JP2761686B2 - 真空用減圧弁 - Google Patents

真空用減圧弁

Info

Publication number
JP2761686B2
JP2761686B2 JP3296290A JP29629091A JP2761686B2 JP 2761686 B2 JP2761686 B2 JP 2761686B2 JP 3296290 A JP3296290 A JP 3296290A JP 29629091 A JP29629091 A JP 29629091A JP 2761686 B2 JP2761686 B2 JP 2761686B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
spring
valve
reducing valve
receiving member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP3296290A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05108168A (ja
Inventor
耕一 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TLV Co Ltd
Original Assignee
TLV Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TLV Co Ltd filed Critical TLV Co Ltd
Priority to JP3296290A priority Critical patent/JP2761686B2/ja
Publication of JPH05108168A publication Critical patent/JPH05108168A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2761686B2 publication Critical patent/JP2761686B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/50Fuel cells

Landscapes

  • Details Of Valves (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は弁の二次側圧力を所望の
負圧値に設定維持するための真空用減圧弁に関し、特に
圧力の設定変更を行ってもヒシテリシスが生じることが
なく、精度良く圧力の設定ができるもの関する。
【0002】
【従来技術】従来の真空用減圧弁としては、例えば特開
平2−24708号公報に示されたものがある。これ
は、大気圧付近の真空域においてダイヤフラムが微振動
を繰り返して、弁がチャタリング状態になることを防止
することを目的とし、圧力設定ばね以外に、付勢ばねを
用いて、調節ねじの雄ねじと雌ねじの間の遊びを一方方
向に付勢することにより無くすものである。真空用の減
圧弁では、大気圧以下の真空を調整の対象としているこ
とにより、通常の大気圧以上の圧力調整に用いられる減
圧弁とは圧力設定ばねのばね力の作用する方向が逆にな
っている。通常の減圧弁の圧力設定ばねが圧縮状態で用
いられるのに対して、真空用減圧弁では引張り状態で用
いられる。上記従来の真空用減圧弁においても、引張り
状態の圧力設定ばねの上下端部に螺合部材を配置し、こ
の部材に圧力設定ばねの線径が収まる凹部を形成して、
ばねの端部をこの凹部に嵌込んで引張り状態を維持して
いる。
【0003】真空用減圧弁は大気圧以下の微小な圧力を
調整するために用いられるために、結合部や係合部の僅
かな隙間が設定圧力に影響を与えるのであるが、上記従
来技術のものでは、調節ねじの遊び分のガタがなくなる
ことにより、弁がチャタリング状態になることを防止し
て精度良く二次側圧力を設定維持できるものである。
【0004】
【本発明が解決しようとする課題】上記従来の減圧弁で
は設定圧力の変更を行った場合に、調節ねじのねじ位置
と圧力設定ばねのばね力との関係が変化してしまい、前
と同じ調節ねじのねじ位置に設定したとしても、ばね力
が変化して設定圧力が狂ってしまう、所謂ヒステリシス
が生じてしまう問題があった。これは圧力設定ばねの上
下端部に設けた圧力設定ばねを螺合する部材の、圧力設
定ばねの外径とほぼ一致した凹状部と、圧力設定ばねと
の間に微小な隙間が生じ、ばね力を変化させるとこの隙
間が変化したり、またその摺動抵抗も変化してヒステリ
シスを生じてしまうのである。減圧弁の圧力設定は、調
節ねじの回転数やその位置により行い、また、調節ねじ
をモ―タ―等のアクチュエ―タを用いて回転する場合に
は、ヒステリシスが生じると圧力設定が精度良くできな
くなってしまうのである。
【0005】従って本発明の技術的課題は、圧力設定ば
ねがどのように変位されても、ヒステリシスを生じるこ
とのない真空用減圧弁を得ることである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の真空用減圧弁の
構成は次の通りである。圧力応動部材の一面に弁の二次
側圧力を作用させ、他面に圧力設定手段の所望荷重を作
用させて、弁の二次側圧力が設定圧力よりも低下すると
弁部が開弁して一次側の高圧流体を補給することにより
圧力の回復を図り、設定圧力に等しくなると弁部が閉弁
して高圧流体の補給を中断する減圧弁において、圧力設
定手段として引張り状態のコイルバネを用い、該引張り
状態のコイルバネの両端にそれぞれバネ受け部材を配置
すると共に、該それぞれのバネ受け部材とコイルバネの
両端を少なくとも2ケ所の溶接により固着して、コイル
バネとバネ受け部材が摺動しないようにしたものであ
る。
【0007】
【作用】圧力設定用のコイルバネと両端のバネ受け部材
とを溶接により固着したことにより、コイルバネとバネ
受け部材との間に何等の隙間を生じることがなく、また
両者が摺動することによる摺動抵抗を生じることもない
ために、コイルバネがどのように変位されてもバネ受け
部材との間にヒステリシスを生じることがない。
【0008】
【発明の効果】本発明によれば、コイルバネがどのよう
に変位されてもヒステリシスを生じることがないため
に、コイルバネの変位とバネ力とが常に一定となり、精
度良く圧力設定ができる。
【0009】
【実施例】図示の実施例を詳細に説明する。図1におい
ては減圧弁の主弁部等は省略し、本発明にかかわる圧力
設定手段や圧力応動部材等を示す。圧力応動部材として
のダイヤフラム1を、バネカバ―2とパイロットボディ
―3の間に全周を挟み込んで取り付ける。ダイヤフラム
下部室4は二次圧通路5により減圧弁の図示しない二次
側圧力部と連通する。減圧弁の一次側圧力は、一次圧通
路6とスクリ―ン部7とパイロット弁部8を介して、通
路9を経てピストン室10と接続する。図示していない
がピストン室10の下部にはピストンを配置し、ピスト
ンと連動する主弁を配置する。パイロット弁部8は、バ
ネ11で閉弁方向に付勢したパイロット弁体12が、パ
イロット棒13により下方へ変位されて開弁するもので
ある。パイロット棒13の上部に接してダイヤフラム押
え14を配置し、下方のバネ受け部材15と共にダイヤ
フラム1の中央部を挟みこむ。ダイヤフラム押え14と
下方のバネ受け部材15とはねじ結合すると共に、下方
のバネ受け部材15の段部上面に圧力設定手段としての
コイルバネ16を配置する。コイルバネ16の下端外周
はバネ受け部材15に溶接17により取り付ける。コイ
ルバネ16の上端もバネ受け部材18に溶接により取り
付ける。上方のバネ受け部材18の中央部に全長にわた
ってねじ加工した調節ねじ19をねじ結合する。調節ね
じ19の上部に、袋ナット28を介して止め輪24を取
り付けて、調節ねじ19が回転可能に且つ上下動不可能
なように取り付ける。バネ受け部材18の外周には、回
転防止用の止めピン20,21を取り付け、バネカバ―
2の内部に設けた調節ねじガイド22の縦溝23内に配
置する。調節ねじ19を回転させると、バネ受け部材1
8はピン20,21により回転を防止され、ねじの送り
に応じた上下方向のみに変位するものである。
【0010】バネ受け部材18と調節ねじガイド22と
の間には、調節ねじ19の雄ねじとバネ受け部材18の
雌ねじとの遊び分を一方方向に付勢して吸収する、付勢
バネ25を設ける。バネカバ―2の上部に、キャップ2
6を取り付け、内部に袋ナット28やロックナット27
を配置する。
【0011】圧力設定を行う場合は、ロックナット27
をゆるめて調節ねじ19を回転可能な状態にして、所望
回転数だけ回転する。調節ねじ19の回転により上方の
バネ受け部材18が回転数に応じて上下動することによ
り、コイルバネ16のバネ力が変化し、圧力設定を行う
ことができる。この場合、上下のバネ受け部材15,1
8とコイルバネ16は溶接により固着していることによ
り、遊びを生じたり摺動することがなく、従ってヒステ
リシスを生じることもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の真空用減圧弁の要部断面図である。
【符号の説明】
1 ダイヤフラム 5 二次圧通路 6 一次圧通路 8 パイロット弁部 15 バネ受け部材 16 コイルバネ 18 バネ受け部材 19 調節ねじ 20,21 止めピン 24 止め輪 25 付勢バネ

