JP2749081B2 - 扉のヒンジ機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、真空室、低圧室などの開口部に設けられた
扉を開閉自在に支持するヒンジ機構に関するものであ
る。

［従来の技術］ LCDなどの薄膜製造工程においては、大気圧より真空
中に引きながらガラス基板を処理する真空装置が使用さ
れているが、このような真空装置を構成する低圧・真空
室に使用される扉は、扉を閉じた後に室内が低圧または
真空になると、大気との気圧差により室内側に吸引され
る。そのため、扉内面と室内の開口部の戸当り面とを密
封している気密材（例えばＯリング）が変形し、大気圧
で閉じられていた扉は更に室内側に移動する。

この場合、扉が戸当り面に対して平行に移動すると、
気密材が扉の各辺で均等に変形し、気密材と戸当り面と
の横ずれがないため、気密性能の低下や気密材の不均等
な消耗がない利点がある。

そこで、従来では、ヒンジ部に複数のリンクを設けた
り、扉の軸受けを長孔とすることにより、扉が戸当り部
に当接した後、室内側に平行移動できるようにしたヒン
ジ機構が提案されている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記のようにリンクを使用した従来の
ヒンジ機構では、ヒンジ部の構造が複雑となる上、リン
クの連結部が多いために扉のがた付きが発生しやすい欠
点がある。また、長孔の軸孔を使用したヒンジ機構で
は、軸が自由度の高い長孔内に挿入されているのでがた
付きが発生しやすい。

特に、これらの従来技術で生じるヒンジ機構のがた付
きは、高度の真空度を得るために強固な作りとした重量
の大きな扉において顕著であり、扉の垂れ下がりや気密
性の低下などを招くことになる。また、真空装置などに
おいては、扉の開閉を確認したり、処理物の位置決めな
どを検出するセンサーを扉や戸当り部分に設けることも
多いが、扉の垂れ下がりなどが生じるとこれらのセンサ
ーの精度も低下する不都合もある。

さらに、このＯリングなどの気密材を使用した扉を長
期に亘って使用すると、気密材のへたりなどによる変形
で、扉を開口部と平行になるまで閉じた状態でも、気密
材の押し代を十分に取ることができず、気密材と開口部
の当り面との密着性が低下したり両者の間に隙間が生じ
たりする欠点もあった。

本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決し、
簡単な構造でヒンジ部のがた付きを防止し、しかも扉を
開口部の戸当り面に対して略平行に移動させることによ
り、高度の気密性を確保し、しかも気密材の変形が生じ
た場合でも気密材の押し代を調整することが可能な扉の
ヒンジ機構を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明の扉のヒンジ機構は、扉本体に固定される扉側
ブロックにヒンジの軸の上部を挿入する軸孔を設け、こ
の軸孔の壁部にはヒンジの軸方向に伸びる割りを形成す
ると共にこの割りを開閉する締付けボルトを設け、一方
ヒンジの軸の下部は、ヒンジの軸とは偏心したスリーブ
内に挿入固定し、このスリーブを開口部側の側壁面に固
定される開口部側ブロックに、前記スリーブと同軸に設
けた軸受け内に回転自在に挿入したことを特徴とするも
のである。

［作用］ 上記のような構成を有する本発明においては、扉本体
が扉側ブロックを介して固定されているヒンジの軸と、
軸受け内で回動するスリーブの軸とが偏心しているの
で、扉本体の閉鎖後更に室内を低圧・真空とした場合で
も、スリーブの回転時に扉本体を開口部側に向かって略
平行移動させることが可能となり、Ｏリングなどの気密
材が扉の各部で不均等に変形することがなく、十分な気
密性と耐久性を確保できる。また、回動するスリーブと
扉側の軸との間にはがた付きがないので、従来のリンク
や長孔を使用したヒンジのように、開閉時や長期の使用
によるがた付きがなく、重量のある扉でも開口部に対す
る位置ずれの恐れもない。

さらに、本発明は、長期の使用により気密材にへたり
などの変形が生じても、扉側の軸と扉側ブロックとの取
付け角度を調整することにより、扉と開口部が平行にな
った時の扉と開口部との間隔を調整することが可能であ
るから、扉の閉鎖時における気密材の押し代を調整する
ことができる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面に従って具体的に説明
する。

第１図及び第２図において、符号１は本発明のヒンジ
機構を利用して扉３を取付ける真空室であって、その前
面には開口部２が設けられている。真空室１の外壁部側
面には、ヒンジ機構を構成する開口部側ブロック４の基
部がボルト５によって固定されている。開口部側ブロッ
ク４の手前側の端部には、軸受け装着部６が設けられ、
この軸受け装着部６内に軸受け７が装着されている。こ
の軸受け７の内部にはローラベアリング7aを介してスリ
ーブ８が縦方向に回動自在に挿入されている。このスリ
ーブ８内には、ヒンジの軸９が挿入されているが、この
ヒンジの軸９は第３図断面図に示すようにスリーブ８と
は偏心しており、、スリーブ８の下部に設けられた止め
ねじ10によって、スリーブ８と一体に回転するように固
定されている。

