JP2754782B2 - Linear encoder - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、工場や倉庫などにおいて物品搬送に用い
られるLIM（リニアインダクションモータ）式搬送装置
の位置検出および速度検出等に用いて好適なリニアエン
コーダに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a linear motor suitable for position detection and speed detection of an LIM (Linear Induction Motor) type transfer device used for transferring goods in factories and warehouses. It relates to an encoder.
「従来の技術」 従来、LIM式搬送装置として、第３図および第４図に
示すような装置が知られている。これらの図において、
１は天井や壁面あるいは床面等に縦横に曲折されて配設
されたレールであり、このレール１には、その長手方向
に沿って適当な間隔をおいて複数台のLIMの一次側装置
２が各々配設されている。この一次側装置２は、歯とス
ロットが打ち抜かれた電気鉄板を積層してなる鉄心と、
スロットに巻回された巻線とから構成され、巻線に交流
電流を供給することによって、進行磁界を発生するもの
である。一方、３は搬送すべき物品が積載される荷台
（図示略）が設けられた搬送台車であり、ローラ4,4,…
によってレール１の長手方向へ移動自在に支持されてい
る。この搬送台車３のレール１と対向する面には、LIM
の二次側導体５が設けられている。そして、搬送台車３
がレール１に沿って移動し、LIMの一次側装置２と対向
する位置を通過する毎に、一次側装置２の巻線に交流電
流が供給されて、二次側導体５に推力が印加され、これ
により、搬送台車３が加減速を繰り返しながら、走行し
続けるようになっている。[Prior Art] Conventionally, as a LIM-type transfer device, a device as shown in FIGS. 3 and 4 has been known. In these figures,
Reference numeral 1 denotes a rail which is bent vertically and horizontally on a ceiling, a wall surface, a floor surface, or the like. The rail 1 has a plurality of LIM primary side devices 2 at appropriate intervals along its longitudinal direction. Are arranged respectively. The primary device 2 includes an iron core formed by laminating an electric iron plate in which teeth and slots are punched,
And a winding wound around a slot, and supplies an alternating current to the winding to generate a traveling magnetic field. On the other hand, reference numeral 3 denotes a transport carriage provided with a loading platform (not shown) on which articles to be transported are loaded, and rollers 4, 4,.
The rail 1 is movably supported in the longitudinal direction of the rail 1. On the surface of the carrier 3 facing the rail 1, a LIM
Of the secondary side conductor 5 is provided. And the transport trolley 3
Is moved along the rail 1 and every time the LIM passes through a position facing the primary device 2, an alternating current is supplied to the winding of the primary device 2, and a thrust is applied to the secondary conductor 5. Thus, the carriage 3 continues to travel while repeating acceleration and deceleration.
このような搬送装置においては、搬送台車３がLIMの
一次側装置２と対向する位置に到達したことを検出する
と共に、搬送台車３の走行速度を検出し、これらの検出
結果に基づいて、一次側装置２を駆動しなければならな
い。このため、第５図〜第７図に示すようなリニアエン
コーダを設ける必要がある。第５図において、６はレー
ル１の一次側装置２が設けられた個所の裏面に設けられ
た検出器、７は搬送台車３に設けられたスケールであ
る。スケール７は、、長尺状の磁性板からなるバックプ
レート８の両面に帯状永久磁石９および10を各々接着し
てなるもので、第６図に示すように、帯状永久磁石９お
よび10は長手方向に沿って一定間隔Ｌで極性が反転する
ように各磁化領域9a,9a,…および10a,10a,…が配置され
ており、帯状永久磁石９の各磁化領域9a,9a,…の極性
と、帯状永久磁石10の各磁化領域10a,10a,…の極性は互
いに一致するように配置されている。一方、検出器６
は、スケール７の帯状永久磁石９および10と各々対向
し、かつスケール７の長手方向、すわなちスケール７の
移動方向に沿って各々L/2隔てて配置された４個のホー
ル素子11a〜11dによって構成されている。これら各ホー
ル素子11a〜11dの出力信号Sa〜Sdは、第７図に示す検出
回路12へ供給され、この検出回路12から、スケール７の
到達を示す位置信号Spと、スケール７の移動速度に応じ
たＡ相パルスPaおよびＢ相パルスPbが出力される。すな
わち、スケール７を隔てて対向する位置にあるホール素
子11aおよび11bの各出力信号SaとSbの差信号がアンプ14
aで増幅された後、コンパレータ15aで、予め設定された
基準電圧Vr1と比較される。また、ホール素子11aおよび
11bと、各々L/2隔てて配置されたホール素子11cおよび1
1dの各出力信号ScとSdの差信号がアンプ14bで増幅され
た後、コンパレータ15bで、基準電圧Vr1と比較される。
これらコンパレータ15aおよび15bの出力信号がアンドゲ
ート16aおよび16bを介して、Ａ相パルスPaおよびＢ相パ
ルスPbとして出力される。一方、アンプ14aおよび14bの
出力が絶対値回路17aおよび17bに供給され、これら絶対
値回路17aおよび17bの出力信号が加算点18で加算された
後、コンパレータ19で、予め設定された基準値Vr2と比
較され、このコンパレータ19の出力信号が位置信号Spと
