JP3293729B2 - Vibration pickup device and manufacturing method thereof - Google Patents
Vibration pickup device and manufacturing method thereofInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、振動ピックアッ
プ装置およびその製造方法に関し、特に、振動ピックア
ップ装置における振動膜およびその製造方法に関する。The present invention relates to a vibration pickup device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a vibration film in a vibration pickup device and a method of manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】振動ピックアップ装置の従来例を図を参
照して説明する。図９において、１はアルミニウムの如
き金属材料より成る筒体のハウジングを示す。このハウ
ジング１の一端面は前面板１1 により閉塞されている。
ハウジング１内には、振動膜リング５に張り付けられた
金属材料より成る振動膜４が収容されている。この振動
膜４の上面には振動数を規定するウェイト４3が張り付
けられている。３は背極板であり、その上面には４2 に
より示されるエレクトレツト誘電体膜が形成されてい
る。そして、背極板３は背極ホルダ２により保持されて
いる。ここで、振動膜リング５は前面板１1 の内面に接
触すると共に、振動膜４はリング状の絶縁スペーサ６を
介して背極板３上面のエレクトレツト誘電体膜４2 と対
向位置決めされている。ハウジング１の後方開口端部
は、背極ホルダ２の背後において、ベース７周縁部にハ
ウジング１の後方開口端部を屈曲カシメつけることによ
り閉塞される。この様にすることにより、振動膜リング
５、振動膜４、エレクトレツト誘電体膜４2 、背極板
３、背極ホルダ２、ベース７はハウジング１内に機械的
に固定、収容されるに到る。2. Description of the Related Art A conventional example of a vibration pickup device will be described with reference to the drawings. In FIG. 9, reference numeral 1 denotes a cylindrical housing made of a metal material such as aluminum. One end face of the housing 1 is closed by a front plate 1 1.
In the housing 1, a diaphragm 4 made of a metal material and attached to the diaphragm ring 5 is accommodated. A wait 4 3 defining the frequency is pasted on the upper surface of the vibrating membrane 4. 3 is a back plate, Erekutoretsuto dielectric film shown by 4 2 is formed on the upper surface thereof. The back electrode plate 3 is held by the back electrode holder 2. Here, the vibrating membrane ring 5 while contacting the inner surface of the front plate 1 1, vibrating membrane 4 are opposite positioned and backplate 3 the upper surface of the Erekutoretsuto dielectric film 4 2 via a ring-shaped insulating spacer 6 I have. The rear open end of the housing 1 is closed behind the back pole holder 2 by bending and caulking the rear open end of the housing 1 around the base 7. By this way, the vibrating membrane ring 5, vibrating membrane 4, Erekutoretsuto dielectric film 4 2, back plate 3, back plate holder 2, the base 7 is mechanically secured to the housing 1, to be accommodated Reach.
【０００３】図６をも参照するに、８はインピーダンス
変換モジュールであり、電界効果トランジスタ、抵抗そ
の他の回路素子により構成される。振動膜４を構成する
金属箔４1 と背極板３はインピーダンス変換モジュール
８に接続し、この変換モジュール８はベース７に被着形
成される銅箔の出力端子ｔ1 および出力端子ｔ2 に接続
してインピーダンス変換出力される。Referring to FIG. 6, reference numeral 8 denotes an impedance conversion module, which comprises a field effect transistor, a resistor, and other circuit elements. Metal foil 4 1 and the back plate 3 constituting the vibrating membrane 4 is connected to the impedance conversion module 8, the conversion module 8 to the output terminal t 1 and the output terminal t 2 of a copper foil is deposited formed on the base 7 Connected to output impedance conversion.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】以上の通りの従来例に
おいて、振動膜４は閉塞されたハウジング１内を上下の
２領域に気密的に２分している。即ち、振動膜４上側と
ハウジング１上側とにより上側空間領域が形成される一
方、振動膜４下側とハウジング１下側とベース７とによ
り下側空間領域が形成される。振動ピックアップ装置が
設置或は使用される環境条件が相違し、振動ピックアッ
プ装置に温度変化が生ずると、これに起因して振動膜４
が膨張或は収縮する。振動膜４は膨張或は収縮すると、
ハウジング１内において上に凸或は下に凸に強制的に変
形せしめられる。閉塞されるハウジング１内は振動膜４
により気密的に上下の２空間領域に２分されているの
で、振動膜４がハウジング１内において上に凸或は下に
凸に強制的に変形せしめられると、ハウジング１内の上
側空間領域の気圧と下側空間領域の気圧の間に差異が生
ずることとなる。即ち、振動膜４は何れか一方の向きに
バイアスされて振動膜４の上下両面における気圧は不平
衡の状態になる。振動膜４はその上下両面における気圧
が平衡していることを条件として自由に振動することが
できるが、振動膜４の上下両面の気圧に不平衡が生ずる
ことにより振動ピックアップ装置の感度は低下する。In the conventional example described above, the vibrating membrane 4 divides the inside of the closed housing 1 into two upper and lower regions in an airtight manner. That is, an upper space area is formed by the upper part of the vibration film 4 and the upper side of the housing 1, while a lower space area is formed by the lower side of the vibration film 4, the lower side of the housing 1, and the base 7. If the environmental conditions in which the vibration pickup device is installed or used are different and a temperature change occurs in the vibration pickup device, the vibration film 4
Expand or contract. When the diaphragm 4 expands or contracts,
In the housing 1, it is forcibly deformed to be convex upward or convex downward. Vibrating membrane 4 inside housing 1 to be closed
When the vibrating membrane 4 is forcibly deformed upward or downward in the housing 1, the upper space area in the housing 1 is closed. There will be a difference between the pressure and the pressure in the lower space area. That is, the diaphragm 4 is biased in one direction, and the air pressure on the upper and lower surfaces of the diaphragm 4 becomes unbalanced. The vibrating membrane 4 can freely vibrate under the condition that the air pressures on the upper and lower surfaces of the vibrating film 4 are balanced, but the sensitivity of the vibration pickup device is reduced due to the imbalance in the air pressure on the upper and lower surfaces of the vibrating film 4. .
