JP2753896B2 - Pressure vibration detection element - Google Patents

Pressure vibration detection element

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JP2753896B2
JP2753896B2 JP2337757A JP33775790A JP2753896B2 JP 2753896 B2 JP2753896 B2 JP 2753896B2 JP 2337757 A JP2337757 A JP 2337757A JP 33775790 A JP33775790 A JP 33775790A JP 2753896 B2 JP2753896 B2 JP 2753896B2
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case
pressure
open side
outside
condenser microphone
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嘉二郎 渡邊
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、コンデンサマイクロホン、セラミックマ
イクロホン等の圧力振動検出素子に関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure vibration detecting element such as a condenser microphone and a ceramic microphone.

[従来の技術] 従来の有底円筒状のケースを沿えたコンデンサマイク
ロホンは、ケースの開放側及び底側に空気流通路若しく
は小穴を形成してケース内外の空気を十分に流れるよう
にすることにより静電容量を変化せしめ圧力変動を電気
信号に変換させていた。
[Prior Art] A conventional condenser microphone having a cylindrical case with a bottom has an air flow passage or a small hole formed on the open side and the bottom side of the case so that air inside and outside the case flows sufficiently. The capacitance was changed to convert the pressure fluctuation into an electric signal.

またプリモ製のICEM−EM−121のコンデンサマイクロ
ホンでは、底側は従前と同様空気穴が穿設されている
が、開放側は複数枚のリング状絶縁スペーサを介して、
受圧面を形成するエレクトレットフィルムと、その対抗
電極をその開放側の周縁部全体にわたって挾持させてい
て、リング状絶縁スペーサとエレクトレットフィルムと
の間、リング状絶縁スペーサと対抗電極との間のわずか
な隙間から空気が流通しているに過ぎないものもあっ
た。
In addition, in the condenser microphone of Primo ICEM-EM-121, the bottom side has an air hole as before, but the open side is through a plurality of ring-shaped insulating spacers,
The electret film forming the pressure-receiving surface and its counter electrode are sandwiched over the entire peripheral portion on the open side, and a slight gap is formed between the ring-shaped insulating spacer and the electret film and between the ring-shaped insulating spacer and the counter electrode. In some cases, only air was flowing through the gap.

第3図〜第5図はその従来例を示す図で、これらの図
おいて(2)は底部にリード線取り出し用孔(2a)が設
けられたケース、(3)はFETトランジスタ(4)が取
り付けられた回路基板で、その回路基板(3)から前記
ケース(2)の孔(2a)を介して引出し線(図示せず)
が外部に引き出されている。
3 to 5 show prior art examples, in which (2) is a case provided with a lead wire hole (2a) at the bottom, and (3) is a FET transistor (4). Is mounted on the circuit board, and a lead wire (not shown) is drawn from the circuit board (3) through the hole (2a) of the case (2).
Is drawn out.

