JP2778776B2 - 光学スキャナー - Google Patents

光学スキャナー

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JP2778776B2 JP1510163A JP51016389A JP2778776B2 JP 2778776 B2 JP2778776 B2 JP 2778776B2 JP 1510163 A JP1510163 A JP 1510163A JP 51016389 A JP51016389 A JP 51016389A JP 2778776 B2 JP2778776 B2 JP 2778776B2
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    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/125Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
    • G02B26/126Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane including curved mirrors

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光学スキャナーに関し、特に、高解像度のレ
ーザースキャナーに特に適した光学スキャナーに関す
る。
レーザープリンタに使用する型式の光学スキャナーは
一般に、記録媒体を横切って光線を走査するために使用
する回転ポリゴン即ち回転多面鏡を有する。このような
スキャナーに使用する光学素子は、光線の良好な焦点を
得るための平坦な接線方向の場(tangential field)を
形成すると共に、いわゆる角錐(ピラミッド)誤差、即
ち多面鏡の複数の面の角度的な不整合に起因する横断走
査方向(走査方向に対して直角な方向)における光点
(スポツト)位置の誤差を修正するように設計されてい
る。また、光学素子は、比較的直線状の走査ラインを提
供し、f−θゆがみ状態を修正するものでなければなら
ない。スキャナー内に記録媒体は写真フィルムや、ゼロ
グラフィックドラムの如き感光性媒体等である。
米国特許第4,247,160号明細書には、多面鏡と感光性
表面との間に位置した凹状の円筒鏡を有するレーザービ
ームスキャナーが開示されている。横断走査方向には正
(positive)のパワーを有するが走査方向にはパワー
(power)を有さない凹状円筒鏡は、角錐誤差を最小限
に抑える。横断走査平面においてパワーを有する負(ne
gative)の屈折円柱レンズを円筒鏡と多面鏡との間に配
置して、残存する横断走査場の曲率を補償する。正のレ
ンズを円筒鏡と多面鏡との間に配置して、光線を合焦さ
せ、平坦な接線場を生じさせる。
米国特許第4,512,625号明細書には、角錐誤差を補償
するために凹状円筒鏡を使用するようなレンズ構造が開
示されている。2つのレンズ素子を円筒鏡と回転する多
面鏡との間で使用する。一方のレンズ素子は負の球面パ
ワーを有し、他方のレンズ素子は前表面で横断走査方向
に負の円筒パワーを有し、かつ後表面で正の球面パワー
を有する。この米国特許明細書及び上記米国特許第4,24
7,160号明細書に開示されたレンズ構造の問題点の1つ
は、例えばハーフトナー像の形成の如きある種の応用に
とって、レンズ構造により得られる解像度が十分に高く
ないということである。
本発明の目的は、上述の従来技術の問題点を解決し、
改良した光学スキャナーを提供することである。
本発明によれば、光源から発生した光線を記録媒体上
で走査するための光学スキャナーが提供され、このスキ
ャナーは、所定の角度にわたって光線を走査するための
偏向手段と、この偏向手段と記録媒体との間に設定され
た光学手段とを備え、光学手段は、2つの球面を有する
第1レンズ素子と、互いに直行する方向に向いた2つの
円筒表面を有する第2レンズ素子と、円筒鏡とを具備す
る。
本発明の望ましい実施例においては、所定の角度にわ
って光線を偏向させるために回転多面鏡を使用し、この
多面鏡と記録媒体との間に凹状の円筒鏡を配置する。2