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧力応動部材の一面に弁の二次側の圧力
    を作用させ、他面に圧力設定手段の所望荷重を作用させ
    て、弁の二次側圧力が設定圧力よりも低下すると弁部が
    開弁して一次側の高圧流体を補給することにより圧力の
    回復を図り、設定圧力に等しくなると弁部が閉弁して高
    圧流体の補給を中断する減圧弁において、圧力設定手段
    として引張り状態のコイルバネを用い、該引張り状態の
    コイルバネの両端にそれぞれバネ受け部材を配置すると
    共に、該それぞれのバネ受け部材とコイルバネの両端を
    少なくとも2ケ所の溶接により固着して、コイルバネと
    バネ受け部材が摺動しないようにしたことを特徴とする
    真空用減圧弁。
JP3296290A 1991-10-15 1991-10-15 真空用減圧弁 Expired - Fee Related JP2761686B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3296290A JP2761686B2 (ja) 1991-10-15 1991-10-15 真空用減圧弁

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3296290A JP2761686B2 (ja) 1991-10-15 1991-10-15 真空用減圧弁

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05108168A JPH05108168A (ja) 1993-04-30
JP2761686B2 true JP2761686B2 (ja) 1998-06-04

Family

ID=17831647

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3296290A Expired - Fee Related JP2761686B2 (ja) 1991-10-15 1991-10-15 真空用減圧弁

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2761686B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120241033A1 (en) * 2011-03-21 2012-09-27 Jason David Clifford Bonnet apparatus for use with fluid regulators

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62190734U (ja) * 1986-01-08 1987-12-04
JP3058713U (ja) * 1998-10-26 1999-06-22 株式会社エフティ−エムエンジニアリング シート状物のクリーニング装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05108168A (ja) 1993-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5452741A (en) Pressure reducing valve
US6708712B2 (en) Pressure regulator utilizing a disc spring
JP3704223B2 (ja) 減圧弁
US4826094A (en) Vibration damper
JPH0783338A (ja) 制御器
EP2425157A1 (en) Self-aligning spring seat for fluid regulator and fluid regulator comprising self-aligning spring seat
EP1031900B1 (en) Regulator
JP2761686B2 (ja) 真空用減圧弁
US6286641B1 (en) Oil brake
US5950652A (en) Load balanced pressure regulator and method and apparatus for delivering process gas for manufacturing semiconductor devices employing same
EP0291224A2 (en) Fuel injection nozzles
US4064910A (en) Fluid control valve
JPH117325A (ja) 減圧弁
US2967704A (en) Spring adjusting device
JP4117637B2 (ja) 制御弁のデテント機構
JP2001227656A (ja) 減圧弁
JPH0512588B2 (ja)
JPH02138582A (ja) ガス流量制御装置用バルブ
JPH0218858Y2 (ja)
JPH0694147A (ja) ダイアフラム式リリーフ弁
JPH0510468A (ja) リリーフ・開閉複合弁
JPS628704Y2 (ja)
JP3200238B2 (ja) 貯蔵タンク用安全装置
JPS6145115B2 (ja)
JPH049611Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090327

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090327

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100327

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110327

Year of fee payment: 13

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees