JP2753411B2 - ウェーハ接着装置およびウェーハ接着方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はシリコンウェーハの接着
装置に係り、さらに詳しくはシリコンウェーハのポリッ
シング装置に使用するキャリアプレートへシリコンウェ
ーハを接着する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】単結晶のシリコンウェーハ（以下ウェー
ハと称す）のポリッシングにおいては、所定のキャリア
プレートにウェーハを接着固定して係るキャリアプレー
トをポリッシング装置に投入し、ウェーハの研磨をおこ
なっている。従来、上記キャリアプレートにウェーハを
接着する場合には、ウェーハの裏面には予めワックスを
塗布しておきキャリアプレートの上に複数のウェーハを
配列し一次接着後に、図３６に示すような加圧接着装置
による二次接着が用いられていた（特開昭６３ー２４５
３６６参照）。

【０００３】この装置は、本体架台８０上の減圧室８１
内にプレス板８３が設けられたもので、はじめに台座８
５の上にキャリアプレート９１を載置し、その、上方よ
りプレス板８３でウェーハ９０を加圧するものである。
その際、台座上のキャリアプレート９１とプレス板８３
を内包する減圧室８１内を減圧しながらプレス板８３で
ウェーハ９０を加圧してウェーハ９０とキャリアプレー
ト９１との接着面を脱気し、次いで、減圧室８１内を常
圧に戻すことでウェーハとキャリアプレートとの間に気
泡の存在しない接着をおこなうものであった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】シリコン単結晶ウェー
ハを用いる集積回路（ＩＣ）の最小線幅は１μｍ以下と
なり、更に小さくなっている。これに光リソグラフィー
が用いられる限りその焦点深度が浅くなり、ウェーハの
平坦度の要求は厳しくなる一方である。またウェーハの
直径も２００μｍが用いられるようになる。このため研
磨方法の改良、キャリアプレートの平坦度管理の強化が
行われており、また接着の際のワックス層の厚さおよび
厚み分布も問題となり、ワックス層の厚さのバラツキを
０．１μｍ以下にすることが望まれている。またキャリ
アプレートとウェーハの間にパーティクルと呼ばれるシ
リコン破砕やごみが入ったり、気泡が残留すれば、これ
が研磨後のウェーハ表面に転写されディンプルと呼ばれ
る欠陥となり、平坦度を悪化させるという問題点を有し
ていた。

【０００５】従来の接着方法では、ウェーハの口径が２
００mmφと大きくなれば、均一に加圧することが困難と
なり、またより小さなパーティクルが問題となるため、
ワックスを付けたウェーハを下向きにしたりする際のパ
ーティクルの発生が無視しえないようになった。

【０００６】出願人は、かかる従来の問題点に鑑み、先
に、特願平２―３３４１０４において、複数のウェーハ
をキャリアプレート表面に接着する際に、ワックス厚さ
を薄く均一にし、ディンプルを減少させるようにしたウ
ェーハの接着装置を提案した。本発明は、この接着装置
へのキャリアプレートやウエーハの供給およびウェーハ
を接着したキャリアプレートの取り出しを容易にかつ円
滑に行うことができて、キャリアプレートへのウェーハ
の接着を確実に行うことができるウェーハ接着装置およ
びウェーハ接着方法を提供することを目的とするもので
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願の請求項１のウェーハの接着装置は、キャリア
プレートにウェーハを接着する接着部と、該接着部へキ
ャリアプレートを供給する第１の搬送手段と、前記接着
部へウェーハを供給する第２の搬送手段と、ウェーハが
接着されたキャリアプレートを前記接着部から搬出する
第３の搬送手段とからなるウェーハ接着装置において、
前記接着部は、キャリアプレートを支持するキャリアプ
レート支持手段と、このキャリアプレート支持手段の下
側でウェーハを支持するウェーハ支持手段と、該ウェー
ハ支持手段に支持されたウェーハをキャリアプレートの
下面に接触する位置迄上昇させるウェーハ移動手段とか
ら構成され、前記第１の搬送手段と接着部との間には、
キャリアプレートを表裏逆の向きに反転させる反転手段
が設けられたことを特徴とする。請求項２の発明は、請
求項１の発明において、前記接着部は、ウェーハの上面
とこれが接着されるキャリアプレートとを減圧下にお
き、ウェーハをその下面より持ち上げてキャリアプレー
トへ接着した後、昇圧することを特徴とする。請求項３
の発明は、請求項１または２の発明において、前記第１
の搬送手段は、キャリアプレートのウェーハとの接着面
を上側にして搬送し、前記第２の搬送手段は、ウェーハ
におけるキャリプレートとの接着面を上側にして搬送す
ることを特徴とする。請求項４の発明は、請求項３の発
明において、前記第２の搬送手段によって搬送されるウ
ェーハの搬送経路中に、ウェーハの表面に洗浄液を高圧
で噴射する第１の洗浄部と、ウェーハの表面に洗浄液を
高い周波数で振動させながら噴射する第２の洗浄部とを
有する洗浄手段を設けたことを特徴とする。請求項５の
発明は、キャリアプレートとウエーハとをそれぞれ接着
面を上方へ向けて搬送し、前記キャリアプレートを表裏
逆に反転させることによって、該キャリアプレートの下
面と前記ウェーハの上面とを所定間隔をおいて対向する
位置に配置するとともにこれらを減圧下におき、次い
で、ウェーハをその下面より持ち上げてキャリアプレー
トへ接着し、その後、昇圧することを特徴とする。

【０００８】

【作用】請求項１の発明によれば、第１の搬送手段によ
ってウェーハが接着される面を上向きにしてキャリアプ
レートを搬送しながら、該キャリアプレートに対して、
例えば洗浄などの処理を容易に行うことができ、処理が
終了した後、反転手段によってこれを反転させて、接着
部へ送り込むとともに、第２の搬送手段によってウェー
ハを接着部に供給して、該接着部において、キャリアプ
レート支持手段によって前記キャリアプレートを支持
し、かつ前記キャリアプレート支持手段によって支持さ
れたキャリアプレートの下方にウェーハ支持手段によっ
てウェーハを支持し、次いで、ウェーハ支持手段によっ
て支持されたウェーハをウェーハ移動手段によって前記
キャリアプレートの下面に接触させる位置迄上昇させ
て、前記ウェーハをキャリアプレートに接着させた後、
第３の搬送手段によって前記ウェーハが接着されたキャ
リアプレートを前記接着部から搬出する。請求項２の発
明によれば、キャリアプレートとウェーハとの接着が減
圧下で行われることにより、キャリアプレートとウェー
ハとの間に空気が介在することがなく、気泡の発生によ
るディンプル不良を防止できる一方、接着した後、昇圧
することにより、キャリアプレートに接着されたウェー
ハが静水圧的に加圧されるため、ワックス厚さが均一に
なるようにウェーハがキャリアプレートに円滑に接着さ
れる。請求項３の発明によれば、接着部に搬入される前
のキャリアプレートおよびウェーハが上向きで搬送され
ているから、キャリアプレートおよびウェーハに対して
洗浄する等の前処理を容易に施すことができる。請求項
４の発明によれば、第２の搬送手段によって搬送されて
いるウェーハに対して、第１の洗浄部によってウェーハ
の表面に洗浄液を高圧で噴射するとともに、第２の洗浄
部によってウェーハの表面に洗浄液を高周波で振動させ
ながら噴射することにより、２つの異なる方式の洗浄を
行うことができる。請求項５の発明によれば、ウェーハ
およびキャリアプレートを、いずれも接着面を上へ向け
て搬送した後、キャリアプレートを反転させることによ
り、キャリアプレートの接着面をウェーハの接着面へ向
けることができ、この位置関係において、減圧下でウェ
ーハをキャリアプレートに接着することができるととも
に、接着後に昇圧することにより、ウェーハをキャリア
プレートに均一に押し付けることができて両者の接着を
確実なものにすることができる。

【０００９】

【実施例】本発明のウェーハ接着装置に設けられている
接着部の一例を図１ないし図６により説明する。なお以
下の説明中、ウェーハとは研磨前のウェーハをいうもの
とする。 図１において符号１で示されるウェーハの接
着部（以下単に接着部という。）は、本体架台１０上に
載置された台座４と、該台座４の上に支持されたウエー
ハキャリア５と、それら上方に駆動シリンダー３１によ
り昇降可能に吊持されたプレス板３とから概ね構成され
ている。そして、これら台座４、ウエーハキャリア５、
プレス板３は、プレス板３の上下動に一部同伴して開閉
するカバー２１内に内包されるようになっており、カバ
ー２１が下降して本体架台１０の上面に密着したときに
は、カバー２１の内側が気密状態を保持し得る第１の減
圧室２となっている。この第１の減圧室２は、該第１の
減圧室２から圧力制御系に連なる第１の排気ラインＬ１
を通じて脱気され、真空状態に導かれる。一方、本体架
台１０に載置された台座４には、その内部に第２の減圧
室４９が形成され、本体架台１０および台座４の一部を
貫通し前記圧力制御系に連なる第２の排気ラインＬ２が
設けられて脱気可能とされている。

【００１０】本実施例では、図２に示されるように、上
記第１の減圧室２と第２の減圧室４９とは、台座４の中
間部に水平に設けられたダイアフラム４１により各室仕
切られて、各々独立にその圧力が制御できるようになっ
ている。そして、該ダイアフラム４１の上方には、複数
のウェーハ６，６，………，とこれが接着されるキャリ
アプレート７とを支持するウエーハキャリア５がその台
座４上の所定位置に載置されている。また図５に示され
るように、ウエーハキャリア５にはダイアフラム４１の
上面に対向する位置でこれら複数のウェーハ６を支持す
るウェーハ支持部５１ｃが設けられ、さらに、ウェーハ
６の上面と所定間隔をおいて対向する位置でキャリアプ
レート７を支持する、キャリアプレート支持面５２が形
成されている。このような構成において、第１の減圧室
２と第２の減圧室４９との圧力を制御する圧力制御手段
が具備されており、該圧力制御手段によって第１の減圧
室２と第２の減圧室４９をともに減圧させ、また、第２
の減圧室４９を第１の減圧室２に対して相対的に増圧さ
せて、ダイアフラム４１をキャリアプレート７に接近す
る方向へ所定間隔以上に亙って変位させることを特徴と
している。

【００１１】以下、本実施例をさらに詳しく説明する。
本体架台１０の上に載置された台座４は、平面形状が円
形で、内部を浅い碗状にくりぬいた下部の台金と環状の
上部枠体とを合体して形成されており、上部枠体と下部
の台金との間に円形薄板状のダイアフラム４１が挟着さ
れている。ダイアフラム４１の挟着部分では、図３に示
されるように、台座４の下部の台金内径よりも上部の枠
体内径が若干大きくとられ、この台座４に載置されるウ
エーハキャリア５の底面周縁を支えるよう、ダイアフラ
ム４１を挟んで段着きに形成されている。また、ダイア
フラム４１は、ゴムもしくは合成ゴムからなる弾性を有
する膜体であって、上面と下面との圧力差により変形可
能なものとなっている。このように、台座４の中間に挟
着されたダイアフラム４１により第１の減圧室２と仕切
られて、その下部の台金の内方部分に第２の減圧室４９
が形成されている。

【００１２】そして、複数のウェーハ６およびキャリア
プレート７を支持するための外形が略円盤状のウエーハ
キャリア５が、前記台座４の上部枠体の内側に嵌め込ま
れ、その下面がダイアフラム４１の上面にほぼ当接して
載置されている。次に、このウエーハキャリア５は、複
数のウェーハ６とキャリアプレート７とを支持するもの
で、取扱いの利便を考慮し、アルミもしくはアルミ合金
で成形され、表面を平滑にすべく皮膜塗装、または、メ
ッキ処理されたものである。図４において、ウェーハ６
が配置されるウエーハキャリア５の上面側が示されてい
るが、複数枚（図面では５枚）のウェーハ６，…，が均
等に配置され得るように、ウェーハ挿入孔５１，…，が
開口されている。そして、上面は、キャリアプレート７
をダイアフラム４１の上方で該ダイアフラム４１から所
定の高さに対向して支持するためのキャリアプレート支
持面５２となっている。

【００１３】ウエーハキャリア５には、その上面周縁の
およそ半分にわたって、キャリアプレート７をキャリア
プレート支持面５２に載置するとき位置決めをおこなう
ための立上がり部分であるキャリアプレート案内５３
が、ウエーハキャリア５に一体に形成されている。図４
で２箇所設けられている案内用切欠５６は、ウエーハキ
ャリア５を台座４への取付・取外しする場合の支持部分
であり、また、キャリアプレート７をこのウエーハキャ
リア５に取付・取外しし易くするための切欠である。さ
らに、キャリアプレート支持面５２には、各々のウェー
ハ挿入孔５１とウエーハキャリア５の外方空間とを結ぶ
挿入孔切溝５４が開溝され、ウェーハ挿入孔５１に挿入
されたウェーハ６の上面の空隙とウエーハキャリア５の
外方空間とが連通する状態となっている。

【００１４】また、図５，図６に示されるように、ウエ
ーハキャリア５のキャリアプレート支持面５２に複数設
けられたウェーハ挿入孔５１には、開口周縁に角面取５
１ｂが施されてウェーハ６をウェーハ挿入孔５１内に挿
入し易い形状となっている。そして、ウェーハ挿入孔５
１の内側壁には、キャリアプレート支持面５２に対して
ウェーハ６が若干落とし込まれる位置で支持されるよう
に、複数のウェーハ支持部５１ｃが設けられている。ウ
ェーハ支持部５１ｃは、ウェーハ挿入孔５１の内側壁の
上部を一定間隔で多数箇所、円周に沿って欠落させた欠
落部５１ｅを設けることにより、相対的にウェーハ挿入
孔５１の内側壁上部に多数の突出部分として形成されて
いるもので、挿入孔５１の内側壁の下方とは同一垂壁面
にある。

【００１５】このように、キャリアプレート７を載置す
るキャリアプレート支持面５２とウェーハ６を支持する
ウェーハ支持部５１ｃとに落差をもうけることで、ウェ
ーハ６とウェーハが接着されるキャリアプレート７との
間に所定の間隔が確保され得るのである。このウェーハ
６とキャリアプレート７との間隔は、脱気効率とダイア
フラム４１の変位量を考慮すると、互いに接触しない範
囲でなるべく少ない方がよく、例えば１mmないし５mm程
度とするのが望ましい。

【００１６】また、前述した挿入孔切溝５４は、ウェー
ハ支持部５１ｃの上面より幾分深く開溝され、また、ウ
ェーハ挿入孔５１の内側壁の上部に設けられた欠落部５
１ｅはウェーハ６の上面空隙と下面に生じる諸隙間とを
連通させているが、これは、第１の減圧室２の脱気操作
がおこなわれるときにウェーハ６の上下面を同一状態と
するためである。

【００１７】一方、キャリアプレート支持面５２に開孔
されたウェーハ挿入孔５１には、ウェーハ押着板５５が
挿入付設されている。この場合、ウェーハ挿入孔５１の
開口周縁には、等間隔に複数の支持爪用切溝５１ａ（図
面では４箇所）が所定の深さに設けられており、ウェー
ハ押着板５５に突設された押着板支持爪５５ａが嵌め込
まれるようになっている。

【００１８】ウェーハ押着板５５は、ウェーハ６をその
下面から持ち上げてキャリアプレート７に押着するため
のものであって、シリコンゴム、フッ素系樹脂、超高分
子ポリエチレン等ウェーハ６の表面に損傷を与えること
なく、かつ、摩擦抵抗の小さい材料により形成されてい
る。そして、その底面がダイアフラム４１の上面に当接
し、かつ、ウェーハ支持部５１ｃに配置されるウェーハ
６の下面にこのウェーハ押着板５５の上面、すなわち図
５に示される押着面５５ｂがほぼ接するように厚みが設
定されている。ただし、ウェーハ押着板５５はウェーハ
挿入孔５１の内筒で上下に昇降自在とすべく、前記押着
板支持爪５５ａと支持爪用切溝５１ａとは、その平面形
状において緩い嵌め合いとなっている。

【００１９】さらに、ウエーハキャリア５の下面側にお
いては、図６（ｂ）のＡ−Ａ断面図に示されるように、
ウェーハ挿入孔５１の下面開孔部円周に角面取５１ｄが
施されている。これは、ウエーハキャリア５を台座４の
上部枠体に載置したときに、ダイアフラム４１の上面が
ウエーハキャリア５の底面およびウェーハ挿入孔５１に
付設されたウェーハ押着板５５の底面に接するが、ダイ
アフラム４１を上方に変位させたときにその必要な変位
量を確保し、十分にウェーハ押着板５５をキャリアプレ
ート７側へ押し着けるために設けられている。

【００２０】各構成部材と、ウェーハならびにウェーハ
が接着されるキャリアプレートとの配置関係を取り纏め
ると、本体架台１０の上に固定された台座４の内部には
ダイアフラム４１で仕切られて形成された第２の減圧室
４９があり、該ダイアフラム４１の上方にはダイアフラ
ム４１の上面に当接するウエーハキャリア５が載置され
ている。そして、ウエーハキャリア５に開孔されたウェ
ーハ挿入孔５１にウェーハ押着板５５が付設されてお
り、その底面はウエーハキャリア５の底面とほぼ同一平
面をなしてダイアフラム４１の上面に当接している。一
方、ウェーハ６はウェーハ挿入孔５１のウェーハ支持部
５１ｃの上に配置される。また、ウェーハ支持部５１ｃ
はキャリアプレート支持面５２より若干下方に位置し、
配置されたウェーハ６もまたウエーハキャリア５のキャ
リアプレート支持面５２に対し下方に配置される。さら
に、ウエーハキャリア５の上方には、キャリアプレート
７がキャリアプレート支持面５２に当接して支持され
る。

【００２１】すなわち、ウエーハキャリア５は、ダイア
フラム４１の上方で、ダイアフラム４１の上面に対向す
る位置でウェーハ支持部５１ｃによりウェーハ６を支持
し、かつ、該ウェーハ６の上面との間に所定間隔をおい
て対向する位置でキャリアプレート支持面５２によりキ
ャリアプレート７を支持しているのである。

【００２２】次にプレス板３およびカバー２１について
説明すると、上記のようにウエーハキャリア５にキャリ
アプレート７の載置される上方に、該キャリアプレート
７の上面を支持するプレス板３が昇降可能に取付けられ
ている。本発明におけるプレス板３にあっては、積極的
な加圧は不要で、プレス面３３によりキャリアプレート
７の上面を支持してウェーハ６のキャリアプレート７へ
の押着の際に、その浮き上がりを防止できればよい。

【００２３】図３に示されるように、カバー２１は、上
方にロッドシース２２が設けられており、このロッドシ
ース２２に、プレス板３の駆動シリンダー３１に連なる
シリンダーロッド３２が貫通している。このロッドシー
ス２２の内筒面とシリンダーロッド３２の外面とはＯリ
ング２３，２３により気密にシールされ、かつ、摺動可
能に接している。一方、カバー２１の下端にはつば２５
が形成されており、カバー２１が下降して該つば２５の
下面と本体架台１０の表面とが接すると、Ｏリング２４
によって気密を保持し得るようになっており、該カバー
２１の内方に形成される第１の減圧室２が密閉状態とな
る。ウェーハ６やキャリアプレート７の出し入れに際し
ては、プレス板３の上部の、シリンダーロッド３２との
連結に用いられるフランジ３４にロッドシース２２の下
端が支持されて、プレス板３が上方に引き上げられるの
に同伴して、カバー２１も上昇し本体架台１０の上面が
開放されるようになっている。

【００２４】プレス板３の昇降にあっては、図示しない
が、圧空，油圧等の駆動手段が用いられ、動作上の位置
決めをおこなうためのセンサーやリミットスイッチ、作
動工程上の時間設定をおこなうためのタイマー等が設け
られたうえ、プログラムコントローラーなどの制御装置
により圧力系とともに制御される。

【００２５】続いて、本装置の圧力制御手段について、
図１にもとづいて説明する。第１の減圧室２に通じる第
１の排気ラインＬ１は、途中に第１の減圧室２の真空度
を計測する真空計ＰＩ１が設けられ、三方弁ＳＶ３を介
して真空ポンプ１２に通じる導管Ｌ６に接続されてい
る。また、第２の減圧室４９に通じる第２の排気ライン
Ｌ２は、調整弁Ｖ６を介して中間に分岐を有する導管Ｌ
４に接続され、該導管Ｌ４の一方は、弁ＳＶ２に仕切ら
れて前記第１の排気ラインＬ１に接続されている。導管
Ｌ４には第２の減圧室４９の真空度を計測する真空計Ｐ
Ｉ２が付設され、急激な圧力変化を緩和するアキュムレ
ータ１１が設けられたうえ、該導管Ｌ４の他方は、弁Ｓ
Ｖ１を介して導管Ｌ３に接続されている。この導管Ｌ３
は、一端側は調整弁Ｖ５により絞られて大気開放されて
いる。アキュムレータ１１には弁ＳＶ１，ＳＶ２の開閉
を制御するための圧力スイッチ１３が取り付けられてい
る。第１の排気ラインＬ１と導管Ｌ６とを仕切る前記三
方弁ＳＶ３の他方の口は、調整弁Ｖ７により絞られて大
気開放された導管Ｌ５に接続されている。また、真空ポ
ンプ１２に通じる導管Ｌ６は、途中に分岐が設けられ
て、該分岐から弁ＳＶ４を介して大気開放された導管Ｌ
７に通じている。

【００２６】上記の配管系にあっては、各弁は電磁作動
もしくは空気作動のダイアフラム弁、バタフライ弁が利
用でき、また、調整弁Ｖ６は内部漏洩を考慮するとベロ
ーズ等の流量調整弁の使用が好ましい。 そして、この
ような圧力制御手段により、本装置の第１の減圧室２と
第２の減圧室４９とをともに減圧させ、また、第２の減
圧室４９を第１の減圧室２に対して相対的に増圧させ得
る。

【００２７】次に、本実施例における接着部１の動作を
図７に示される工程図を併せて説明する。最初に、プレ
ス板の駆動系（図示せず）の操作によりプレス板３とカ
バー２１とが上方に待機した状態となっている。本体架
台１０の上面は開放されており、ウェーハ６の配置され
たウエーハキャリア５が台座４に載置され、そのウエー
ハキャリア５の上部にキャリアプレート７が載置される
（ステップ１０１）。次に、装置の運転が開始され、プ
レス板３の下降に伴ってカバー２１が降ろされ、本体架
台１０の上面に密着する(ステップ１０２)。プレス板３
はさらに下降を続け、プレス面３３がキャリアプレート
７の上面に当接する位置まで移動して停止する（ステッ
プ１０４）。

【００２８】一方、カバー２１が密着されると同時に、
第１の減圧室２および第２の減圧室４９は、真空ポンプ
１２へ連なる経路へ接続され減圧が開始される（ステッ
プ１０３)。このとき、真空ポンプ１２は作動状態であ
り、弁ＳＶ１・ＳＶ４、導管Ｌ５に通じるＳＶ３の経
路、および、ＳＶ４は閉で、弁ＳＶ２が開となって、第
１の排気ラインＬ１および第２の排気ラインＬ２から第
１の減圧室２、第２の減圧室４９が各々脱気される。そ
して、第１の減圧室２、第２の減圧室４９とも１mmHg以
下まで減圧される(ステップ１０５)。

【００２９】次いで、弁ＳＶ２が閉、弁ＳＶ１が開にさ
れ導管Ｌ３より空気が導入され、第２の排気ラインＬ２
から導管Ｌ４・導管Ｌ３に導通した第２の減圧室４９は
次第に増圧される。第２の減圧室４９の増圧によりダイ
アフラム４１が上方へ持ち上げられ、ウェーハ押着板５
５によりウェーハ６がキャリアプレート７の下面へ押し
付けられる（ステップ１０７）。一方、第１の減圧室２
は引き続き減圧状態が保持される(ステップ１０６)。第
２の減圧室４９は、およそ３００mmHgないし４００mmHg
まで増圧されると、アキュムレータ１１の圧力スイッチ
１３が作動して弁ＳＶ１が閉となる。そして、わずかの
間第２の減圧室４９の圧力を前記の状態に維持されて、
この間ウェーハ６が加圧保持される（ステップ１０
８）。ウェーハ６は一旦キャリアプレート７に加圧され
ると塗布されたワックスにより、キャリアプレート７の
下面に担持される。

【００３０】次に、弁ＳＶ２が開にされて、導管Ｌ４が
第１の排気ラインＬ１・導管Ｌ６・真空ポンプ１２に接
続され、第２の減圧室４９は再び減圧されると同時に第
１の減圧室２と同圧とされる。これにより、ダイアフラ
ム４１はもとの状態に復元すべく下降する（ステップ１
０９）。その後、弁ＳＶ１を開、および、導管Ｌ５に通
じる弁ＳＶ３の経路を開とされ、第１の減圧室２、第２
の減圧室４９が同時に大気圧まで昇圧される(ステップ
１１１)。第１の減圧室２が大気圧に戻されるとウェー
ハ６がキャリアプレート７に密着される。

【００３１】そして、プレス板３が上昇し(ステップ１
１２)、また、プレス板３に伴ってカバー２１が持ち上
げられて本体架台１０の上面が開放される（ステップ１
１３）。しかる後に、ウェーハ６が接着されたキャリア
プレート７を取り出す（ステップ１１４）。

【００３２】作業開始時にはステップ１０３において初
めて真空ポンプ１２を作動させるが、引き続いて次ぎの
バッチに入る場合には、真空ポンプ１２を作動させたま
まで再びステップ１０１に戻ってもよい。作業を終了す
るときには、弁ＳＶ４が開にされた後、真空ポンプ１２
が停止される。尚、このような動作になる接着部１の運
転は、通常プレス板の駆動系とともに同一の制御装置に
よって制御され、自動運転でおこなわれる。

【００３３】次いで、本発明における作用を説明する
と、複数のウェーハ６は、ダイアフラム４１の上方で、
ダイアフラム４１の上面に対向する位置で支持され、か
つ、該複数のウェーハ６の上面との間に所定間隔をおい
て対向する位置でキャリアプレート７が支持されてい
る。

【００３４】初めに、第１の減圧室２および第２の減圧
室４９が同時に減圧される。第１の減圧室２が脱気され
ると、ウェーハ６とキャリアプレート７との空隙にも空
気が介在しなくなる。この後、第１の減圧室２の減圧状
態を保持したまま、第２の減圧室４９に通じる配管系を
リークさせることにより、第１の減圧室２に対して第２
の減圧室４９を相対的に増圧する。すると、第１の減圧
室２と第２の減圧室４９との圧力差が弾性を有するダイ
アフラム４１を第１の減圧室２のキャリアプレート７の
方向へ所定間隔に亙って変位させる。ダイアフラム４１
の上面に載置されたウエーハキャリア５のウェーハ押着
板５５を介してウェーハ６がキャリアプレート７の下面
に押し付けられる。ウェーハ裏面（装置内では上面）に
は予めワックスが塗布されており、このワックスにより
ウェーハ６は一旦キャリアプレート７の下面に担持され
る。その後、第１の減圧室２と第２の減圧室４９とを均
圧してダイアフラム４１を初期の状態とし、次いで、第
１の減圧室２および第２の減圧室４９とも大気開放する
と、キャリアプレート７の下面に担持されているウェー
ハ６は、静水圧的に加圧されるためワックス厚さが均一
となり、かつその接着面に空気を介在していないので気
泡の発生によるディンプル不良を防止できる。

【００３５】さらに、本発明における他の要旨は、上述
したウェーハの接着部に用いられているウェーハの接着
方法に存する。すなわち、ウェーハの上面とこれらが接
着されるキャリアプレートとを、所定間隔をおいて対向
する位置に配置するとともにこれを減圧下におき、次い
で、複数のウェーハをその下面より同時に持ち上げてキ
ャリアプレートへ接着し、その後、昇圧することを特徴
とするものである。

【００３６】接着部１において説明すると、まず、第１
の減圧室２に複数のウェーハ６とキャリアプレート７と
を配置する。ここでは、前述のウエーハキャリア５が用
いられているが、ウェーハ６とキャリアプレート７とが
所定の位置関係を有するように支持する。すなわち、複
数のウェーハ６とキャリアプレート７とを、ウェーハ６
の上面との間におよそ１mmないし５mmほどの間隔をおい
て対向する位置でキャリアプレート７を配置する。そし
て、第１の減圧室２を約１mmHg以下まで減圧する。次い
で、複数のウェーハ６をその下面から同時に持ち上げて
キャリアプレート７まで上昇させ、押着して接着する。
ウェーハ６もしくはキャリアプレート７には予め、パラ
フィン系の油脂にロジンを加えたワックスを塗布してお
き、このワックスによりウェーハ６を一旦キャリアプレ
ート７に担持させる。このような状態において、第１の
減圧室２を大気圧まで昇圧すると、ウェーハ６はキャリ
アプレート７に接着される。

【００３７】この接着部で接着し、研磨した直径２００
mmのウェーハの20mm×20mmの範囲における平坦度ＬＴＶ
は０．５μｍ以下となる。一方、従来の接着部で同一の
研磨条件で研磨した場合の平坦度ＬＴＶは１．０μｍ前
後であり、平坦度の向上は明らかである。

【００３８】尚、上述した本実施例の接着部１において
は、ダイアフラム４１を変位させることでウェーハ６を
キャリアプレート７へ押着するものであり、減圧手段の
有効利用から第１の減圧室２と第２の減圧室４９との圧
力差によりダイアフラム４１をウェーハ６の上方への移
行手段としている。しかしながら、例えば、ウェーハが
予め配置される平面を減圧下で上方に移行可能な、駆動
シリンダーで昇降するテーブル等を用いて、ウェーハを
キャリアプレートに押着することも可能である。

【００３９】また、接着部１にあっては、ウエーハキャ
リア５に、ウェーハ６の下面に対しダイアフラム４１の
作用が間接的に及ぶウェーハ押着板５５が付設されてい
るが、該押着板５５はウェーハ６のより安定した上方へ
の移行・押し着けを考慮したものであって、ウェーハ６
とキャリアプレート７との所定間隔を保持し得る他形状
の支持手段でもよく、ダイアフラム４１上面がウェーハ
下面に直接接触するものであってもよい。

【００４０】本実施例の接着部１は、以上説明したよう
に構成されるので、以下に記載される効果を奏する。 予めウェーハとキャリアプレートとに所定間隔を設
けて減圧脱気し、減圧下で接着するのでその接着面に空
気が介在することがなく、従って、接着面における気泡
の発生が防止でき、大口径ウェーハにおいてもディンプ
ル不良が減少される。 前記のように接着面に空気を介在させずに減圧下で
接着して静かに常圧下に戻すので、より均一に加圧され
ワックスの厚さが均一となる。 ウェーハにワックスを塗布した面を反転さすことが
ないため、よりパーティクルの付着することが少ないた
めディンプル不良が減少される。 減圧室と同一の圧力制御系を用いており、他の駆動
手段を使用することなくウェーハを移行できるので、装
置構成が簡素化できる。

【００４１】次いで、図８により、前記接着部へキャリ
アプレート７を供給し、あるいは、ウエーハ６を供給す
る手段、および、ウエーハ６が接着されたキャリアプレ
ート７を接着部から取り出す手段を含むウエーハ接着シ
ステムの概要を説明する。符号１００はキャリアプレー
トストック部であって、このキャリアプレートストック
部１００へは、搬送手段１０２によってキャリアプレー
ト７が搬入されるようになっている。また、キャリアプ
レートストック部１００に収容されているキャリアプレ
ート７は、搬送手段１０４によって洗浄装置１０６へ搬
出されるようになっている。この洗浄装置１０６では、
ウェーハとの接着面に必要な平坦度を得るための洗浄が
行われている。また前記洗浄装置１０６では、それぞ
れ、一枚のキャリアプレート７を立てた状態で収容し得
る容積を持った３つの洗浄槽１０８，１１０，１１２へ
順次キャリアプレート７が送り込まれて、槽内の洗浄液
により洗浄されるようになっている。

【００４２】前記洗浄装置１０６により洗浄されたキャ
リアプレート７はスピン乾燥装置１１４へ送り込まれ、
該スピン乾燥装置１１４内で回転させられるようになっ
ている。この回転によって生じる遠心力により表面の水
滴が除去される。前記スピン乾燥装置１１４において脱
水されたキャリアプレート７は、搬送手段１１６によっ
て加熱装置１１８へ送り込まれて乾燥されるようになっ
ている。この加熱装置１１８は、第１ないし第３の加熱
部１２０〜１２４を有しており、これらによって順次加
熱されて表面温度が接着に適当な温度迄上昇するように
なっている。なお各加熱部１２０〜１２４の間における
キャリアプレート７の搬送は、加熱装置１１８の両側に
設けられた搬送手段１２６により行われるようになって
いる。

【００４３】前記加熱装置１１８において加熱されたキ
ャリアプレート７は先に詳細に説明された接着部１と同
様の構成の接着部１２８へ送り込まれるようになってい
る。また接着部１２８の前後には、接着前のキャリアプ
レート７を一時的に受け入れる反転台１３０、接着後の
キャリアプレート７を一時的に受け入れる反転台１３２
がそれぞれ設けられている。また前記接着部１２８、反
転台１３０、１３２の配列方向に沿ってキャリアプレー
ト移載機１３４が設けられており、このキャリアプレー
ト移載機１３４によってこれらの機器の間でキャリアプ
レート７を搬送するようになっている。

【００４４】次いで、ウェーハキャリア５に載せられた
ウエーハ６を前記接着部１２８へ供給する手段について
説明する。１４０はセンタリング装置、１４２は洗浄装
置、１４４はワックスコータ、１４６はホットベーク装
置、１４８はＯＦ（Orientation Flat）の位置を合わせ
るための位置合わせ装置である。センタリング装置１４
０は、各々の品質データに基づいて所定の順序で供給さ
れるウエーハ６を前記各装置１４２ないし１４８が配列
されているラインに対して中心を同じくするように位置
合わせする。位置合わせされたウエーハ６は、洗浄装置
１４２によって洗浄された後、ワックスコータ１４４に
よって接着剤（ワックス）が表面塗布され、さらに、ホ
ットベーク装置１４６によって加熱されて有機溶剤等の
成分が除去される。またホットベーク装置１４６を経た
ウエーハ６はＯＦ位置合わせ装置１４８において所定の
向きに位置合わせされる。なお符号１５０はＯＦ位置合
わせ装置１４８からウェーハセット装置１５２へウエー
ハ６を搬送する搬送手段である。

【００４５】ＯＦ位置合わせ装置１４８において位置合
わせされたウエーハ６は、ウエーハセット装置１５２に
おいてウエーハキャリア５上に載せられる。ウェーハキ
ャリア５は、ウェーハキャリアホルダ１５４上に準備さ
れており、ウェーハキャリア移載機１５６によってウエ
ーハセット装置１５２上に置かれるようになっている。
ウエーハセット装置１５２上に置かれたウェーハキャリ
ア５には、前記搬送手段１５０によって、ＯＦ位置合わ
せ装置１４８からウエーハ６がセットされる。このよう
にして、ウエーハ６が所定位置にセットされたウェーハ
キャリア５はウエーハキャリア移載機１５６によって接
着部１２８へ送り込まれる。そして、この接着部１２８
において、ウェーハキャリア５にセットされたウェーハ
６がキャリアプレート７へ接着された後、このキャリア
プレート７が冷却装置１６０へ送り込まれる。

【００４６】前記冷却装置１６０は、第１ないし第３の
冷却部１６２ないし１６６を有しており、これらの間を
順次移動することにより、徐々に冷却されるようになっ
ている。冷却装置１６０を経て室温程度迄冷却されたキ
ャリアプレート７は、搬出装置１６８によって、次の研
磨工程（図示略）へ送り込まれる。

【００４７】次いで、図９と図１０により、キャリアプ
レートストック部１００の構成を説明する。符号１８０
は一対の固定フレームであって、この固定フレーム１８
０は、キャリアプレート７の配列方向（図８の矢印ａ方
向）に沿って設けられている。これらの固定フレーム１
８０の間には、一対の軌道１８２が設けられている。こ
れらの軌道１８２には、軌道１８２の長さ方向に沿って
移動可能に移動フレーム１８４が設けられており、この
移動フレーム１８４には、上下方向に移動可能な昇降部
１８６が設けられている。また昇降部１８６は、移動フ
レーム１８４内に設けられた空気圧機器（図示略）によ
って上下方向へ駆動されるようになっている。前記固定
フレーム１８０および昇降部１８６には、それぞれキャ
リア支持部材１８８，１９０が設けられており、これら
には、キャリアプレート７を支持する溝１９２が複数設
けられている。前記固定フレーム１８０のキャリア支持
部材１８８に支持されているキャリアプレート７は、移
動フレーム１８４および昇降部１８６の下記のような動
作にともなって、一つの溝１９２から、これに隣接する
他の溝１９２へ一つずつ移動する。

【００４８】１．まず、通常の状態では、昇降部１８６
が図９のように下降位置にあるので、キャリアプレート
７は固定フレーム１８０のキャリア支持部材１８８に支
持されている。キャリア支持部材１８８，１９０は、図
１０（ａ）に示すように、それぞれ溝１９２の位置を揃
えた位置に配置されている。 ２．昇降部１８６を上昇させると、キャリア支持部材１
９０がキャリアプレート７を持ち上げ、図９に鎖線で示
すようにキャリアプレート７が上昇する。 ３．この上昇状態において、移動フレーム１８４を図の
矢印ｂ方向へ移動させると、図１０（ｂ）に示すように
キャリア支持部材１８８，１９０が溝１９２の配列間隔
ｌ１に相当する距離だけずれを生じる。 ４．この位置において、昇降部１８６を下降させると、
キャリア支持部材１９０に支持されていたキャリアプレ
ート７がキャリア支持部材１８８に支持される。 ５．昇降部１８６が下降した後、移動フレーム１８４を
図の矢印ｃ方向へ移動させると、図１０（ａ）に示すよ
うに、キャリア支持部材１８８，１９０の溝１８２の位
置が揃い、次の移動の準備状態となる。 上記動作の繰り返しにより、キャリアプレート７は、溝
１９２の配列間隔ｌ１と同じ距離ずつ移動しながら、一
枚ずつ次の工程へ送り込まれる。

【００４９】次いで、図１１ないし図１３により、キャ
リアプレート洗浄装置１０６の構成を説明する。キャリ
アプレートの洗浄はウェーハの洗浄と同じ位重要であ
り、前回の使用時のワックス残渣を完全に除去し、パー
ティクルフリーにしなければならない。洗浄装置１０６
には、第１〜第３の洗浄槽１０８，１１０，１１２が設
けられている。各洗浄槽１０８，１１０，１１２の下部
には、回転ローラ２０２および２０４が設けられてお
り、これらによってキャリアプレート７を下側から支持
するようになっている。また回転ローラ２０２は、モー
タ２０６からベルト２０８を介して伝達される動力によ
って強制回転し、また、回転ローラ２０４は、回転自在
に支持されて、キャリアプレート７の回転にしたがって
回転するようになっている。また洗浄槽１０８，１１
０，１１２内には、円形の回転ブラシ２１０が設けられ
ている。この回転ブラシ２１０は駆動モータ（図示略）
により駆動されるもので、キャリアプレート７の表面に
接触して回転することにより、その表面を洗浄するよう
になっている。さらに、洗浄槽１０８，１１０，１１２
の内側には、キャリアプレート７の外周に接触するブラ
シ２１２が設けられている。実施例の場合、第１、第２
の洗浄槽１０８，１１０ではアルカリ性洗浄液による洗
浄が行われ、第３の洗浄槽１１２では純水による洗浄が
行われているが、洗浄液の種類および組合せはこれに限
定されるものではない。なお実施例では、第１および第
２の洗浄槽１０８，１１０の上部が連通管２１４によっ
て連通されている。

【００５０】前記洗浄装置１０６に設けられている回転
ローラ２０２，２０４，あるいは回転ブラシ２１０など
の回転体は、洗浄槽１０８，１１２の壁面を貫通する軸
受けにより支持され、さらに、この軸受けはシールされ
て洗浄液の漏れが防止されるようになっている。この軸
受け部の構造を、第１の洗浄槽１０８を例に挙げて、図
１３により説明する。符号２１１は軸である。図示の場
合、この軸２１１は、回転ローラ２０４を支持してい
る。第１の洗浄槽１０８の外側にはフランジ２１７が取
付られており、このフランジ２１７には、前記軸２１１
を回転自在に支持する軸受け２１３が設けられている。
また前記軸受け２１３より内側の位置には、フランジ２
１７の内周と軸２１１の外周との間をシールするオイル
シール２１８が設けられている。また前記オイルシール
２１８の内側には、略円環状をなす軸受けカバー２１５
が取付られている。この軸受けカバー２１５と前記オイ
ルシール２１８との間には軸と並行な方向への間隙が設
けられている。軸受けカバー２１５の内周と軸２１１の
外周との間には半径方向への微小な隙間が設けられてい
る。前記軸受けカバー２１５には、半径方向に貫通する
孔２１６が設けられている。この孔２１６を介して軸受
けカバー２１５の内側へ液体（通常は、純水、洗浄液の
いずれか）を常時注入することにより、前記オイルシー
ル２１８と軸２１１との接触とともに発生するパーティ
クルを洗浄槽１０８の外側へ排除することができるよう
になっている。

【００５１】前記洗浄装置１０６へのキャリアプレート
７の搬入搬出、および各洗浄槽１０８，１１０，１１２
間のキャリアプレート７の移動は搬送手段１０４により
行われている。この搬送手段１０４を図１４および図１
５によって説明する。前記洗浄装置１０６の側部には、
洗浄槽１０８，１１０，１１２の配列方向に沿って軌道
２２０が設けられている。この軌道２２０上には移動フ
レーム２２２が設けられ、さらに、移動フレーム２２２
の上には昇降フレーム２２４が設けられている。この昇
降フレーム２２４には、第１〜第４のキャリアプレート
搬送アーム２２６が取付られており、これらのキャリア
プレート搬送アーム２２６の間には、前記第１〜第３の
洗浄槽１０８，１１０，１１２の相互の間と同じ間隔ｌ
２が設けられている。前記各キャリアプレート搬送アー
ム２２６の先端には、キャリアプレート７の中心に形成
されている穴に対して緩み嵌めとなる外径を有する突起
２２８が設けられている。また前記突起２２８は、移動
フレーム２２２を図１４の矢印ａの方向またはその反対
方向へ移動させることにより、キャリアプレート７の穴
に挿入され、あるいは、抜き出される。また、突起２２
８をキャリアプレート７の穴に挿入して昇降フレーム２
２４を移動させ、あるいは移動フレーム２２２を移動さ
せることにより、キャリアプレート７を洗浄槽１０８，
１１０，１１２へ送り込み、あるいは洗浄槽１０８，１
１０，１１２から取り出すことができるようになってい
る。

【００５２】以上のように構成された搬送手段１０４は
下記のように動作してキャリアプレート７を搬送する。
図１４に示す状態でキャリアプレート搬送アーム２２６
を上昇させると、図１５に実線で示す位置（洗浄槽１０
８の液中に浸された位置）から、図１５に鎖線で示すよ
うにキャリアプレート７が上昇する。この上昇状態で、
移動フレーム２２２を図１４の矢印ａ方向へ距離ｌ２に
わたって移動させると、図１４において、最も下に存在
しているキャリアプレート７が第１の洗浄槽１０８の上
へ配置され、第１の洗浄槽（図１４において最も下に示
されている洗浄槽）１０８から引き上げられたキャリア
プレート７が第２の洗浄槽（図１４において下から２番
目に示されている洗浄槽）１１０の上へ配置され、第２
の洗浄槽１１０から引き上げられたキャリアプレート７
が第３の洗浄槽（図１４において最も上に示されている
洗浄槽）１１２の上へ配置され、さらに、第３の洗浄槽
１１２から引き上げられたキャリアプレート７が次の工
程（スピン乾燥装置１１４）のキャリアプレート受け入
れ部（後に詳細に説明する）へ送り込まれる。

【００５３】この位置において、昇降フレーム２２４を
下降させると、各キャリアプレート７が洗浄槽１０８，
１１０，１１２内へ挿入される（図１５における鎖線の
位置から実線の位置へキャリアプレート７が移動す
る）。また昇降フレーム２２４が下降した後、移動フレ
ーム２２２を突起２２８の突出量よりもわすかに大きく
移動させると、突起２２８がキャリアプレート７から抜
ける。この状態で昇降フレーム２２４を上昇させた後、
図１４における矢印ａと反対の方向へ距離ｌ２にわたっ
て移動させると、次の搬送動作への準備状態となる。そ
して、以上の動作を繰り返すことにより、キャリアプレ
ート７を第１〜第３の洗浄槽１０８，１１０，１１２の
間で矢印ａ方向へ一枚ずつ送ることができる。このよう
な動作により、各洗浄槽１０８，１１０，１１２の間を
搬送しようとする際にキャリアプレート７がとどこおる
ことがなく、したがって、乾燥による異物の再付着など
が生じることがない。

【００５４】次いで図１６および図１７を参照して、ス
ピン乾燥装置１１４について説明する。符号２４０は一
対のキャリアプレート受け入れ部である。このキャリア
プレート受け入れ部２４０は、一対のアーム２４２に支
持されている。キャリアプレート受け入れ部２４０に
は、キャリアプレート７を保持するキャリアプレート支
持部材２４４が設けられている。前記アーム２４２は軸
２４６を中心として垂直面内で回転可能に支持され、空
圧シリンダー２４８によって駆動されるようになってい
る。また前記キャリアプレート受け入れ部２４０は、そ
れぞれ空圧シリンダ２５０によって往復動し、互いに接
近する方向、あるいは、互いに離れる方向へ移動するこ
とができる。またキャリアプレート受け入れ部２４０
は、前記洗浄槽１１２におけるキャリアプレート７の支
持位置との間に、搬送手段１０４の移動ストロークｌ２
と等しい間隔をおいて配置されている。

【００５５】符号２５２はターンテーブルであって、こ
のターンテーブル２５２はモータ２５４によって駆動さ
れて、軸２５６を中心に回転するようになっている。前
記ターンテーブル２５２は図１６に示すような平面形状
を持っている。このターンテーブル２５２の切り欠き部
２５８に対応する位置には昇降部２６０が設けられてい
る。この昇降部２６０は、空圧シリンダ２６２によって
駆動されて、前記ターンテーブル２５２の切り欠き部２
５８を通って、図１７における上下方向へ移動すること
ができる。 さらに、前記スピン乾燥装置１１４の近く
には、搬送手段１１６、および、蓋２６４が設けられて
いる。この蓋２６４は軸２６６を中心として回転可能に
支持されたアーム２６８の先端に取り付けられており、
空圧シリンダ２３０によって駆動されるようになってい
る。

【００５６】また搬送手段１１６は、軸２７０を中心と
して回転するアーム２７２の先端に、図１８に示すよう
な切り欠きを持った円盤２７４を設けた構成となってい
る。なお符号２７６はスピン乾燥装置１１４上のキャリ
アプレート７の表面に必要に応じて温純水を供給する純
水供給管であって、この純水供給管２７６は、軸２７８
を中心とする回転により、ターンテーブル２５２の上方
位置、またはこれから離れた位置へ移動することができ
るようになっている。

【００５７】上記スピン乾燥装置１１４の動作を説明す
る。 １．洗浄装置１０６における第３の洗浄槽１１２から搬
送手段１０４により取り出されたキャリアプレート７
は、搬送手段１０４の距離ｌ２にわたる移動により、図
１７に示すように、キャリアプレート支持部材２４４の
上方へ配置される。一対のキャリアプレート支持部材２
４４は、互いに離れた状態で準備されている。この位置
において、搬送手段１０４を下げることにより、一対の
キャリアプレート支持部材２４４の間にキャリアプレー
ト７が挿入される。その後、キャリアプレート支持部材
２４４が互いに接近すると、これらの間にキャリアプレ
ート７が支持される。 ２．空圧シリンダ２４８が伸びると、アーム２４２が図
１７における時計回りに回転し、キャリアプレート７が
ターンテーブル２５２の上方へ水平に配置される。 ３．昇降部２６０が上昇してキャリアプレート７を下方
から支持する。また、キャリアプレート支持部材２４４
が互いに離れて、キャリアプレート７がターンテーブル
２５２の上に載せられる。 ４．純水供給管２７６を回転させて、ターンテーブル２
５２の上へ配置し、キャリアプレート７の表面へ純水を
供給した後、純水供給管２７６を元の位置へ戻す。 ５．図１９に示すように、キャリアプレート７の上面と
の間に僅かな間隔を有する位置まで蓋２６４を降下させ
た後、ターンテーブル２５２を所定時間にわたって回転
させ、遠心力によってキャリアプレート７の表面の水滴
を除去する。なお、ターンテーブル２５２の回転時間は
モータ２５４の電源回路に設けられたタイマ（図示略）
によって任意に設定することができる。また、ターンテ
ーブル２５２の回転とともに、キャリアプレート７の表
面に乾燥空気が吹き付けられる。この乾燥空気の吹き付
けにより、遠心力によって周囲に飛散した水滴のキャリ
アプレート７への再付着が防止される。また、吹き付け
られる乾燥空気は前記洗浄工程において用いられる液の
温度（約８０℃）とほぼ等しいか、これよりも高い温度
に設定されている。その理由は、スピン乾燥に伴うキャ
リアプレート７の温度低下を防止するためである。 ６．ターンテーブル２５２の回転および乾燥空気の吹き
出しが終了すると、図１９に鎖線で示すように蓋２６４
が上昇する。また昇降部２６０が上昇してキャリアプレ
ート７をターンテーブル２５２より上へ持ち上げる。 ７．アーム２７２を回転させてターンテーブル２５２と
同心となる位置へ配置し、昇降部２６０を降下させる
と、アーム２７２の先端の円盤２７４の上にキャリアプ
レート７が載せられる。 ８．アーム２７２が回転して、図１８に示すように、加
熱部１２０の上へキャリアプレート７を搬送する。以上
の１ないし８の工程の動作が終了した後、前記１の工程
へ戻り、次のキャリアプレート７に対してスピン乾燥処
理が行われる。

【００５８】次いで、図２０ないし図２４により、加熱
装置１１８およびその搬送手段１２６について説明す
る。加熱装置１１８を構成する加熱部１２０ないし１２
４は、互いにｌ３の間隔をおいて配置され、いずれも、
キャリアプレート７が載せられる円盤を電気的に加熱す
ることにより、キャリアプレート７の温度を室温から接
着に最適な温度迄、徐々に上昇させるようになってい
る。また加熱部１２０ないし１２４のそれぞれの中央部
には、図２４に示すような軸２８０が設けられている。
これらの軸２８０の先端は、加熱部１２０ないし１２４
の上のキャリアプレート７の中央部の穴に挿入されるよ
うになっている。また、前記軸２８０は、各加熱部１２
０ないし１２４に対応して設けられた空圧シリンダ２８
２ないし２８６によりそれぞれ駆動されて図２１の上下
方向へ動作することができる。したがって、軸２８０が
上昇することにより、キャリアプレート７が軸２８０に
支持されて加熱部１２０ないし１２４の上面から浮き上
がった状態となり、一方、軸２８０が下降することによ
り、キャリアプレート７が加熱部１２０ないし１２４の
上面に接触した状態となる。前記加熱装置１１８の両側
には、それぞれ軌道２８８が設けられている。これらの
軌道２８８には、移動フレーム２９０が設けられてお
り、この移動フレーム２９０には、前記加熱部１２０な
いし１２４の上のキャリアプレート７をこれらの間の間
隔ｌ３ずつ搬送する搬送部材２９２が支持されている。

【００５９】上記搬送部材２９２の駆動機構は次のよう
な構成となっている。移動フレーム２９０には二対の軸
受２９４が設けられており、これらの軸受けにより、一
対の軸２９６が支持されている。軸２９６の先端には、
それぞれクランクアーム２９８が取付られており、これ
らのクランクアーム２９８の先端には、前記搬送部材２
９２が軸３００を中心として回転可能に連結されてい
る。また前記軸２９６の一方の基端部には、クランクア
ーム３０２が設けられている。このクランクアーム３０
２は、空圧シリンダ３０４に連結されており、空圧シリ
ンダ３０４の伸縮によって前記軸２９６に回転力を付与
するようになっている。したがって、空圧シリンダ３０
４の伸縮により、前記一対の移動フレーム２９０がキャ
リアプレート７と重なる位置まで接近し、あるいはキャ
リアプレート７と重なる位置から離れる動作をすること
ができる。また前記移動フレーム２９０は、パワーシリ
ンダ３０６のロッド３０８が伸縮することによって図２
０あるいは図２１の左右方向へ距離ｌ３にわたって移動
することができる。

【００６０】上記搬送手段１２６によるキャリアプレー
ト７の搬送動作を説明する。 １．キャリアプレート７を受け入れる場合、搬送部材２
９２は互いに離れた位置にあり、また、軸２８０は下が
った位置に待機している。 ２．アーム２７２の回転により最初の加熱部１２０の上
へキャリアプレート７が搬送されると、軸２８０が上昇
してキャリアプレート７に挿入され、キャリアプレート
７が軸２８０に支持される。 ３．軸２８０が降下すると、キャリアプレート７が加熱
部１２０ないし１２４の上へそれぞれ載せられ、加熱さ
れる。 ４．それぞれの加熱部１２０ないし１２４においてキャ
リアプレート７が所定の温度迄加熱されると、それぞれ
の加熱部１２０ないし１２４において軸２８０が上昇
し、各キャリアプレート７を上昇させる。軸２８０の上
昇により、各キャリアプレート７の下面が搬送部材２９
２の上面より高い位置に配置される。 ５．搬送部材２９２が互いに接近して、図２０に示すよ
うに、各キャリアプレート７の外周の一部と平面的に重
なる位置に配置される。 ６．各軸２８０が降下すると、各加熱部１２０ないし１
２４の上のキャリアプレート７がそれぞれ搬送部材２９
２によって支持される。 ７．パワーシリンダ３０６のロッド３０８が収縮する
と、移動フレーム２９０が距離ｌ３にわたって移動し、
加熱部１２０の上のキャリアプレート７が加熱部１２２
の上へ、加熱部１２２の上のキャリアプレート７が加熱
部１２４の上へそれぞれ移動する。 ８．各軸２８０を上昇させるとキャリアプレート７が持
ち上げられる。また、搬送部材２９２を互いに離れさせ
る。 前記３の工程と同様に各軸２８０を下降させ、キャリア
プレート７を加熱部１２０ないし１２４の上へ載せて加
熱を行ない、以下、上記動作を繰り返す。

【００６１】前記軸２８０の内、最終の加熱部１２４に
設けられているものは、前述のキャリプレート７の搬送
にともなう動作の他、キャリプレート７の温度調整のた
めにも利用されている。例えば接着部１２８における接
着処理の停滞などの理由によって最終の加熱部１２４の
上に長時間にわたってキャリアプレート７が載せられて
いると、その温度が過剰に上昇することになる。このよ
うな温度上昇を防止するため、加熱部１２４自体の温度
の調整を行うことができるが、この場合、加熱部１２４
が有する熱容量により、温度制御にタイムラグが生じる
ことが避けられない。この実施例では、加熱部１２４に
設けられている軸２８０を上昇させることによってキャ
リアプレート７を加熱部１２４から持ち上げるようにし
ている。すなわち、キャリアプレート７が過熱状態にな
ると軸２８０が上昇するように制御することにより、キ
ャリアプレート７の温度をコントロールすることができ
る。

【００６２】前記接着部１２８を中心として加熱装置１
１８と対称となる位置には、冷却装置１６０が設けられ
ている。この冷却装置１６０は、加熱部１２０ないし１
２４と同様の構成とされた冷却部１６２ないし１６６を
備えている。各冷却部１６２ないし１６６は、その内部
に熱媒体を流通させることによって、徐々に温度が低く
なるように設定されていて、これらの上に載せられたキ
ャリアプレート７を接着温度から室温まで徐々に冷却さ
せる。また冷却装置１６０の側部にも搬送手段１２６が
設けられていて、前記加熱装置１１８と同様に、各冷却
部１６２ないし１６６の間でキャリアプレート７を距離
ｌ３ずつ搬送する。なお、符号３１０はキャリアプレー
ト７に識別マークを付す捺印機である。

【００６３】次いで、図２５ないし図２７を参照して、
接着部１２８およびキャリアプレート移載機１３４につ
いて説明する。このキャリアプレート移載機１３４は、
前記加熱装置１１８、接着部１２８、冷却装置１６０が
配置されている方向に沿ってキャリアプレート７を搬送
する。符号３１２は軌道であって、この軌道３１２の上
には第１の移動フレーム３１４、第２の移動フレーム３
１６が設けられている。これらの移動フレーム３１４お
よび３１６には、それぞれ、第１、第２の昇降フレーム
３１５，３１７が設けられている。これらの昇降フレー
ム３１５，３１７には、それぞれ回転可能なアーム３１
８，３２０が設けられており、さらに、これらのアーム
３１８，３２０の先端には、キャリアプレート７の下方
に挿入されてその下面を吸着する第１の吸着手段３２
２、第２の吸着手段３２４が設けられている。また、前
記移動フレーム３１４および３１６は、前記軌道３１２
に沿って設けられた第１の送りねじ３２６と、第２の送
りねじ３２８とをそれぞれ駆動モータ３３０および３３
２によって回転させることにより、図２５あるいは図２
６の左右方向へ移動することができる。

【００６４】以上のように構成されたキャリアプレート
移載機１３４は、加熱装置１１８の加熱部１２４迄搬送
されたキャリアプレート７を前記第１の吸着手段３２２
により吸着し、アーム３１８を回転させることによって
キャリアプレート７を反転させ、キャリアプレート７が
接着されるべき面を下に向けた後、接着部１２８の台座
４の上へ載せることができる。また、ウェーハが接着さ
れたキャリアプレート７を第２の吸着手段３２４によっ
て吸着して台座４の上から持ち上げ、アーム３２０の回
転によって反転させ、キャリアプレート７が接着された
面を上へ向けた後、反転台１３２の上迄搬送して、その
上へ載せる。

【００６５】前記ウェーハキャリア移載機１５６は、図
２８に示すように、軸３４０を中心として回転するアー
ム３４２の両端に吸着手段３４４を設け、この吸着手段
３４４を空圧シリンダ３４６によってそれぞれ上下動さ
せる構成となっている。また前記台座４、ウェーハセッ
ト装置１５２、ウェーハキャリアホルダ１５４は、前記
アーム３４２の回転軌跡である円弧（図８にＣで示す）
に沿って配置されている。したがって、前記アーム３４
２の回転と吸着手段３４４の昇降および吸着開放の繰り
返しにより、キャリアプレート７を台座４、ウェーハセ
ット装置１５２、ウェーハキャリアホルダ１５４の間で
搬送することができる。

【００６６】前記ウェーハキャリアホルダ１５４は、ウ
ェーハキャリア５を支持する支持台３５０の上に多数の
ころ３５２を設けた構成となっている。ウェーハキャリ
ア５は、ころ３５２により、前記アーム３４２の移動範
囲の内外を移動することができる。なお、前記ころ３５
２の一部には駆動装置（図示略）が内蔵されていて自身
が回転することができ、他のころ３５２は、ウェーハキ
ャリア５の移動にしたがって回転するようになってい
る。

【００６７】次いで、前記ウェーハセット装置１５２へ
ウェーハ６を供給するラインの構成を説明する。またこ
のラインで用いられる最小線巾１μｍ以下のＩＣ用ウェ
ーハは一般的に表面にＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａ
ｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）によるポリシリコンコ
ーティングによるエクストリニシックゲッター層が付け
られている。この面は固着していないポリシリコンや搬
送等の取扱により容易に剥離し、パーティクルとなる傾
向があり、この面を上に向けて搬送される。このライン
においては、ウェーハ６が厚みなどの品質データの測定
結果にしたがって、ロット毎に、予め定められた順序で
供給される。

【００６８】このラインに設けられているセンタリング
装置１４０、洗浄装置１４２、ワックスコータ１４４、
ホットベーク装置１４６、およびＯＦ位置合わせ装置１
４８の間におけるウェーハ６の移動は、図２９および図
３０に示すウォーキングビーム３６０によって行われて
いる。ウォーキングビーム３６０は、図２９に示すよう
に、複数の支持板３６２を有しており、これらの支持板
３６２の間には、センタリング装置１４０、洗浄装置１
４２、ワックスコータ１４４、ホットベーク装置１４
６、およびＯＦ位置合わせ装置１４８の配列間隔ｌ４と
等しい間隔ｌ４が設けられて、これらの装置の上のウエ
ーハ６の縁部を下方から持ち上げることができるように
なっている。前記ウォーキングビーム３６０は、昇降フ
レーム３６４によって上下動可能に支持され、空圧シリ
ンダ３６６によって上下に駆動されるようになってい
る。また前記昇降フレーム３６４は図８の左右方向へも
移動可能に支持されている。前記昇降フレーム３６４
は、モータ３６８により駆動される送りねじ３７０によ
って左右へ移動するようになっている。

【００６９】図３１はセンタリング装置を示す。符号３
８０は昇降台であって、この昇降台３８０は空圧シリン
ダ３８２によって上下動することにより、その上に載せ
られたウェーハ６を昇降させることができる。また３８
４は位置合わせ板である。この位置合わせ板３８４に
は、第１の段部３８６および第２の段部３８８が設けら
れている。これらの段部３８６および３８８は、この装
置によって処理すべきウエーハの規格に応じて、ウエー
ハの外径より僅かに小さな内径寸法に設定されている。
また、前記段部３８６および３８８の上部には、これら
へウエーハを案内するためのテーパ部３９０および３９
２が設けられている。このセンタリング装置において
は、前記昇降台３８０を上昇させた状態でウェーハを受
け入れ、その後、昇降台３８０を下降させることによ
り、前記テーパ部３９０、３９２のいずれかによってウ
ェーハを案内して段部３８６、あるいは３８８へ導び
き、後続の洗浄装置やワックスコータに対して位置決め
することができる。

【００７０】次いで、図３２により洗浄装置を説明す
る。符号４００はターンテーブルであって、このターン
テーブル４００は、モータ４０２により駆動されて回転
するようになっている。また前記ターンテーブル４００
およびモータ４０２は昇降フレーム４０４に支持されて
いる。この昇降フレーム４０４は上下動自在に支持され
るとともに、空圧シリンダ４０６によって上下に駆動さ
れるようになっている。

【００７１】前記ターンテーブル４００の上方には、洗
浄液をウエーハ６へ高圧で噴射する第１のノズル４０８
と、洗浄液に超音波振動エネルギーを与えてウェーハ６
へ吹き付ける第２のノズル４１０とが設けられている。
第１のノズル４０８および第２のノズル４１０は、回転
自在なアーム４１２，４１４に支持されている。前記ア
ーム４１２，４１４は、軸４１６，４１８を中心として
回転可能に支持されており、前記軸４１６，４１８の下
部に設けられたプーリ４２０をモータ４２２によって駆
動することにより、洗浄液を広範囲へ吹き付けることが
できるようになっている。なお、軸４１６を駆動するモ
ータおよびプーリはその図示を省略する。前記ターンテ
ーブル４００の周囲は下部カバー４２４によって囲まれ
ている。前記下部カバー４２４には吸気配管４２６が接
続されていて下部カバー４２４内の空気や水滴を吸引す
るようになっている。前記下部カバー４２４の上方には
上部カバー４２８および上蓋４３０が設けられている。
上部カバー４２８はウェーハ６の洗浄中には下降状態と
されて、周囲への水滴や粉塵の飛散を防止するようにな
っている。また上蓋４３０は、ウェーハ６の洗浄中は、
洗浄液の飛沫が付着しないように、上昇状態とされるよ
うになっている。

【００７２】この洗浄装置にあっては、ターンテーブル
４００を回転させるとともに、第１および第２のノズル
４０８，４１０をそれぞれ回転させながら、これらのノ
ズル４０８，４１０からターンテーブル４００上のウェ
ーハ６へ洗浄液を噴射する。第１のノズル４０８から１
００〜３００ｋｇ／平方センチメートルの圧力で、か
つ、毎分０．５〜２．０リットルの流量で洗浄液が噴射
される。この高圧の洗浄液は、主として、ウエーハの表
面に不安定な状態で付着している物質を除去する。第１
のノズル４０８から噴出される洗浄液の圧力が下限値を
下回ると、洗浄力が不足し、また、上限値を越えると、
ウェーハ６の表面にダメージを与える。また、第２のノ
ズル４１０からは、５００〜１０００キロヘルツの振動
が付与された洗浄液が毎分０．５〜３．０リットルの流
量で噴射される。また第２のノズル４１０から噴射され
る洗浄液の圧力は、第１のノズル４０８より十分に低い
もので足りるのはもちろんである。このような高周波振
動エネルギーが付与された洗浄液は、ウエーハの表面の
微少なパーティクルを除去する。前記第２のノズル４１
０から供給される洗浄液が高周波振動のエネルギーによ
って高い洗浄能力をもっているから、第１のノズル４０
８から噴射される洗浄液の圧力は比較的小さくて済み、
したがって、この圧力によってウェーハ６の表面にダメ
ージを与えることが少ない。上記洗浄液に与える振動の
周期が下限値を下回ると、ウェーハ６の表面にダメージ
を与えるおそれがあり、上限値を越えると、振動が減衰
して洗浄力がなくなる。

【００７３】上記洗浄液の供給を停止させた後、ターン
テーブル４００の回転を継続させてウェーハ６の表面の
洗浄液を除去するとともに、上蓋４３０をウェーハ６の
表面近く迄下降させ、ウェーハ６の表面に不活性ガスを
吹き付けて乾燥させる。

【００７４】前記洗浄装置１４２と、これに続くワック
スコータ１４４との間には、通常の装置間の間隔ｌ４の
二倍の間隔２×ｌ４の間隔が設けられている。したがっ
て、洗浄装置１４２において洗浄されたウェーハ６は洗
浄装置１４２とワックスコータ１４４との間のスペース
に一旦置かれた後、ワックスコータ１４４へ送り込まれ
る。

【００７５】図３３によりワックスコータ１４４の構成
を説明する。符号４４０はターンテーブルである。この
ターンテーブル４４０はモータ４４２によって駆動され
て回転する。前記ターンテーブル４４０の周囲にはカバ
ー４４４が設けられている。このカバー４４４には吸気
ダクト４４６が接続されて内部の空気などを吸引するよ
うになっている。前記ターンテーブル４４０の上方には
蓋４４８が設けられている。この蓋４４８は、空圧シリ
ンダ４５０に支持されることにより、図示のような上昇
位置、もしくは、前記カバー４４４の上部の開口を覆う
下降位置へ移動することができる。また前記蓋４４８に
は、二つのワックス供給ノズル４５２が設けられてお
り、このワックス供給ノズル４５２から前記ターンテー
ブル４４０の上のウェーハ６の表面へワックスを供給す
るようになっている。なお前記モータ４４２は、空圧シ
リンダ４５４によって上下動する昇降フレーム４５６に
支持されていて、前記ターンテーブル４４０とともに上
下動することができるようになっている。また前記ター
ンテーブル４４０には、図示しない真空源に接続される
接続口４５８が設けられている。この接続口４５８から
供給される真空圧をターンテーブル４４０の上面に作用
させることにより、ターンテーブル４４０の上面にウェ
ーハ６が密着するようになっている。

【００７６】前記ホットベーク装置１４６は、上下動可
能なテーブルの上にウェーハ６を支持するもので、前記
テーブルを加熱することにより、ワックス中の有機溶剤
等を揮発させるようになっている。

【００７７】前記ワックスコータ１４４、ホットベーク
装置１４６によって処理されたウェーハ６は、前記ウォ
ーキングビーム３６０によってＯＦ位置合わせ装置１４
８へ送り込まれ、さらに、搬送手段１５０によってウェ
ーハセット装置１５２へ送り込まれる。以下、図３４お
よび図３５を参照して上記各装置の構成を説明する。Ｏ
Ｆ位置合わせ装置１４８には、ターンテーブル４６０が
設けられ、このターンテーブル４６０は空圧シリンダ４
６２による上下動と、モータ４６４による回転とを行う
ようになっている。また前記ターンテーブル４６０の外
周には、ＯＦ検出器４６６が設けられている。このＯＦ
検出器４６６は、ウエーハ６におけるＯＦ部の位置を、
光線が遮断されるか否かの検出結果により判定する。そ
して、この判定結果によって前記モータ４６４の停止を
制御することにより、図３４に示すようにＯＦ部を所定
角度に向けて停止することができる。

【００７８】搬送手段１５０には、モータ４７０により
回転する回転台４７２が設けられている。この回転台４
７２には、半径方向へ移動可能なアーム４７４が設けら
れている。このアーム４７４は、前記ターンテーブル４
６０の方向へ伸びることができる。したがって、前記タ
ーンテーブル４６０を上昇させた状態（相対的にアーム
４７４を下降させてもよい）でアーム４７４を伸ばし、
この状態でターンテーブル４６０を下降させること（相
対的にアーム４７４を上昇させること）により、前記ア
ーム４７４の上へウェーハ６が載せられる。ウェーハ６
が載せられたアーム４７４は１８０度回転してウェーハ
セット装置１５２へ向けられる。一方、ウエーハセット
装置１５２には、ウェーハキャリア５が載せられるター
ンテーブル４８０が設けられている。このターンテーブ
ル４８０は、ステッピングモータ４８２によって駆動さ
れることにより、ウェーハキャリア５のウエーハ収納穴
を前記回転台４７２と直線上になるように位置合わせす
る。

【００７９】前記搬送手段１５０とウェーハセット装置
１５２との間には、ウェーハ案内装置４８４が設けられ
ている。このウエーハ案内装置４８４は、ロータリーソ
レノイド４８６によって駆動されて、図３４の実線の位
置、または鎖線の位置へ移動することができる。すなわ
ち、前記アーム４７４が下降する際には、図中実線で示
される位置にあってウェーハ６をウェーハキャリア５上
の所定位置へ案内する。また前記ウェーハキャリア移載
機１５６のアーム３４２に設けられた吸着手段３４４に
よってウェーハキャリア５を吸着しようとする際には、
前記吸着手段３４４の移動経路から離れた位置、すなわ
ち、図中破線で示す位置へ配置される。前記ターンテー
ブル４８０は、前記ウエーハキャリア移載機１５６のア
ーム３４２の回転軌跡と重なる位置に配置されており、
このアーム３４２によって空のウェーハキャリア５の搬
入が行われるとともに、ウェーハ６が所定位置に配置さ
れたウェーハキャリア５の搬出が行われるようになって
いる。

【００８０】以上のように構成されたウエーハ接着装置
の動作を説明する。キャリアプレート７はキャリアプレ
ートストック部１００に縦姿勢で収容されている。キャ
リアプレートストック部に収容されているキャリアプレ
ート７は、搬送手段１０４によって一枚ずつ洗浄装置１
０６へ送り込まれ、この洗浄手段１０６の各洗浄工程中
を一段階ずつ移動する。洗浄が終了したキャリアプレー
ト７は、接着面を上向きにして乾燥装置１１４へ送り込
まれて水分が除去され、加熱装置１１８へ送り込まれ
る。加熱装置１１８へ送り込まれたキャリアプレート７
は、搬送手段１２６によって各乾燥工程を一段階ずつ搬
送される。最終の加熱部１２４に達したキャリアプレー
ト７は、キャリアプレート移載機１３４によって吸着さ
れ、さらに、反転されて接着面が下向きにされた後、接
着装置１２８の手前で待機する。

【００８１】一方、ウェーハ６は、センタリング装置１
４０による位置決めの後、洗浄装置１４２による洗浄、
ワックスコータ１４４による接着剤の塗布、ホットベー
ク装置１４６における溶剤の蒸発、ＯＦ位置合わせ装置
１４８における位置合わせの後、搬送手段１５０によっ
てウェーハセット装置１５２へ一枚ずつ送り込まれる。
また、この送り込みと同期して、前記センタリング装置
１４０、洗浄装置１４２、ワックスコータ１４４、ホッ
トベーク装置１４６、および、ＯＦ位置合わせ装置１４
８の間でのウェーハの搬送が行われる。

【００８２】一方、ウエーハキャリア５は、ウエーハキ
ャリアホルダ１５４の上に準備されており、ウェーハキ
ャリア移載機１５６のアーム３４２によって前記ウエー
ハセット装置１５２へ送り込まれる。ウエーハセット装
置１５２では、前記搬送手段１５０によるウェーハ６の
送り込みと、ターンテーブル４８０の所定角度の回転と
を交互に行うことによりウェーハキャリア５へウェーハ
６が挿入される。ウェーハキャリア５へ所定枚数のウェ
ーハ６が挿入されると、ウェーハキャリア移載機１５６
がウェーハキャリア５を接着装置１２８へ送り込み、そ
の後、前記キャリアプレート移載機１３４によってキャ
リアプレート７を接着装置１２８へ送り込むと、ウェー
ハキャリア５、ウェーハ６、キャリアプレート７が図２
のように所定位置に配置される。この配置において、接
着装置１２８が動作してウェーハ６をキャリアプレート
７の下面へ接着する。接着が終了すると、キャリアプレ
ート移載機１３４がキャリアプレート７の裏面を吸着し
て持ち上げ、ウェーハ６が接着されている面が上向きに
なるように反転させた後、冷却装置１６０の最初の冷却
部１６２へ載せる。

【００８３】冷却装置１６０では、搬送手段１２６によ
ってキャリアプレート７が各冷却部１６２，１６４，１
６６を搬送されながら、徐々に冷却される。冷却装置１
６０において所定の温度迄冷却されたキャリアプレート
７は、捺印機３１０によって所定の識別マークが付けら
れた後、次の研磨工程へ送り出される。

【００８４】なお、上記装置における搬送、洗浄の手段
は実施例の方式のものに限定されるものではなく、ウエ
ーハの寸法や仕様に応じて変更してもよいのはもちろん
である。

【００８５】

【効果】以上の説明で明かなように、本発明によれば、
下向きのキャリアプレートへ下方からウェーハを押し付
けて接着するようにした接着装置において、この接着に
最適な位置へウェーハ及びキャリアプレートを送り込む
ことができ、したがって、接着装置が本質的に有する接
着面への気泡の発生の防止、ウェーハのワックス塗布面
へのパーティクルの除去によってウェーハの平坦度を向
上といった効果を保存しつつ、ウエーハおよびキャリア
プレートを接着装置へ能率的に送り込むことができると
いう効果を奏する。また、請求項１の発明によれば、第
１の搬送手段によってウェーハが接着される面を上向き
にしてキャリアプレートを搬送しながら、該キャリアプ
レートに対して、例えば洗浄などの処理を容易に行うこ
とができ、処理が終了した後、反転手段によってこれを
反転させて、接着部へ送り込むとともに、第２の搬送手
段によってウェーハを接着部に供給して、該接着部にお
いて、キャリアプレート支持手段によって前記キャリア
プレートを支持し、かつ前記キャリアプレート支持手段
によって支持されたキャリアプレートの下方にウェーハ
支持手段によってウェーハを支持し、次いで、ウェーハ
支持手段によって支持されたウェーハをウェーハ移動手
段によって前記キャリアプレートの下面に接触させる位
置迄上昇させて、前記ウェーハをキャリアプレートに接
着させた後、第３の搬送手段によって前記ウェーハが接
着されたキャリアプレートを前記接着部から搬出する。
この結果、洗浄等の前処理を施したキャリアプレートを
反転して容易に接着部に送り込むことができる一方、姿
勢変更によって品質に影響を受け易いウェーハについて
は、その姿勢を固定した状態で接着部に搬入することが
でき、したがって、ウェーハをキャリアプレートの所定
位置に円滑にかつ確実に接着することができる。さら
に、請求項２の発明によれば、キャリアプレートとウェ
ーハとの接着が減圧下で行われることにより、キャリア
プレートとウェーハとの間に空気が介在することがな
く、気泡の発生によるディンプル不良を防止できる一
方、両者を接着した後昇圧することにより、キャリアプ
レートに接着されたウェーハが静水圧的に加圧されるた
め、ワックス厚さが均一になるようにウェーハをキャリ
アプレー トに円滑に接着することができる。さらにま
た、請求項３の発明によれば、接着部に搬入される前の
キャリアプレートおよびウェーハが上向きで搬送されて
いるから、キャリアプレートおよびウェーハに対して洗
浄する等の前処理を容易に施すことができる。また、請
求項４の発明によれば、第２の搬送手段によって搬送さ
れているウェーハに対して、第１の洗浄部によってウェ
ーハの表面に洗浄液を高圧で噴射するとともに、第２の
洗浄部によってウェーハの表面に洗浄液を高周波で振動
させながら噴射することにより、２つの異なる方式の洗
浄を円滑に行うことができ、したがって、ウェーハに損
傷を与えることがない上に、確実にウェーハの表面から
不要なパーティクルを除去することができる。なおま
た、請求項５の発明によれば、ウェーハおよびキャリア
プレートを、いずれも接着面を上へ向けて搬送した後、
キャリアプレートを反転させることにより、キャリアプ
レートの接着面をウェーハの接着面へ向けることがで
き、この位置関係において、減圧下でウェーハをキャリ
アプレートに接着することができるとともに、接着後に
昇圧することにより、ウェーハをキャリアプレートに均
一に押し付けることができて両者の接着を確実なものに
することができる。したがって、ウェーハをその健全性
を保持した状態でキャリアプレートに確実に接着するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の接着装置の配管系統の説明図である。

【図２】接着装置の要部の断面図である。

【図３】接着装置の一部を拡大した断面図である。

【図４】ウェーハキャリアの平面図である。

【図５】ウェーハキャリアとウェーハとの位置関係を示
す斜視図である。

【図６】ウェーハキャリアの一部を拡大した平面図であ
る。

【図７】接着部の動作のフローチャートである。

【図８】接着装置全体のレイアウトを示す平面図であ
る。

【図９】キャリアプレートストック部の正面図である。

【図１０】固定フレーム、移動フレームの側面図であ
る。

【図１１】洗浄装置の側面図である。

【図１２】洗浄装置の断面図である。

【図１３】洗浄装置の軸受け部の断面図である。

【図１４】洗浄装置に設けられた搬送装置の平面図であ
る。

【図１５】洗浄装置に設けられた搬送装置の正面図であ
る。

【図１６】乾燥装置の平面図である。

【図１７】乾燥装置の正面図である。

【図１８】乾燥装置に設けられた搬送装置の平面図であ
る。

【図１９】乾燥装置に設けられた搬送装置の正面図であ
る。

【図２０】加熱装置の平面図である。

【図２１】加熱装置の側面図である。

【図２２】加熱装置に設けられた搬送装置の断面図であ
る。

【図２３】図２２の搬送装置の要部の断面図である。

【図２４】加熱装置の軸部分の断面図である。

【図２５】接着部とその周辺の装置のレイアウトを示す
平面図である。

【図２６】図２５に示す部分の正面図である。

【図２７】図２５に示す部分の側面図である。

【図２８】ウエーハキャリア移載機の側面図である。

【図２９】ウォーキングビームの平面図である。

【図３０】ウォーキングビームの側面図である。

【図３１】センタリング装置の断面図である。

【図３２】洗浄装置の断面図である。

【図３３】ワックスコータの断面図である。

【図３４】ＯＦ位置合わせ装置周辺部分の平面図であ
る。

【図３５】図３４に示す部分の側面図である。

【図３６】接着装置の従来例の断面図である。

【符号の説明】Ｌ１ 第１の排気ライン、Ｌ２ 第２の排気ライン、Ｓ
Ｖ１ 弁、ＳＶ２ 弁、ＳＶ４ 弁、ＳＶ３ 三方弁、
１ ウェーハの接着部、２ 第１の減圧室、３プレス
板、４ 台座、５ ウエーハキャリア、６ ウェー
ハ、７ キャリアプレート、１０ 本体架台、１１ ア
キュムレータ、 １２ 真空ポンプ、１３圧力スイッ
チ、２１ カバー、３１ 駆動シリンダー、３３ プレ
ス面、４１ダイアフラム、４９ 第２の減圧室、５１
ウェーハ挿入孔、５１ｃ ウェーハ支持部、５２ キャ
リアプレート支持面、５５ ウェーハ押着板、１００
キャリアプレートストック部、１０２ 搬送手段、１０
４ 搬送手段、１０６ 洗浄装置、１１４ スピン乾燥
装置、１１６ 搬送手段、１１８ 加熱装置、１２６
搬送手段、１２８ 接着部、１３４ キャリアプレート
移載機、１４０ センタリング装置、１４２ 洗浄装
置、１４４ ワックスコータ、１４６ ホットベーク装
置、１４８ ＯＦ位置合わせ装置、１５０ 搬送手段、
１５２ ウェーハセット装置、１５６ ウェーハキャリ
ア移載機、１６０ 冷却装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 啓介 東京都千代田区岩本町３丁目８番16号 三菱マテリアルシリコン株式会社内 (72)発明者 小山 光二 東京都千代田区岩本町３丁目８番16号 三菱マテリアルシリコン株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/304

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 キャリアプレートにウェーハを接着する
   接着部と、該接着部へキャリアプレートを供給する第１
   の搬送手段と、前記接着部へウェーハを供給する第２の
   搬送手段と、ウェーハが接着されたキャリアプレートを
   前記接着部から搬出する第３の搬送手段とからなるウェ
   ーハ接着装置において、 前記接着部は、キャリアプレートを支持するキャリアプ
   レート支持手段と、このキャリアプレート支持手段の下
   側でウェーハを支持するウェーハ支持手段と、該ウェー
   ハ支持手段に支持されたウェーハをキャリアプレートの
   下面に接触する位置迄上昇させるウェーハ移動手段とか
   ら構成され、 前記第１の搬送手段と接着部との間には、キャリアプレ
   ートを表裏逆の向きに反転させる反転手段が設けられた
   ことを特徴とするウェーハ接着装置。
2. 【請求項２】 前記接着部は、ウェーハの上面とこれが
   接着されるキャリアプレートとを減圧下におき、ウェー
   ハをその下面より持ち上げてキャリアプレートへ接着し
   た後、昇圧することを特徴とする請求項１のウェーハ接
   着装置。
3. 【請求項３】 前記第１の搬送手段は、キャリアプレー
   トをウエーハとの接着面を上側にして搬送し、 前記第２の搬送手段は、ウェーハをキャリプレートとの
   接着面を上側にして搬送することを特徴とする請求項１
   または２のウェーハ接着装置。
4. 【請求項４】 前記第２の搬送手段によって搬送される
   ウェーハの搬送経路には、ウェーハの表面に洗浄液を高
   圧で噴射する第１の洗浄部と、ウェーハの表面に洗浄液
   を高周波数で振動させながら噴射する第２の洗浄部とか
   らなる洗浄手段が設けられたことを特徴とする請求項３
   のウェーハ接着装置。
5. 【請求項５】キャリアプレートとウエーハとをそれぞれ
   接着面を上方へ向けて搬送し、 前記キャリアプレートを表裏逆に反転させることによっ
   て、該キャリアプレートの下面と前記ウェーハの上面と
   を所定間隔をおいて対向する位置に配置するとともにこ
   れらを減圧下におき、 次いで、ウェーハをその下面より持ち上げてキャリアプ
   レートへ接着し、その後、昇圧することを特徴とするウ
   ェーハの接着方法。