つの屈折走査レンズ素子は、多面鏡と円筒鏡との間で光
学経路内に配置されている。一方のレンズ素子は2つの
球面を有し、他方のレンズ素子は直交する円筒表面を有
する。ダイオードレーザーの如き光源からの入力光線は
光線成形光学系を通過し、回転多面鏡へ導かれる。多面
鏡で反射された後、光線は2つの屈折走査レンズ素子を
通過し、次いで平面鏡により円筒鏡へ導かれる。円筒鏡
は光線を記録媒体上へ導く。
本発明の光学スキャナーの利点は、極めて高い解像度
の画像を形成できることである。このスキャナーは極め
て平坦な接線場を有し、レーザー光線は、良質のハーフ
トナー画像を得るに適したスキャナーを提供するため、
走査方向及び横断走査方向において、記録媒体に対して
十分に小さな寸法を有する。
以下、本発明の光学スキャナーの斜視図を示す添付図
面について本発明の実施例を説明する。
添付図面には、本発明の光学スキャナー10を示す。ス
キャナー10は、光源として作用するダイオードレーザー
12、光線拡張手段16、光線成形装置18、回転多面鏡20、
及び多面鏡20と記録媒体24との間に位置した光学系22を
有する。光線成形装置18は球面レンズ17と、正の円柱面
レンズ19と、負の円筒面レンズ27と、レンズ19、27間に
位置した平面鏡25とを有する。光学系22は光学軸線23に
沿って位置し、2つの屈折走査レンズ素子30、32と、円
筒鏡34とを有する。光学系22は光線を折り曲げるためレ
ンズ素子32と鏡34との間に位置した平面鏡36をも有す
る。
レンズ素子30は2つの球面40、42を有する厚手のメニ
スカスレンズである。球面40は負のパワーを有し、球面
42は正のパワーを有する。素子30の全体の光学パワーは
極めて僅かな程度だけ正である。レンズ素子32は2つの
円筒面46、48を有し、これらの円筒面を含む円筒の中心
軸線(図示せず)は互いに直交している。これら両方の
中心軸線は第1レンズ素子30により画定された光学軸線
23に対しても直交している。レンズ素子32の円筒面46は
走査方向において正の円筒パワーを有する。素子32の円
筒面48は横断走査方向において負の円筒パワーを有す
る。従って、レンズ素子32のパワーは走査方向において
正であり、横断走査方向において負である。円筒鏡34は
横断走査方向において正の円筒パワーを有し、この円筒
鏡の軸線は光学軸線に直交している。
ダイオードレーザー12は赤外レーザー光線50を発生さ
せ、この光線は、多面鏡20へ導入される前に、光線成形
装置18によりアナモフィック成形(シェーピング)され
る。横断走査方向において、光線50は多面鏡の面21の近
傍でウエストフォーカス(waist focus)する。走査方
向において、光線50は、多面鏡20を約720mm越えて位置
したウエストフォーカス位置の方へ収れんする。従っ
て、走査方向においては、多面鏡20での入力光線はコリ
メートされておらず、正のフェルゲンツ(vergence)を
呈する。多面鏡20で反射され2つのレンズ素子30、32を
通過した後の光線50は円筒鏡34で再度反射され、記録媒
体24で又はその近傍でウエストフォーカスする。走査方
向においては、ウエストフォーカス位置は13インチ(約
330mm)を越える全体のライン長にわたる記録媒体24か
ら±0.13mmの範囲内にとどまる。その結果、exp(−
2)乗の地点に対して約0.012mmの公称値である計算し
た光線半径は走査方向において5%以下で寸法が変化す
る。横断走査方向においては、ウエストフォーカス位置
は記録媒体24から±0.35mmの範囲内にとどまり、約0.01
5mmの公称値である光線半径はこの横断走査方向に10%
以下で寸法変化する。記録媒体24でのレーザー光線50の
この特性のため、非常に高い解像度での走査を遂行する
ことができる。
光学スキャナー10により得られる解像度は、例えば1
インチ(約25.4mm)当り150ドットを有するスクリーン
(図示せず)を使用することにより形成されるようなハ
ーフトーン画像をつくるために使用できるようなもので
ある。これらの等間隔のドットの寸法は小さな領域にお
ける画像の見掛けの暗度(黒色度)を決定する。各ドッ
トは12×12の正方形アレイの小画素から成り、実際、走
査方向及び横断走査方向において1インチ(約25.4mm)