【０００５】そして、以上の振動ピックアップ装置は、
そのハウジングの外形を円筒体或は角型筒体に形成し、
その外形寸法については、通常、厚さは１ｍｍ、直径は
１０ｍｍ程度に極く薄く小さく構成する場合が多い。こ
の様な小型の振動ピックアップ装置は、その製造に際し
て、特に振動膜４を加工組み立てするに際して種々の困
難に直面する。また、振動膜４の構成および加工組み立
ての仕方如何に依っては完成した製品自体の寿命にも係
わってくる。[0005] The above vibration pickup device is
Form the outer shape of the housing into a cylinder or square cylinder,
Regarding its external dimensions, it is usually very thin and small, with a thickness of about 1 mm and a diameter of about 10 mm. Such a small-sized vibration pickup device faces various difficulties when manufacturing the same, particularly when processing and assembling the vibration film 4. Further, depending on the configuration of the vibrating membrane 4 and the manner of processing and assembling, the life of the completed product itself is also affected.
【０００６】この発明は、上述の通りの問題を解消した
振動ピックアップ装置およびその製造方法を提供するも
のである。The present invention provides a vibration pickup device and a method of manufacturing the same that have solved the above-mentioned problems.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】一端面が前面板１1 によ
り閉塞され金属材料より成る筒体のハウジング１を具備
し、振動膜リング５および薄板より成るウェイト４3 を
張り付けられた金属材料より成る振動膜４を具備し、振
動膜４は振動膜リング５を前面板１1 の内面に接触して
ハウジング１に収容し、エレクトレット誘電体膜９が被
着形成される背極板３を具備し、背極板３はエレクトレ
ット誘電体膜９をスペーサ６を介して振動膜４に対向し
てハウジング１に収容され、インピーダンス変換モジュ
ール８を具備し、背極板３をハウジング１の後方から保
持すると共にインピーダンス変換モジュール８をも保持
する背極ホルダ２を具備し、ハウジング１の後方開口端
部を閉塞するベース７を具備し、ベース７周縁部にハウ
ジング１の後方開口端部を屈曲カシメつけた振動ピック
アップ装置において、振動膜４およびウェイト４3に相
互に連通する開孔４4 、４31を穿設した振動ピックアッ
プ装置を構成した。One end face Means for Solving the Problems] is provided with a housing 1 of the cylindrical body made of metallic material are closed by the front plate 1 1, a metal material affixed to weights 4 3 consisting of the vibrating membrane ring 5 and the thin plate comprising a vibrating membrane 4 made, vibrating membrane 4 is accommodated in the housing 1 in contact with the vibrating membrane ring 5 on the inner surface of the front plate 1 1, comprising a back plate 3 that electret dielectric film 9 is deposited and formed The back electrode plate 3 is accommodated in the housing 1 with the electret dielectric film 9 opposed to the vibration film 4 with the spacer 6 interposed therebetween. The back electrode plate 3 includes the impedance conversion module 8 and holds the back electrode plate 3 from behind the housing 1. And a base 7 for closing the rear opening end of the housing 1, and a rear opening of the housing 1 around the base 7. In the vibration pickup device attached bent caulked part, to constitute a vibration pickup apparatus bored an opening 4 4, 4 31 communicating with each other in the vibrating membrane 4 and the weight 4 3.
【０００８】そして、振動膜４の開孔４4 の孔径をウェ
イト４3 の開孔４31の孔径より小さく形成した振動ピッ
クアップ装置を構成した。また、振動膜４の開孔４4 の
中心はウェイト４3 の開孔４31の中心と同じくするもの
である振動ピックアップ装置を構成した。ここで、一端
面が前面板により閉塞されて金属材料より成る筒体のハ
ウジングを形成し、振動膜リングおよび薄板より成るウ
ェイトを金属材料より成る振動膜に張り付け、振動膜は
振動膜リングを前面板の内面に接触してハウジングに収
容し、背極板にエレクトレット誘電体膜を被着形成し、
背極板はエレクトレット誘電体膜をスペーサを介して振
動膜に対向してハウジングに収容し、背極板およびイン
ピーダンス変換モジュールを保持する背極ホルダをハウ
ジングに収容し、ハウジングの後方開口端部を閉塞する
ベースの周縁部にハウジングの後方開口端部を屈曲カシ
メつける振動ピックアップ装置の製造方法において、ウ
ェイト４3 に開孔４31を穿設してこれを振動膜４に張り
付け、ウェイト４3 の開孔４31の孔径より小さい或は等
しい孔径の開孔４4 を振動膜４に穿設する振動ピックア
ップ装置の製造方法を構成した。[0008] Then, to constitute a vibration pickup device from formed small hole diameter of the aperture 4 31 weight 4 3 a pore size of apertures 4 4 of the diaphragm 4. The center of the opening 4 4 diaphragm 4 constituted the vibration pickup is to like the center of the aperture 4 31 weights 4 3. Here, one end face is closed by a front plate to form a cylindrical housing made of a metal material, and a vibrating membrane ring and a weight made of a thin plate are attached to a vibrating membrane made of a metal material. The inner surface of the face plate is brought into contact with the housing and housed in the housing, and an electret dielectric film is formed on the back electrode plate,
The back electrode plate accommodates the electret dielectric film in the housing facing the vibrating membrane via the spacer, and accommodates the back electrode plate and the back electrode holder holding the impedance conversion module in the housing. the method of manufacturing a vibration pickup apparatus attaching bending caulking rear open end of the housing to the periphery of the base that closes, stuck it to vibrating membrane 4 drilled hole 4 31 wait 4 3, the weight 4 3 an opening 4 4 a pore size of less than or equal to the pore size of the apertures 4 31 constitutes a manufacturing method for a vibration pickup device formed in the vibrating membrane 4.
【０００９】そして、振動膜４の開孔４4 をその中心を
ウェイト４3 の開孔４31の中心と同じくして穿設する振
動ピックアップ装置の製造方法を構成した。また振動膜
４の開孔４4 はレーザ光により穿設する振動ピックアッ
プ装置の製造方法を構成した。更に、以上の振動ピック
アップ装置およびその製造方法において、エレクトレッ
ト誘電体膜９は振動膜４を金属箔４1 とエレクトレツト
誘電体膜４2 より成るものとし、金属箔４1 の下面に分
極されたエレクトレツト誘電体膜４2 を被着する構成と
する振動ピックアップ装置およびその製造方法をも構成
した。[0009] Then, to constitute a manufacturing method of a vibration pick-up device for drilling in well with the center of the aperture 4 31 weight 4 3 an opening 4 4 The center of the diaphragm 4. The openings 4 4 diaphragm 4 constituted the manufacturing method of the vibration pick-up device for drilled by a laser beam. Further, in the vibration pickup device and a manufacturing method thereof described above, an electret dielectric film 9 shall comprising a vibrating membrane 4 from the metal foil 4 1 and Erekutoretsuto dielectric film 4 2, it is polarized in the lower surface of the metal foil 4 1 the Erekutoretsuto dielectric film 4 2 also constitute a vibration pickup device and a manufacturing method thereof configured to deposit.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１を参
照して説明する。図１において、１はアルミニウムの如
き金属材料より成る筒体のハウジングを示す。このハウ
ジング１の一端面は前面板１1 により閉塞されている。
ハウジング１内には、振動膜リング５に張り付けられた
金属材料より成る振動膜４が収容されている。振動膜リ
ング５側は前面板１1 の内面に接触している。そして、
振動膜４は、振動ピックアップ装置の適用分野に応じ
て、その上面にステンレス薄板より成る振動数を規定す
るウェイト４3 が張り付けられ、測定周波数範囲を適宜
に設定している。警備安全警報の技術分野に適用する場
合、ウェイト４3 は適用しないか或は軽量のものとして
測定周波数範囲を高域に設定する。振動加速度測定の如
き測定技術分野に適用する場合、ウェイト４3 は振動を
容易とすべく比較的大き目に設定する。エレクトレット
誘電体膜９は背極板３の一方の面に被着形成し、背極板
３はエレクトレット誘電体膜９をスペーサ６を介して振
動膜４に対向してハウジング１に収容されている。背極
板３は背極ホルダ２に保持される。An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a cylindrical housing made of a metal material such as aluminum. One end face of the housing 1 is closed by a front plate 1 1.
In the housing 1, a diaphragm 4 made of a metal material and attached to the diaphragm ring 5 is accommodated. Vibrating membrane ring 5 side is in contact with the inner surface of the front plate 1 1. And
Vibrating membrane 4, depending on the field of application of the vibration pick-up device, the upper surface weights 4 3 defining a frequency consisting of thin stainless steel sheet is affixed to, and set the measurement frequency range accordingly. When applied to the technical field of security safety warning, weights 4 3 sets a measurement frequency range as being not applicable or lighter in the high region. When applied to such measurement field of vibration acceleration measurement, the weight 4 3 set larger relatively in order to facilitate the oscillation. The electret dielectric film 9 is formed on one surface of the back electrode plate 3, and the back electrode plate 3 accommodates the electret dielectric film 9 in the housing 1 so as to face the vibration film 4 via the spacer 6. . The back electrode plate 3 is held by the back electrode holder 2.