して出力されると共に、アンドゲート16aおよび16bの各
入力端に供給される。このような検出回路12において、
スケール７が、検出器６に接近して、加算点18で得られ
た信号が基準値Vr2以上となると、位置信号Spが出力さ
れると共に、アンドゲート16aおよび16bが開状態とな
り、以降、スケール７の移動速度に応じたパルス間隔
で、Ａ相パルスPaとＢ相パルスPbが交互に出力される。In such a transport device, it is detected that the transport vehicle 3 has reached a position facing the primary device 2 of the LIM, the traveling speed of the transport vehicle 3 is detected, and the primary speed is determined based on the detection results. The side device 2 must be driven. For this reason, it is necessary to provide a linear encoder as shown in FIGS. In FIG. 5, reference numeral 6 denotes a detector provided on the back surface of the place where the primary device 2 of the rail 1 is provided, and reference numeral 7 denotes a scale provided on the carrier 3. The scale 7 has band-shaped permanent magnets 9 and 10 adhered to both surfaces of a back plate 8 made of a long magnetic plate, respectively. As shown in FIG. The magnetized regions 9a, 9a,... And 10a, 10a,... Are arranged so that the polarity is reversed at a constant interval L along the direction. The polarities of the magnetized regions 9a, 9a,. The magnetized regions 10a, 10a,... Of the belt-shaped permanent magnet 10 are arranged so that the polarities thereof match each other. On the other hand, the detector 6
Are four Hall elements 11 a to 11 respectively opposed to the strip-shaped permanent magnets 9 and 10 of the scale 7 and arranged at a distance of L / 2 in the longitudinal direction of the scale 7, that is, along the moving direction of the scale 7. 11d. The output signals Sa to Sd of these Hall elements 11a to 11d are supplied to a detection circuit 12 shown in FIG. 7, and from this detection circuit 12, a position signal Sp indicating arrival of the scale 7 and a moving speed of the scale 7 are obtained. The corresponding A-phase pulse Pa and B-phase pulse Pb are output. That is, the difference signal between the output signals Sa and Sb of the Hall elements 11a and 11b at positions facing each other with the scale 7
After being amplified by a, a comparator 15a, is compared with a reference voltage Vr 1 which is set in advance. Further, the Hall element 11a and
11b, and Hall elements 11c and 1 each spaced L / 2 apart
After the difference signal of the output signals Sc and Sd of 1d it is amplified by the amplifier 14b, a comparator 15b, is compared with a reference voltage Vr 1.
The output signals of these comparators 15a and 15b are output as A-phase pulse Pa and B-phase pulse Pb via AND gates 16a and 16b. On the other hand, the outputs of the amplifiers 14a and 14b are supplied to absolute value circuits 17a and 17b, and the output signals of these absolute value circuits 17a and 17b are added at an addition point 18. is compared to 2, together with the output signal of the comparator 19 is output as a position signal Sp, are supplied to the input terminals of the aND gates 16a and 16b. In such a detection circuit 12,
Scale 7, close to the detector 6, the resulting signal becomes the reference value Vr 2 or more at the summing point 18, together with the position signal Sp is outputted, will the AND gate 16a and 16b are opened, thereafter, The A-phase pulse Pa and the B-phase pulse Pb are alternately output at pulse intervals according to the moving speed of the scale 7.
