで流動しかつダイヤフラム室34から出口流
路30内に流入する。これらの流路はそれぞれ底部36及び
コイルハウジング組立体38に形成されている。
ベロー40はベロー室32を流体側のベロー室42と油側の
ベロー室44とに仕切る。ダイヤフラム46はダイヤフラム
室34を流体側のダイヤフラム室48と油側のダイヤフラム
室50とに仕切る。下側本体28はまた流体側のベロー室42
を流体側のダイヤフラム室48に接触させる流路52を形成
する。下側本体の油流路54は底部36に形成された底部の
油流路58をコイルハウジング56の孔55を介して油側ダイ
ヤフラム室50に接続させる。油側のダイヤフラム室50も
またコイルハウジングの油流路57に接続される。底部の
油流路58は油側ベロー室54に接続され、かつ、油流路58
にはねじ式ピストン59が螺入されるねじ部分をが形成さ
れている。
ベロー室44とに仕切る。ダイヤフラム46はダイヤフラム
室34を流体側のダイヤフラム室48と油側のダイヤフラム
室50とに仕切る。下側本体28はまた流体側のベロー室42
を流体側のダイヤフラム室48に接触させる流路52を形成
する。下側本体の油流路54は底部36に形成された底部の
油流路58をコイルハウジング56の孔55を介して油側ダイ
ヤフラム室50に接続させる。油側のダイヤフラム室50も
またコイルハウジングの油流路57に接続される。底部の
油流路58は油側ベロー室54に接続され、かつ、油流路58
にはねじ式ピストン59が螺入されるねじ部分をが形成さ
れている。
コイルハウジング56を備えるコイルハウジング組立体
38には、スリーブ62、可動片のガイド64及び可動片組立
体68の可動片溶接体66が中に嵌まる可動片の通路60が形
成されている。コイルハウジング組立体38はまた例え
ば、電磁石のようなコイル69を備え、このコイルは孔67
を通って伸長する電気信号線23に接続されている。可動
片組立体68はさらにダイヤフラム46を通って可動片溶接
体66に取り付けられるボールリテーナ70と、及び該ボー
ルリテーナ70により適所に保持されたボール71とを備え
ている。ボール71は閉塞位置において、ボール71の着座
部として機能する出口通路30の入口に係合する。
38には、スリーブ62、可動片のガイド64及び可動片組立
体68の可動片溶接体66が中に嵌まる可動片の通路60が形
成されている。コイルハウジング組立体38はまた例え
ば、電磁石のようなコイル69を備え、このコイルは孔67
を通って伸長する電気信号線23に接続されている。可動
片組立体68はさらにダイヤフラム46を通って可動片溶接
体66に取り付けられるボールリテーナ70と、及び該ボー
ルリテーナ70により適所に保持されたボール71とを備え
ている。ボール71は閉塞位置において、ボール71の着座
部として機能する出口通路30の入口に係合する。
第４図及び第７図を参照すると、コイルハウジング組
立体38はエアホース25を空気室76に接続させる空気通路
74を有する上側ブロック72に隣接している。この空気室
76は上側ブロック72及び該上側ブロック72内に摺動可能
に取り付けられたピストン78により形成される。ロッド
79がピストン78に取り付けられ、可動片ガイド64を通っ
て下方に伸長し、可動片組立体68に近接する。各々3.2k
g（７ポンド）の圧縮強度を有する４つのばね80（内２
つのみ図示）がピストン78とキャップ82との間に圧縮状
態に配置されている。上側ブロック72にはまたコイルハ
ウジングの油通路57に接続された上方の油通路75が形成
されている。ねじ式ピストン81がキャップ82を通ってロ
ッド79まで伸長している。
立体38はエアホース25を空気室76に接続させる空気通路
74を有する上側ブロック72に隣接している。この空気室
76は上側ブロック72及び該上側ブロック72内に摺動可能
に取り付けられたピストン78により形成される。ロッド
79がピストン78に取り付けられ、可動片ガイド64を通っ
て下方に伸長し、可動片組立体68に近接する。各々3.2k
g（７ポンド）の圧縮強度を有する４つのばね80（内２
つのみ図示）がピストン78とキャップ82との間に圧縮状
態に配置されている。上側ブロック72にはまたコイルハ
ウジングの油通路57に接続された上方の油通路75が形成