【００１１】ここで、振動ピックアップ装置を構成する
部材の詳細を説明する。振動膜を示す図２、およびウェ
イトを示す図３を参照するに、この発明の振動ピックア
ップ装置は振動膜４に開孔４4 が穿設される。これに
は、先ず、金属材料より成る振動膜４に振動膜リング５
が張り付けられる。そして、ウェイト４3 の中心部に開
孔４31を穿設し、このウェイト４3 を開孔の穿設されて
いない振動膜４に張り付ける。次いで、振動膜４のウェ
イト４3 の開孔４31に対応する領域に開孔４4 を穿設す
る。Here, details of members constituting the vibration pickup device will be described. Referring to FIGS. 2 and 3 showing a weight to indicate a vibrating membrane, vibrating pickup apparatus of the invention opening 4 4 is formed in the vibrating membrane 4. For this, first, the vibrating membrane ring 5
Is attached. Then, an opening 4 31 drilled in the center of the weight 4 3, pasting the weights 4 3 to the vibration film 4 that has not been drilled aperture. Then, bored an opening 4 4 in a region corresponding to the aperture 4 31 weights 4 3 of the diaphragm 4.
【００１２】図４を参照するに、背極板３の一方の面に
はエレクトレット誘電体膜９が被着形成されている。背
極板３はニッケル薄板を加工して構成される。３1 は穿
設された４個の開孔を示す。振動膜４に穿設される開孔
４4 の形状、寸法、穿設位置および個数は実施に際して
適宜に設定される。図５を参照するに、ベース７はガラ
スエポキシ材料の板より成り、一方の面にはドットによ
り示される銅箔が被着形成され、出力端子ｔ1 およびｔ
2 を構成している。銅箔が被着形成される面は図１にお
ける下面に相当する。Referring to FIG. 4, an electret dielectric film 9 is formed on one surface of the back electrode plate 3. The back electrode plate 3 is formed by processing a nickel thin plate. 3 1 shows four apertures drilled. The shape of apertures 4 4 which are formed in the vibrating membrane 4, dimensions, bored position and the number are set to appropriate practice. Referring to FIG. 5, the base 7 is made of a plate of a glass epoxy material, and a copper foil indicated by a dot is formed on one surface, and output terminals t 1 and t 1 are provided.
Make up two . The surface on which the copper foil is formed is equivalent to the lower surface in FIG.
【００１３】図６をも参照するに、８はインピーダンス
変換モジュールであり、電界効果トランジスタ、抵抗そ
の他の回路素子により構成される。振動膜４と背極板３
はインピーダンス変換モジュール８に接続し、この変換
モジュール８はベース７に被着形成される銅箔の出力端
子ｔ1 および出力端子ｔ2 に接続してインピーダンス変
換出力される。そして、出力端子ｔ1 と出力端子ｔ2 に
は図示される通りに外部測定回路が接続される。Referring also to FIG. 6, reference numeral 8 denotes an impedance conversion module, which comprises a field effect transistor, a resistor, and other circuit elements. Vibrating membrane 4 and back electrode plate 3
Is connected to the impedance conversion module 8, the conversion module 8 is connected impedance conversion output to the output terminal t 1 and the output terminal t 2 of a copper foil is deposited formed on the base 7. Then, an external measurement circuit is connected to the output terminal t 1 and the output terminal t 2 as shown.
【００１４】ハウジング１の後方開口端部は、背極ホル
ダ２の背後においてこのベース７により閉塞され、ベー
ス７周縁部にハウジング１の後方開口端部を屈曲カシメ
つけることにより、振動膜リング５、ウェイト４3 、振
動膜４、背極板３、背極ホルダ２、ベース７およびイン
ピーダンス変換モジュール８は、ハウジング１内に機械
的に固定、収容されるに到る。The rear opening end of the housing 1 is closed by the base 7 behind the back electrode holder 2, and the rear opening end of the housing 1 is bent and caulked to the peripheral edge of the base 7, whereby the diaphragm ring 5, weight 4 3, vibrating membrane 4, back plate 3, back plate holder 2, the base 7 and the impedance conversion module 8 reaches the mechanically fixed, accommodated in the housing 1.
【００１５】図７を参照して他の実施例を説明する。振
動ピックアップ装置は、そのハウジングの外形を円筒体
或は角型筒体に形成し、その外形寸法は、通常、厚さは
１ｍｍ、直径は１０ｍｍ程度に極く薄く小さく構成する
場合が多い。そして、ウェイト４3 の外径を３. ５ｍ
ｍ、その開孔４31の孔径を１ｍｍとすると共に、振動膜
４の開孔４4 の孔径を０. １ないし０. ５ｍｍとして実
施する場合もある。この様な小型の振動ピックアップ装
置は、その製造に際して、特に振動膜４を加工組み立て
するに際して種々の困難に直面する。また、振動膜４の
構成および加工組み立ての仕方如何に依っては完成した
製品自体の寿命にも係わってくる。Another embodiment will be described with reference to FIG. In the vibration pickup device, the outer shape of the housing is formed into a cylindrical body or a rectangular cylindrical body, and the outer dimensions are usually very thin, having a thickness of about 1 mm and a diameter of about 10 mm. Then, the outer diameter of the weight 4 3 3. 5m
m, that with the opening 4 31 1 mm hole diameter of, in some cases implemented as 0. 5 mm to no 0.1 the diameter of the aperture 4 4 of the diaphragm 4. Such a small-sized vibration pickup device faces various difficulties when manufacturing the same, particularly when processing and assembling the vibration film 4. Further, depending on the configuration of the vibrating membrane 4 and the manner of processing and assembling, the life of the completed product itself is also affected.