「発明が解決しようとする課題」 ところで、上述した従来のリニアエンコーダにおいて
は、第６図に示すように、スケール７の中央部では帯状
永久磁石９および10の互いに隣接する各磁化領域9a,9a,
…および10a,10a,…の間に一定の磁束パターンが生じて
いるものの、スケール７の両端部ではバックプレート８
の両面に各々接着された帯状永久磁石９と10の間を流れ
る漏れ磁束を生じているため、検出誤差が生じてしまう
という問題があった。したがって、このようなリニアエ
ンコーダを上述したLIM式搬送装置に適用した場合、搬
送台車３がLIMの一次側装置２および検出器６が設置さ
れた個所に到達する直前において、検出器６によってス
ケール７の端部に生じている漏れ磁束が検出され、位置
信号Spが出力され、これにより搬送台車３が既に到達し
たものと見なされて一次側装置２が駆動されてしまう。
さらに、この時点で、速度検出用のＡ相パルスPaおよび
Ｂ相パルスPbが出力されないため、搬送台車３が停止し
ているものと見なされ、過大な推力を発生するように一
次側装置２が駆動されてしまい、この結果、円滑な速度
制御を行うことができないという事態が生じる。"Problems to be Solved by the Invention" In the above-described conventional linear encoder, as shown in FIG. 6, in the center of the scale 7, the magnetized regions 9a, 9a adjacent to each other of the strip-shaped permanent magnets 9 and 10 are adjacent to each other. ,
, And 10a, 10a, a fixed magnetic flux pattern is generated between the two ends of the scale 7.
Since the magnetic flux leaks between the belt-shaped permanent magnets 9 and 10 adhered to both sides of the magnet, a detection error occurs. Therefore, when such a linear encoder is applied to the above-described LIM-type transfer device, the scale 6 is detected by the detector 6 immediately before the transfer trolley 3 reaches the place where the primary device 2 and the detector 6 of the LIM are installed. Is detected, a position signal Sp is output, and it is considered that the transport vehicle 3 has already arrived, and the primary device 2 is driven.
Further, at this time, since the A-phase pulse Pa and the B-phase pulse Pb for speed detection are not output, it is considered that the transport vehicle 3 is stopped, and the primary device 2 is controlled so as to generate an excessive thrust. As a result, a situation occurs in which smooth speed control cannot be performed.
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、ス
ケール両端部に生じる漏れ磁束を最小限に抑え、スケー
ル端部の位置を正確に検出することができるリニアエン
コーダを提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a linear encoder capable of minimizing leakage magnetic flux generated at both ends of a scale and accurately detecting the position of the end of the scale. .
「課題を解決するための手段」 この発明は、長手方向に沿って一定間隔Ｌで極性が反
転するように各磁化領域が配置されたスケールと、 前記スケールの周囲の磁束分布を検出する磁気検出手
段と、 前記磁気検出手段の検出結果に基づいて、前記スケー
ルの有無、および前記長手方向への移動速度に応じた信
号を出力する検出回路とからなるリニアエンコーダにお
いて、 前記スケールの長手方向両端部の各端部磁化領域の長
手方向に沿う寸法をL/2とするとともに、前記スケール
の各磁化領域を両側面に、かつ長手方向に互いに一致す
るように配置し、 前記磁化検出手段を、前記スケールの両側面に一対を
なして配し、 前記検出回路は、この一対の磁気検出手段の各出力信
号の差を取り、これを増幅するようにしたことを特徴と
している。[Means for Solving the Problems] The present invention provides a scale on which each magnetization region is arranged so that the polarity is inverted at a constant interval L along the longitudinal direction, and a magnetic detection for detecting a magnetic flux distribution around the scale. Means, and a detection circuit that outputs a signal corresponding to the presence / absence of the scale and a moving speed in the longitudinal direction based on the detection result of the magnetic detection means, both ends of the scale in the longitudinal direction. The dimension along the longitudinal direction of each end magnetized region is L / 2, and each magnetized region of the scale is arranged on both side surfaces and coincides with each other in the longitudinal direction. A pair is disposed on both sides of the scale, and the detection circuit is configured to take the difference between the respective output signals of the pair of magnetic detection means and amplify the difference.
「作用」 上記構成によれば、スケール両端部に生じる漏れ磁束
が最小限に抑えられ、これによりスケールの全長に亙っ
て均一な磁束パターンが生じるので、スケール端部の位
置を正確に検出することができる。[Operation] According to the above configuration, the leakage magnetic flux generated at both ends of the scale is minimized, and a uniform magnetic flux pattern is generated over the entire length of the scale. Therefore, the position of the scale end can be accurately detected. be able to.