されている。ねじ式ピストン81がキャップ82を通ってロ
ッド79まで伸長している。
Ｏリング84、86が空気室76及びコイルハウジングの油
通路57を密封する。Ｏリング88、90、92は遮断装置22の
油圧経路の油を密封する。
通路57を密封する。Ｏリング88、90、92は遮断装置22の
油圧経路の油を密封する。
遮断装置22は調節される流体の流体経路、油圧経路及
び空気経路という３つの経路を備えている。該流体経路
は入口流路26流体側ベロー室42、流体52、流体側ダイヤ
フラム室48及び出口流路30を備えている。流体経路の全
ての継手部分は金属対金属のシールが採用されている。
例えばDC704油のような油が真空充填された油圧経路
は、油側ベロー室44、底部の油流路58、下側本体の油流
路54、孔55、油側ダイヤフラム室50、コイルハウジング
の油流路57及び上方の油流路75を備えている。空気経路
は空気通路74及び空気室76を備えている。
び空気経路という３つの経路を備えている。該流体経路
は入口流路26流体側ベロー室42、流体52、流体側ダイヤ
フラム室48及び出口流路30を備えている。流体経路の全
ての継手部分は金属対金属のシールが採用されている。
例えばDC704油のような油が真空充填された油圧経路
は、油側ベロー室44、底部の油流路58、下側本体の油流
路54、孔55、油側ダイヤフラム室50、コイルハウジング
の油流路57及び上方の油流路75を備えている。空気経路
は空気通路74及び空気室76を備えている。
第２図を参照すると、遮断装置22は、流路20内の流体
の流れを調節するか、又は流路20内の流体の流れを完全
に遮断させることにより流路20内の流体を制御する。
の流れを調節するか、又は流路20内の流体の流れを完全
に遮断させることにより流路20内の流体を制御する。
遮断装置22は市販のヘリウム漏れ検出器（１×10-9sc
cm He）の最大感度まで流れを完全に遮断させる。
cm He）の最大感度まで流れを完全に遮断させる。
より具体的には、第３図乃至第５図を参照すると、調
節されるガスは遮断装置22の流体経路に入り、入口流路
26を通って流体側のベロー室42に入り、次に、流路52を
通って上方に流動し、流体側のダイヤフラム室48に達す
る。コントローラ24からの電気信号によりコイル69を励
起させることによりボール71が持ち上げられると、流れ
は出口通路30を通じて排出される。コイルハウジング組
立体38は流体経路をツール流体の流れを制御しかつ調節
する弁機構27として機能する。
節されるガスは遮断装置22の流体経路に入り、入口流路
26を通って流体側のベロー室42に入り、次に、流路52を
通って上方に流動し、流体側のダイヤフラム室48に達す
る。コントローラ24からの電気信号によりコイル69を励
起させることによりボール71が持ち上げられると、流れ
は出口通路30を通じて排出される。コイルハウジング組
立体38は流体経路をツール流体の流れを制御しかつ調節
する弁機構27として機能する。
油圧経路は圧力伝達の特徴を与える。油は略非圧縮性
であり、このため、流体側のベロー室42に生じるガス圧
力は油側のダイヤフラム室50まで上方に伝えられ、ダイ
ヤフラム46に作用する力を均衡させる。ねじ式ピストン
59は油圧経路に設けられ、ベロー40の予荷重を制御す
る。
であり、このため、流体側のベロー室42に生じるガス圧
力は油側のダイヤフラム室50まで上方に伝えられ、ダイ
ヤフラム46に作用する力を均衡させる。ねじ式ピストン
59は油圧経路に設けられ、ベロー40の予荷重を制御す
る。
ベロー40は線形ばねとして機能する。着座しているボ
ール71の力はねじ式ピストン59によりベロー40に予荷重
を作用させることにより調節される。この予荷重は数グ
ラムであり、遮断を行うのには不十分な力であるから、
コイル69による力に屈する。このため、コイル56による
力はボール71を持ち上げ、予荷重の下、流れの制御を行
う。調節中は空気圧が空気経路内にて維持されるため、
ピストン78に取り付けられたロッド79は可動片組立体68
に接触しない。
ール71の力はねじ式ピストン59によりベロー40に予荷重
を作用させることにより調節される。この予荷重は数グ
ラムであり、遮断を行うのには不十分な力であるから、
コイル69による力に屈する。このため、コイル56による
力はボール71を持ち上げ、予荷重の下、流れの制御を行
う。調節中は空気圧が空気経路内にて維持されるため、
ピストン78に取り付けられたロッド79は可動片組立体68
に接触しない。
１×10-9sccm Heまでの遮断は、空気経路から空気を
除去してばね80でピストン78及びロッド79を下方に付勢
させることにより実現される。ロッド79は可動片組立体
68の頂部に接触し、この可動片組立体68を下方に付勢さ
せる。ばね80の力はコイル69の力及び弁機構の予荷重に
打ち勝つのに十分な大きさである。可動片組立体68が下
方に付勢されると、ボール71がその着座部に接触し、弾
性変形が生じ、これにより確実なシールが形成される。
除去してばね80でピストン78及びロッド79を下方に付勢
させることにより実現される。ロッド79は可動片組立体
68の頂部に接触し、この可動片組立体68を下方に付勢さ
せる。ばね80の力はコイル69の力及び弁機構の予荷重に
打ち勝つのに十分な大きさである。可動片組立体68が下
方に付勢されると、ボール71がその着座部に接触し、弾
性変形が生じ、これにより確実なシールが形成される。
空気圧（約3.4乃至5.1atm（50乃至70psi））を空気経
路に作用させると、ピストン78及びロッド79は後退し、
これにより、可動片組立体68は制御を回復することが可
能となる。ねじ式ピストン81はロッド79及びピストン78
の後退する程度を制御する。ばね80、ピストン78、ロッ
ド79及び空気領域とを組み合わせることにより確実な遮
断機構29が提供される。
路に作用させると、ピストン78及びロッド79は後退し、
これにより、可動片組立体68は制御を回復することが可
能となる。ねじ式ピストン81はロッド79及びピストン78
の後退する程度を制御する。ばね80、ピストン78、ロッ
ド79及び空気領域とを組み合わせることにより確実な遮
断機構29が提供される。
このようにして、本発明は流体が金属にのみ接触し、
流体の調節及び確実な遮断が同一の機機及び同一の箇所
にて行われる流体の流れ制御機構を提供し得るものであ
り、この制御機構は電磁石と同じ速度で動作しかつ迅速
な流体の流動特性を提供するものである（これによりシ
ステムの浄化及び逆洗いが不要となる）。
流体の調節及び確実な遮断が同一の機機及び同一の箇所
にて行われる流体の流れ制御機構を提供し得るものであ
り、この制御機構は電磁石と同じ速度で動作しかつ迅速
な流体の流動特性を提供するものである（これによりシ
ステムの浄化及び逆洗いが不要となる）。
第１図は公知の流れ制御装置の線図、 第２図は本発明による流れ制御システムの線図、 第３図は第２図のシステムの調節可能な遮断装置の側面
図、 第４図は第３図の遮断装置の線４−４に沿った図、 第５図は第４図の遮断装置の線５−５に沿った図、 第６図は第４図の遮断装置の線６−６に沿った図、 第７図は第４図の遮断装置の線７−７に沿った図であ
る。 22:遮断装置、23:電気信号、24:コントローラ 25:空気圧信号線、26:入口流路、28:下側本体 30:出口流路、32:ベロー室、36:底部 38:コイルハウジング、40:ベロー、42:流体側のベロー
室 46:ダイヤフラム、48:ダイヤフラム室、52:流路 54:下側本体の油流路、55:孔、59:ねじ式ピストン 60:可動片の通路、68:可動片組立体、70:ボールリテー
ナ 71:ボール、72:ブロック、74:空気通路 76:空気室、78:ピストン、79:ロッド 82:キャップ、88、90、92:Oリング
図、 第４図は第３図の遮断装置の線４−４に沿った図、 第５図は第４図の遮断装置の線５−５に沿った図、 第６図は第４図の遮断装置の線６−６に沿った図、 第７図は第４図の遮断装置の線７−７に沿った図であ
る。 22:遮断装置、23:電気信号、24:コントローラ 25:空気圧信号線、26:入口流路、28:下側本体 30:出口流路、32:ベロー室、36:底部 38:コイルハウジング、40:ベロー、42:流体側のベロー
室 46:ダイヤフラム、48:ダイヤフラム室、52:流路 54:下側本体の油流路、55:孔、59:ねじ式ピストン 60:可動片の通路、68:可動片組立体、70:ボールリテー
