JP2773468B2 - 非線形光学素子およびその加工方法 - Google Patents

非線形光学素子およびその加工方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は吸湿性をもつ非線形光学
結晶を用いた素子およびその加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、吸湿性をもつ非線形光学結晶を素
子に加工するに際しては、研磨した結晶表面が空気中の
水蒸気と反応して研磨面が失透してしまうのを防ぐた
め、ＭｇＯ等の物質を蒸着していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、蒸着膜を作
成するには、膜の材質と結晶との整合性や高品質な膜を
蒸着する条件等を調べる必要があり、そのためにはかな
りの工数を要していた。
【０００４】本発明の目的は、結晶以外の物質を用いず
に失透を防ぐための表面保護膜を有する非線形光学素子
およびその表面保護膜を容易に形成する加工方法を提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による非線形光学素子においては、吸湿性を
もつ非線形光学単結晶を用いた非線形光学素子におい
て、鏡面研磨面の表面部分に加熱処理され、融解固化し
た保護膜を有するものである。
【０００６】また、吸湿性をもつ非線形光学単結晶を用
いた素子の加工方法において、鏡面研磨面をレーザ光で
加熱処理して融解固化した表面保護膜を作成するもので
ある。
【０００７】
【作用】吸湿性を持つ非線形光学結晶を用いた素子にお
ける鏡面研磨されたごく表面は、原子配列の乱れのため
化学反応性が増して空気中の水蒸気とすぐ反応してしま
い、水和物が表面に付着して失透してしまう。しかし、
レーザ光で表面を瞬間的に加熱処理することにより、ご
く表面部分が融解して研磨面に薄い膜を形成し、空気中
の水蒸気と反応しなくなる。
【０００８】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。
【０００９】（実施例１）β−ＢａＢ 2 Ｏ 4 （ＢＢＯ）単
結晶を１．０６４μｍの第２高調波が得られるｃ軸から
２２．８°に傾いた角度にカットし、５ｍｍ角の素子を
作成した。レーザ光の入出力面を鏡面研磨した後、９．
４μｍの光を発振する炭酸ガスレーザをビーム径５０μ
ｍに絞り、スキャンスピード１ｍ／Ｓで鏡面研磨面をス
キャンし、表面約１μｍ程度を融解固化させた。熱処理
した素子は空気中の水蒸気と反応せず、鏡面を保つこと
が分かった。
【００１０】（実施例２）ＬｉＢ 3 Ｏ 5 （ＬＢＯ）単結晶
を１．０６４μｍの第２高調波が得られるｃ軸からの角
度θ＝９０°、ｘ軸からの角度１１°の方位にカット
し、５ｍｍ角の素子を作成した。レーザ光の入出力面を
鏡面研磨した後、９．４μｍの光を発振する炭酸ガスレ
ーザをビーム径５０μｍに絞り、スキャンスピード１ｍ
／Ｓで鏡面研磨面をスキャンし、表面約１μｍ程度を融
解固化させた。熱処理した素子は空気中の水蒸気と反応
せず、鏡面を保つことが分かった。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、吸湿性を
もつ非線形光学素子の表面保護膜の作成が容易であり、
結晶以外の物質を用いずに失透を防ぐための表面保護膜
を有する非線形光学素子を得ることができる。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 吸湿性をもつ非線形光学単結晶を用いた
    非線形光学素子において、鏡面研磨面の表面部分に加熱
    処理され、融解固化した保護膜を有することを特徴とす
    る非線形光学素子。
  2. 【請求項２】 吸湿性をもつ非線形光学単結晶を用いた
    素子の加工方法において、鏡面研磨面をレーザ光で加熱
    処理して融解固化した表面保護膜を作成することを特徴
    とする非線形光学素子の加工方法。
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