当り1800個の小画素を有するものを使用した。各ライン
を描く場合のレーザー光線50のパワーレベルを制御する
ことにより、これらの小画素を選択的に付勢状態又は去
勢状態に切り換え、各ドットの見掛けの寸法を変える。
本発明により提供されるレーザー光線の光点の寸法はそ
の使用目的に応じて決める。
光学スキャナー10は光学装置に対する多面鏡20の個々
の面21上での角錐(ピラミッド)角度誤差の影響を最小
化する。スキャナー10においては、多面鏡の反射面21を
記録媒体24に対して光学的に共役することにより、角錐
角度誤差の効果に打ち勝つ。角錐角度誤差は横断走査方
向において反射光線を逸らせる。これにより、記録媒体
24における走査光点が横断走査方向に変位し、画像を描
くためにスキャナーを使用した場合にバンディングとし
て知られる現像を生じさせる。(画像の読取りにおいて
は、横断走査方向における変位誤差はさして重要でな
い。) 多面鏡20は既知の構成方法を使用して構成できる型式
のもので、その面での角錐角度誤差は±30アーク秒より
小さい。隣接する走査ライン間の横断方向における走査
ライン隔離誤差の量における公差は多面鏡の面の合計数
に一部依存し、仮定した視距離に一部依存する。本発明
においては、8つの面21を有する多面鏡20を使用でき、
6インチ(約152.4mm)より小さくない視距離を仮定で
きる。このような多面鏡及び視距離を使用すると、平均
ラインピッチの1.6%の横断方向における走査ライン隔
離公差が得られる。1インチ(約25.4mm)当り1800個の
ラインがあると仮定すれば、この公差は0.22マイクロメ
ートルとなる。後に示すが、光学スキャナー10はこの公
差の範囲内で機能する。
光学スキャナー10はf−θ状態に対する修正を行うよ
うに構成されている。理想的には、記録媒体24上に形成
された像の高さHは走査角度θに正比例し、式H=fθ
で表すことができる。ここに、fは走査光学装置の焦点
距離に等しい定数であり、θの単位はラジアンである。
また、光点の直線速度は多面鏡20の回転速度に正比例す
べきである。
V=dh/dt=f dθ/dt=2fΩ ここに、Ωは多面鏡の回転速度(ラジアン/秒)であ
る。
f−θ状態からの逸れは画像内に幾何学的な歪みを生
じさせ、光点の速度を変化させる。光点の速度が変化す
ると、記録媒体24でのエネルギ密度即ち露光量に変化を
生じさせ、小画素の場合には、オン状態とオフ状態との
間に差を生じさせる。光学スキャナー10は1%以下の幾
何学的な歪み及び2.5%以下の光点速度の変化を生じさ
せることが判った。これは卓越した性能であると考えら
れる。
光学系22内の素子の詳細は次の表Iに示す。
本発明の代表的な例においては、レーザー光線50は83
0nmの波長を有する。走査角度θがゼロであると仮定す
ると、入射レーザー光線は多面鏡の面21の中心の方へ向
き、光学軸線23に対して60°の角度を形成する。多面鏡
の面21での反射の後、光線は光学軸線23に沿って進行す
る。
入射光線50はY−Z(走査)平面内に位置する。光線
50が面21と交差する地点における光線のパラメータは次
の通りである。
Y(走査)方向において: 光線のexp(−2)半径=7.7134mm 波先の曲率半径=720mm (即ち、収れん光線) 光線はコリメータレンズ16でのexp(−2)乗地点で
截頭されている。
X(交差走査)方向において: 光線のexp(−2)半径=0.0306mm 波先の曲率半径=−12.342mm 光線は多面鏡20の手前0.94mmに位置したウエストフォ
ーカス位置から発 散(末広がり)している。光線は截
頭されていない。
走査角度θがゼロであると仮定した場合の記録媒体24
でのレーザー光線50の詳細は次の通りである。
Y(走査)方向において: 光線のexp(−2)半径=0.0119mm(截頭効果を排除
する。) 波先の曲率半径=無限(即ち、光線のウエストフォー
カス位置) X(交差走査)方向において: 光線のexp(−2)半径=0.01053mm 波先の曲率半径=−2.8664mm 光線は多面鏡20の手前0.25mmに位置したウエストフォ
ーカス位置から発散している。
次の表IIは光学系のパラメータの詳細を示す。
ただし、上記表IIにおいてASはアーク秒である。
表IIから判るように、横断走査方向における最悪の誤