ナ 71:ボール、72:ブロック、74:空気通路 76:空気室、78:ピストン、79:ロッド 82:キャップ、88、90、92:Oリング
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F16K 31/06 - 31/11
Claims (14)
- 【請求項１】流体の流れを調節しかつ遮断させる装置に
おいて、 入口及び出口を有する調節される流体の経路と、 前記入口及び前記出口間に位置決めされ、前記入口及び
前記出口間の流れを調節させ得る弁機構と、 前記弁機構に隣接して設けられ、前記弁機構が前記調節
される流体の流れを完全に遮断させるのに十分な力を前
記弁機構に対して選択的に付与する遮断機構と、を備
え、 前記遮断機構がピストンと、前記ピストンに接続されか
つ前記弁機構に隣接するロッドと、前記ピストンに力を
付与するばねとを備え、前記ピストンに圧力が加えられ
たとき前記ばねが圧縮されてピストンとロッドとが後退
して弁機構が流体の流れ制御可能となり、前記圧力が除
去されたとき前記ロッドを弁機構に接触させ、前記ばね
により流体流れを遮断させるようにしたことを特徴とす
る流体の流れを調節しかつ遮断させる装置。 - 【請求項２】前記調節される流体がガスであることを特
徴とする請求項１記載の装置。 - 【請求項３】前記弁機構が可動片組立体と、前記可動片
を動かし得る電磁石とをさらに備えることを特徴とする
請求項１記載の装置。 - 【請求項４】前記流体の経路が前記可動片組立体の一部
分が移動可能に接触する、着座部を備えることを特徴と
する請求項３に記載の装置。 - 【請求項５】前記遮断する力が前記弁機構に付与された
時、前記遮断機構により前記可動片組立体の前記一部分
が弾性変形されるようにしたことを特徴とする請求項４
記載の装置。 - 【請求項６】前記流体の経路が金属製で構成され、前記
調節される流体が接触する流体経路の部分は全て金属製
であることを特徴とする請求項１記載の装置。 - 【請求項７】油圧経路をさらに備え、前記油圧経路の第
１の部分が前記調節される流体の経路の第１の流体部分
に隣接し、かつ前記油圧経路がダイヤフラムを介して弁
の流体部分に予荷重を作用させ、 前記弁機構が前記弁の流体部分に位置決めされかつ前記
予荷重に打ち勝つことができるようにしたことを特徴と
する請求項２記載の装置。 - 【請求項８】前記油圧経路の第１の部分が線形ばねによ
り前記第１の流体部分から分離されることを特徴とする
請求項７記載の装置。 - 【請求項９】前記油圧経路の第２の部分と、前記調節さ
れる流体の経路の第２流体部分とをさらに備え、前記油
圧経路の第２の部分が前記流体経路の第２の流体部分に
隣接すると共に、前記第２の流体部分がダイヤフラムに
より前記油圧経路の第２の部分から分離され、前記線形
ばねがベローを備えることを特徴とする請求項８記載の
装置。 - 【請求項１０】前記ばねが圧力により圧縮され、及び前
記ばね力が、前記圧力が除去されたときに、付与される
ようにしたことを特徴とする請求項９記載の装置。 - 【請求項１１】前記ばねが一つのばねからなることを特
徴とする請求項10記載の装置。 - 【請求項１２】前記遮断機構が複数のばねを備えること
を特徴とする請求項11記載の装置。 - 【請求項１３】前記遮断力が付与されたとき、前記弁機
構が前記調節されるガスの流れを遮断し、少なくとも1x
10- 9sccm Heの感度を有するヘリウム漏れ検出器でも検
出されないようにしたことを特徴とする請求項２記載の
装置。 - 【請求項１４】迅速なガス流動特性を生じさせる装置に
おいて、 電気信号及び空気圧信号を発生させ得るコントローラ
と、 調節可能な遮断装置であって、 入口及び出口を有する調節される流体の経路と、 前記入口及び出口間に位置決めされ前記入口及び出口間
の流れを調節し得る形態とすると共に、前記電気信号に
より制御可能な弁機構と、 前記弁機構に隣接しかつ前記弁機構に力を付与し得る遮
断機構とを有する前記調節可能な遮断装置と、を備え、 前記力により前記弁機構が前記調節される流体の流れを
完全に遮断する一方、前記遮断機構が前記空気圧信号に
より制御されるように構成したことを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US30767689A | 1989-02-06 | 1989-02-06 | |