「実施例」 以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明
する。"Example" Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図および第２図はこの発明の一実施例の構成を示
す図であり、これらの図において、スケール20は、長尺
状の磁性板からなるバックプレート８の両面に帯状永久
磁石21および22を各々接着してなるものである。この場
合、帯状永久磁石21および22は、中央部においては長手
方向に沿って一定間隔Ｌで極性が反転するように各磁化
領域21a,21a,…および22a,22a,…が各々配置され、か
つ、帯状永久磁石21の各磁化領域21aの極性と、帯状永
久磁石22の各磁化領域22aの極性は互いに一致するよう
に配置され、さらに、スケール20の長手方向両端部に位
置する各端部磁化領域21bおよび22bの長手方向に沿う寸
法は各々L/2に設定されている。なお、検出器６はホー
ル素子11a〜11dによって構成されており、この検出器６
と検出回路12（第７図参照）は、従来と全く同じ構成で
ある。FIG. 1 and FIG. 2 are views showing the configuration of an embodiment of the present invention. In these figures, a scale 20 has strip-shaped permanent magnets 21 on both sides of a back plate 8 made of a long magnetic plate. 22 are bonded to each other. In this case, the magnetized regions 21a, 21a,... And 22a, 22a,... Are respectively arranged in the central portions of the belt-shaped permanent magnets 21 and 22 so that the polarity is inverted at a constant interval L along the longitudinal direction. The polarity of each magnetized region 21a of the band-shaped permanent magnet 21 and the polarity of each magnetized region 22a of the band-shaped permanent magnet 22 are arranged so as to match each other. The lengths of the regions 21b and 22b along the longitudinal direction are each set to L / 2. The detector 6 is composed of Hall elements 11a to 11d.
And the detection circuit 12 (see FIG. 7) have exactly the same configuration as in the prior art.
このような構成とすることにより、第２図に示すよう
に、帯状永久磁石21の両端部に位置する各端部磁化領域
21bおよび21bから各々流出した磁束が殆ど全て隣接する
各磁化領域21aおよび21aへ流入し、また、帯状永久磁石
22の両端部に位置する各端部磁化領域22bおよび22bに対
しては、殆ど全て隣接する各磁化領域22aおよび22aから
磁束が流入するので、スケール20の両端部において、帯
状永久磁石21と22の間を流れる漏れ磁束が最小限に抑え
られる。これにより、スケール20の全長に亙って均一な
磁束パターンが生じ、この結果、検出器６によってスケ
ール20の先端部の位置を正確に検出することが可能とな
る。With such a configuration, as shown in FIG. 2, each end magnetized region located at both ends of the belt-shaped permanent magnet 21 is formed.
Almost all of the magnetic fluxes flowing out of 21b and 21b flow into the adjacent magnetized regions 21a and 21a, respectively.
Nearly all of the end magnetized regions 22b and 22b located at both ends of the magnetic flux flow from the adjacent magnetized regions 22a and 22a, the strip-shaped permanent magnets 21 and 22 are provided at both ends of the scale 20. The leakage magnetic flux flowing between them is minimized. As a result, a uniform magnetic flux pattern is generated over the entire length of the scale 20, and as a result, the detector 6 can accurately detect the position of the tip of the scale 20.
そして、このようなリニアエンコーダを前述したLIM
式搬送装置に適用することにより、スケール20の先端部
の位置が正確に検出され、搬送台車３が規定の位置に到
達した時点でLIMの一次側装置２が駆動されるので、従
来のように搬送台車３が到達する以前に一次側装置２が
駆動されてしまうことが防がれ、円滑な速度制御を実現
することができる。And such a linear encoder is referred to as LIM
By applying the present invention to the type transfer device, the position of the leading end of the scale 20 is accurately detected, and the LIM primary device 2 is driven when the transfer trolley 3 reaches a specified position. It is possible to prevent the primary device 2 from being driven before the transport vehicle 3 arrives, and to realize smooth speed control.