【００１６】ここで、この実施例においては、先の実施
例における振動膜４の開孔４4 の孔径をウェイト４3 の
開孔４31の孔径より小さく形成する。振動膜４の開孔４
4 はその中心をウェイト４3 の開孔４31の中心と同じく
して形成される。開孔４4 の穿設されていない振動膜４
に開孔４31の穿設されたウェイト４3 を張り付け、ウェ
イト４3 の開孔４31の孔径より小さい孔径の開孔４4 を
レーザ光に依り振動膜４に穿設する。[0016] Here, in this embodiment, it is smaller than the hole diameter of the aperture 4 31 weight 4 3 a pore size of apertures 4 4 of the diaphragm 4 in the previous embodiment. Opening 4 of diaphragm 4
4 is formed by similarly to the center of the aperture 4 31 weight 4 3 its center. Vibration film 4 that has not been drilled in the opening 4 4
In the affixed weights 4 3 drilled aperture 4 31, is bored in the vibrating membrane 4 depending an opening 4 4 smaller pore size than the hole diameter of the opening 4 31 weights 4 3 to the laser beam.
【００１７】以上の通りの振動ピックアップ装置は、振
動膜４はハウジング内を上下の空間領域に２分している
が、振動膜４およびこれに張り付けられるウェイト４3
に開孔を穿設することによりこれら２領域間は連通する
こととなり、２領域間に気圧差は原理的に生じない。従
って、温度その他の振動ピックアップ装置内に気圧差を
生ぜしめる環境条件に急激な変化が生じても、振動膜４
の開孔を介して空気が流通して気圧差は瞬時に解消され
る。In the vibration pickup device as described above, the vibration film 4 divides the inside of the housing into upper and lower space regions, but the vibration film 4 and the weight 4 3 attached to the vibration film 4.
By forming an opening in the hole, the two regions communicate with each other, and a pressure difference between the two regions does not occur in principle. Therefore, even if a sudden change occurs in temperature or other environmental conditions that cause a pressure difference in the vibration pickup device, the vibration film 4
The air flows through the openings of the holes and the pressure difference is instantaneously eliminated.
【００１８】そして、振動膜４の開孔４4 は、その孔径
をウェイト４3 の開孔４31の孔径より小さく形成するこ
とにより、振動膜４の製造の作業性および製品の品質は
向上する。即ち、振動膜４は極く小さい金属材料の薄膜
より成るものであるので、これに開孔を穿設してからウ
ェイト４3 を張り付けようとすると、振動膜４が破損す
る恐れは大きい。破損を回避しながら設計通りに製造し
ようとすると、作業能率は低下することになる。ここ
で、先ず、ステンレス或は真鍮の薄板により構成される
ウェイト４3 の開孔４31は打ち抜きその他の金属加工に
より予め形成しておき、２領域間を連通する開孔の径
を、ウェイト４3 の開孔31の孔径により制御するのでは
なくして、振動膜４の開孔４4 の孔径により制御する方
が開孔の径の制御は容易である。この場合、振動膜４の
開孔４4 をレーザ光に依り加工することにより、振動ピ
ックアップ装置の特性の設定および制御を設計通りに適
正に実施することができ、しかも作業性も良好である。
更に、振動膜４の開孔４4 の穿設されるべき領域はウェ
イト４3 を張り付けることにより補強、保護されるので
開孔４4 の穿設時の作業は容易となり、穿設された暁の
開孔４4 の周縁部も補強保護される結果となって破損を
免れることとなる。また、振動膜４の開孔４4 をその中
心をウェイト４3 の開孔４31の中心と同じくして形成す
ることにより、特性のバラツキが少なく、特性の安定な
振動ピックアップ装置を製造することができる。振動膜
４の開孔４4 の中心をウェイト４3 の開孔４31の中心と
同じくすることは、振動膜４の開孔４4 の穿設作業を単
純化する効果も奏す。[0018] Then, openings 4 4 of the diaphragm 4, by forming smaller than the hole diameter of the aperture 4 31 weight 4 3 the pore size, the quality of the workability and product manufacturing of the diaphragm 4 can be improved . In other words, the vibration film 4 are those composed of a thin film of very small metallic materials, and you Haritsukeyo weights 4 3 from drilled an opening thereto, a possibility that the vibrating membrane 4 is damaged is high. Attempting to manufacture as designed while avoiding breakage will reduce work efficiency. Here, first, apertures 4 31 constituted weights 4 3 stainless or brass sheet is formed in advance by other metal stamping, the diameter of the aperture communicating between the two regions, weights 4 3 without of being controlled by the pore size of the apertures 31, the control of the diameter of it is opening controlled by the pore size of the apertures 4 4 diaphragm 4 is easy. In this case, by processing depending an opening 4 4 of the diaphragm 4 in the laser beam, the configuration and control of the characteristics of the vibration pickup can be properly performed as designed, moreover workability is also good.
Furthermore, the area to be drilled aperture 4 4 diaphragm 4 is reinforced by pasting the weight 4 3, work at the time of drilling of apertures 4 4 since it is protected becomes easier, drilled periphery of Dawn apertures 4 4 also becomes possible to avoid damage becomes results reinforced protection. Further, by forming the same with the center of the aperture 4 31 weight 4 3 its center an opening 4 4 of the diaphragm 4, small variations in characteristics, to produce a stable vibration pickup characteristic Can be. Be like the center of the aperture 4 31 apertures 4 4 around the weight 4 3 of the diaphragm 4, Sosu effect of simplifying drilling operations apertures 4 4 of the diaphragm 4.
【００１９】図１ないし図７の説明においては、エレク
トレット誘電体膜９は背極板３の一方の面に被着形成さ
れたが、この誘電体膜９は図８に示される如く振動膜４
を金属箔４1 とエレクトレツト誘電体膜４2 より成るも
のとし、金属箔４1 の下面に分極されたエレクトレツト
誘電体膜４2 を被着する構成とすることができる。以上
の振動ピックアップ装置は、装置全体を振動を生起する
対象に固定して対象と共に振動する使用のされ方をす
る。この振動ピックアップ装置は、この様に振動を生起
する対象に固定することにより対象と共に振動して対象
の振動をピックアップすることができる。この振動ピッ
クアップ装置を警備安全警報の技術分野に適用する場
合、これを警備されるべき対象に固定して対象の破損、
振動に起因して発生する音響信号をピックアップして警
報することができる。そして、この振動ピックアップ装
置を音声通信の技術分野に適用する場合、これを人体の
一部に取り付けて骨伝導マイクロフォンとして使用する
ことができる。また、この振動ピックアップ装置を測定
の技術分野に適用する場合、これを測定対象に固定して
対象の振動に起因して発生する音響信号の周波数をピッ
クアップして振動加速度を測定することができる。In the description of FIGS. 1 to 7, the electret dielectric film 9 is formed on one surface of the back electrode plate 3, but this dielectric film 9 is formed on the vibrating film 4 as shown in FIG.
It was assumed consisting of metal foil 4 1 and Erekutoretsuto dielectric film 4 2, the Erekutoretsuto dielectric film 4 2 that is polarized in the lower surface of the metal foil 4 1 can be configured to deposit. The above-described vibration pickup device is used in such a manner that the whole device is fixed to an object which generates vibration and is vibrated together with the object. The vibration pickup device can pick up the vibration of the object by vibrating with the object by fixing the vibration to the object that generates the vibration. When applying this vibration pickup device to the technical field of security alarm, fix it to the object to be guarded,
An acoustic signal generated due to vibration can be picked up and an alarm can be issued. When this vibration pickup device is applied to the technical field of voice communication, it can be attached to a part of a human body and used as a bone conduction microphone. When this vibration pickup device is applied to the technical field of measurement, the vibration acceleration can be measured by fixing the vibration pickup device to a measurement target and picking up the frequency of an acoustic signal generated due to the vibration of the target.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上の通りであって、この発明の振動ピ
ックアップ装置は、振動膜４はハウジング１内を上下の
領域に２分しているが、振動膜４に開孔４4 を穿設する
ことによりこれら２領域間は連通することとなり、２領
域間に気圧差は原理的に生じない。従って、温度その他
の振動ピックアップ装置内に気圧差を生ぜしめる環境条
件に急激な変化が生じても、振動膜の開孔を介して空気
が流通して気圧差は瞬時に解消される。振動膜４と背極
板３との間に形成されるコンデンサ部分において振動膜
４に開孔４4 を穿設することにより振動膜４に対する空
気抵抗を減少させて振動膜４の動きを良好にすることが
でき、これにより振動ピックアップ装置の感度は向上す
るに到る。As described above, in the vibration pickup device of the present invention, the vibration film 4 divides the inside of the housing 1 into upper and lower regions, but the vibration film 4 is provided with an opening 44. As a result, the two regions communicate with each other, and no pressure difference occurs between the two regions in principle. Therefore, even if there is a sudden change in temperature or other environmental conditions that cause a pressure difference in the vibration pickup device, air flows through the aperture of the vibration film and the pressure difference is instantaneously eliminated. Good movement of the diaphragm 4 reduces the air resistance to vibration film 4 by drilling an opening 4 4 to the vibrating membrane 4 in the condenser portion formed between the vibrating film 4 and the back plate 3 This leads to an increase in the sensitivity of the vibration pickup device.
【００２１】そして、振動膜４の開孔４4 をその孔径を
ウェイト４3 の開孔４31の孔径より小さく形成すること
により、振動膜４の製造の作業性および品質は向上す
る。[0021] Then, by forming an opening 4 4 of the diaphragm 4 smaller than the hole diameter of the aperture 4 31 weight 4 3 the pore size, workability and quality of manufacture of the diaphragm 4 can be improved.
【図１】実施例の断面を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a cross section of an embodiment.
【図２】振動膜を説明する図。FIG. 2 illustrates a vibrating membrane.