| US307676 | 1989-02-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02266181A JPH02266181A (ja) | 1990-10-30 |
| JP2779248B2 true JP2779248B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=23190750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2026993A Expired - Lifetime JP2779248B2 (ja) | 1989-02-06 | 1990-02-06 | 流体の流れを調節しかつ遮断させる装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0382406B1 (ja) |
| JP (1) | JP2779248B2 (ja) |
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| DE (1) | DE69024825T2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1906625B2 (de) * | 1969-02-11 | 1971-12-23 | Fa C Heinrich Anton, 4100 Duisburg | Elektromagnetische schnellschliesseinrichtung fuer ventile insbesondere regelventile mit elektrisch thermohydraulischem antrieb |
| DE2126977A1 (de) * | 1971-05-29 | 1972-11-30 | Leybold-Heraeus GmbH & Co KG, 5000 Köln | Schnellschließendes Ventil |
| JPS50113851A (ja) * | 1974-02-20 | 1975-09-06 | ||
| JPS61229109A (ja) * | 1985-04-04 | 1986-10-13 | Asahi Seisakusho:Kk | 燃料ガスの圧力調整器 |
-
1990
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- 1990-02-01 DE DE69024825T patent/DE69024825T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-03 KR KR1019900001285A patent/KR0167760B1/ko not_active IP Right Cessation
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- 1990-02-06 JP JP2026993A patent/JP2779248B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
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| JPH02266181A (ja) | 1990-10-30 |
| CA2009288C (en) | 1999-06-15 |
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| EP0382406A2 (en) | 1990-08-16 |
| DE69024825D1 (de) | 1996-02-29 |
| KR900013234A (ko) | 1990-09-05 |
| CA2009288A1 (en) | 1990-08-06 |
| DE69024825T2 (de) | 1996-09-05 |
| KR0167760B1 (ko) | 1998-12-01 |
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