「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば、長手方向に
沿って一定間隔Ｌで極性が反転するように各磁化領域が
配置されたスケールの長手方向両端部の各端部磁化領域
の長手方向に沿う寸法をL/2としたので、スケール両端
部に生じる漏れ磁束が最小限に抑えられ、これによりス
ケールの全長に亙って均一な磁束パターンが生じ、スケ
ール端部の位置を正確に検出することができるという効
果が得られる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, each end magnetization at both ends in the longitudinal direction of a scale in which each magnetized region is arranged so that the polarity is inverted at a constant interval L along the longitudinal direction. Since the dimension along the longitudinal direction of the region is set to L / 2, the leakage magnetic flux generated at both ends of the scale is minimized, thereby generating a uniform magnetic flux pattern over the entire length of the scale and the position of the scale end. Can be detected accurately.
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す斜視図、第２
図は同実施例の構成を示す平面図、第３図はLIM式搬送
装置の構成を示す正面図、第４図は同搬送装置の構成を
示す斜視図、第５図は従来のリニアエンコーダの構成を
示す斜視図、第６図は同リニアエンコーダの構成を示す
平面図、第７図は同リニアエンコーダの検出回路の構成
を示すブロック図である。 ６……検出器（磁気検出手段）、 12……検出回路、 20……スケール、 21,22……帯状永久磁石 21a,22a……磁化領域、 22b,22b……端部磁化領域。FIG. 1 is a perspective view showing the structure of one embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a plan view showing the configuration of the embodiment, FIG. 3 is a front view showing the configuration of the LIM type transport device, FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of the transport device, and FIG. FIG. 6 is a perspective view showing the configuration, FIG. 6 is a plan view showing the configuration of the linear encoder, and FIG. 7 is a block diagram showing the configuration of a detection circuit of the linear encoder. 6 Detector (magnetic detection means) 12 Detector circuit 20 Scale 21 and 22 Strip permanent magnets 21a and 22a Magnetized regions 22b and 22b Magnetized end portions
Claims (1)
するように各磁化領域が配置されたスケールと、 前記スケールの周囲の磁束分布を検出する磁気検出手段
と、 前記磁気検出手段の検出結果に基づいて、前記スケール
の有無、および前記長手方向への移動速度に応じた信号
を出力する検出回路とからなるリニアエンコーダにおい
て、 前記スケールの長手方向両端部の各端部磁化領域の長手
方向に沿う寸法をL/2とするとともに、前記スケールの
各磁化領域を両側面に、かつ長手方向に互いに一致する
ように配置し、 前記磁気検出手段を、前記スケールの両側面に一対をな
して配し、 前記検出回路は、この一対の磁気検出手段の各出力信号
の差を取り、これを増幅するようにしたことを特徴とす
るリニアエンコーダ。1. A scale in which each magnetized region is arranged so that the polarity is reversed at a constant interval L along a longitudinal direction; a magnetic detecting unit for detecting a magnetic flux distribution around the scale; A linear encoder comprising, based on the detection result, a detection circuit that outputs a signal corresponding to the presence or absence of the scale and the moving speed in the longitudinal direction, wherein the longitudinal direction of each end magnetized region at both ends in the longitudinal direction of the scale; The dimension along the direction is set to L / 2, and the respective magnetized regions of the scale are arranged on both side surfaces so as to coincide with each other in the longitudinal direction, and the magnetic detecting means is paired on both side surfaces of the scale. Wherein the detection circuit obtains a difference between respective output signals of the pair of magnetic detection means and amplifies the difference.
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| JPH0396809A JPH0396809A (en) | 1991-04-22 |
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| US7694200B2 (en) * | 2007-07-18 | 2010-04-06 | Allegro Microsystems, Inc. | Integrated circuit having built-in self-test features |
| JP2009192261A (en) * | 2008-02-12 | 2009-08-27 | Aisin Seiki Co Ltd | Rectilinear displacement detector |
| JP5567823B2 (en) * | 2009-11-09 | 2014-08-06 | ヤマハ発動機株式会社 | Linear scale, linear motor, and linear motor control device |
| JP5249281B2 (en) * | 2010-04-23 | 2013-07-31 | Ｔｄｋ株式会社 | Magnetic position detector |
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| US9851416B2 (en) | 2014-07-22 | 2017-12-26 | Allegro Microsystems, Llc | Systems and methods for magnetic field sensors with self-test |
| US10527703B2 (en) | 2015-12-16 | 2020-01-07 | Allegro Microsystems, Llc | Circuits and techniques for performing self-test diagnostics in a magnetic field sensor |
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Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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