JP2749228B2 - 光起電力素子の製造方法 - Google Patents

光起電力素子の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光エネルギーを電気エ
ネルギーに変換する光起電力素子の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】結晶系シリコン薄型太陽電池において
は、光を十分に吸収する目的から、例えば、図4に示す
コルゲート型太陽電池のように、p型単結晶シリコン基
板aの両側に、V字型の溝b,b,…が多数平行に形成
されてなる構造のものがあり、これにより、反射光を有
効に利用して光閉じ込めを行うようにされている(Con
f.Rec.20th IEEE Photovolt. Special. Conf.(1988), p
p 792〜795 (株式会社日立製作所中央研究所)参
照)。尚、図4において、cはp+型層、dはn+型層、
eはシリコン酸化膜、fは表面電極およびgは裏面電極
を示す。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記V溝
b,b,…は、前記単結晶シリコン基板aの両面にアル
カリ異方性エッチングを施して形成されているが、この
ように両側にV溝b,b,…を有する構造では、その製
造工程が複雑であるとともに、V溝b,b,…の角度や
太陽電池のバルク層の厚さの制御が困難である。しか
も、V溝b,b,…形成後の単結晶シリコン基板aは厚
さが50μm程度であるために、強度が不十分で割れや
すいという問題もあった。
【0004】本発明は係る従来の問題点に鑑みてなされ
たものであって、製造が容易であるとともに、V溝の角
度やバルク層の厚さの制御も確実であり、しかも、十分
な強度を有する光起電力素子の製造方法を提供すること
を目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の光起電力素子の
製造方法は、結晶系シリコン表面に微細なV字型の溝が
多数平行に形成してなる基板上に、シリコンと屈折率の
異なる絶縁膜を設け、この絶縁膜を前記溝の底部分の基
板表面が露出するようにパターニングし、その上に一導
電型のシリコン薄膜をラテラルシーディングエピタキシ
ャルにより形成した後、このシリコン薄膜上に他導電型
のシリコン薄膜を形成することを特徴とする。
【0006】
【作用】本発明の製造方法によれば、下地基板の結晶系
シリコン表面のみにV溝を形成するだけですむために、
その製造工程が単純である。このため、V溝の角度およ
びバルク層の厚さの制御が確実に行える。
【0007】また、V溝を下地基板の片面にのみ形成す
るため、下地基板の厚さを強度的に十分な程度に確保で
き、これにより、下地基板が支持基板として作用し得、
強固な構造となる。
【0008】シリコン酸化膜(SiO2 )等の絶縁膜の
パターンを形成することにより、ポイントコンタクトに
よる表面再結合速度の低減、およびシリコンとシリコン
酸化膜の屈折率の違いによる光閉じ込めを同時に計れ
る。さらに、下地基板を低抵抗としておくことにより裏
面BSF(Back Surface Field)化も計れる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1ないし図3に基
づいて説明する。図1は本発明に係る光起電力素子から
なる太陽電池の構造図であって、この太陽電池は、具体
的には単結晶シリコン膜を用いた、アモルファスシリコ
ン(a−Si)/単結晶シリコンヘテロ接合太陽電池で
ある。
【0010】図1において、1は低抵抗(n+ )単結晶
シリコンからなる下地基板で、その表面にはV字型の溝
1a,1a,…が多数平行に形成されている。2は酸化
シリコン(SiO2 )等のようにシリコンと屈折率の異
なる絶縁膜であり、図に示すように基板1上に設けら
れ、部分的に基板1表面が露出するようにパターニング
されている。この実施例ではV字型の溝1a,1aの底
の部分の基板1表面が露出するようにパターニングされ
ている。3はn型単結晶シリコン薄膜、4はp型アモル
ファスシリコン薄膜であり、このn型単結晶シリコン薄
膜3とp型アモルファスシリコン薄膜4との接合界面が
発電層として寄与する。5は透明導電膜、6裏面電極,
7は表面側取り出し電極である。光Aの入射方向は図示
のように前記下地基板1とは反対側である。
【0011】次に、前記光起電力素子の製造方法につき
図2及び図3を参照して説明する。まず、下地基板1の
表面に、機械的エッチングにより、V字型の溝1a,1
a,…を多数平行に形成した後(図2(a) 参照)、この
表面上に、酸化シリコンからなる絶縁膜2を形成し、V
字型の溝1a,1aの底の部分の基板1表面が露出する
ようにパターニングする(図2(b) 参照)。続いて、こ
の絶縁膜2の上に、液相成長法(LPE)等により、n
型単結晶シリコン薄膜をラテラルシーディングエピタキ
シャル(Lateral Seeding Epitaxitial)して形成する。
(図2(c) 参照)。続いて、n型単結晶シリコン薄膜3