【図３】ウェイトを説明する図。FIG. 3 is a diagram illustrating weights.
【図４】エレクトレツト誘電体膜および背極板を説明す
る図。FIG. 4 is a diagram illustrating an electret dielectric film and a back electrode plate.
【図５】ベースを説明する図。FIG. 5 illustrates a base.
【図６】電気接続を説明する図。FIG. 6 is a diagram illustrating electrical connection.
【図７】他の実施例の断面を示す図。FIG. 7 is a diagram showing a cross section of another embodiment.
【図８】更に他の実施例を説明する図。FIG. 8 is a view for explaining still another embodiment.
【図９】従来例を説明する図。FIG. 9 illustrates a conventional example.
１ ハウジング １1 前面板 ２ 背極ホルダ ３ 背極板 ４ 振動膜 ４4 開孔 ５ 振動膜リング ６ スペーサ ７ ベース ８ インピーダンス変換モジュールDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Housing 1 1 Front plate 2 Back electrode holder 3 Back electrode plate 4 Vibration film 4 4 Opening hole 5 Vibration film ring 6 Spacer 7 Base 8 Impedance conversion module
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山縣 博 福岡県鞍手郡鞍手町大字中山3024の38 ホシデン九州株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−151730（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H04R 19/04 H04R 31/00 H04R 1/46 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Hiroshi Yamagata 3824, Nakayama, Kurate-cho, Kurate-gun, Fukuoka Prefecture Inside Hosiden Kyushu Co., Ltd. (56) References JP-A-2-151730 (JP, A) (58) Survey Field (Int.Cl. 7 , DB name) H04R 19/04 H04R 31/00 H04R 1/46
Claims (9)
料より成る筒体のハウジングを具備し、振動膜リングお
よび薄板より成るウェイトを張り付けられた金属材料よ
り成る振動膜を具備し、振動膜は振動膜リングを前面板
の内面に接触してハウジングに収容し、エレクトレット
誘電体膜が被着形成される背極板を具備し、背極板はエ
レクトレット誘電体膜をスペーサを介して振動膜に対向
してハウジングに収容され、インピーダンス変換モジュ
ールを具備し、背極板をハウジングの後方から保持する
と共にインピーダンス変換モジュールをも保持する背極
ホルダを具備し、ハウジングの後方開口端部を閉塞する
ベースを具備し、ベース周縁部にハウジングの後方開口
端部を屈曲カシメつけた振動ピックアップ装置におい
て、 振動膜およびウェイトに相互に連通する開孔を穿設した
ことを特徴とする振動ピックアップ装置。1. A vibrating membrane, comprising: a cylindrical housing made of a metallic material having one end face closed by a front plate; and a vibrating membrane made of a metallic material to which a weight made of a vibrating membrane ring and a thin plate is attached. Is provided with a back plate on which the vibrating membrane ring is housed in contact with the inner surface of the front plate, and the electret dielectric film is formed on the back plate. And a back electrode holder that holds the back electrode plate from the rear of the housing and also holds the impedance conversion module, and closes the rear open end of the housing. A vibration pickup device comprising a base, wherein a rear opening end of a housing is bent and caulked at a peripheral portion of the base, wherein Vibration pickup apparatus, wherein the cross that has been bored an opening communicating with the site.
料より成る筒体のハウジングを具備し、振動膜リングお
よび薄板より成るウェイトを張り付けられた金属材料よ
り成る振動膜を具備し、振動膜は振動膜リングを前面板
の内面に接触してハウジングに収容し、振動膜の後方の
面に被着形成されるエレクトレット誘電体膜を具備し、
背極板を具備し、背極板はスペーサを介して振動膜の後
方の面のエレクトレット誘電体膜に対向してハウジング
に収容され、インピーダンス変換モジュールを具備し、
背極板をハウジングの後方から保持すると共にインピー
ダンス変換モジュールをも保持する背極ホルダを具備
し、ハウジングの後方開口端部を閉塞するベースを具備
し、ベース周縁部にハウジングの後方開口端部を屈曲カ
シメつけた振動ピックアップ装置において、 振動膜およびウェイトに相互に連通する開孔を穿設した
ことを特徴とする振動ピックアップ装置。2. A vibrating membrane, comprising: a cylindrical housing made of a metal material having one end face closed by a front plate; and a vibrating membrane made of a metal material to which a weight made of a vibrating membrane ring and a thin plate is attached. Comprises an electret dielectric film formed in contact with the inner surface of the front plate, housed in the housing, and attached to the rear surface of the vibration film,
A back electrode plate, the back electrode plate is accommodated in the housing in opposition to the electret dielectric film on the rear surface of the diaphragm via the spacer, and includes an impedance conversion module;
A back electrode holder for holding the back electrode plate from the rear of the housing and also for holding the impedance conversion module is provided, a base for closing the rear open end of the housing is provided, and a rear open end of the housing is provided on a peripheral edge of the base. A vibration pickup device having a bent and crimped shape, wherein an opening communicating with each other is formed in the vibration film and the weight.
記載される振動ピックアップ装置において、 振動膜の開孔の孔径をウェイトの開孔の孔径より小さく
形成したことを特徴とする振動ピックアップ装置。3. The vibration pickup device according to claim 1, wherein the diameter of the aperture of the vibrating membrane is formed smaller than the diameter of the aperture of the weight. Pickup device.