(5)は上下両端開口の円筒上の間隔保持・支持部材
で、その上端面(5a)とケース(2)の先端折り曲げ部
(2b)との間に、複数枚のリング状絶縁スペーサ(7)
を介して、受圧面を形成するエレクトレットフィルム
(6a)及びその対向電極(6b)の周縁部が全体にわたっ
て挾持されている。そのため、コンデンサマイクロホン
(1)は第4図に示すようにケース(2)の先端折り曲
げ部(2b)とリング状絶縁スペーサ(7)の間、リング
状絶縁スペーサ(7)とエレクトレットフィルム(6a)
との間、リング状絶縁スペーサ(7)と対向電極(6b)
との間等、微小な隙間(10)が所々に形成され、その隙
間(10)を介してコンデンサマイクロホン(1)の内部
に形成された空間に閉じ込められた空気が漏れるように
流通し、外部に発生する圧力変動によって、エレクトレ
ットフィルム(6a)がたわみ、対向電極(6b)との間に
形成された静電容量を変化せしめ、圧力変動を電気信号
に変換している。またコンデンサマイクロホン(1)の
底部にも第5図に示すように各部材(2)、(3)、
(5)間に隙間(10)が発生して、外部に圧力変動が発
生するとケース(2)の孔(2a)を介して、コンデンサ
マイクロホン(1)の内部に形成された空間の空気が流
通する。なお、上記FETトランジスタ(4)の1つのリ
ード端子(4a)はエレクトレットフィルム(6a)の対向
電極(6b)に電気的に常時接続されている。
(5) is a space holding / supporting member on a cylinder having upper and lower openings, and a plurality of ring-shaped insulating spacers (7) are provided between the upper end surface (5a) and the bent end portion (2b) of the case (2). )
The peripheral edge of the electret film (6a) forming the pressure receiving surface and the opposing electrode (6b) is sandwiched entirely. Therefore, as shown in FIG. 4, the condenser microphone (1) is provided between the bent portion (2b) of the case (2) and the ring-shaped insulating spacer (7), between the ring-shaped insulating spacer (7) and the electret film (6a).
Between the ring-shaped insulating spacer (7) and the counter electrode (6b)
A small gap (10) is formed in some places, such as between the outside and the outside, and the air trapped in the space formed inside the condenser microphone (1) flows through the gap (10) so as to leak, The electret film (6a) bends due to the pressure fluctuations generated in the above, causing the capacitance formed between the electret film (6a) and the counter electrode (6b) to change, thereby converting the pressure fluctuations into electric signals. Further, as shown in FIG. 5, each member (2), (3),
(5) When a gap (10) is generated between them and a pressure fluctuation occurs outside, air in the space formed inside the condenser microphone (1) flows through the hole (2a) of the case (2). I do. One lead terminal (4a) of the FET transistor (4) is always electrically connected to the opposite electrode (6b) of the electret film (6a).

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、前記のこの種のコンデンサマイクロホ
ンは音響用として開発されていたので、低い方の周波数
は人間の耳に聞こえる20Hz程度までしか周波数特性も計
測されておらず、またカタログ上にも商品としての保証
もしていないのが現状で、20Hz以下、例えば0、Hz、1H
z等の極めて低い周波数領域で使用するようなことは性
能上及びその構造上できなかった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, since this type of condenser microphone has been developed for acoustic use, the frequency characteristics of the lower frequency are measured only up to about 20 Hz that can be heard by human ears. In addition, there is no guarantee as a product in the catalog at present, 20Hz or less, for example, 0, Hz, 1H
It cannot be used in a very low frequency region such as z in terms of performance and its structure.

尚周囲に設置されている機器から発生するモータ音、
振動音等の機械的の雑音を前記小穴等から吸収しないよ
うに、ケースの背面及び周側面を密閉しているコンデン
サマイクロホンが知られている(例えば実公昭56−5471
1号、実公昭56−45264号)。
In addition, motor noise generated from the equipment installed around,
In order to prevent mechanical noise such as vibration noise from being absorbed from the small holes or the like, there is known a condenser microphone that seals the back and peripheral sides of a case (for example, Japanese Utility Model Publication No. 56-5471).
1, No. 56-45264).

しかしこれらもコード差し込み穴とコードの間等に隙
間があり、また開放側は従来品と同様空気流通路を形成
しているので必ずしも密封しているとはいえず、このた
め低周波特性も従来品と同じ、20、30〜50Hz以上であっ
た。
However, these also have a gap between the cord insertion hole and the cord, and the open side forms an air flow passage like the conventional product, so it cannot be said that they are necessarily sealed, so the low frequency characteristics are also low. It was 20, 30-50Hz or more, the same as the product.