上に、LPCVD法などにより、p型アモルファスシリ
コン薄膜4を形成し(図3(a) 参照)、n型単結晶シリ
コン薄膜3とp型アモルファスシリコン薄膜4との接合
界面が発電層となる。然る後、p型アモルファスシリコ
ン薄膜4上にTCO等の透明導電膜5を設ける(図3
(b) 参照)。そして、透明導電膜5上に取り出し電極7
を、基板1の裏面に裏面電極6を形成して図1に示す光
起電力素子が得られる。
【0012】ところで、n型単結晶シリコン薄膜3側の
電極取り出しはV字型の溝1a,1aの底の部分の基板
1表面が露出部分とコンタクトする領域を介して行われ
るため、ポイントコンタクトになり、表面再結合速度の
低減がされる。また、シリコンとシリコン酸化膜の屈折
率の違いによる光閉じ込め効果を有する。
【0013】次に、以上のように構成された太陽電池
(本発明品)について、従来法による太陽電池(従来
品)と比較して行った光起電力特性試験の結果を表1に
示す。
【0014】なお、この試験に使用された本発明品は図
1に示す構造のもので、上述した方法で形成された発電
層3の上に、p型アモルファスシリコン膜4を表2の条
件下で形成して接合を作ったものである。また、従来品
は、n型単結晶シリコン基板の両面に従来法によりV溝
を形成し、その上にn型アモルファスシリコン膜を形成
して接合を作ったものである。
【0015】
【表1】
【0016】
【表2】
【0017】表1から明らかなように、本発明品は、V
字型の溝1a,1a,…が下地基板1の表面側にのみ形
成されているにも係わらず、従来品と同程度の変換効率
が得られることが判明した。
【0018】なお、本発明は上述した実施例に限定され
ることなく種々設計変更可能である。例えば、図示例に
おいては、下地基板1として単結晶シリコン基板が用い
られているが、この他、キャスト多結晶シリコン基板も
使用でき、あるいは、金属板の表面をアモルファスシリ
コン膜で被った後、このアモルファスシリコン膜を結晶
化してなる構造としても良い。
【0019】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
結晶系シリコン表面に微細なV字型の溝が多数平行に形
成してなる基板上に、シリコンと屈折率の異なる絶縁膜
のパターンを形成し、その上にシリコン薄膜をラテラル
シーディングエピタキシャルして形成するから、従来法
と同程度の変換効率を確保しつつ製造工程の単純化が図
れ、V溝の角度やバルク層の厚さの制御も確実である。
【0020】また、V溝を下地基板の片面にのみ形成す
ることにより、下地基板の厚さを強度的に十分な程度に
確保して、この下地基板に支持基板としての機能を付与
することができ、強固な構造を得ることが可能である。
【0021】さらに、シリコン酸化膜(SiO2 )等絶
縁膜のパターンの形成により、ポイントコンタクトによ
る表面再結合速度の低減と、シリコンおよびシリコン酸
化膜の屈折率の違いによる光閉じ込めを同時に計ること
ができ、また、下地基板を低抵抗としておくことにより
裏面BSF化も計れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る一実施例であるヘテロ接合太陽電
池の構造を示す断面図である。
【図2】同ヘテロ接合太陽電池における発電層の形成方
法を説明するための工程別の断面図である。
【図3】同ヘテロ接合太陽電池における発電層の形成方
法を説明するための工程別の断面図である。
【図4】従来の結晶系シリコン薄型太陽電池であるコル
ゲート型太陽電池の構造を示す図である。
【符号の説明】
1 n型単結晶シリコンからなる下地基板 1a V字型の溝 2 酸化シリコン等からなる絶縁膜のパターン 3 単結晶シリコン薄膜からなる発電層 4 p型アモルファスシリコン膜 5 透明導電膜 6 裏面電極 7 表面電極 A 光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 31/04

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 結晶系シリコン表面に微細なV字型の溝
    が多数平行に形成してなる基板上に、シリコンと屈折率
    の異なる絶縁膜を設け、この絶縁膜を前記溝の底部分の
    基板表面が露出するようにパターニングし、その上に一
    導電型のシリコン薄膜をラテラルシーディングエピタキ
    シャルにより形成した後、このシリコン薄膜上に他導電
    型のシリコン薄膜を形成することを特徴とする光起電力
    素子の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記基板がキャスト多結晶シリコン基板
    である請求項1に記載の光起電力素子の製造法。
  3. 【請求項3】 前記基板が、金属板の表面をアモルファ
    スシリコン膜で被った後、このアモルファスシリコン膜
    を結晶化してなる請求項1に記載の光起電力素子の製造
    法。
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