装置において、 振動膜の開孔の中心はウェイトの開孔の中心と同じくす
るものであることを特徴とする振動ピックアップ装置。4. The vibration pickup device according to claim 3, wherein the center of the opening of the vibration film is the same as the center of the opening of the weight.
料より成る筒体のハウジングを形成し、振動膜リングお
よび薄板より成るウェイトを金属材料より成る振動膜に
張り付け、振動膜は振動膜リングを前面板の内面に接触
してハウジングに収容し、背極板にエレクトレット誘電
体膜を被着形成し、背極板はエレクトレット誘電体膜を
スペーサを介して振動膜に対向してハウジングに収容
し、背極板およびインピーダンス変換モジュールを保持
する背極ホルダをハウジングに収容し、ハウジングの後
方開口端部を閉塞するベースの周縁部にハウジングの後
方開口端部を屈曲カシメつける振動ピックアップ装置の
製造方法において、 ウェイトに開孔を穿設してこれを振動膜に張り付け、次
いで開孔を振動膜に穿設することを特徴とする振動ピッ
クアップ装置の製造方法。5. One end face is closed by a front plate to form a cylindrical housing made of a metal material, and a vibrating membrane ring and a weight made of a thin plate are attached to the vibrating membrane made of a metal material. Is in contact with the inner surface of the front plate and accommodated in the housing, and the back electrode plate is formed by applying an electret dielectric film, and the back electrode plate accommodates the electret dielectric film in the housing in opposition to the vibration film via the spacer. Manufacturing a vibration pickup device in which a back electrode plate and a back electrode holder for holding an impedance conversion module are accommodated in a housing, and a rear opening end of the housing is bent and caulked at a peripheral portion of a base for closing the rear opening end of the housing. The method of claim 1, further comprising the steps of: drilling an aperture in the weight, attaching the aperture to the diaphragm, and then drilling the aperture in the diaphragm. Method of manufacturing-up device.
料より成る筒体のハウジングを形成し、振動膜リングお
よび薄板より成るウェイトを金属材料より成る振動膜に
張り付け、振動膜の後方の面にエレクトレット誘電体膜
を被着形成し、振動膜は振動膜リングを前面板の内面に
接触してハウジングに収容し、背極板はスペーサを介し
てエレクトレット誘電体膜に対向してハウジングに収容
し、背極板およびインピーダンス変換モジュールを保持
する背極ホルダをハウジングに収容し、ハウジングの後
方開口端部を閉塞するベースの周縁部にハウジングの後
方開口端部を屈曲カシメつける振動ピックアップ装置の
製造方法において、 ウェイトに開孔を穿設してこれを振動膜に張り付け、次
いで開孔を振動膜に穿設することを特徴とする振動ピッ
クアップ装置の製造方法。6. One end face is closed by a front plate to form a cylindrical housing made of a metal material, and a weight made of a vibration film ring and a thin plate is attached to the vibration film made of a metal material. An electret dielectric film is formed on the housing, and the vibrating membrane contacts the inner surface of the front plate and is housed in the housing while the vibrating membrane is housed in the housing while the back electrode plate faces the electret dielectric film via the spacer. Manufacturing a vibration pickup device in which a back electrode plate and a back electrode holder for holding an impedance conversion module are accommodated in a housing, and a rear opening end of the housing is bent and caulked at a peripheral portion of a base for closing the rear opening end of the housing. The method of claim 1, further comprising: drilling an opening in the weight, attaching the hole to the diaphragm, and then drilling an opening in the diaphragm. Manufacturing method of backup devices.
される振動ピックアップ装置の製造方法においてウェイ
トの開孔の孔径より小さい孔径の開孔を振動膜に穿設す
ることを特徴とする振動ピックアップ装置の製造方
法。、7. A method of manufacturing a vibration pickup device according to claim 5, wherein an opening having a diameter smaller than the diameter of the opening of the weight is formed in the vibration film. A method for manufacturing a vibration pickup device. ,
される振動ピックアップ装置の製造方法において、 振動膜の開孔をその中心をウェイトの開孔の中心と同じ
くして穿設することを特徴とする振動ピックアップ装置
の製造方法。8. The method for manufacturing a vibration pickup device according to claim 5, wherein an opening of the vibrating film is formed with its center being the same as the center of the opening of the weight. A method for manufacturing a vibration pickup device, comprising:
記載される振動ピックアップ装置の製造方法において、 振動膜の開孔はレーザ光により穿設することを特徴とす
る振動ピックアップ装置の製造方法。9. The method of manufacturing a vibration pickup device according to claim 5, wherein the aperture of the vibration film is formed by a laser beam. Production method.
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3293729B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110300362A (en) * | 2019-07-18 | 2019-10-01 | 东莞市瑞勤电子有限公司 | Electret bone conduction vibrates microphone |
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| JP5190033B2 (en) * | 2009-07-03 | 2013-04-24 | ホシデン株式会社 | Vibration sensor |
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1995
- 1995-10-16 JP JP26728295A patent/JP3293729B2/en not_active Expired - Lifetime
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