そこで、本発明者はカタログ値として掲載されていな
い(実際上測定されていない)上記コンデンサマイクロ
ホン(1)の周波数特性を、発明者自身が自作した測定
装置を用いて測定したところ第6図に示すように1Hz〜1
0Hzの間に反共振特性(特性がV字状になっている部
分)が発生し、低周波領域での計測用センサとしての特
性は有していないことが分かり、このような、周波数特
性のもとでは、0.1〜10Hz程度のゆっくりした運動特性
を有する人間等の動きなどの物理現象を圧力変動を利用
して検出することはできないと言うことを実験的に証明
した。
Then, the inventor measured the frequency characteristics of the condenser microphone (1) which is not listed as a catalog value (not actually measured) using a measuring device made by the inventor himself. 1Hz ~ 1 as shown
An anti-resonance characteristic (a portion having a V-shaped characteristic) occurs during 0 Hz, and it is understood that the device does not have a characteristic as a measurement sensor in a low frequency region. Originally, it was experimentally proved that physical phenomena such as the movement of a human having a slow movement characteristic of about 0.1 to 10 Hz cannot be detected using pressure fluctuation.

[課題を解決するための手段] そこで、本発明者は、前記プリモ製のICEM−EM−121
のコンデンサマイクロホンの底側を完全に密封すること
により、0、1Hz、Hz等の極めて低い周波数領域まで測
定できることを開発し、その開発に基づき本発明の圧力
振動検出素子を提案するもので、その構成は、一端が開
放された有底円筒状のケース内に、圧力を検出するため
の回路を備えた圧力振動検出素子において、そのケース
の開放側に複数枚のリング状絶縁スペーサを介して、受
圧面を形成するエレクトレットフィルムと、その対抗電
極をその開放側の周縁部全体にわたって挾持させケース
の開放側の内外の空気を略遮断させると共に、前記有底
側には、ケースの底側における内外の空気の流通を完全
に防止するためにケースの底部に形成した引出し線の穴
をケースの外側から密封する封止剤を塗着したものであ
る。
Means for Solving the Problems Accordingly, the present inventor has proposed the above-mentioned Primo ICEM-EM-121.
By completely sealing the bottom side of the condenser microphone, it is possible to measure up to extremely low frequency range such as 0, 1 Hz, Hz, etc., and based on that development, we propose the pressure vibration detection element of the present invention. In the configuration, a pressure-vibration detecting element provided with a circuit for detecting pressure in a bottomed cylindrical case having one end opened, via a plurality of ring-shaped insulating spacers on the open side of the case, The electret film forming the pressure-receiving surface and the opposing electrode are sandwiched over the entire peripheral portion on the open side to substantially block the air inside and outside on the open side of the case. In order to completely prevent the flow of air, a sealant is applied to seal the hole of the lead wire formed in the bottom of the case from the outside of the case.

[作用] 上記のように開放側をリング状絶縁スペーサとエレク
トレットフィルムとの間、リング状絶縁スペーサと対抗
電極との間のわずかな隙間から空気が流通させ、底側を
完全に封鎖させることにより、従来検知できなかった
0、1Hz、1Hz等の低周波特性が得られたものである。
[Operation] As described above, air flows through the open side between the ring-shaped insulating spacer and the electret film, and the small gap between the ring-shaped insulating spacer and the counter electrode, thereby completely closing the bottom side. And low frequency characteristics such as 0, 1 Hz, and 1 Hz, which could not be detected conventionally.

[実施例] 第1図に基づいてこの実施例の構成を説明するが、第
3図乃至第5図で説明した部分と同一構成または均等な
部分のものについてはその説明を省略し、異なる部分に
ついてのみ説明をする。
[Embodiment] The configuration of this embodiment will be described with reference to FIG. 1, but the description of components having the same configuration or equivalent portions as those described in FIGS. 3 to 5 will be omitted, and different portions will be described. Will be described only.

この図において、第3図乃至第5図と異なるところは
第3図のケース(2)の孔(2a)を外側から封子剤(1
4)を用いて完全に密封してケース(2)内外の空気の
流通を防止している点である。
In this figure, the difference from FIG. 3 to FIG. 5 is that the hole (2a) of the case (2) in FIG.
The point (4) is completely sealed to prevent air from flowing inside and outside the case (2).