差は23°の走査角度において生じ、この場合、多面鏡の
面21が一方向に30アーク秒傾斜し次の面21が反対方向に
30アーク秒傾斜したときに、0.000176mmのライン間隔に
おける逸れが生じる。この値は、バンディングを阻止す
るに必要な0.00022mmの必要公差内の値である。また、
Y方向における画像平面からの光線ウエストフォーカス
位置の焦点誤差は0.13mmより少ないことが判る。これ
は、本発明の光学スキャナーにより提供される接線場が
著しく平坦であることを示す。X方向において、画像平
面に関する光線のウエイストフォーカス位置は、走査角
度θ=0において、−0.25mmの地点に位置している。走
査角度θの正及び負の値に対して、光線のウエストフォ
ーカス位置はプラス(正)方向に移動する。これは、可
動な光学素子を導入しなければ緩和することができない
効果であり、多面鏡が回転したときに多面鏡の反射面21
も光学軸線に沿って動くという事実に由来する。
上述のように、本発明の重要な特徴はスキャナー10内
に極めて平坦な場が得られることである。スキャナー10
内に平坦な場を提供するのに寄与する一つの要因は走査
角度θを光学軸線23に対して非対称的にすることであ
る。光学スキャナーなる名称の上記米国特許明細書に
は、光学軸線に対して対称的な走査角度を有するスキャ
ナーが開示されている。このスキャナーにおいては、多
面鏡の反射面の後縁から光線が漏れるのを阻止するた
め、θ=0の走査角度に向いたときに、多面鏡の回転中
心は反射面に平行な方向において光学軸線から小距離だ
け変位する。これに反し、本発明においては、このよう
な変位は生じない。実際、走査角度は非対称にせしめら
れる。走査角度θは、330.3mm即ち約13インチの公称長
さを有するライン像を走査するため、−31°から+23°
までの54°の角度範囲内で変化する。走査期間中、多面
鏡20は27°の角度にわたって回転する。多面鏡20におい
て、各8つの反射面21は45°の角度に相当する弦に沿っ
て位置し、従って多面鏡のデューティファクター即ち使
用率は0.6である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−204225(JP,A) 特開 昭57−144516(JP,A) 特開 平1−502851(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02B 26/10 G02B 13/00

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源により発生した光線を記録媒体上で走
    査するための光学スキャナーであって、該スキャナー
    は、 所定の角度にわたって前記光線を走査させるための偏向
    手段(20)、及び 前記偏向手段(20)と記録媒体(24)との間に位置する
    光学手段であって、負のパワーを有する球面(40)と正
    のパワーを有する球面(42)を持った第1のレンズ素子
    (30)、走査方向において正の円筒パワーを有する円筒
    面(46)と横断走査方向において負の円筒パワーを有す
    る円筒面(48)を持ち、前記2つの円筒面は互いに直交
    している第2のレンズ素子(32)、及び光学軸線(23)
    に沿って位置した円筒鏡(34)を備えた光学手段、 を有し、 前記偏向手段(20)の偏向面(21)は横断走査方向にお
    いて記録媒体(24)と光学的に共役である、 光学スキャナー。
  2. 【請求項2】請求の範囲第1項に記載の光学スキャナー
    において、前記偏向手段が回転軸の回りで回転できる多
    面鏡を有する光学スキャナー。
  3. 【請求項3】請求の範囲第1項に記載の光学スキャナー
    において、前記偏向手段への入力光線(50)が走査方向
    に収れんしている光学スキャナー。
  4. 【請求項4】請求の範囲第1項に記載の光学スキャナー
    において、前記第2レンズ素子(32)と前記円筒鏡(3
    4)との間に平面鏡(36)を配置した光学スキャナー。
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