このヒンジの軸９の上部は、スリーブ８の上端よりも
突出しており、この突出部分に扉側ブロック11の端部が
固定されている。即ち、扉側ブロック11は、扉３の表面
にボルト12によって固定されているが、この扉側ブロッ
ク11の端部にヒンジの軸９を挿入する軸孔13が設けられ
ている。この軸孔13には、縦方向に割り14が形成され、
この割り14を開閉する締付けボルト15が割り14と直角に
挿入されている。そして、軸孔13内に挿入されたヒンジ
の軸９と扉側ブロック11とは、この締付けボルト15を締
付けることにより一体に固定されている。

なお、このように軸９に固定された扉側ブロック11と
軸受け７との間には、扉３の荷重を支持するボールベア
リング7bが設けられている。

上記のような構成を有する本実施例の扉のヒンジ機構
の作用は、次の通りである。

扉３を開閉すると、ヒンジの軸９と扉側ブロック11と
は固定され、しかもヒンジの軸９とその外周のスリーブ
８も固定されているので、扉３は、軸受け７内に支持さ
れたスリーブ８の部分で回動する。しかし、扉３はスリ
ーブ８とは偏心したヒンジの軸９に固定されているの
で、その軌跡は第４図に示すようなものとなる。即ち、
扉３が図中D1からD2に向けて90゜開閉すると、スリーブ
８はその中心点Ｏを中心として回動するが、これに偏心
状態で固定されたヒンジの軸９の中心は、扉３の開閉に
伴いP1点からP2点に移動する。その結果、ヒンジの軸９
に固定された扉３のヒンジ側の部分も扉３の閉鎖方向に
移動することになり、単に扉３をスリーブ８の中心点Ｏ
を中心として回動した場合に比較して、扉３全体を開口
部２側に略平行移動させることができる。しかも、その
場合、スリーブ８は軸受け７内を回動するだけで、リン
クや長孔のようながた付きを発生させる部材がなく、扉
３の開閉は円滑に行われる。

また、本発明は、扉側ブロック11をヒンジの軸９に対
して割り14と締付けボルト15とを利用して固定したの
で、軸９と扉３との固定角度（第４図α参照）を自由に
調整できる。その結果、長期間の使用により扉に設けた
気密材が変形し、スリーブ８を同じ角度回動させても、
扉３と開口部２とに隙間が生じ、気密材の押し代が十分
に取れなくなった場合でも、第４図一点鎖線で示すよう
に軸９と扉３の固定角度を調整することにより、扉３を
より開口部２側に近い位置D2′まで移動できるようにし
て、扉３と開口部２との間で気密性を十分に押し潰すこ
とができる。

［発明の効果］ 以上の通り、本発明によれば、軸受け内に回動自在に
支持したスリーブにヒンジの軸を偏心して固定するとい
う簡単な手段により、特にリンクや長孔を使用すること
なく、ヒンジの軸に固定した扉を略平行に移動させるこ
とが可能となる。その結果、ヒンジ部分にがた付きを生
じることなく、扉の周囲のどの部分でも気密材を戸当り
面に対して均等に当接させて押し潰すことができるの
で、長期間に亘り扉各部の気密性が十分に確保される。
しかも、ヒンジの軸と扉側ブロックとの取付け角度を調
整可能としたので、気密材にへたりなどの変形が生じて
も、それに応じて扉と戸当り面との隙間を調整すること
もできるので、長期の使用に際しても気密性低下の恐れ
もない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の扉のヒンジ機構の一実施例を示す一部
断面正面図、第２図は第１図Ａ−Ａ線の拡大断面図、第
３図は第１図Ｂ−Ｂ線の拡大断面図、第４図は本発明の
ヒンジ機構の動作を説明する動作図である。 １……真空室、２……開口部、３……扉、４……開口部
側ブロック、５……ボルト、６……軸受け装着部、７…
…軸受け、８……スリーブ、９……ヒンジの軸、10……
止めねじ、11……扉側ブロック、12……ボルト、13……
挿入孔、14……割り、15……締付けボルト。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】扉本体に固定される扉側ブロックにヒンジ
   の軸の上部を挿入する軸孔を設け、この軸孔の壁部には
   ヒンジの軸方向に伸びる割りを形成すると共にこの割り
   を開閉する締付けボルトを設け、一方ヒンジの軸の下部
   は、ヒンジの軸とは偏心したスリーブ内に挿入固定し、
   このスリーブを開口部側の側壁面に固定される開口部側
   ブロックに、前記スリーブと同軸に設けた軸受け内に回
   転自在に挿入したことを特徴とする扉のヒンジ機構。