すなわち、封子剤(14)はケース(2)のリード線引
き出し用孔(2a)を外側から閉塞してしまい、ケース
(2)内外の空気の流通を完全に防止している。それに
よって、上記実施例のものと同様の周波数特性を第2図
の如く得ている。
That is, the sealant (14) blocks the lead wire drawing hole (2a) of the case (2) from the outside, and completely prevents the flow of air inside and outside the case (2). As a result, frequency characteristics similar to those of the above embodiment are obtained as shown in FIG.

上記構成にすることによって、コンデンサマイクロホ
ン(1)の低周波領域における周波数特性は、反共振が
解消されて0.1Hzの近傍まで改善されていることを第2
図に示す。
According to the above configuration, the frequency characteristic in the low frequency region of the condenser microphone (1) has been improved to around 0.1 Hz by eliminating the anti-resonance.
Shown in the figure.

[発明の効果] 以上のように、本発明は一端が開放された有底円筒状
のケースの開放側に微細な空気の流通路があって、ケー
スの底側にはリード線引き出し用孔も完全に封じて全く
隙間をなくすることにより、従来のコンデンサマイクロ
ホンでは限度であった20〜30Hzよりはるかに小さい0.1
〜10Hzの極低周波数における圧力変動の変化を検知でき
る効果がある。
[Effects of the Invention] As described above, the present invention has a fine air flow path on the open side of a bottomed cylindrical case having one end opened, and a lead wire drawing hole on the bottom side of the case. By completely enclosing and completely eliminating the gap, 0.1%, which is much lower than the limit of 20 to 30 Hz in the conventional condenser microphone,
There is an effect that a change in pressure fluctuation at an extremely low frequency of 10 Hz can be detected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明による実施例の要部断面説明図、第2図
は第1図の実施例に示したものの周波数特性図、第3図
は従来のコンデンサマイクロホンの断面説明図、第4図
及び第5図は第3図に示したコンデンサマイクロホンの
空気漏れ路を説明するための要部断面説明図、第6図は
第3図に示したコンデンサマイクロホンの周波数特性図
である。 1……コンデンサマイクロホン 2……ケース、2a……孔 3……回路基板、4……FETトランジスタ 6a……エレクトレットフィルム 6b……対向電極、7……リング状絶縁スペーサ 14……封止剤
FIG. 1 is an explanatory sectional view of a main part of an embodiment according to the present invention, FIG. 2 is a frequency characteristic diagram of the embodiment shown in FIG. 1, FIG. 3 is an explanatory sectional view of a conventional condenser microphone, FIG. 5 is a cross-sectional view of a principal part for explaining an air leakage path of the condenser microphone shown in FIG. 3, and FIG. 6 is a frequency characteristic diagram of the condenser microphone shown in FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Condenser microphone 2 ... Case, 2a ... Hole 3 ... Circuit board 4, FET transistor 6a ... Electret film 6b ... Counter electrode, 7 ... Ring-shaped insulating spacer 14 ... Sealant

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】一端が開放された有底円筒状のケース内
に、圧力を検出するための回路を備えた圧力振動検出素
子において、そのケースの開放側に複数枚のリング状絶
縁スペーサを介して、受圧面を形成するエレクトレット
フィルムと、その対抗電極をその開放側の周縁部全体に
わたって挾持させケースの開放側の内外の空気を略遮断
させると共に、前記有底側には、ケースの底側における
内外の空気の流通を完全に防止するためにケースの底部
に形成した引き出し線の穴をケースの外側から密封する
封止剤を塗着したことを特徴とする圧力振動検出素子。
1. A pressure vibration detecting element having a circuit for detecting pressure in a bottomed cylindrical case having one end opened, wherein a plurality of ring-shaped insulating spacers are provided on the open side of the case. The electret film forming the pressure receiving surface and the opposing electrode are sandwiched over the entire peripheral portion on the open side to substantially block the air inside and outside on the open side of the case. A pressure-vibration detection element characterized in that a sealant for sealing a hole of a lead wire formed in the bottom of the case from the outside of the case is applied in order to completely prevent the flow of air inside and outside of the case.
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